EP0213410A1 - Process for manufacturing a metallic work piece from an amorphous alloy with at least partly magnetic components - Google Patents

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EP0213410A1
EP0213410A1 EP86110624A EP86110624A EP0213410A1 EP 0213410 A1 EP0213410 A1 EP 0213410A1 EP 86110624 A EP86110624 A EP 86110624A EP 86110624 A EP86110624 A EP 86110624A EP 0213410 A1 EP0213410 A1 EP 0213410A1
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alloy components
alloy
intermediate product
components
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    • B22F2009/041Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from solid material, e.g. by crushing, grinding or milling by mechanical alloying, e.g. blending, milling

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a metallic body from an amorphous alloy, in particular from a metallic glass, in which - An intermediate product is formed from at least two powdery, at least partially magnetic components of the alloy by performing a compacting step in such a way that the alloy components in the intermediate product are each expanded in at least one dimension by at most 1 ⁇ m, and - The intermediate product is converted into the metallic body by means of a diffusion reaction at a predetermined elevated temperature.
  • Amorphous materials referred to as "metallic glasses” are generally known (cf., for example, "Zeitschrift für Metallischen”, volume 69, 1978, number 4, pages 212 to 220 or “Elektrotechnik und Maschinenbau", 97th year, September 1980, number 9, Pages 378 to 385).
  • These materials are generally special alloys which are to be produced from at least two predetermined starting elements or compounds, also referred to as alloy components, by means of special processes. Often the material of at least one of the elements or one of the connections is magnetic.
  • These special alloys have a glass-like, amorphous structure instead of a crystalline one and have a number of unusual properties or combinations of properties such as high wear and corrosion resistance, great hardness and tensile strength with good ductility as well as special magnetic properties.
  • microcrystalline materials with interesting properties can be produced (see, for example, DE-PS 28 34 425).
  • metallic glasses have generally been produced by rapid quenching from the melt (cf. also DE-OS 31 35 374 or 31 28 063). However, this method results in at least one dimension of the material produced being less than about 0.1 mm. For various uses, however, it would be desirable if metallic glasses of any shape and size were available.
  • a certain microstructure is also required, in that the alloy components involved are closely adjacent and each have very small dimensions below 1 ⁇ m in at least one dimension.
  • layer structures are particularly suitable, which can be produced, for example, by vapor deposition (cf., for example, the cited reference from “Phys.Rev.Letters", vol. 51).
  • layering of thin metal foils is also possible for this (cf., for example, "Proc. MRS Europe Meeting on Amorphous Metals and Non-Equilibrium Processing", ed. M. von Allmen, France, 1984, pages 135 to 140).
  • a corresponding layer-like structure can also be obtained by the process which can be found in the publication "View through the Economy” mentioned at the beginning.
  • metal alloys of the desired composition are first mixed as alloy components and then compacted into an intermediate product.
  • This intermediate product in which the alloy components are each expanded in at least one dimension by at most 1 ⁇ m, is subsequently converted into the desired metallic body with an amorphous structure by anomalous rapid diffusion at a predetermined elevated temperature.
  • a method which has been proposed with the unpublished DE patent application P 35 15 167.6 can be used for the large-scale production of metallic bodies with a relatively extensive shape and dimension from amorphous alloys, in particular using hard-to-deform or brittle alloy components.
  • a mixed powder is first produced by means of a grinding process known per se from the mostly crystalline powders of the starting elements or compounds representing the alloy components, the individual particles of which are built up approximately in layers from the starting elements or compounds.
  • the point in time at the end of the grinding process at which this structure of the mixed powder particles is present can be determined, for example, by experimental investigation of the particles, easily determine and thus determine.
  • This mixed powder produced in this way is then compacted and / or deformed in a further working step to form a compact intermediate product with the desired shape and size adapted to the body.
  • This compact intermediate product still consists of crystalline parts of the starting elements or compounds, the dimensions of which in at least one dimension are less than 1 ⁇ m or even less than 0.2 ⁇ m.
  • the intermediate product is then converted in a manner known per se into the desired metallic body made from the amorphous alloy or from the metallic glass.
  • the powder is compacted either by extrusion or by other shaping methods such as hammering.
  • This deformation causes a reduction in the individual layer thicknesses if the layers are parallel to the direction of deformation.
  • powder particles with layers arranged largely in parallel are obtained by the grinding process, the particles are not aligned during compacting, so that the arrangement of the individual layers is statistically distributed with respect to the direction of deformation.
  • layers that are perpendicular to the direction of deformation an increase in the layer thickness can even result during the deformation, whereas layers that are predominantly parallel to the direction of deformation become thinner during the deformation.
  • the statistically oriented alignment of the layers before the compacting may therefore lead to an increase in the bandwidth of the layer thicknesses after the deformation; that is, the deformation during the compacting is not used.
  • the object of the present invention is to design the method mentioned at the outset in such a way that, using at least one magnetic component, metallic bodies with a relatively extensive shape and dimension can be produced on an industrial scale from an amorphous or non-amorphous, crystalline alloy, in particular also difficult to deform and brittle alloy components are to be used and in the compacting step the individual layers are arranged parallel to a predetermined preferred direction, the later direction of deformation.
  • the advantages associated with this embodiment of the method can be seen in particular in the fact that the particles of the mixed powder align themselves in an applied magnetic field of sufficient strength so that their layer-like structures lie approximately parallel to the magnetic field.
  • the magnetic field is applied during the manufacturing process at least at a point in time at which the individual particles are still mobile, ie generally at least before the actual compacting step. Due to the special orientation of the individual layer-like structures of the mixed powder in the magnetic field, the result is that they become even thinner during the deformation, ie the deformation process for compacting is also used to further reduce the layer thicknesses. It is known that diffusion reactions between the particles are favored by correspondingly small layer thicknesses. This is particularly advantageous if an amorphous material is to be produced with the alloy components.
  • the invention is further explained below on the basis of the production of a body from a special metallic glass.
  • the at least two powdered alloy components do not necessarily all have to be metallic, but some of them can also be metalloids. However, at least one of these components must have magnetic properties. Generally the components will be crystalline; in special cases of the use of metalloids, however, amorphous powders such as e.g. can be provided from boron.
  • One of the alloy components A or B should consist of a magnetic material.
  • A can be, for example, magnetic Co and B can be non-magnetic Zr.
  • corresponding other components for the formation of known two- or multi-component amorphous or non-amorphous alloys can also be used as well.
  • powders of the two components A and B are first placed in a suitable grinding bowl together with hardened steel balls.
  • the size of the powder can be of any size, but a similar size distribution of both components involved is advantageous.
  • the body to be manufactured in powder is determined by the ratio of the two types of powder.
  • pure Co and Zr powders each with powder particle sizes of, for example, an average of approximately 40 ⁇ m each, can be introduced into a planetary ball mill (Fritsch brand: type "Pulverisette-5"), the steel balls of which each have a diameter of 10 mm. Varying the ball diameter and the number of balls causes any change in the grinding intensity.
  • the steel container of the mill is sealed under protective gas, for example under argon, and only opened again after the grinding process has ended. During the grinding process, the powders are then flattened, welded and divided again. A predetermined temperature level below the crystallization temperature of the amorphous material to be formed can advantageously be maintained.
  • the grinding process is achieved when the desired layer-like structure is reached, in which the layer-like regions generally have about 0.01 to 0.9 microns, preferably between 0.05 and 0.5 microns thick, canceled.
  • the size of the powder particles themselves is approximately 10 to 200 ⁇ m in diameter.
  • the predetermined point in time at which this desired structure of the powder particles is present can be determined, for example, by cutting the particles.
  • the powder particles are still mobile, they are exposed to a constant magnetic field according to the invention. They then align themselves in such a way that their layer-like structures lie parallel to the magnetic field.
  • the direction of the magnetic field is set so that it coincides with a later compaction direction.
  • the way in which the powder particles are magnetically aligned depends on the respective compaction method. If, for example, a so-called isostatic pressing is used, either in connection with a simultaneous diffusion annealing as hot isostatic pressing or to form a shaped body for further deformation by extrusion, hammering or the like, the mixed powder is first filled into a deformable form. Then, with shaking and tapping, the magnetic field is then applied parallel to the longitudinal axis of the mold. The field strength for this can be in the range between 0.1 and 1 T. After the powder particles are aligned with their individual layers parallel to the field direction, the magnetic field can be switched off, the mold closed and the isostatic pressing process started. Care should be taken to ensure that the compact is handled carefully so that the powder does not rearrange itself.
  • Another possibility is to first compress the powder in a uniaxial press to form a compact intermediate product or several tablet-like shaped pieces. After the preliminary product or the shaped pieces have been or have been sheathed, a further deformation step, such as Extrusion or hammering.
  • the magnetic field must be applied after filling the mixed powder into the press die before pressing.
  • the mixed powder can also be poured directly into a jacket, magnetically aligned and then extruded, hammered or otherwise deformed in the jacket to form a good compaction.
  • the inventive alignment of the powder particles produced is carried out in a magnetic field at a temperature T which lies between the two Curie temperatures, ie that: T c A ⁇ T ⁇ T c B if T c A ⁇ T c B is (otherwise vice versa).
  • the annealing temperature must in any case be below the crystallization temperature of the metallic glass in a known manner.
  • the metallic body present as the end product at the end of this process thus consists of an amorphous alloy with a thickness and shape which is predetermined by the compacting process and can therefore be chosen as desired.

