EP0402417A1 - Einrichtung zur vorionisierung an entladungsgepumpten gaslasern, insbesondere zur röntgen-vorionisierung - Google Patents

Einrichtung zur vorionisierung an entladungsgepumpten gaslasern, insbesondere zur röntgen-vorionisierung

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Publication number
EP0402417A1
EP0402417A1 EP89904512A EP89904512A EP0402417A1 EP 0402417 A1 EP0402417 A1 EP 0402417A1 EP 89904512 A EP89904512 A EP 89904512A EP 89904512 A EP89904512 A EP 89904512A EP 0402417 A1 EP0402417 A1 EP 0402417A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
laser
ionization
parallel
branch
pulse
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP89904512A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hans-Jürgen CIRKEL
Wille Bette
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0402417A1 publication Critical patent/EP0402417A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
    • H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
    • H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation

Definitions

  • the invention relates to a device for pre-ionization on discharge-pumped gas lasers, in particular for the X-ray pre-ionization of lasers of the TE type, for generating a homogeneous glow discharge in the gas space of the laser chamber between the laser electrodes;
  • the laser excitation circuit has the following system components:
  • the said laser chamber within which at least two of the said laser electrodes are at a distance from one another, extend with their electrode surfaces parallel to the optical axis of the laser chamber and preferably have a full cross section in this direction;
  • said pulse-generating network comprising at least first and second network capacitors and associated replacement inductances of the excitation circuit, which result in particular from the self-inductance of the high-voltage switch, the laser chamber, the feed lines and the network capacitors, and comprehensive an auxiliary circuit for generating the pre-ionization high-voltage pulses for pre-ionizing the gas space of the laser chamber before the high-voltage pulse applied to the laser electrodes reaches the ignition threshold of the laser glow discharge.
  • Such a device is essentially known from US-A-4 630 277.
  • UV radiation ultra violet radiation
  • X-ray radiation pulse must be irradiated into the discharge volume at a defined point in time in the early stage of the voltage rise above the electrodes of the laser chamber.
  • suitable UV radiation via auxiliary electrodes for preionization is described in patent application DE-Al-30 35 730. Circuit-technical measures for optimizing the precise pre-ionization time can be taken from the already mentioned US-A-4 630 277
  • the invention has for its object to design the device according to the preamble of claim 1 so that the timing of the ionization pulse, in particular an X-ray pulse, is set in relation to the voltage rise time across the laser electrodes and exactly as required ⁇ can vote the special laser.
  • the auxiliary circuit consists of a branch connected in parallel with the high-voltage switch or the laser discharge path, which has a saturable magnetic inductor as the switching element and, in series, the primary winding of a high - Has voltage pulse transformer, on the secondary winding the high-voltage ignition pulses for the pre-ionization element are generated, and that in the case of switching the Branch parallel to the high voltage switch the branch one
  • saturable inductors are therefore used as switching elements. Due to the degree of pre-magnetization of these saturable inductors, a fine adjustment of the time of use of the pre-ionization pulses, in particular
  • auxiliary circuit by arranging the auxiliary circuit with its branch either parallel to the high-voltage switch or parallel to the laser discharge path, a further adjustment of the time of use can be carried out.
  • the two measures mentioned, namely on the one hand the arrangement of the branch and on the other hand the degree of premagnetization can be used individually or in combination to optimize the setting of the time of use of the preionization pulse.
  • the rapid pulsed capacitor discharge can take place by means of a so-called LC inversion circuit (Blümlein circuit) or else by a charge transfer circuit.
  • the so-called inversion charge transfer circuit (ICT circuit) as described in DE-Al-33 23 614, can also be used.
  • ICT circuit inversion charge transfer circuit
  • the voltage increase across the laser electrodes is triggered by firing one or more parallel, fast switches, e.g. Thyratrons, spark gaps, initiated.
  • the circuits described here as the subject matter of the invention make it possible to operate the pulse generator for the pre-ionization element, in particular an X-ray tube, directly from the pulse-generating network for laser excitation without an additional active switching element.
  • a saturable inductor is used in the discharge circuit.
  • the switching time is set by the choice of the magnetic flux of the inductor.
  • a pre-magnetization can be used to make a fine adjustment.
  • x-ray preionization is preferred over UV preionization methods because of the required penetration depth. The latter are advantageous in the case of small to medium discharge volumes and are specified in claims 8 and 9 with two preferred examples.
  • FIG. 1 shows an excitation circuit in an LC inversion circuit with tapping of a pre-ionization current path from the high-voltage connection of the switching element
  • 3 shows a charge transfer circuit with tapping of the pre-ionization current path from the high-voltage connection of the switching element; 4 shows a charge transfer circuit with tapping of the pre-ionization current path from the laser electrode "jumping" to high voltage;
  • FIG. 5 is a sketch illustrating how the circuit of FIG. 1 is integrated into the laser excitation circuit;
  • Fig. 6 shows the modification of the capacitor coatings in the cutout in the event that the circuit of Fig. 3 is integrated;
  • Figure 7 is a sketch illustrating how the circuit of Figure 2 is integrated into the laser excitation circuit
  • FIG. 8 is a sketch illustrating how the circuit of FIG. 4 is integrated into the laser excitation circuit; 9 shows a device with an auxiliary spark discharge path as a pre-ionization element and FIG. 10 shows a device with UV light-generating pre-ionization bars as a pre-ionization element.
  • the device for X-ray preionization consists of a pulse-generating network PEN 11 in an LC inversion circuit (or Blümlein circuit), to which the laser chamber LK with its two laser electrodes E ,, E 2 and the substitute inductor is on the output side L 2 - in series to the second network capacitor C 2 between this and the ground rail B - is connected.
  • the impedance L lies parallel to the series connection LK-L 2 , between the capacitor covering 4 and the ground rail B.
  • the series parallel connection described, consisting of C 2 -L, -L 2 -LK, is connected in parallel to the first network capacitor C- , the latter is parallel to the series connection of switch inductance L, and high-voltage switch S.
  • the high-voltage charging pulses are given by a pulse charging unit PAE to the switching point 7 between L, and S, as indicated schematically by dashed lines, and thus on the high-voltage rail HS.
  • the ground connection of the pulse charging unit PAE is not shown.
