EP0300932B1 - ELektronenquelle - Google Patents

ELektronenquelle Download PDF

Info

Publication number
EP0300932B1
EP0300932B1 EP88420256A EP88420256A EP0300932B1 EP 0300932 B1 EP0300932 B1 EP 0300932B1 EP 88420256 A EP88420256 A EP 88420256A EP 88420256 A EP88420256 A EP 88420256A EP 0300932 B1 EP0300932 B1 EP 0300932B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
anode
cathode
plasma
electron source
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP88420256A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0300932A1 (de
Inventor
Jacques Menet
Olivier De Gabrielli
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP0300932A1 publication Critical patent/EP0300932A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0300932B1 publication Critical patent/EP0300932B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02—Electron guns
    • H01J3/025—Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Claims (5)

1. Elektronenquelle, die in einer Niederdruckkammer eine Anode, eine Kathode und eine Vorrichtung zum Anlegen eines Magnetfeldes aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß
- die Kathode (K) von einem Äquipotentialhohlraum (10) gebildet ist, der eine Öffnung (11) auf der der Anode (A)zugewandten seite aufweist, und
- ein Magnetfeld parallel zur Anoden-/Kathodenrichtung in der Höhe der Öffnung angelegt wird.
2. Elektronenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck in der Kammer in der Größenordnung von einigen Zehntel Pascal liegt.
3. Elektronenquelle nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das zwischen Anode und Kathode angelegte elektrische Feld in der Größenordnung von einigen hundert Volt/cm liegt.
4. Elektronenquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld größer als einige Hundertstel Tesla ist.
5. Elektronenquelle naach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung ein sehr langer spalt ist.
EP88420256A 1987-07-22 1988-07-20 ELektronenquelle Expired - Lifetime EP0300932B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8710642A FR2618602B1 (fr) 1987-07-22 1987-07-22 Source d'electrons
FR8710642 1987-07-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0300932A1 EP0300932A1 (de) 1989-01-25
EP0300932B1 true EP0300932B1 (de) 1992-01-29

Family

ID=9353612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP88420256A Expired - Lifetime EP0300932B1 (de) 1987-07-22 1988-07-20 ELektronenquelle

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4886992A (de)
EP (1) EP0300932B1 (de)
JP (1) JPH01126598A (de)
DE (1) DE3868169D1 (de)
FR (1) FR2618602B1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2639756B1 (fr) * 1988-11-30 1994-05-13 Centre Nal Recherc Scientifique Source de vapeurs et d'ions
JP5378723B2 (ja) * 2007-07-27 2013-12-25 矢崎総業株式会社 電子線照射装置及び被覆電線の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1281964A (fr) * 1960-11-18 1962-01-19 Csf Nouvelle cathode à grand pouvoir émissif
US3381157A (en) * 1964-12-10 1968-04-30 United Aircraft Corp Annular hollow cathode discharge apparatus
JPS4928718A (de) * 1972-07-17 1974-03-14
JPS5349B2 (de) * 1972-07-19 1978-01-05
FR2498010A1 (fr) * 1981-01-12 1982-07-16 Kreindel July Source d'electrons et d'ions
US4633129A (en) * 1985-04-30 1986-12-30 International Business Machines Corporation Hollow cathode

Also Published As

Publication number Publication date
DE3868169D1 (de) 1992-03-12
EP0300932A1 (de) 1989-01-25
FR2618602A1 (fr) 1989-01-27
US4886992A (en) 1989-12-12
FR2618602B1 (fr) 1990-01-05
JPH01126598A (ja) 1989-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0200651B1 (de) Dreielektrodenionenquelle mit einer einzigen Hochfrequenzionisationskammer und mit multipolarer magnetischer Umschliessung
EP0112230A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von räumlich veränderbaren Teilchenstrahlen, Anwendung für das Gravieren und ionische Implantieren
FR2531570A1 (fr) Source d'ions negatifs et procede utilisant cette source pour reduire des electrons non voulus d'un flux de sortie
US5986387A (en) Transmission type electron multiplier and electron tube provided
EP0480518B1 (de) Elektronenquelle mit teilchenhaltender Anordnung
FR2461351A1 (fr) Source d'ions a plasma uhf
FR2660999A1 (fr) Manometre ameliore a ionisation pour pressions tres faibles.
EP0300932B1 (de) ELektronenquelle
EP0362947B1 (de) Mit einer multizellulären Ionenquelle mit magnetischem Einschluss versehene abgeschmolzene Neutronenröhre
EP0362946A1 (de) Die Rückbeschleunigung von Sekundärelektronen begrenzende Ionenextraktions- und -beschleunigungseinrichtung in einer abgeschmolzenen Hochflup-Neutronenröhre
EP0077738B1 (de) Ionenquelle mit Gasionisierungsraum mit Elektronenschwingungen
EP0295743B1 (de) Ionenquelle mit vier Elektroden
EP0362953A1 (de) Mit einer Ionenquelle mit elektrostatischem Einschluss versehene abgeschmolzene Neutronenröhre
EP0044239B1 (de) Bildverstärkerröhre mit Mikrokanälen und solch eine Röhre enthaltende Bildaufnahmeeinheit
EP2227819B1 (de) Elektronenpumpquelle, stromversorgungsverfahren für eine elektronenpumpquelle und verfahren zur steuerung einer elektronenpumpquelle
RU2299489C1 (ru) Ионный источник с холодным катодом
EP2311061B1 (de) Elektronenzyklotronresonanzionengenerator
US6005351A (en) Flat panel display device using thin diamond electron beam amplifier
EP0040126B1 (de) Elektronenkanone für konvergierenden Strahl
FR2777113A1 (fr) Canon a electrons de type "torche a electrons"
EP0362945A1 (de) Einrichtung zur Verbesserung der Penning-Ionenquelle in einer Neutronenröhre
EP0241362A1 (de) Vorrichtung, insbesondere Duoplasmatron, zur Ionisierung eines Gases und Verfahren zur Benutzung dieser Vorrichtung
FR2645676A1 (fr) Cathode possedant une surface d'emission secondaire amelioree et amplificateur a champ croise contenant une telle cathode
EP1397820B1 (de) Vorrichtung zur verstärkung einer abnormalen elektrischen entladung und system zur handhabung einer abnormalen elektrischen entladung mittels einer solchen vorrichtung
FR2647593A1 (fr) Piege a ions de faible energie

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE GB

17P Request for examination filed

Effective date: 19890707

17Q First examination report despatched

Effective date: 19910419

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE GB

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)
REF Corresponds to:

Ref document number: 3868169

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19920312

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: IF02

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20070704

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20070627

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20080719

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20080719