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Abstract

Mit dem Verfahren ist ein metallischer Körper aus einer insbesondere amorphen Legierung herzustellen, wobei ein Zwischenprodukt aus mindestens zwei pulverförmigen, zu­mindest teilweise magnetischen Legierungskomponenten unter Vornahme eines Kompaktierungsschrittes ausge­bildet wird und dieses Zwischenprodukt in den metallischen Körper mittels einer Diffusionsreaktion umgewandelt wird. Mit dem Verfahren sollen Körper größerer Ausdehnung großtechnisch herzustellen sein, wobei insbesondere auch schwer verformbare oder spröde Legierungskomponenten zu verwenden sein sollen. Hierzu ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß aus den pulver­förmigen Legierungskomponenten mittels eines zu einem vorbestimmten Zeitpunkt zu beendenden Mahlprozesses ein kristallines Mischpulver mit Teilchen derart herge­stellt wird, daß diese jeweils zumindest weitgehend eine schichtähnliche Struktur aus den Legierungs­komponenten aufweisen, daß die Pulverteilchen zu­mindest im Zustand ihrer Beweglichkeit in einem Magnet­feld ausgerichtet werden und daß schließlich dieses Mischpulver zu dem Zwischenprodukt der gewünschten Form und Abmessung in dieser Richtung kompaktiert und ge­gebenenfalls noch weiter verformt wird. The method can be used to produce a metallic body from a particularly amorphous alloy, an intermediate product being formed from at least two powdery, at least partially magnetic alloy components by performing a compacting step and this intermediate product being converted into the metallic body by means of a diffusion reaction. The process is said to be able to produce bodies of larger expansion on an industrial scale, in particular also to use alloy components which are difficult to deform or brittle. For this purpose, it is provided according to the invention that a crystalline mixed powder with particles is produced from the powdery alloy components by means of a grinding process to be terminated at a predetermined time in such a way that they each have at least largely a layer-like structure made of the alloy components such that the powder particles are at least in their state of mobility be aligned with a magnetic field and that this mixed powder is finally compacted into the intermediate product of the desired shape and dimension in this direction and possibly further deformed.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Her­stellung eines metallischen Körpers aus einer amorphen Legierung, insbesondere aus einem metallischen Glas, bei welchem
- ein Zwischenprodukt aus mindestens zwei pulver­förmigen, zumindest teilweise magnetischen Komponen­ten der Legierung unter Vornahme eines Kompaktie­rungsschrittes so ausgebildet wird, daß die Legie­rungskomponenten in dem Zwischenprodukt jeweils in mindetens einer Dimension höchstens 1 µm ausgedehnt sind, und
- das Zwischenprodukt in den metallischen Körper mittels einer Diffusionsreaktion bei vorbestimmter erhöhter Temperatur umgewandelt wird.
The invention relates to a method for producing a metallic body from an amorphous alloy, in particular from a metallic glass, in which
- An intermediate product is formed from at least two powdery, at least partially magnetic components of the alloy by performing a compacting step in such a way that the alloy components in the intermediate product are each expanded in at least one dimension by at most 1 µm, and
- The intermediate product is converted into the metallic body by means of a diffusion reaction at a predetermined elevated temperature.

