DE4034253A1

DE4034253A1 - Rotary vacuum pump - has silencer which can be easily attached or removed

Info

Publication number: DE4034253A1
Application number: DE19904034253
Authority: DE
Inventors: Hans-Peter Berges; Hartmut Kriehn; Lothar Brenner
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1990-10-27
Filing date: 1990-10-27
Publication date: 1992-04-30

Abstract

A rotary vacuum pump (1) has a housing (10) which encloses the rotor chamber (11) in which one or more rotors are mounted. The housing has an inlet (29) and an outlet (36) with a silencer (54) connected to the outlet. The silencer is constructed so that it can be detached from the pump and has internal baffles arranged to form a labyrinth which cause the through flowing gas to be subjected to repeated reversals of direction of flow. Both the inlet (64) and the outlet (69) of the silencer are on the end face of the silencer housing. USE/ADVANTAGE - Rotary vacuum pump with silencer which can be easily attached.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Rotations-Vakuumpumpe mit einem Gehäuse, das mindestens einen Schöpfraum für den bzw. die Rotoren aufweist und das mit einem Einlaß und mit einem Auslaß ausgerüstet ist.The invention relates to a rotary vacuum pump a housing that has at least one space for the Has rotors and that with an inlet and with an outlet is equipped.

Zu den Rotations-Vakuumpumpen gehören Einwellen- (Drehschieber pumpen, Sperrschieberpumpen oder dergleichen) und Zweiwellen- (Pumpen mit Rotorpaaren vom Schrauben-, Roots-, Klauen-Typ oder dergleichen) Pumpen, die darüber hinaus noch ein- oder mehrstufig ausgebildet sein können. Um das Saugvermögen derartiger Pumpen zu verbessern, besteht die Möglichkeit einer Drehzahlerhöhung. Damit steigt jedoch die Geräuschentwicklung stark an. Insbesondere erzeugen trocken (ölfreier Schöpfraum) laufende Zweiwellenvakuum pumpen sehr hohe Schalldruckpegel im Auspuffbereich.Rotary vacuum pumps include single-shaft (rotary vane pumps, gate valve pumps or the like) and twin-shaft (Pumps with pairs of rotors of screws, roots, claw type or the same) pumps, which also have one or more stages can be trained. To the pumping speed of such pumps improve, there is the possibility of an increase in speed. In order to however, the noise level rises sharply. In particular generate dry (oil-free pumping chamber) running two-shaft vacuum pump very high sound pressure levels in the exhaust area.

Vakuumpumpen der erwähnten Art werden häufig bei chemischen oder anderen Prozessen (Ätz-, Bedampfungsverfahren oder dergleichen) eingesetzt. Die in diesen Fällen von der Vakuumpumpe angesaugten Gase sind in der Regel umweltschädlich. An den Auslaß der Vakuum pumpe schließt sich deshalb eine fest installierte Abgasleitung an, die die geförderten Gase über Gaswäscher oder andere Reini gungsanlagen ins Freie abführt. Die insbesondere bei Ätz- und Bedampfungsverfahren abgesaugten Gase sind darüber hinaus häufig staubbeladen. Da bei derartigen Prozessen üblicherweise trocken laufende Vakuumpumpen eingesetzt werden, besteht das Problem der Staubablagerungen insbesondere im Austrittsbereich der Pumpe und in den sich anschließenden Abgasleitungen.Vacuum pumps of the type mentioned are often used in chemical or other processes (etching, vapor deposition or the like) used. In this case, the ones sucked in by the vacuum pump Gases are generally harmful to the environment. At the outlet of the vacuum The pump therefore closes a permanently installed exhaust pipe to the extracted gases via scrubbers or other cleaners systems outside. The particularly in etching and Evaporation gases extracted are also common dust-laden. Because such processes are usually dry running vacuum pumps are used, there is the problem of Dust deposits especially in the outlet area of the pump and in the subsequent exhaust pipes.

Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, mit Hilfe eines schalldämpfenden Bauteils einen geräuscharmen Betrieb von Pumpen der eingangs erwähnten Art zu erreichen und dieses Bauteil so zu gestalten, daß es ohne aufwendige Montage arbeiten an den Abgasleitungen auswechselbar ist, damit es bei Staubbelastungen ohne wesentliche Betriebsunterbrechungen ausge tauscht werden kann.The present invention is therefore based on the object with the help of a sound-absorbing component a low-noise Operation of pumps of the type mentioned to achieve and to design this component in such a way that it requires no complex assembly work on the exhaust pipes is interchangeable so it is Dust pollution without significant interruptions in operation can be exchanged.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß dem Pumpeneinlaß ein Schalldämpfer zugeordnet ist und daß der Schall dämpfer als Patronen-Bauteil ausgebildet ist. Die Patronen- Bauweise ist bei Ölfiltern bekannt. Das Gehäuse der Patrone ist im wesentlichen zylindrisch ausgebildet und weist eine geschlos sene Stirnseite aus. Die Zu- und Abströmung befinden sich in der zweiten Stirnseite. In der Regel sind der Öleintritt zentral und der Ölaustritt dezentral angeordnet. Die zentrale Öleintritts öffnung wird von einem Rohrstutzen gebildet, der ein Gewinde trägt. Mit diesem Gewinde ist die Ölfilter-Patrone an das Aggre gat anschraubbar, in dem sich das zu filternde Öl befindet.According to the invention this object is achieved in that the Pump inlet is assigned a silencer and that the sound damper is designed as a cartridge component. The cartridge Construction is known for oil filters. The housing of the cartridge is essentially cylindrical and has a closed front side. The inflow and outflow are in the second face. As a rule, the oil entry is central and the oil outlet is arranged decentrally. The central oil inlet Opening is formed by a pipe socket, which is a thread wearing. With this thread the oil filter cartridge is attached to the aggre screwable gat in which the oil to be filtered is located.

Die Ausbildung des Schalldämpfers als Patronen-Bauteil hat den Vorteil, daß dieses Bauteil ohne aufwendige Montagearbeiten an den Abgasleitungen schnell ausgewechselt werden kann. Darüber hinaus ergibt sich eine kompakte Bauweise, so daß der Schall dämpfer in der Regel noch innerhalb der äußeren Pumpenverkleidung untergebracht werden kann.The design of the silencer as a cartridge component has the Advantage that this component without complex assembly work the exhaust pipes can be replaced quickly. About that In addition, there is a compact design, so that the sound dampers are usually still inside the outer pump casing can be accommodated.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS. 1 to 3. Show it

Fig. 1 eine schematische Skizze, die eine Vakuumpumpe mit Schalldämpfer darstellt, Fig. 1 is a schematic diagram illustrating a vacuum pump with silencer,

Fig. 2 eine Vakuumpumpe mit Rotorpaaren vom Klauentyp, bei der der Einsatz des erfindungsgemäßen Schalldämpfers besondere Vorteile hat, und FIG. 2 a vacuum pump rotor pairs of the claw type in which the use of the silencer according to the invention has particular advantages and

Fig. 3 einen Teilschnitt durch einen Schalldämpfer der hier betroffenen Art. Fig. 3 shows a partial section through a silencer of the type concerned here.

Die in Fig. 1 schematisch dargestellte Vakuumpumpe 1 weist den Rotor 4 auf, der sich im vom Gehäuse 10 gebildeten Schöpfraum 11 befindet. Einlaß und Auslaß der Vakuumpumpe sind mit 29 bzw. 36 bezeichnet. An den Auslaß 36 schließt sich eine Abgasleitung 51 an, die in ein Flanschbauteil 52 mündet. Auch die weiterführende Abgasleitung 53 ist an das Flanschbauteil 52 angeschlossen. Am Flanschbauteil 52 ist ein nach Art einer Patrone ausgebildeter Schalldämpfer 54, wie er beispielsweise in Fig. 3 dargestellt ist, lösbar befestigt. Diese Anordnung ermöglicht einen leichten und schnellen Wechsel des Schalldämpfers, ohne daß aufwendige Demontage- und Montagearbeiten an den Abgasleitungen 51, 53 selbst erforderlich sind.The vacuum pump 1 shown schematically in FIG. 1 has the rotor 4 , which is located in the scooping chamber 11 formed by the housing 10 . The inlet and outlet of the vacuum pump are designated 29 and 36 , respectively. An exhaust pipe 51 connects to the outlet 36 and opens into a flange component 52 . The outgoing exhaust pipe 53 is also connected to the flange component 52 . A muffler 54 in the form of a cartridge, as shown, for example, in FIG. 3, is detachably fastened to the flange component 52 . This arrangement enables easy and quick replacement of the muffler without the need for complex dismantling and assembly work on the exhaust pipes 51 , 53 themselves.