  • the coatings on the network capacitors C 1, C 2 are designated 1, 2 and 3, 4, respectively.
  • the auxiliary circuit for generating the pre-ionization high-voltage pulses consists of a branch ZI connected in parallel with the high-voltage switch S, which has a saturable magnetic inductor L s as a switching element and, in series therewith, the primary winding w of a high-voltage pulse transformer Tr whose secondary winding w 2 generates the high-voltage ignition pulses for the X-ray tube RR, the latter being connected to this secondary winding w 2 .
  • the primary winding of the inductor L s is denoted by m- j , its bias winding by VM, the branch ZI in the case shown is the parallel connection to the high-voltage switch S with a series capacitance C, which lies between the upper end of the winding m and the node 7.
  • the branch ZI could also be coupled on the ground side via a series capacitance C, * with the coverings 5, 6 to the ground rail B and galvanically connected to the switching point 7.
  • U n denotes the voltage of the pulse charging unit PAE.
  • the second exemplary embodiment according to FIG. 2 differs from the first according to FIG. 1 in that the branch Z2 for the pre-ionization auxiliary circuit is connected in parallel to the laser discharge path E, -E 2 , this branch Z2 having a parallel capacitance C-, ', which is connected in parallel on the one hand to the series connection m, and w-, and on the other hand to the series connection of L 2 and LK.
  • the pulse-generating network is referred to here as PEN 12.
  • FIGS. 3 and 4 which relate to the third and fourth exemplary embodiment, show a charge transfer circuit for the pulse-generating network PEN 21 (FIG. 3) and PEN 22 (FIG. 4).
  • the pre-ionization branch ZI according to FIG. 3 is identical to that according to FIG. 1, the pre-ionization branch in FIG. 4 is also designated Z2 and corresponds to that according to FIG. 2 except for the fact that its parallel capacity Z- with the network capacity C 2 'is united.
  • FIG. 1 Since the coatings 1 to 4 of the capacitors C 1, C 2 according to FIG. 1 are divided into many partial coatings of a compact water condenser (which has chemically pure, treated water as a dielectric) in the form of axially successive partial stacks, FIG Partial coatings that correspond to the capacitor coating 1 according to FIG. 1 speak with 1/1, the partial coatings that correspond to the combined coating 2-3 of the capacitors C and C 2 with 2/3 and the partial coatings that correspond to the capacitor coating 4 according to FIG. 1 with 4 / 4th 5 relates to an arrangement of the capacitance C, * in FIG. 1, which is shown in dashed lines in the latter, as is shown by a comparison. A series capacitance C can naturally also be arranged in the high-level line, as shown in FIG. 1.
  • PAE means pulse charger, as already mentioned.
  • FIG. 5 also shows a DC power supply GS for biasing, which is connected to the biasing winding VM via a low-pass filter consisting of the two inductors L., L ⁇ and the two capacitors C, C 5 . Otherwise, the reference numerals in FIGS. 5 and 1 correspond.
  • FIG. 6 shows in a detail how the partial capacitor layers would be arranged if the spatial-schematic representation according to FIG. 5 were now based on a charge transfer circuit according to FIG. 3 instead of the LC inversion circuit according to FIG.
  • the individual B layers of the capacitors C 2 'and C,' are denoted by l 1 , 2 1 , 3 ', 1 in FIG.
  • the partial coverings according to FIG. 6 are designated 1 '/ 1 1 , 2' / 3 '4' / 4 *.
  • FIG. 7 shows the transformation of the circuit according to FIG. 2 into a spatially schematic arrangement if an LC inversion circuit of the pulse-generating network PEN 12 is used and the pre-ionization branch Z2 is connected in parallel to the laser chamber LK.
  • the pre-ionization branches ZI (FIG. 1) and Z2 (FIG. 2) each have a partial stack from the plate stack of the Water capacitor assigned, and this sub-stack is then connected to the pulse transformer Tr and the saturable inductor LS.
  • FIG. 8 shows the transformation of the circuit according to FIG. 4 into a spatial-schematic arrangement, that is to say in principle it is a charge transfer circuit for the pulse-generating network PEN 22.
  • PEN 22 the pulse-generating network
  • the pulse transformer is designed in particular with a liquid dielectric and self-supporting windings according to a patent application EP-A1-0 215 286 and is accommodated in a chamber common to the switch S.
  • the saturable inductor is also located in this space through which liquid dielectric flows.
  • Transformer oil is preferably used as the dielectric and cooling medium for the switch, the transformer and the saturable inductor.
  • Dielectric liquids made of fluorinated hydrocarbons are used for an even better heat dissipation.
  • the dielectric for the stacked capacitor arrangement is preferably high-purity water, ethylene glycol, a mixture of ethylene glycol and water or glycerin.
  • the capacitor arrangement constructed with liquid dielectric, consisting of C ⁇ , C 2 and C ⁇ , is charged to a voltage U from a pulse charging unit PAE within a few microseconds - see FIGS. 1 and 3.
  • the functioning of the LC inversion and charge transfer circuit is described in detail in patent application DE C2-29 32 781 and that of the ICT circuit in patent application DE-Al-33 23 614, so that here only the behavior of the pre-ionization current path must be discussed.
  • ICT circuit means inversion charge transfer circuit.
  • Magnetic material, B s saturation induction) in which it is still in the unsaturated state, represents a high impedance, so that the entire voltage at the series connection of L s and Tr drops.
  • the time interval ⁇ t depends on the applied voltage U, the saturation induction B- of the magnetic material, the number of turns N and the effective cross section Ap of the magnetic material.
  • a fine adjustment of the delay time ⁇ t is achieved by the saturable inductor having a second winding VM is provided, through which a direct current flows for bias.
  • the voltage pulse induced in the bias winding VM when the core is "switched through” is kept away from the DC source GS by a low-pass filter TP (see FIGS. 5, 7, 8).
  • FIGS. 2 and 4 show laser excitation circuits in which the pre-ionization network is connected in parallel to the laser chamber LK.
  • the voltage at the series circuit comprising the saturable inductor L ⁇ - and the primary winding of the pulse transformer Tr also rises.
  • the magnetic core of the saturable inductor is saturated here too and its impedance suddenly changes from an initially high to a very low residual value.