Ein derartiges Verfahren zur Herstellung einer amorphen Legierung ist z.B. in der "Frankfurter Zeitung: Blick durch die Wirtschaft" (Herausgeber: "Frankfurter Allgemeine Zeitung"), 27. Jahrgang, Nr. 23, 1.2.1984, Seite 5 bzw. in "Machine Design", Vol. 55, No. 25, 10.10.1983, Seite 8 angedeutet.Such a method for producing an amorphous alloy is e.g. in the "Frankfurter Zeitung: Blick durch die Wirtschaft" (publisher: "Frankfurter Allgemeine Zeitung"), 27th year, No. 23, 1.2.1984, page 5 and in "Machine Design", vol. 55, no. 25, 10.10.1983, page 8 indicated.

Als "metallische Gläser" bezeichnete amorphe Mate­rialien sind allgemein bekannt (vgl. z.B. "Zeitschrift für Metallkunde", Band 69, 1978, Heft 4, Seiten 212 bis 220 oder "Elektrotechnik und Maschinenbau", 97. Jahr­gang, September 1980, Heft 9, Seiten 378 bis 385). Bei diesen Materialien handelt es sich im allgemeinen um spezielle Legierungen, die aus mindestens zwei vor­bestimmten, auch als Legierungskomponenten bezeich­neten Ausgangselementen oder -verbindungen mittels be­sonderer Verfahren herzustellen sind. Häufig ist dabei das Material mindestens eines der Elemente oder einer der Verbindungen magnetisch. Diese speziellen Legie­rungen weisen anstelle eines kristallinen ein glas­artiges, amorphes Gefüge auf und besitzen eine Reihe von außergewöhnlichen Eigenschaften bzw. Eigenschafts­kombinationen wie z.B. hohe Verschleiß- und Korrosions­beständigkeit, große Härte und Zugfestigkeit bei gleichzeitiger guter Duktilität sowie besondere magnetische Eigenschaften. Außerdem lassen sich über den Umweg des amorphen Zustandes mikrokristalline Mate­rialien mit interessanten Eigenschaften herstellen (vgl. z.B. DE-PS 28 34 425).Amorphous materials referred to as "metallic glasses" are generally known (cf., for example, "Zeitschrift für Metallkunde", volume 69, 1978, number 4, pages 212 to 220 or "Elektrotechnik und Maschinenbau", 97th year, September 1980, number 9, Pages 378 to 385). At These materials are generally special alloys which are to be produced from at least two predetermined starting elements or compounds, also referred to as alloy components, by means of special processes. Often the material of at least one of the elements or one of the connections is magnetic. These special alloys have a glass-like, amorphous structure instead of a crystalline one and have a number of unusual properties or combinations of properties such as high wear and corrosion resistance, great hardness and tensile strength with good ductility as well as special magnetic properties. In addition, via the detour of the amorphous state, microcrystalline materials with interesting properties can be produced (see, for example, DE-PS 28 34 425).

Die Herstellung metallischer Gläser erfolgt bisher im allgemeinen durch schnelles Abschrecken aus der Schmelze (vgl. auch DE-OS 31 35 374 oder 31 28 063). Dieses Verfahren führt jedoch dazu, daß mindestens eine Dimension des hergestellten Materials kleiner als etwa 0,1 mm ist. Für verschiedene Abwendungen wäre es da­gegen wünschenswert, wenn metallische Gläser in be­liebiger Form und Abmessung zur Verfügung stünden.Up to now, metallic glasses have generally been produced by rapid quenching from the melt (cf. also DE-OS 31 35 374 or 31 28 063). However, this method results in at least one dimension of the material produced being less than about 0.1 mm. For various uses, however, it would be desirable if metallic glasses of any shape and size were available.

Ferner wurde vorgeschlagen, metallische Gläser statt durch schnelles Abschrecken durch eine spezielle Fest­körperreaktion herzustellen. Hierbei muß eine der Legierungskomponenten in die andere unterhalb der Kristallisationstemperatur des zu erzeugenden metallischen Glases schnell diffundieren, wobei die andere Komponente praktisch unbeweglich bleibt. Eine derartige Diffusionsreaktion wird im allgemeinen auch als anomale, schnelle Diffusion bezeichnet. Hierbei sind bestimmte energetische Voraussetzungen zu er­füllen (vgl. z.B. "Physical Review Letters", Vol. 51, No. 5, August 1983, Seiten 415 bis 418 oder "Journal of Non-Crystalline Solids", Vol. 61 und 62, 1984, Seiten 817 bis 822). So müssen die Legierungskomponenten exo­therm miteinander reagieren. Ferner wird auch eine be­stimmte Mikrostruktur benötigt, indem die beteiligten Legierungskomponenten eng benachbart sind und jeweils in mindestens einer Dimension sehr kleine Ausdehnungen unter 1 µm aufweisen. Dementsprechend sind insbesondere Schichtstrukturen geeignet, die beispielsweise durch Aufdampfen erzeugt werden können (vgl. z.B. die genannte Literaturstelle aus "Phys.Rev.Letters", Vol. 51). Daneben ist hierfür auch eine Schichtung von dünnen Metallfolien möglich (vgl. z.B. "Proc. MRS Europe Meeting on Amorphous Metals and Non-Equilibrium Processing", Hrsg. M. von Allmen, Strasbourg, 1984, Seiten 135 bis 140).It has also been proposed to produce metallic glasses by means of a special solid-state reaction instead of by rapid quenching. Here, one of the alloy components must diffuse rapidly into the other below the crystallization temperature of the metallic glass to be produced, the other component remaining practically immobile. Such a diffusion reaction is generally also referred to as anomalous, rapid diffusion. Certain energetic requirements must be met (cf., for example, "Physical Review Letters", Vol. 51, No. 5, August 1983, pages 415 to 418 or "Journal of Non-Crystalline Solids", Vol. 61 and 62, 1984, Pages 817 to 822). The alloy components must react exothermically with one another. Furthermore, a certain microstructure is also required, in that the alloy components involved are closely adjacent and each have very small dimensions below 1 μm in at least one dimension. Accordingly, layer structures are particularly suitable, which can be produced, for example, by vapor deposition (cf., for example, the cited reference from "Phys.Rev.Letters", vol. 51). In addition, layering of thin metal foils is also possible for this (cf., for example, "Proc. MRS Europe Meeting on Amorphous Metals and Non-Equilibrium Processing", ed. M. von Allmen, Strasbourg, 1984, pages 135 to 140).