Bei der in Fig. 2 dargestellten Pumpe handelt es sich um eine dreistufige Vakuumpumpe 1 mit zwei Wellen 2 und 3 sowie drei Rotorpaaren 4, 5 bzw. 6, 7 bzw. 8, 9. Die axiale Länge der Rotoren nimmt von der Saugseite zur Druckseite ab. Die Drehkolben sind vom Klauentyp (Northey, vgl. beispielsweise die EU-A-2 90 662) und rotieren in den Schöpfräumen 11, 12, 13, welche von den Schilden 14 bis 17 und den Gehäuseringen 18 bis 20 gebildet werden.The pump shown in FIG. 2 is a three-stage vacuum pump 1 with two shafts 2 and 3 and three pairs of rotors 4 , 5 and 6, 7 and 8, 9 , respectively. The axial length of the rotors decreases from the suction side to the pressure side. The rotary lobes are of the claw type (Northey, cf., for example, EU-A-2 90 662) and rotate in the scoops 11 , 12 , 13 , which are formed by the shields 14 to 17 and the housing rings 18 to 20 .

Die Wellen 2, 3 sind vertikal angeordnet. Dieses gilt ebenfalls für den neben dem Pumpengehäuse angeordneten Antriebsmotor 22. Unterhalb des unteren Lagerschildes 17 sind die Wellen 2, 3 mit Zahnrädern 23, 24 gleichen Durchmessers ausgerüstet, welche der Synchronisation der Bewegung der Rotorpaare 4, 5 bzw. 6, 7 bzw. 8, 9 dienen. Auch der Antriebsmotor 22 weist an seiner Unterseite ein Zahnrad 25 auf. Die Antriebsverbindung wird hergestellt durch ein weiteres Zahnrad 26, das mit den Zahnrädern 24 und 25 in Eingriff steht.The shafts 2 , 3 are arranged vertically. This also applies to the drive motor 22 arranged next to the pump housing. Below the lower bearing plate 17 , the shafts 2 , 3 are equipped with gear wheels 23 , 24 of the same diameter, which serve to synchronize the movement of the rotor pairs 4 , 5 or 6 , 7 or 8 , 9 . The drive motor 22 also has a gearwheel 25 on its underside. The drive connection is established by a further gearwheel 26 which is in engagement with the gearwheels 24 and 25 .

In dem oberen Lagerschild 14 und dem unteren Lagerschild 17 stützen sich die Wellen 2, 3 über Wälzlager 27 ab. Der obere Lagerschild 14 ist mit einem horizontal angeordneten Anschluß flansch 28 ausgerüstet, welcher den Einlaß 29 der Pumpe bildet. Der Einlaßkanal 31 mündet stirnseitig (Öffnung 32) in den Schöpf raum 11 der ersten Stufe. Die stirnseitig angeordnete Auslaßöff nung der ersten Stufe ist mit 33 bezeichnet und führt in den Verbindungskanal 34. Der im Schild 15 befindliche Verbindungska nal 34 steht mit der Einlaßöffnung 35 der zweiten Stufe in Verbindung. Der Lagerschild 16 ist entsprechend gestaltet. Unterhalb der untersten (dritten) Pumpstufe befindet sich der Auslaß 36, der mit der stirnseitigen Auslaßöffnung 37 im unteren Lagerschild 17 in Verbindung steht. Bei trocken laufenden Pumpen dieser Art bestehen die eingangs geschilderten Probleme (Geräusch entwicklung, Staubablagerungen in den Abgasleitungen) häufig in besonderem Maße. Durch die Erfindung werden sie weitestgehend beseitigt.In the upper end plate 14 and the lower end plate 17 , the shafts 2 , 3 are supported by roller bearings 27 . The upper end plate 14 is equipped with a horizontally arranged connection flange 28 which forms the inlet 29 of the pump. The inlet channel 31 opens at the front (opening 32 ) in the scooping chamber 11 of the first stage. The front-arranged outlet opening of the first stage is designated 33 and leads into the connecting channel 34 . The in the shield 15 Verbindungska channel 34 is connected to the inlet opening 35 of the second stage. The end shield 16 is designed accordingly. Below the lowermost (third) pump stage is the outlet 36 , which is connected to the front outlet opening 37 in the lower bearing plate 17 . In the case of dry-running pumps of this type, the problems described at the outset (development of noise, dust deposits in the exhaust pipes) often exist to a particular degree. They are largely eliminated by the invention.