  • the capacitor C 'or C 2 ' can discharge into the primary winding of the pulse transmitter.
  • the x-ray tube is to be replaced by pre-ionizing electrodes which are located in the laser chamber LK e.g. can be arranged as it is shown in simplified form in FIGS. 8 to 10.
  • auxiliary spark discharge path HE which has two sliding spark gaps HEI, HE2 is shown in dashed lines in FIG. These are installed within the laser discharge volume parallel to the optical axis 0-0 and at a distance from the surface of the laser electrodes E, E 2 , cf. also the cross section according to FIG. 9, which shows further details.
  • An inner conductor 8 for example made of copper, is introduced into a thin-walled tube 7 of high dielectric strength, for example A1 2 0, highly pure ceramic.
  • the tubes are chamfered at both ends and designed so that a narrowest gap between adjacent tubes runs in a straight line, the spark line.
  • the two flat laser electrodes E 1, E 2 made of corrosion-resistant stainless steel and the two housing cheeks 10 of the laser chamber LK, which are made of high-voltage-resistant ceramic, are connected to one another in a gas-tight manner together with end walls that cannot be seen.
  • the two sliding spark gaps HEI, HE2 are each arranged in a housing recess 11 between housing projections 12 so that the formation of spark channels to the laser electrodes E ,, E 2 is prevented.
  • a high-voltage bushing of the sliding spark gaps is indicated schematically as a rectangle at 13 in FIG.
  • the two electrodes 8, 9 of the sliding spark gaps are each bridged by a high-impedance impedance 14 and connected to the terminals 15a, 15b of the pulse transformer Tr by means of the common connecting lines 16, 17 which connect to the two sliding spark gaps Hei, HE2 into the individual lines 16.1 , 17.1 or 16.2, 17.2 split.
  • the voltage pulses on the secondary side of the pulse transformer Tr do not need to be as high as during the operation of the X-ray tube RR, which e.g. works with voltage pulses of 50 - 100 kV; voltage pulses of e.g. 25-30 kV.
  • the transformation ratio w - ⁇ / w «of the pulse transformer must be adjusted accordingly.
  • the voltage pulses applied to the electrodes 8, 9 in accordance with the repetition rate of the gas laser cause intensive light flashes in the UV range to form between the individual tubes 9 in the spark line, which pre-ionize the laser gas.
  • the pre-ionization elements are formed by pre-ionization rods VS, which are designated in detail with VS1 to VS4. They are connected in pairs to the potential terminal 18a (rods VS1, VS2) or to the potential glue 18b (rods VS3, VS4), and connecting lines (not shown) lead from these potential terminals to the connection terminals 15a, 15b of the pulse transformer Tr.
  • the enlarged cross section of the pre-ionization rod As the enlarged cross section of the pre-ionization rod, generally designated VS, shows, it consists of an inner conductor 19, for example of copper, and one of these Inner conductor enveloping dielectric 20 of preferably annular cross section Vietnamese ⁇ , for which, det verwen ⁇ as a material, in particular a high-purity ceramic, such as A1 2 0 ,, Ba, TiO, or SrTrO-.
  • these ends of the auxiliary electrodes VS are also suitably attached at their ends to end walls (not shown) of the laser chamber LK, in this case with a rollover distance (not shown) the laser electrodes E ,, E 2 as shown in principle in FIG.
  • the voltage pulses from the pulse transformer Tr which in this exemplary embodiment also need not be as high as in the case of X-ray preionization, there is sufficient, for example, 25 to 30 kV to the preionization rods VS, accompanied by a corona discharge Flashover between the dielectric 20 of the "auxiliary electrodes" and the adjacent laser electrodes E,,

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Description

Einrichtung zur Vorionisierung an entladungsgepumpten Gaslasern, insbesondere zur Röntgen-Vorionisierung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Vorionisie- rung an entladungsgepumpten Gaslasern, insbesondere zur Röntgen- Vorionisierung von Lasern der TE-Bauart, zur Erzeugung einer homogenen Glimmentladung im Gasraum der Laserkammer zwischen den Laser-Elektroden; dabei weist der Laser-Anregungskreis die folgenden Systemkomponenten auf:
A) Die genannte Laserkammer, innerhalb welcher wenigstens zwei der besagten Laser-Elektroden im Abstand einander gegenüber¬ stehen, sich mit ihren Elektrodenflachen parallel zur opti¬ schen Achse der Laserkammer erstrecken und bevorzugt einen in dieser Richtung ausgedehnten Vollquerschnitt aufweisen;
B) mindestens einen schnellen Hochspannungsschalter, durch dessen Aktivierung bzw. Zündung über ein pulserzeugendes Netzwerk Hochspannungsimpulse an den Laser-Elektroden er- zeugbar sind;
C) das genannte pulserzeugende Netzwerk, umfassend wenigstens erste und zweite Netzwerk-Kondensatoren und zugehörige Ersatzinduktivitäten des Anregungskreises, die sich ins- besondere aus der Eigeninduktivität des Hochspannungs¬ schalters, der Laserkammer, der Zuleitungen und der Netz¬ werk-Kondensatoren ergeben, und umfassend eine Hilfsschal¬ tung zur Erzeugung der Vorionisierungs-Hochspannungsimpulse zur Vorionisierung des Gasraumes der Laserkammer, bevor der an die Laser-Elektroden angelegte Hochspannungsimpuls die Zündschwelle der Laser-Glimmentladung erreicht. Eine solche Einrichtung ist durch die US-A-4 630 277 im wesentlichen bekannt.
Großvolumige Hochleistungslaser der gattungsgemäßen Aufbauform mit transversaler Anregung durch Kondensatorentladung benötigen zur Erzeugung einer lichtbogenfreien Entladung eine effiziente Vorionisierung.