Darüber hinaus kann eine entsprechende schichtähnliche Struktur auch nach dem Verfahren erhalten werden, das aus der eingangs genannten Veröffentlichung "Blick durch die Wirtschaft" zu entnehmen ist. Gemäß diesem Verfahren mischt man zunächst als Legierungskomponenten entsprechende Metallpulver der gewünschten Zusammen­setzung und kompaktiert diese dann zu einem Zwischen­produkt. Dieses Zwischenprodukt, in dem die Legie­rungskomponenten jeweils in mindestens einer Dimension höchstens 1 µm ausgedehnt sind, wird anschließend durch anomale schnelle Diffusion bei vorbestimmter erhöhter Temperatur in den gewünschten metallischen Körper mit amorphem Gefüge überführt.In addition, a corresponding layer-like structure can also be obtained by the process which can be found in the publication "View through the Economy" mentioned at the beginning. According to this process, metal alloys of the desired composition are first mixed as alloy components and then compacted into an intermediate product. This intermediate product, in which the alloy components are each expanded in at least one dimension by at most 1 μm, is subsequently converted into the desired metallic body with an amorphous structure by anomalous rapid diffusion at a predetermined elevated temperature.

Während bei dem erwähnten Aufdampfverfahren nur sehr dünne Gebilde zu erhalten sind, setzen die erwähnten beiden Verformungsverfahren eine gute Duktilität der beteiligten Legierungskomponenten voraus. Außerdem tritt bei dem bekannten Verfahren, bei dem von pulver­förmigen legierungskomponenten ausgegangen wird, die Schwierigkeit auf, daß die sich an der Oberfläche der Metallpulver befindlichen Oxidschichten durch die Ver­formung entfernt werden müssen und daß das sich bei der Kompaktierung und Verformung ergebende Gefüge sehr unregelmäßig ist. Betrachtet man außerdem technisch interessante Legierungen, so findet man, daß häufig eine der Legierungskomponenten schlecht oder praktisch nicht verformbar ist, wie z.B. Bor bei FeNiB oder Kobalt bei CoZr. Auch sind einige Komponenten nicht oder nur zu hohem Preis als Folie erhältlich wie z.B. Seltene Erdmetalle für amorphe Übergangsmetall-/Seltene-­Erden-Verbindungen.While only very thin structures can be obtained in the evaporation process mentioned, the two deformation processes mentioned assume good ductility of the alloy components involved. In addition, in the known method, in which powdery alloy components are used, there arises the difficulty that the oxide layers on the surface of the metal powder have to be removed by the deformation and that the structure resulting from the compacting and deformation is very irregular. If one also looks at technically interesting alloys, one finds that one of the alloy components is often poorly or practically not deformable, e.g. Boron at FeNiB or Cobalt at CoZr. Also, some components are not available as a film or only at a high price, e.g. Rare earth metals for amorphous transition metal / rare earth compounds.

Zur großtechnischen Herstellung von metallischen Kör­pern mit verhältnismäßig ausgedehnter Form und Ab­messung aus amorphen Legierungen, wobei insbesondere auch schwer verformbare oder spröde Legierungs­komponenten zu verwenden sind, kann ein Verfahren dienen, das mit der nicht-vorveröffentlichten DE-­Patentanmeldung P 35 15 167.6 vorgeschlagen wurde. Ge­mäß diesem Verfahren wird zunächst mittels eines an sich bekannten Mahlprozesses mit einer Pulvermühle aus den meistens kristallinen Pulvern der die Legierungs­komponenten darstellenden Ausgangselemente oder -ver­bindungen ein Mischpulver hergestellt, dessen einzelne Teilchen etwa schichtförmig aus den Ausgangselementen bzw. -verbindungen aufgebaut sind. Der Zeitpunkt zur Beendigung des Mahlprozesses, zu dem dieser Aufbau der Mischpulverteilchen vorliegt, läßt sich, z.B. durch experimentelle Untersuchung der Teilchen, ohne weiteres ermitteln und somit festlegen. Dieses so hergestellte Mischpulver wird dann in einem weiteren Arbeitsschritt zu einem kompakten Zwischenprodukt mit dem gewünschten Körper angepaßter Form und Abmessung kompaktiert und/­oder verformt. Dieses kompakte Zwischenprodukt besteht dabei noch aus kristallinen Teilen der Ausgangselemente oder -verbindungen, deren jeweilige Abmessungen in mindestens einer Dimension unter 1 µm oder sogar unter 0,2 µm liegen. In einer sich anschließenden Diffusions­glühung wird dann in an sich bekannter Weise das Zwi­schenprodukt in den gewünschten metallischen Körper aus der amorphen Legierung bzw. aus dem metallischen Glas umgewandelt.A method which has been proposed with the unpublished DE patent application P 35 15 167.6 can be used for the large-scale production of metallic bodies with a relatively extensive shape and dimension from amorphous alloys, in particular using hard-to-deform or brittle alloy components. According to this method, a mixed powder is first produced by means of a grinding process known per se from the mostly crystalline powders of the starting elements or compounds representing the alloy components, the individual particles of which are built up approximately in layers from the starting elements or compounds. The point in time at the end of the grinding process at which this structure of the mixed powder particles is present can be determined, for example, by experimental investigation of the particles, easily determine and thus determine. This mixed powder produced in this way is then compacted and / or deformed in a further working step to form a compact intermediate product with the desired shape and size adapted to the body. This compact intermediate product still consists of crystalline parts of the starting elements or compounds, the dimensions of which in at least one dimension are less than 1 μm or even less than 0.2 μm. In a subsequent diffusion annealing, the intermediate product is then converted in a manner known per se into the desired metallic body made from the amorphous alloy or from the metallic glass.