Unterhalb des aus Pumpengehäuse und Motor bestehenden Systems ist ein Öl enthaltender Raum 40, gebildet von einer gemeinsamen Wellenwanne 41, vorgesehen. In diese Wellenwanne 41 hinein ragt eine mit der Welle 2 verbundene Ölpumpe 42. Von der Ölpumpe aus erstrecken sich im einzelnen nicht dargestellt Schmiermittelka näle zu den Stellen der Pumpe (Lager, Eingriffe der Zahnräder 23 bis 26, Simmerringe oder dergleichen), welche einer Ölschmierung bedürfen.An oil-containing space 40 , formed by a common shaft trough 41 , is provided below the system consisting of the pump housing and motor. An oil pump 42 connected to the shaft 2 projects into this shaft trough 41 . From the oil pump extend in detail not shown lubricant channels to the locations of the pump (bearings, engagements of the gears 23 to 26 , Simmerrings or the like), which require oil lubrication.

Das dargestellte Ausführungsbeispiel der dreistufigen Zweiwel lenvakuumpumpe ist wassergekühlt. Dazu sind in den Seitenschilden 14 und 17 Kühlwasserkanäle 43 und 44 vorgesehen. Kühlwassereinlaß und -auslaß sind mit 45 und 46 bezeichnet. Der Kühlwassereinlaß 45 ist an der untersten Stelle des Kanalsystems 43, 44 angeordnet so daß ein einfacher Kühlwasserablaß möglich und eine vollständige Entleerung sichergestellt sind.The illustrated embodiment of the three-stage two-shaft vacuum pump is water-cooled. For this purpose, cooling water channels 43 and 44 are provided in the side plates 14 and 17 . Cooling water inlet and outlet are designated 45 and 46 . The cooling water inlet 45 is arranged at the lowest point of the channel system 43 , 44 so that a simple cooling water drain is possible and complete emptying is ensured.

Die Austrittsöffnung 36 der Pumpe 1 wird gebildet von einem Anschlußstutzen 55, der ein Kupplungsbauteil 56 trägt, an dem seinerseits der Schalldämpfer 54 lösbar befestigt ist. Der Schalldämpfer 54, das Kupplungsbauteil 56 sowie noch ein wahl weise zwischen Kupplungsbauteil 56 und Anschlußstutzen 55 ein setzbares Zwischenbauteil 57 sind in Fig. 3 vergrößert darge stellt. Während des Betriebs der Pumpe 1 sind das Kupplungsbau teil 56 und der Anschlußstutzen 55 miteinander verbunden, ent weder unmittelbar oder über das Zwischenbauteil 57. Das Zwischen bauteil 57 dient der Halterung von Sensoren 58, beispielsweise Drucksensoren, deren Funktion weiter unten noch beschrieben wird. Auch Gasart-Sensoren können an dieser Stelle angeordnet sein.The outlet opening 36 of the pump 1 is formed by a connecting piece 55 which carries a coupling component 56 , on which in turn the silencer 54 is detachably fastened. The muffler 54 , the coupling component 56 and a further option between the coupling component 56 and connecting piece 55 a settable intermediate component 57 are shown in Fig. 3 enlarged Darge. During operation of the pump 1 , the coupling part 56 and the connecting piece 55 are connected to one another, either directly or via the intermediate component 57 . The intermediate component 57 serves to hold sensors 58 , for example pressure sensors, the function of which will be described below. Gas type sensors can also be arranged at this point.