Der Vorionisierungs-Strahlungsi puls, d.h. insbesondere der Ultra violettstrahlungs-(= UV)- oder Röntgenstrahlungsimpuls, muß je¬ weils zu einem definierten Zeitpunkt im frühen Stadium des Span¬ nungsanstiegs über den Elektroden der Laserkammer in das Ent¬ ladungsvolumen eingestrahlt werden. Die Erzeugung geeigneter UV- Strahlung über Hilfselektroden zur Vorionisierung ist in der Patentanmeldung DE-Al-30 35 730 beschrieben. Schaltungstechni¬ sche Maßnahmen zur Optimierung des genauen Vorionisierungszeit¬ punktes können der schon erwähnten US-A-4 630 277 entnommen werde
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Einrichtung gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 so auszubilden, daß sich der Zeit¬ punkt des Vσrionisierungs-Impulses, insbesondere eines Röntgen¬ strahlungsimpulses, in Relation zu der Spannungsanstiegszeit über den Laser-Elektroden exakt einstellen und auf die Anforde¬ rungen des speziellen Lasers abstimmen läßt.
Erfindungsgemäß wird. die gestellte Aufgabe bei einer Einrich¬ tung gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1 dadurch gelöst, daß die Hilfsschaltung aus einem zum Hochspannungsschalter oder zur Laser-Entladungsstrecke parallel geschalteten Zweig besteht, welcher als Schaltelement einen sättigbaren magneti¬ schen Induktor und in Reihe dazu die Primärwicklung eines Hoch- spannungs-Pulstransformators aufweist, an dessen Sekundärwick¬ lung die Hochspannungs-Zündimpulse für das Vorionisierungs- Element erzeugt werden, und daß im Falle der Schaltung des Zweiges parallel zum Hochspannungsschalter der Zweig eine
Serienkapazität und im Falle der Schaltung des Zweiges parallel zur Laser-Entladungsstrecke der Zweig eine Parallelkapazität aufweist. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprü- chen 2 bis 9 angegeben.
Erfindungsgemäß werden also sättigbare Induktoren als Schalt¬ elemente eingesetzt. Durch den Grad der Vormagnetisierung dieser sättigbaren Induktoren ist eine Feinjustierung des Ein- satzzeitpunktes der Vorionisierungs-I pulses, insbesondere
Röntgenimpulses, ermöglicht, und durch die Anordnung der Hilfs¬ schaltung mit ihrem Zweig entweder parallel zum Hochspannungs¬ schalter oder aber parallel zur Laser-Entladungsstrecke läßt sich eine weitere Justierung des Einsatzzeitpunktes vornehmen. Die beiden erwähnten Maßnahmen, nämlich zum einen die Anordnung des Zweiges und zum anderen der Grad der Vormagnetisierung können zu einer Optimierung bei der Einstellung des Einsatz¬ zeitpunktes des Vorionisierungs-Impulses einzeln oder kombiniert angewendet werden.
Wie in der Patentschrift DE-C2-29 32 781 ausführlich erläutert wird, kann die schnelle gepulste Kondensatorentladuπg durch eine sog. LC-Inversionsschaltung (Blümlein-Schaltung) oder aber durch eine Charge-Transfer-Schaltung erfolgen. Ebenso kann die sog. Inversions-Charge-Transfer-Schaltung (ICT-Schaltung) zur Anwendung kommen, wie sie in der DE-Al-33 23 614 beschrieben wird. In allen Fällen wird der Spannungsanstieg über den Laser- Elektroden durch Zünden eines oder mehrerer parallel geschalte¬ ter, schneller Schalter, wie z.B. Thyratrons, Funkenstrecken, eingeleitet.
Die hier als Gegenstand der Erfindung beschriebenen Schaltungen erlauben es, den Pulsgenerator für das Vorionisierungs-Element, insbesondere eine Röntgenröhre, direkt aus dem pulserzeugenden Netzwerk zur Laseranregung ohne zusätzliches aktives Schalte¬ element zu betreiben. Zur Erzeugung des Hochspannuπgsimpulses wird ein sättigbarer Induktor in dem Entladekreis eingesetzt. Der Schaltzeitpunkt wird durch die Wahl des magnetischen Flusses des Induktors eingestellt. Durch eine Vormagnetisierung kann ein Feiπabgleich erfolgen. Bei großen Anregungsvolumina wird wegen der erforderlichen Eindringtiefe gemäß Anspruch 7 der Röntgen-Vorionisierung der Vorzug gegeben gegenüber UV- Vorionisierungsmethoden. Letztere sind bei kleinen bis mittleren Entladungsvolumina vorteilhaft und mit zwei bevorzugten Bei¬ spielen in Anspruch 8 und 9 angegeben.
Anhand der anliegenden Zeichnung, in der mehrere Ausführungs¬ beispiele einer Einrichtung nach der Erfindung dargestellt sind, sollen deren Aufbau und Wirkungsweise näher beschrieben werden. Es zeigen:
Fig. 1 einen Anregungskreis in LC-Inversionsschaltung mit Ab¬ griff eines Vorionisierungs-Strompfades vom Hochspannungs¬ anschluß des Schaltelementes;
Fig. 2 die gleiche Schaltung mit Abgriff des Vorionisierungs- Strompfades von der auf Hochspannung "springenden" Laserelektrode;
Fig. 3 eine Charge-Transfer-Schaltung mit Abgriff des Vorioni¬ sierungs-Strompfades vom Hochspannungsanschluß des Schaltelementes; Fig. 4 eine Charge-Transfer-Schaltung mit Abgriff des Vorioni¬ sierungs-Strompfades von der auf Hochspannung "springenden" Laserelektrode;
Fig. 5 eine Skizze, die darstellt, wie die Schaltung nach Fig. 1 in die Laseranregungsschaltung integriert wird; Fig. 6 die Abwandlung der Kondensatorbeläge im Ausschnitt für den Fall, daß die Schaltung nach Fig. 3 integriert wird;
Fig. 7 eine Skizze, die darstellt, wie die Schaltung nach Fig. 2 in die Laseranregungsschaltung integriert wird;
Fig. 8 eine Skizze, die darstellt, wie die Schaltung nach Fig. 4 in die Laseranregungsschaltung integriert wird; FIG 9 eine Einrichtung mit einer Hilfsfunken-Entladungsstreck als Vorionisierungs-Element und FIG 10 im Ausschnitt eine Einrichtung mit UV-Licht erzeu¬ genden Vorionisierungsstäben als Vorionisierungs-Ele- ment.