Bei diesem vorgeschlagenen Verfahren erfolgt die Kompaktierung des Pulvers entweder durch Strangpressen oder durch andere Verformungsmethoden wie z.B. Hämmern. Diese Verformung bewirkt eine Verkleinerung der individuellen Schichtdicken, wenn die Schichten parallel zur Verformungsrichtung liegen. Man erhält zwar durch den Mahlvorgang Pulverteilchen mit weit­gehend parallel angeordneten Schichten, doch bei der Kompaktierung erfolgt keine Ausrichtung der Teilchen, so daß die Anordnung der einzelnen Schichten bezüglich der Verformungsrichtung statistisch verteilt ist. Für Schichten die senkrecht zur Verformungsrichtung lie­gen, kann sich dann bei der Verformung sogar eine Vergrößerung der Schichtdicke ergeben, wogegen Schichten, die überwiegend parallel zur Verformungs­richtung liegen, beim Verformen dünner werden. Die statistisch orientierte Ausrichtung der Schichten vor dem Kompaktieren führt also gegebenenfalls zu einer Vergrößerung der Bandbreite der Schichtdicken nach der Verformung; d.h., die Verformung bei der Kompaktierung wird also nicht ausgenutzt.In this proposed method, the powder is compacted either by extrusion or by other shaping methods such as hammering. This deformation causes a reduction in the individual layer thicknesses if the layers are parallel to the direction of deformation. Although powder particles with layers arranged largely in parallel are obtained by the grinding process, the particles are not aligned during compacting, so that the arrangement of the individual layers is statistically distributed with respect to the direction of deformation. For layers that are perpendicular to the direction of deformation, an increase in the layer thickness can even result during the deformation, whereas layers that are predominantly parallel to the direction of deformation become thinner during the deformation. The statistically oriented alignment of the layers before the compacting may therefore lead to an increase in the bandwidth of the layer thicknesses after the deformation; that is, the deformation during the compacting is not used.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, das eingangs genannte Verfahren so auszugestalten, daß mit ihm unter Verwendung mindestens einer magnetischen Komponente metallische Körper mit verhältnismäßig ausgedehnter Form und Abmessung aus einer amorphen oder auch nicht­amorphen, kristallinen Legierung großtechnisch her­zustellen sind, wobei insbesondere auch schwer ver­formbare und spröde Legierungskomponenten zu verwenden sein sollen und wobei in dem Kompaktierungsschritt die einzelnen Schichten parallel zu einer vorbestimmten Vorzugsrichtung, der späteren Verformungsrichtung, angeordnet werden.The object of the present invention is to design the method mentioned at the outset in such a way that, using at least one magnetic component, metallic bodies with a relatively extensive shape and dimension can be produced on an industrial scale from an amorphous or non-amorphous, crystalline alloy, in particular also difficult to deform and brittle alloy components are to be used and in the compacting step the individual layers are arranged parallel to a predetermined preferred direction, the later direction of deformation.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Haupt­anspruch angegebenen Maßnahmen gelöst.This object is achieved with the measures specified in the main claim.

Die mit dieser Ausgestaltung des Verfahrens verbundenen Vorteile sind insbesondere darin zu sehen, daß sich die Teilchen des Mischpulvers in einem angelegten Magnet­feld hinreichender Stärke so ausrichten, daß ihre schichtähnlichen Strukturen etwa parallel zum Magnet­feld liegen. Das Magnetfeld wird dabei während des Her­stellungsverfahrens zumindest zu einem Zeitpunkt ange­legt, an dem die einzelnen Teilchen noch beweglich sind, d.h. im allgemeinen zumindest vor dem eigent­lichen Kompaktierungsschritt. Aufgrund der besonderen Ausrichtung der einzelnen schichtähnlichen Strukturen des Mischpulvers im Magnetfeld wird so erreicht, daß diese dann bei der Verformung noch dünner werden, d.h. also, der Verformungsprozeß zur Kompaktierung wird auch zu einer weiteren Verringerung der Schichtdicken ausgenutzt. Durch entsprechend geringe Schichtdicken werden bekanntlich Diffusionsreaktionen zwischen den Teilchen begünstigt. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn mit den Legierungskomponenten ein amorphes Material erzeugt werden soll.The advantages associated with this embodiment of the method can be seen in particular in the fact that the particles of the mixed powder align themselves in an applied magnetic field of sufficient strength so that their layer-like structures lie approximately parallel to the magnetic field. The magnetic field is applied during the manufacturing process at least at a point in time at which the individual particles are still mobile, ie generally at least before the actual compacting step. Due to the special orientation of the individual layer-like structures of the mixed powder in the magnetic field, the result is that they become even thinner during the deformation, ie the deformation process for compacting is also used to further reduce the layer thicknesses. It is known that diffusion reactions between the particles are favored by correspondingly small layer thicknesses. This is particularly advantageous if an amorphous material is to be produced with the alloy components.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous refinements of the method according to the invention emerge from the subclaims.

Die Erfindung wird nachfolgend noch weiter anhand der Herstellung eines Körpers aus einem besonderen metallischen Glas erläutert. Dabei brauchen die minde­stens zwei pulverförmigen Legierungskomponenten nicht alle unbedingt metallisch zu sein, sondern bei einzel­nen von ihnen kann es sich auch um Metalloide handeln. Jedoch muß mindestens eine dieser Komponenten magne­tische Eigenschaften aufweisen. Im allgemeinen werden die Komponenten kristallin sein; in speziellen Fällen der Verwendung von Metalloiden können jedoch auch amorphe Pulver wie z.B. aus Bor vorgesehen werden.The invention is further explained below on the basis of the production of a body from a special metallic glass. The at least two powdered alloy components do not necessarily all have to be metallic, but some of them can also be metalloids. However, at least one of these components must have magnetic properties. Generally the components will be crystalline; in special cases of the use of metalloids, however, amorphous powders such as e.g. can be provided from boron.