Das Kupplungsbauteil 56 weist eine zentrale Durchtrittsöffnung 61 auf, die teilweise - schalldämpferseitig - mit einem Innengewinde 62 ausgerüstet ist. In dieses Gewinde 62 einschraubbar ist ein mit einem entsprechenden Außengewinde ausgerüsteter Rohrstutzen 63, welcher gleichzeitig den Eintritt 64 des Schalldämpfers 54 bildet. An die Eintrittsöffnung 64 schließt sich ein zentraler Innenraum 65 an, der von konzentrischen Schikaneblechen 66 umgeben ist. Es handelt sich um konzentrisch angeordnete, alter nierend ineinander greifende, einseitig geschlossene Rohrzylin der, die eine Mehrfachumlenkung der hindurchtretenden Gase bewirken (vgl. die eingezeichneten Pfeile). Der äußere Zylinder ist mit seitlichen Öffnungen 67 ausgerüstet, so daß die Gase in einen äußeren Ringraum 68 gelangen. Dieser äußere Ringraum 68 steht mit einer oder mehreren dezentralen Austrittsöffnungen 69 in Verbindung.The coupling component 56 has a central passage opening 61 which is partly equipped with an internal thread 62 on the muffler side. A pipe socket 63 equipped with a corresponding external thread can be screwed into this thread 62 and at the same time forms the inlet 64 of the muffler 54 . A central interior 65 , which is surrounded by concentric baffle plates 66 , adjoins the inlet opening 64 . These are concentrically arranged, alternating interlocking, one-sided closed tubular cylinders, which cause multiple deflection of the gases passing through (see the arrows). The outer cylinder is equipped with side openings 67 so that the gases enter an outer annular space 68 . This outer annular space 68 is connected to one or more decentralized outlet openings 69 .

Den Austrittsöffnungen 69 ist ein schalldämpferseitig offener im Kupplungsbauteil 56 befindlicher Kanal, vorzugsweise Ringkanal 71, zugeordnet. Dieser ist mit einer radialen Erweiterung 72 versehen, an die die weiterführende Abgasleitung 53 angeschlossen ist. Zur äußeren Abdichtung des Schalldämpfers 54 gegenüber dem Kupplungsbauteil 56 ist ein peripherer Dichtungsring 73 vorgese hen, der konzentrisch zum Rohrstutzen 63 angeordnet ist. Auch das Flanschbauteil 52 und der Schalldämpfer 54 nach Fig. 1 sind zweckmäßig wie das Kupplungsbauteil 56 bzw. der Schalldämpfer 54 nach Fig. 3 ausgebildet.A muffler-side open channel in the coupling component 56 , preferably ring channel 71 , is assigned to the outlet openings 69 . This is provided with a radial extension 72 to which the exhaust gas line 53 is connected. For external sealing of the muffler 54 with respect to the coupling component 56 , a peripheral sealing ring 73 is hen vorgese, which is arranged concentrically with the pipe socket 63 . The flange component 52 and the muffler 54 according to FIG. 1 are expediently designed like the coupling component 56 and the muffler 54 according to FIG. 3.

Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen gelangt das Abgas aus dem Pumpenauslaß (36) in den Innenraum (65) des Schalldämpfers (54). Die sich daran anschließende mehrfache Umlenkung bewirkt die erwünschte Schalldämpfung. Danach treten die Abgase aus den Austrittsöffnungen (69) aus und gelangen über den Ringkanal (71) im Kupplungsbauteil (56) in die Abgasleitung (53).In the exemplary embodiments described, the exhaust gas reaches the interior ( 65 ) of the muffler ( 54 ) from the pump outlet ( 36 ). The subsequent multiple redirection brings about the desired sound absorption. The exhaust gases then emerge from the outlet openings ( 69 ) and reach the exhaust line ( 53 ) via the ring channel ( 71 ) in the coupling component ( 56 ).

Wie bereits erwähnt, dient ein wahlweise zwischen Kupplungsbau teil (56) und Auslaßstutzen (55) einbaubares Zwischenbauteil der Halterung von Sensoren (58). Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 steht ein Sensor (58) mit dem Schalldämpfer-Eintrittsbereich in Verbindung. Für den Fall von Staubablagerungen im Schalldämpfer (54) erhöht sich der Strömungswiderstand, was eine Druckerhöhung im Eintrittsbereich des Schalldämpfers zur Folge hat. Mit Hilfe des Drucksensors kann deshalb die Belastung des Schalldämpfers (54) mit Ablagerungen überwacht werden.As already mentioned, an intermediate component that can be installed between the coupling assembly ( 56 ) and the outlet connector ( 55 ) serves to hold sensors ( 58 ). In the embodiment according Fig. 3 is a sensor (58) with the muffler inlet region in connection. In the case of dust deposits in the silencer ( 54 ), the flow resistance increases, which results in an increase in pressure in the inlet area of the silencer. With the help of the pressure sensor, the load on the muffler ( 54 ) with deposits can therefore be monitored.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist außerdem noch ein weiterer Drucksensor (58) dargestellt, der über die Bohrung (74) mit dem Austrittsbereich des Schalldämpfers (54) in Verbindung steht. Bei einer derartigen Verwendung von zwei Drucksensoren (58) besteht die Möglichkeit, die Staubbelastung des Schalldämp fers (54) durch Beobachtung der Differenz der von den Sensoren aufgenommenen Drücke zu beobachten.In the exemplary embodiment according to FIG. 3, a further pressure sensor ( 58 ) is also shown, which is connected via the bore ( 74 ) to the outlet area of the silencer ( 54 ). With such a use of two pressure sensors ( 58 ), it is possible to observe the dust load on the silencer ( 54 ) by observing the difference in the pressures recorded by the sensors.