Die Einrichtung zur Röntgen-Vorionisierung nach Figur 1 besteht aus einem pulserzeugenden Netzwerk PEN 11 in LC-Inversionsschal- tung (bzw. Blümlein-Schaltung), an welches ausgangsseitig die Laserkammer LK mit ihren beiden Laser-Elektroden E,, E2 und der Ersatzinduktivität L2 - in Reihe zum zweiten Netzwerk-Konden¬ sator C2 zwischen diesem und der Masse-Schiene B - angeschlossen ist. Parallel zur Reihenschaltung LK-L2 liegt die Impedanz L, zwischen dem Kondensator-Belag 4 und der Masse-Schiene B. Die beschriebene Reihenparallelschaltung aus C2-L,-L2-LK ist parallel zum ersten Netzwerk-Kondensator C-, geschaltet, letzterer liegt parallel zur Reihenschaltung aus Schalterinduk¬ tivität L, und Hochspannungsschalter S. Die Hochspannungs-Lade- i pulse werden von einer Pulsaufladeeinheit PAE an den Schaltung punkt 7 zwischen L, und S gegeben, wie schematisch durch Strich- lierung angedeutet, und damit auf die Hochspannungsschiene HS. Die Masseverbindung der Pulsaufladeeinheit PAE ist nicht darge¬ stellt. Die Beläge der Netzwerk-Kondensatoren C,, C2 sind mit 1, 2 bzw. 3, 4 bezeichnet.
Die Hilfsschaltung zur Erzeugung der Vorionisierungs-Hochspannun i pulse besteht aus einem zum Hochspannungsschalter S parallel geschalteten Zweig ZI, welcher als Schaltelement einen sättig¬ baren magnetischen Induktor Ls und in Reihe dazu die Primärwick¬ lung w, eines Hochspannungs-Pulstransformators Tr aufweist, an dessen Sekundärwicklung w2 die Hochspannungs-Zündimpulse für die Röntgenröhre RR erzeugt werden, welch letztere an diese Se¬ kundärwicklung w2 angeschlossen ist. Die Primärwicklung des In¬ duktors Ls ist mit m-j, seine Vormagnetisierungswicklung mit VM bezeichnet, der Zweig ZI ist im dargestellten Falle der Parallel schaltung zum Hochspannungsschalter S mit einer Serienkapazität C, versehen, die zwischen dem oberen Ende der Wicklung m, und dem Schaltungspunkt 7 liegt. Stattdessen könnte der Zweig ZI auch masseseitig über eine Serienkapazität C,* mit den Belägen 5, 6 an die Masse-Schiene B angekoppelt und an den Schaltungs- punkt 7 galvanisch angeschlossen sein. Mit Un ist die Spannung der Pulsaufladeeinheit PAE bezeichnet.
Das zweite Ausführungsbeispiel nach Figur 2 unterscheidet sich vom ersten nach Figur 1 dadurch, daß der Zweig Z2 für die Vorionisierungs-Hilfsschaltung zur Laser-Entladungsstrecke E,-E2 parallelgeschaltet ist, wobei dieser Zweig Z2 eine Parallel-Kapazität C-, ' aufweist, welche parallelgeschaltet ist einerseits zur Serienschaltung m, und w-, und andererseits zur Serienschaltung aus L2 und LK. Das pulserzeugende Netzwerk ist hier mit PEN 12 bezeichnet.
Die Figuren 3 und 4, welche sich auf das dritte und vierte Aus¬ führungsbeispiel beziehen, zeigen eine Charge-Transfer-Schal¬ tung für das pulserzeugende Netzwerk PEN 21 (Fig. 3) und PEN 22 (Fig. 4). Der Vorionisierungs-Zweig ZI nach Figur 3 ist gleich¬ artig zu demjenigen nach Figur 1, der Vorionisierungszweig in Figur 4 ist ebenfalls mit Z2 bezeichnet und entspricht demjenigen nach Figur 2 bis auf die Tatsache, daß seine Parallelkapazität Z-, mit der Netzwerk-Kapazität C2' vereinigt ist.
Transformiert man die Schaltung nach Figur 1 in eine räumlich- schematische Anordnung nach Figur 5, und beachtet dabei, daß die Kondensator-Beläge in Figur 1 bei C, mit 1, 2, bei C2 mit 3, 4 und bei C,' mit 5, 6 bezeichnet sind, so kann man die Platten der einzelnen Teilstapel des sog. Wasserkondensators den
Kondensator-Belägen nach Figur 1 zuordnen. Da die Beläge 1 bis 4 der Kondensatoren C,, C2 nach Figur 1 auf viele Teilbeläge eines kompakten Wasserkondensators (der als Dielektrikum chemisch reines, aufbereitetes Wasser aufweist) in Gestalt axial aufein- ander folgender Teilstapel aufgeteilt sind, so sind in Figur 5 die Teilbeläge, die dem Kondensator-Belag 1 nach Fig. 1 ent- sprechen mit 1/1 bezeichnet, die Teilbeläge, die dem kombinier¬ ten Belag 2-3 der Kondensatoren C, und C2 entsprechen, mit 2/3 und die Teilbeläge, die dem Kondensator-Belag 4 nach Figur 1 entsprechen, mit 4/4. Die räumlich-sche atische Anordnung nach Figur 5 betrifft eine Anordnung der Kapazität C,* in Figur 1, die in letzterer gestrichelt dargestellt ist, wie es ein Ver¬ gleich ergibt. Naturgemäß kann eine Serienkapazität C, auch in der hochliegenden Leitung, wie es Figur 1 zeigt, angeordnet sein. PAE bedeutet Pulsaufladeeinheit, wie bereits erwähnt.
In Figur 5 ist noch eine Gleichstromversorgung GS zur Vor¬ magnetisierung dargestellt, die über ein Tiefpassfilter, be¬ stehend aus den beiden Induktivitäten L., Lς und den beiden Ka¬ pazitäten C , C5 an die Vormagnetisierungswicklung VM ange- schlössen ist. Im übrigen entsprechen sich die Bezugszeichen von Figur 5 und 1.
Figur 6 zeigt in einem Ausschnitt, wie die Kondensator-Teilbeläg angeordnet wären, wenn der räumlich-schematischen Darstellung nach Figur 5 anstelle der LC-Inversionsschaltung nach Figur 1 nun eine Charge-Transfer-Schaltung nach Figur 3 zugrundegelegt würde. Im Unterschied zu Figur 1 sind in Figur 3 die einzelnen B läge der Kondensatoren C2' und C, ' mit l1, 21, 3', 1 bezeichnet.