Das metallische Glas des herzustellenden Körpers soll eine mittlere, beispielsweise binäre Zusammensetzung AxBy aufweisen, wobei A und B die beispielsweise metallischen Ausgangselemente bzw. Legierungskompo­nenten sowie x und y Atom-% (mit x + y = 100) bedeuten. Eine der Legierungskomponenten A oder B sollen dabei aus einem magnetischen Material bestehen. Gemäß einem konkreten Ausführungsbeispiel kann es sich bei A z.B. um magnetisches Co und bei B um nicht-magnetisches Zr handeln. Daneben kann ebensogut auch von entsprechenden anderen Komponenten zur Ausbildung von bekannten zwei- ­oder mehrkomponentigen amorphen oder auch nicht­amorphen Legierungen ausgegangen werden. Gemäß dem angenommenen Ausführungsbeispiel einer binären Legie­rung werden zunächst Pulver der beiden Komponenten A und B zusammen mit gehärteten Stahlkugeln in einen geeigneten Mahlbecher gegeben. Die Größe der Pulver kann beliebig sein, eine ähnliche Größenverteilung beider beteiligter Komponenten ist jedoch vorteilhaft. Die resultierende atomare Konzentration des aus diesen Pulvern herzustellenden Körpers wird durch das Mengenverhältnis der beiden Pulversorten bestimmt.The metallic glass of the body to be produced should have an average, for example binary, composition A x B y , where A and B mean the metallic starting elements or alloy components as well as x and y atomic% (with x + y = 100). One of the alloy components A or B should consist of a magnetic material. According to a specific exemplary embodiment, A can be, for example, magnetic Co and B can be non-magnetic Zr. In addition, corresponding other components for the formation of known two- or multi-component amorphous or non-amorphous alloys can also be used as well. According to the assumed embodiment of a binary alloy, powders of the two components A and B are first placed in a suitable grinding bowl together with hardened steel balls. The size of the powder can be of any size, but a similar size distribution of both components involved is advantageous. The resulting atomic concentration of these The body to be manufactured in powder is determined by the ratio of the two types of powder.

Dementsprechend können zunächst reine Co- und Zr-Pulver mit Pulverpartikelgrößen von jeweils z.B. durch­schnittlich etwa 40 µm in eine Planetenkugelmühle (Marke Fritsch: Typ "Pulverisette-5") gegeben werden, deren Stahlkugeln Durchmesser von jeweils 10 mm auf­weisen. Eine Variation des Kugeldurchmesses und der Kugelanzahl bewirkt dabei eine beliebige Veränderung der Mahlintensität. Um eine Oberflächenoxidation der Teilchen zu verhindern, wird der Stahlbehälter der Mühle unter Schutzgas, beispielsweise unter Argon, verschlossen und erst nach Beendigung des Mahlprozesses wieder geöffnet. Während des Mahlvorganges werden dann die Pulver flachgedrückt, verschweißt und auch wieder geteilt. Dabei kann vorteilhaft ein vorbestimmtes Temperaturniveau unterhalb der Kristallisationstempe­ratur des zu bildenden amorphen Materials eingehalten werden. Gegebenenfalls lassen sich auch mehrere Tempe­raturstufen vorsehen bzw. kann ein entsprechendes Temperaturprogramm durchlaufen werden. Mit fortschrei­tender Mahldauer entstehen dann größere Pulverteilchen, die zumindest weitgehend eine schichtähnliche Struktur aufweisen, d.h. aus einer Vielzahl von alternierenden schichtähnlichen Bereichen der beteiligten Legie­rungskomponenten bestehen. Hierbei handelt es sich um eine Mikrostruktur, wie sie z.B. auch in der An­fangsphase eines bekannten Verfahrens zum mechanischen Legieren entsteht (vgl. z.B. "Scientific American", Vol. 234, 1976, Seiten 40 bis 48). Nach diesem be­kannten Verfahren können an sich auch amorphe Legierungen hergestellt werden (vgl. z.B. "Applied Physics Letters", Vol. 43, No. 11, 1.12.1973, Seiten 1017 bis 1019). Während jedoch bei dem bekannten Verfahren des mechanischen Legierens solange gemahlen wird, bis sich die vorerwähnte schichtähnliche Struktur wieder auflöst und eine echte Legierung entsteht, wird demgegenüber bei dem Verfahren nach der Erfindung der Mahlvorgang bei Erreichen der gewünschten schicht­ähnlichen Struktur, in der die schichtähnlichen Be­reiche im allgemeinen etwa 0,01 bis 0,9 µm, vorzugs­weise zwischen 0,05 und 0,5 µm dick sind, abgebrochen. Die Größe der Pulverteilchen selbst stellt sich auf etwa 10 bis 200 µm Durchmesser ein. Der vorbestimmte Zeitpunkt, an dem diese gewünschte Struktur der Pulverteilchen vorliegt, kann z.B. durch Schnitt­untersuchungen der Teilchen festgelegt werden. Am Ende des zu diesem Zeitpunkt abzubrechenden Mahlprozesses liegt somit ein Mischpulver vor, dessen Teilchen aus alternierenden dünnen, kristallinen, schichtähnlichen Bereichen bestehen, und daß somit noch eine ausrei­chende Beweglichkeit der Pulverteilchen in einem Magnetfeld und eine hinreichende Duktilität für einen schließlich durchzuführenden Kompaktierungsschritt aufweist.Accordingly, pure Co and Zr powders, each with powder particle sizes of, for example, an average of approximately 40 μm each, can be introduced into a planetary ball mill (Fritsch brand: type "Pulverisette-5"), the steel balls of which each have a diameter of 10 mm. Varying the ball diameter and the number of balls causes any change in the grinding intensity. In order to prevent surface oxidation of the particles, the steel container of the mill is sealed under protective gas, for example under argon, and only opened again after the grinding process has ended. During the grinding process, the powders are then flattened, welded and divided again. A predetermined temperature level below the crystallization temperature of the amorphous material to be formed can advantageously be maintained. If necessary, several temperature levels can also be provided or a corresponding temperature program can be run through. As the grinding time progresses, larger powder particles are then formed which at least largely have a layer-like structure, ie consist of a multiplicity of alternating layer-like regions of the alloy components involved. This is a microstructure of the type that also arises, for example, in the initial phase of a known method for mechanical alloying (cf., for example, "Scientific American", vol. 234, 1976, pages 40 to 48). According to this known method, amorphous alloys can also be produced per se (see, for example, "Applied Physics Letters", Vol. 43, No. 11, Dec. 1, 1973, pages 1017 to 1019). However, while in the known Process of mechanical alloying is milled until the aforementioned layer-like structure dissolves again and a real alloy is formed, on the other hand, in the method according to the invention, the grinding process is achieved when the desired layer-like structure is reached, in which the layer-like regions generally have about 0.01 to 0.9 microns, preferably between 0.05 and 0.5 microns thick, canceled. The size of the powder particles themselves is approximately 10 to 200 μm in diameter. The predetermined point in time at which this desired structure of the powder particles is present can be determined, for example, by cutting the particles. At the end of the grinding process to be terminated at this point in time, there is a mixed powder, the particles of which consist of alternating thin, crystalline, layer-like areas, and which therefore still has sufficient mobility of the powder particles in a magnetic field and sufficient ductility for a compacting step that is finally to be carried out.