Claims

1. Rotary vacuum pump ( 1 ) with a housing ( 10 ) which has at least one scooping space ( 11 ) for the rotor or rotors ( 4 or 4 to 9 ) and which has an inlet ( 29 ) and an outlet ( 36 ) is characterized in that a muffler ( 54 ) is assigned to the pump outlet ( 36 ) and that the muffler ( 54 ) is designed as a detachably attachable component which has baffles ( 66 ) in its interior for multiple deflection of the pump outlet ( 36 ) leaving gases and its inlet ( 64 ) and outlet ( 69 ) are located in the region of an end face of the silencer component ( 54 ).

2. Pump according to claim 1, characterized in that the silencer ( 54 ) is arranged inside the outer pump casing.

3. Pump according to claim 1 or 2, characterized in that the silencer ( 54 ) is designed as a cartridge component.

4. Pump according to claim 3, characterized in that the cartridge component ( 54 ) has a central inlet ( 64 ), centrally arranged, the baffles forming baffles ( 66 ) and at least one decentralized outlet ( 69 ).

5. Pump according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized in that an exhaust pipe ( 51 ) connected to the outlet ( 36 ) of the pump ( 1 ) opens into a flange component ( 52 ) to which the exhaust pipe ( 53 ) is connected, and that the muffler ( 54 ) on the flange component ( 52 ) is releasably attached.

6. Pump according to claim 4, characterized in that it is equipped with an outlet ( 36 ) forming the outlet port ( 55 ) that a coupling component ( 56 ) connects to the outlet port, which has a central passage opening ( 61 ) and a channel , preferably a ring channel ( 71 ) surrounding the passage opening, and that the coupling component ( 56 ) supports the muffler ( 54 ) such that on the one hand the outlet port ( 55 ) of the pump via the central passage opening ( 61 ) in the coupling component ( 56 ) is connected to the central inlet opening ( 64 ) of the muffler ( 54 ) and, on the other hand, the decentralized outlet opening (s) of the muffler ( 54 ) via the ring channel ( 71 ) to the exhaust pipe ( 53 ).

7. Pump according to claim 6, characterized in that the central inlet opening ( 64 ) of the muffler ( 54 ) is associated with a pipe socket ( 63 ) with an external thread and that the central through opening ( 61 ) in the coupling component ( 56 ) is equipped with an internal thread .

8. Pump according to claim 6 or 7, characterized in that for the external sealing of the muffler ( 54 ) with respect to the coupling component ( 56 ) a peripheral, concentrically to the pipe socket ( 63 ) arranged sealing ring ( 73 ) is provided.

9. Pump according to one of the preceding claims, characterized in that in the interior of the muffler ( 54 ) baffle plates ( 66 ) are made of concentrically arranged, alternating interlocking, one-sided closed tube cylinders.

10. Pump according to one of the preceding claims, characterized in that the inlet ( 64 ) of the muffler ( 54 ) is assigned a pressure sensor ( 58 ).

11. Pump according to one of the preceding claims, characterized in that the flange component ( 52 ) or the hitch be component, an intermediate component ( 57 ) for connecting sensors ( 58 ) is upstream.

12. Pump according to claim 10 or 11, characterized in that the inlet ( 64 ) and the outlet ( 69 ) of the muffler ( 54 ) are each assigned a pressure sensor ( 58 ).

13. Pump according to one of the preceding claims, characterized characterized as a dry-running twin-shaft vacuum pump is formed.

14. Pump according to claim 13, characterized in that it as dry-running vacuum pump is designed of the claw type.