Dementsprechend sind die Teilbeläge nach Figur 6 mit l'/l1, 2'/3' 4'/4* bezeichnet.
Figur 7 zeigt die Transformation der Schaltung nach Figur 2 in eine räumlich-schematische Anordnung, wenn eine LC-Inversions- Schaltung des pulserzeugenden Netzwerkes PEN 12 zugrundegelegt wird und der Vorionisierungs-Zweig Z2 parallel zur Laserkammer LK geschaltet ist.
In beiden räumlich-schematischen Anordnungen nach Fig. 5 und nach Fig. 7 ist dem Vorionisierungs-Zweig ZI (Fig. 1) und Z2 (Fig. 2) jeweils ein Teilstapel aus dem Plattenstapel des Wasserkondensators zugeordnet, und dieser Teilstapel ist dann mit dem Pulstransformator Tr und dem sättigbaren Induktor LS verschaltet.
Fig. 8 zeigt die Transformation der Schaltung nach Fig. 4 in eine räumlich-schematische Anordnung, d.h., es handelt sich prinzipiell um eine Charge-Transfer-Schaltung für das puls¬ erzeugende Netzwerk PEN 22. Wie bereits erwähnt, braucht hier¬ bei keine gesonderte Kapazität C, bzw. C ' vorgesehen zu werden, weil die parallel zur Laser-Entladungsstrecke geschal¬ tete Kapazität C2' für den Vorionisierungs-Zweig Z22 mitbenutzt ist. Im übrigen ist der Aufbau der Anordnung nach Fig. 8 durch vergleichende Betrachtung von Fig. 4 und Fig. 8 und unter Berücksichtigung der zu Fig. 5 bis 7 gegebenen Erläuterungen leicht verständlich.
Der Pulstransformator ist insbesondere mit Flüssigdielektrikum und frei tragenden Wicklungen gemäß einer Patentanmeldung EP-A1-0 215 286 ausgebildet und wird in einer mit dem Schalter S gemeinsamen Kammer untergebracht.
Ebenso befindet sich der sättigbare Induktor in diesem mit flüssigem Dielektrikum durchströmten Raum.
Als Dielektrikum und Kühlmedium für den Schalter, den Transfor¬ mator und den sättigbaren Induktor wird vorzugsweise Transforma- torenöl verwendet. Für eine noch bessere Wärmeabfuhr werden dielektrische Flüssigkeiten aus durchfluorierten Kohlenwasser¬ stoffen verwendet. Das Dielektrikum für die gestapelte Konden- satorenanordnung ist vorzugsweise hochreines Wasser, Athylengly- kol, eine Mischung aus Sthylenglykol und Wasser oder Glyzerin.
Die mit flüssigem Dielektrikum aufgebaute Kondensatoranordnung, bestehend aus C^, C2 und C^, wird aus einer Pulsaufladeeinheit PAE innerhalb weniger Mikrosekunden auf eine Spannung U aufge¬ laden - siehe Figur 1 und 3. Die Funktionsweise der LC-Inversions- und Charge-Transfer-Schal¬ tung ist in der Patentanmeldung DE C2-29 32 781 und die der ICT-Schaltung in der Patentanmeldung DE-Al- 33 23 614 ausführ¬ lich beschrieben, so daß hier nur auf das Verhalten des Vor- ionisierungs-Strompfades eingegangen werden muß. ICT-Schaltung bedeutet Inversions-Charge-Transfer-Schaltung.
Auf die Erläuterung des Vorionisierungs-Schaltkreises in Kombina tion mit der ICT-Schaltung wird hier gänzlich verzichtet, da die Integration exakt wir bei der Charge-Transfer-Schaltung erfolgt. Durch Schließen des Schalters S wird in den Schaltungen nach Figur 1 und Figur 3 ein Spannungssprung an der Reihenschaltung aus dem Kondensator C3, dem sättigbaren Induktor L<- und dem Pulstransformator Tr erzeugt, m, ist die pri ärseitige Spule von Ls, VM dessen Vormagnetisierungs-Wicklung ; w, , w2 sind Pri¬ mär- bzw. Sekundärwicklung von Tr.
Der sättigbare Induktor Ls stellt für ein Zeitintervall Δt = N ' AFe ' Bs (N = Windungszahl, AF_ = Fläche des u
Magnetmaterials, Bs = Sättigungsinduktion) in dem er sich noch im ungesättigten Zustand befindet, eine hohe Impedanz dar, so daß die gesamte Spannung an der Reihenschaltung aus Ls und Tr abfällt.
Nach Ablauf des Zeitintervalls Δ t ist der Magnetkern gesättigt. Die Impedanz von Ls wird sprunghaft auf einen sehr niedrigen Wert reduziert. Dadurch kann sich der Kondensator C, durch die Primärwicklung des Pulsübertragers Tr entladen. Der hochtransfor- ierte Impuls wird der Röntgenröhre RR zugeführt.
Das Zeitintervall Δ t hängt ab von der angelegten Spannung U, der Sättigungsinduktion B- des Magnetmaterials, von der Windungs¬ zahl N und dem effektiven Querschnitt Ap des Magnetmaterials. Eine Feinjustierung der Verzögerungszeit Δ t wird dadurch er¬ reicht, daß der sättigbare Induktor mit einer zweiten Wicklung VM versehen wird, durch die ein Gleichstrom zur Vormagnetisierung fließt. Der beim "Durchschalten" des Kerns in der Vormagnetisie¬ rungswicklung VM induzierte Spannungsimpuls wird durch ein Tief¬ paßfilter TP (siehe Figuren 5, 7, 8) von der Gleichstromquelle GS ferngehalten.
Die Darstellungen Figuren 2 und 4 zeigen Laseranregungsschal¬ tungen, bei denen das Vorionisierungsnetzwerk parallel zur Laserkammer LK geschaltet ist.