Solange die Pulverteilchen noch beweglich sind, wer­den diese also erfindungsgemäß einem magnetischen Gleichfeld ausgesetzt. Sie richten sich dann so aus, daß ihre schichtähnlichen Strukturen parallel zu dem Magnetfeld liegen. Die Magnetfeldrichtung wird dabei so gelegt, daß sie mit einer späteren Kompaktierungsrich­tung übereinstimmt.As long as the powder particles are still mobile, they are exposed to a constant magnetic field according to the invention. They then align themselves in such a way that their layer-like structures lie parallel to the magnetic field. The direction of the magnetic field is set so that it coincides with a later compaction direction.

Die Art und Weise wie die magnetische Ausrichtung der Pulverteilchen erfolgt, richtet sich nach der je­weiligen Kompaktierungsmethode. Wird z.B. ein soge­nanntes isostatisches Pressen angewandt, entweder in Verbindung mit einer gleichzeitigen Diffusionsglühung als heißisostatisches Pressen oder zur Bildung eines Formkörpers zur weiteren Verformung durch Strang­pressen, Hämmern oder ähnlichem, so wird zunächst das Mischpulver in eine verformbare Form eingefüllt. An­schließend wird dann eventuell unter Rütteln und Klopfen, das magnetische Feld parallel zur Längsachse der Form angelegt. Die Feldstärke kann hierfür im Bereich zwischen 0,1 und 1 T liegen. Nachdem so die Pulverteilchen mit ihren einzelnen Schichten parallel zur Feldrichtung ausgerichtet sind, kann das Magnetfeld abgeschaltet, die Form verschlossen und der iso­statische Preßvorgang begonnen werden. Hierbei ist auf eine sorgfältige Handhabung des Preßlings zu achten, damit sich das Pulver nicht wieder umordnet.The way in which the powder particles are magnetically aligned depends on the respective compaction method. If, for example, a so-called isostatic pressing is used, either in connection with a simultaneous diffusion annealing as hot isostatic pressing or to form a shaped body for further deformation by extrusion, hammering or the like, the mixed powder is first filled into a deformable form. Then, with shaking and tapping, the magnetic field is then applied parallel to the longitudinal axis of the mold. The field strength for this can be in the range between 0.1 and 1 T. After the powder particles are aligned with their individual layers parallel to the field direction, the magnetic field can be switched off, the mold closed and the isostatic pressing process started. Care should be taken to ensure that the compact is handled carefully so that the powder does not rearrange itself.

Eine weitere Möglichkeit besteht darin, das Pulver zunächst in einer einachsigen Presse zu einem kompakten Vorprodukt bzw. zu mehreren tablettenartigen Form­stücken zusammenzupressen. Nachdem das Vorprodukt oder die Formstücke gegebenenfalls noch ummantelt wurde bzw. wurden, schließt sich noch ein weiterer Verformungs­schritt wie z.B. Strangpressen oder Hämmern an. Hierbei ist das Magnetfeld nach Einfüllen des Mischpulvers in die Preßmatrize vor dem Pressen anzulegen. Außerdem kann das Mischpulver auch direkt in einen Mantel ein­gefüllt, magnetisch ausgerichtet und anschließend im Mantel stranggepreßt, gehämmert oder anderweitig zu einer guten Verdichtung verformt werden.Another possibility is to first compress the powder in a uniaxial press to form a compact intermediate product or several tablet-like shaped pieces. After the preliminary product or the shaped pieces have been or have been sheathed, a further deformation step, such as Extrusion or hammering. The magnetic field must be applied after filling the mixed powder into the press die before pressing. In addition, the mixed powder can also be poured directly into a jacket, magnetically aligned and then extruded, hammered or otherwise deformed in the jacket to form a good compaction.

Bei dem gewählten Ausführungsbeispiel wurde davon aus­gegangen, daß nur eine der beiden Legierungskomponen­ten A oder B aus einem magnetischen Material besteht. Ebensogut können jedoch auch beide Komponenten magne­tisch sein. Dies bedeutet aber, daß im allgemeinen verschiedene Curie-Temperaturen Tc A bzw. Tc B der bei­ den Komponenten A und B vorliegen. In diesem Falle wird die erfindungsgemäße Ausrichtung der erstellten Pulver­teilchen in einem Magnetfeld bei einer Temperatur T vorgenommen, die zwischen den beiden Curie-Tempe­raturen liegt, d.h. daß gilt: Tc A <T<Tc B, falls Tc A <Tc B ist (ansonsten umgekehrt).In the selected embodiment, it was assumed that only one of the two alloy components A or B consists of a magnetic material. However, both components can equally well be magnetic. However, this means that in general different Curie temperatures T c A or T c B at components A and B are present. In this case, the inventive alignment of the powder particles produced is carried out in a magnetic field at a temperature T which lies between the two Curie temperatures, ie that: T c A <T <T c B if T c A <T c B is (otherwise vice versa).