Im Falle der Figur 4 (Charge-Transfer-Schaltung) und bei der nicht skizzierten ICT-Schaltung kann auf das Hinzufügen des Kondensators C, verzichtet werden, da ja der Kondensator C2' bereits parallel zur Laserkammer liegt. Nach Schließen des Schalters S beginnt in beiden Schaltungen die Spannung über den Laserelektroden anzusteigen. Der Kondensator C2' bzw. C,' wird aufgeladen.
Dadurch steigt auch die Spannung an der Reihenschaltung aus dem sättigbaren Induktor L<- und der Primärwicklung des Pulsübertra¬ gers Tr. Nach einem Zeitintervall Δ t wird auch hier der Magnetkern des sättigbaren Induktors gesättigt und seine Impe¬ danz ändert sich sprungartig von einem anfänglich hohen auf einen sehr niedrigen Restwert. Jetzt kann sich der Kondensator C ' bzw. C2' in die Primärwicklung des Pulsübertragers entladen.
Im Falle der Charge-Transfer-Schaltung (Fig. 4) entlädt sich nur ein Teil der Ladung von C2' über den Pulstransformator. Dieser wird so dimensioniert, daß er nach einer für die Vor- ionisierung optimalen Pulsdauer ebenfalls gesättigt wird und damit die Pulstransformation beendet. Der größte Teil der Ladung von C2' entlädt sich natürlich in die kurz nach dem Auftreten des Vorionisierungsimpulses durchbrechende Laser¬ kammer. Die Darstellungen Figur 5 bis 8 sollen deutlich machen, wie der für die Vorionisierungsschaltung erforderliche Kondensator C,*, C,, C, ' oder C2 in der gleichen Weise in die Laseranreguπgs- schaltung mit flüssigem Dielektrikum integriert wird wie auch die Kondensatoren C, und C2 bzw. C, ' , C2' , deren Stapelanordnung in der deutschen Patentschrift DE-C2-29 32 781 beschrieben ist. Ausgegangen ist in Figur 5 von der Schaltung des Kondensators C,* (gestrichelt dargestellt), welche gleichartig zu der ausgezogen dargestellten Schaltung des Kondensators C, ist.
Im Falle des Einsatzes der beschriebenen Einrichtung zur Vorioni¬ sierung des Entladungsvolumens der Laserkammer LK mittels UV-Licht ist die Röntgenröhre jeweils sinngemäß durch Vorioni¬ sierungselektroden zu ersetzen, welche in der Laserkammer LK z.B. so angeordnet sein können, wie es in Figur 8 bis 10 verein¬ facht dargestellt ist.
In Figur 8 ist gestrichelt die Anordnung einer Hilfsfunken-Ent¬ ladungsstrecke HE eingezeichnet, welche zwei Gleitfunkenstrecken HEI, HE2 aufweist. Diese sind innerhalb des Laser-Entladungsvolu¬ mens parallel zur optischen Achse 0-0 und mit Abstand zur Ober¬ fläche der Laser-Elektroden E,, E2 installiert, vgl. auch den Querschnitt nach Figur 9, welcher weitere Details zeigt. In ein dünnwandiges Rohr 7 hoher Spannungsfestigkeit, z.B. A120,-Keramik hochrein, wird ein Innenleiter 8, z.B. aus Kupfer, eingebracht. Über das Rohr 7 werden eine Vielzahl von Röhrchen oder Ringen 9, die in Figur 8 nur auf einer Teillänge dargestellt sind, aus einem leitenden und (bei Excimer-Lasern) aus einem halogen-be- ständigen Material, z.B. Edelstahl oder Kupfer, geschoben. Die Röhrchen sind an beiden Enden abgeschrägt und so ausgebildet, daß eine engste Spaltweite zwischen benachbarten Röhrchen in einer geraden Linie, der Funkenlinie, verläuft. Die beiden flachen Laserelektroden E-,, E2 aus korrosionsbeständigem Edel¬ stahl und die aus hochspannungsfester Keramik bestehenden beiden Gehäusewangen 10 der Laserkammer LK sind zusammen mit nicht ersichtlichen Stirnwänden gasdicht miteinander verbunden. Die beiden Gleitfunkenstrecken HEI, HE2 sind jeweils in einer Gehäusenische 11 zwischen Gehäusevorsprüngen 12 so angeordnet, daß die Ausbildung von Funkenkanälen zu den Laserelektroden E,, E2 verhindert wird.
In Figur 8 ist bei 13 eine Hochspannungsdurchführung der Gleit¬ funkenstrecken schematisch als Rechteck angedeutet und der besseren Übersicht wegen ein Stück der Gleitfunkenstrecke HE2 neben die Gleitfunkenstrecke HEI gezeichnet, obgleich sie ver- deckt wäre. Die beiden Elektroden 8, 9 der Gleitfunkenstrecken sind jeweils durch eine hochohmige Impedanz 14 überbrückt und an die Klemmen 15a, 15b des Pulstransformators Tr mittels der gemeinsamen Verbindungsleitungen 16, 17 angeschlossen, die sich auf die beiden Gleitfunkenstrecken Hei, HE2 in die Einzelleitun- gen 16.1, 17.1 bzw. 16.2, 17.2 aufteilen. Die Spannungsimpulse auf der Sekundärseite des Pulstransformators Tr brauchen nicht die Höhe wie beim Betrieb der Röntgenröhre RR zu haben, die z.B. mit Spannungsimpulsen von 50 - 100 kV arbeitet; es genügen Spannungsimpulse von z.B. 25 - 30 kV. Das Übersetzungsverhält- nis w-^/w« des Pulstransformators ist entsprechend anzupassen.
Die entsprechend der Wiederholrate des Gaslasers an die Elektro¬ den 8, 9 angelegte Spannungsimpulse bewirken, daß sich zwischen den einzelnen Röhrchen 9 in der Funkenlinie intensive Licht¬ blitze im UV-Bereich ausbilden, die das Lasergas vorionisieren.
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 10 werden die Vorionisierungs- Elemente durch Vorionisierungsstäbe VS gebildet, die im einzelnen mit VS1 bis VS4 bezeichnet sind. Sie sind paarweise an die Potentialklemme 18a (Stäbe VS1, VS2) bzw. an die Poten- tialkle me 18b (Stäbe VS3, VS4) angeschlossen, und von diesen Potentialklemmen führen (nicht dargestellte) Verbindungsleitun¬ gen zu den Anschlußklemmen 15a, 15b des Pulstransformators Tr.
Wie es der vergrößerte Querschnitt des allgemein mit VS bezeich- neten Vorionisierungsstabes verdeutlicht, besteht dieser aus einem Innenleiter 19, z.B. aus Kupfer, und aus einem diesen Innenleiter umhüllenden Dielektrikum 20 von vorzugsweise kreis¬ ringförmigem Querschnitt, für welches als Material insbesondere eine hochreine Keramik, z.B. A120,, Ba, TiO, oder SrTrO-, verwen¬ det ist. Ebenso wie die Hilfselektroden HEI, HE2 nach Figur 8 und 9 sind auch diese Hilfselektroden VS an ihren Enden auf ge¬ eignete Weise an (nicht dargestellten) Stirnwänden der Laser¬ kammer LK befestigt, in diesem Falle mit einem nicht näher be¬ zeichneten Überschlagabstand zu den Laserelektroden E,, E2 so wie in Figur 10 prinzipiell dargestellt. Bei Zuführung der Spannungsimpulse vom Pulstransformator Tr, die auch bei diesem Ausführungsbeispiel nicht so hoch wie bei der Röntgen-Vorioni¬ sierung zu sein brauchen - es sind z.B. 25 bis 30 kV ausreichend an die Vorionisierungsstäbe VS findet, begleitet von einer Korona-Entladung, ein Überschlag zwischen dem Dielektrikum 20 der "Hilfselektroden" und den benachbarten Laserelektroden E, ,
E2 statt, also zwischen VS1, VS2 und E, und zwischen VS3, VS4 uunndd EE22.. DDaass vvoonn ddeenn FFuunnkkeenn eemmiittttiieerrttee UV-Licht ionisiert das Lasergas zwischen den Laserelektroden.

Claims

Patentansprüche
1. Einrichtung zur Vorionisierung an entladungsgepumpten Gas¬ lasern, insbesondere zur Röntgen-Vorionisierung von Lasern der TE-Bauart, zur Erzeugung einer homogenen Glimmentladung im Gas¬ raum der Laserkammer zwischen den Laser-Elektroden; dabei weist der Laser-Anregungskreis die folgenden Systemkomponenten auf:
A) Die genannte Laserkammer, innerhalb welcher wenigstens zwei der besagten Laser-Elektroden im Abstand einander gegenüber¬ stehen, sich mit ihren Elektrodenflächen parallel zur opti¬ schen Achse der Laserkammer erstrecken und bevorzugt einen in dieser Richtung ausgedehnten Vollquerschnitt aufweisen;
B) mindestens einen schnellen Hochspannungsschalter, durch dessen Aktivierung bzw. Zündung über ein pulserzeugendes Netzwerk Hochspannungsimpulse an den Laser-Elektroden er¬ zeugbar sind;
C) das genannte pulserzeugende Netzwerk, umfassend wenigstens erste und zweite Netzwerk-Kondensatoren (C,, C2) und zugehörige Ersatzinduktivitäten (L, , L2) des Anregungs¬ kreises, die sich insbesondere aus der Eigeninduktivität des Hochspannungsschalters, der Laserkammer, der Zuleitun- gen und der Netzwerk-Kondensatoren ergeben, und umfassend eine Hilfsschaltung zur Erzeugung der Vorionisierungs- Hochspannungsimpulse zur Vorionisierung des Gasraumes der Laserkammer, bevor der an die Laser-Elektroden angelegte Hochspannungsimpuls die Zündschwelle der Laser-Glimmentladung erreicht, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Hilfs¬ schaltung aus einem zum Hochspannungsschalter (S) oder zur Laser- Entladungsstrecke (E,-E2) parallel geschalteten Zweig (ZI bzw.Z2) besteht, welcher als Schaltelement einen sättigbaren magneti- sehen Induktor (L ) und in Reihe dazu die Primärwicklung (w,) eines Hochspannungs-Pulstransformators (Tr) aufweist, an dessen Sekundärwicklung (w2) die Hochspannungs-Zündimpulse für das Vorionisierungs-Element (RR, VS bzw. HE) erzeugt werden, und daß im Falle der Schaltung des Zweiges (ZI) parallel zum Hoch- spannungsschalter (S) der Zweig eine Serienkapazität (C3) und im Falle der Schaltung des Zweiges (Z2) parallel zur Laser- Entladungsstrecke (E,-E2) der Zweig eine Parallelkapazität (C, ' bzw. C2' ) aufweist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der sättig¬ bare Induktor (L ) mit einer Vormagnetisierungswicklung (VM) versehen ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zwischen der zur Einspeisung des Gleichstroms in die Vormagnetisierungs¬ wicklung (VM) dienenden Gleichstromquelle (GS) und der Vormagne¬ tisierungswicklung (VM) ein Tiefpassfilter (TP) eingeschaltet ist
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß dem puls¬ erzeugenden Netzwerk (PEN 11, PEN 12) eine LC-Inversionsschal- tung (Blümlein-Schaltung) zugrundeliegt (Fig. 1, 2, 5, 7).
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß dem puls¬ erzeugenden Netzwerk (PEN 21, PEN 22) eine Charge-Transfer- Schaltung zugrundeliegt (Fig. 3, 4, 6, 8).
6. Einrichtung nach Anspruch 5, wobei der Zweig (Z2) parallel zur Laser-Entladungsstrecke (E,-E2) geschaltet ist, d a ¬ d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Parallel¬ kapazität (C-,1) des Zweiges (Z22) mit dem parallel zur Laser- Entladungsstrecke (E-,-E2) liegenden Ladekondensator (C2') vereinigt ist.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Vorioni¬ sierungs-Element eine Röntgenröhre (RR) ist, welche ihren Rönt¬ genstrahlungsimpuls in das Entladungsvolumen zwischen den Laser- elektroden (E,, E2) einstrahlt.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Vorioni¬ sierungs-Element Vorionisierungsstäbe (VS) umfaßt, welche nach dem Prinzip der Korona-Entladung arbeiten und UV-Licht erzeugen.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Vorioni¬ sierungs-Element eine Hilfsfunken-Entladungsstrecke (HE) umfaßt, durch deren Entladungsfunken ultraviolettes Licht erzeugbar ist.
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