Am Ende eines gegebenenfalls noch weiteren Formgebungs­schrittes liegt dann ein Zwischenprodukt des herzu­stellenden Körpers mit der gewünschten Form und Ab­messung vor. Anschließend erfolgt dann eine Wärmebe­handlung, bei der die für die Amorphisierung ver­antwortliche Interdiffusion der beteiligten Legie­rungskomponenten als Festkörperreaktion erfolgt. Diese Reaktion kann zwar gegebenenfalls als anomale, schnelle Diffusion in bekannter Weise ablaufen, wobei eine Legierungskomponente in die andere diffundiert. Es sind jedoch ebensogut auch andere Diffusionsreaktionen mit z.B. gegenseitige Eindiffusion der Komponenten möglich. Bei all diesen Reaktionen ist zu beachten, daß, je feiner das Gefüge ist, desto niedrigere Temperaturen und desto kürzere Glühzeiten für die vollständige Um­wandlung des Zwischenproduktes in den gewünschten Kör­per ausreichen. Für diese Festkörper-Diffusions­reaktion muß die Glühtemperatur auf jeden Fall in be­kannter Weise unterhalb der Kristallisationstemperatur des metallischen Glases liegen. Der am Ende dieses Ver­fahrens als Endprodukt vorliegende metallische Körper besteht somit aus einer amorphen Legierung mit durch das Kompaktierungsverfahren vorgegebener und deshalb weitgehend beliebig wählbarer Dicke und Form.At the end of a possibly further shaping step, there is then an intermediate product of the body to be produced with the desired shape and dimension. This is followed by a heat treatment in which the interdiffusion of the alloy components involved, which is responsible for the amorphization, takes place as a solid-state reaction. This reaction can optionally take place as an anomalous, rapid diffusion in a known manner, one alloy component diffusing into the other. However, other diffusion reactions with e.g. mutual diffusion of the components possible. In all of these reactions it should be noted that the finer the structure, the lower the temperatures and the shorter the annealing times are sufficient for the complete conversion of the intermediate into the desired body. For this solid-state diffusion reaction, the annealing temperature must in any case be below the crystallization temperature of the metallic glass in a known manner. The metallic body present as the end product at the end of this process thus consists of an amorphous alloy with a thickness and shape which is predetermined by the compacting process and can therefore be chosen as desired.

Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wurde davon ausge­gangen, daß ein Körper aus einem metallischen Glas her­ gestellt werden soll. Jedoch lassen sich mit diesem Verfahren ebensogut auch Körper aus kristallinen Mischpulver herstellen, die nach einer Diffusions­glühung nach wie vor kristallin sind. Gegebenenfalls kann der kristalline Zustand dieser Materialien auch über den Umweg eines nicht-kristallinen, amorphen Gefüges erreicht werden (vgl. z.B. "Applied Physics Letters", Vol. 44, No. 1, Januar 1984, Seiten 148 und 149).In the exemplary embodiment of the method according to the invention described above, it was assumed that a body was made from a metallic glass to be asked. However, this process can also be used to produce bodies from crystalline mixed powder which are still crystalline after diffusion annealing. If necessary, the crystalline state of these materials can also be achieved by a detour of a non-crystalline, amorphous structure (see, for example, "Applied Physics Letters", Vol. 44, No. 1, January 1984, pages 148 and 149).

Claims (17)

1. Verfahren zur Herstellung eines metallischen Kör­pers aus einer insbesondere amorphen Legierung, bei welchem Verfahren
- ein Zwischenprodukt aus mindestens zwei pulver­förmigen, zumindest teilweise magnetischen Kompo­nenten der Legierung unter Vornahme eines Kom­paktierungsschrittes so ausgebildet wird, daß die Legierungskomponente in dem Zwischenprodukt je­weils in mindestens einer Dimension höchstens 1 µm ausgedehnt sind und
- das Zwischenprodukt in den metallischen Körper mittels einer Diffusionsreaktion bei vorbestimmter erhöhter Temperatur umgewandelt wird,
dadurch gekennzeichnet,
- daß aus den pulverförmigen Legierungskomponenten mittels eines zu einem vorbestimmten Zeitpunkt zu beendenden Mahlprozesses ein kristallines Mischpulver mit Teilchen derart hergestellt wird, daß diese jeweils zumindest weitgehend eine schichtähnliche Struktur aus den Legierungskomponenten aufweisen,
- daß die Pulverteilchen zumindest im Zustand ihrer Beweglichkeit in einem Magnetfeld ausgerichtet werden
- und daß schließlich dieses Mischpulver zu dem Zwischenprodukt der gewünschten Form und Abmessung in dieser Richtung kompaktiert und gegebenenfalls noch weiter verformt wird.
1. A method for producing a metallic body from an amorphous alloy in particular, in which method
- An intermediate product is formed from at least two powdery, at least partially magnetic components of the alloy by performing a compacting step such that the alloy components in the intermediate product are each expanded in at least one dimension by at most 1 µm and
the intermediate product is converted into the metallic body by means of a diffusion reaction at a predetermined elevated temperature,
characterized by
that a crystalline mixed powder with particles is produced from the powdery alloy components by means of a grinding process to be ended at a predetermined point in time in such a way that they each have at least largely a layer-like structure made of the alloy components,
- That the powder particles are aligned at least in the state of their mobility in a magnetic field
- And that this mixed powder is finally compacted into the intermediate product of the desired shape and dimension in this direction and, if necessary, further deformed.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e­kennzeichnet, daß die Beendigung des Mahlprozesses experimentell mittels Untersuchung der Mischpulverteilchen bestimmt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the termination of the grinding process is determined experimentally by examining the mixed powder particles. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die pulverförmigen Legierungskomponenten unter Schutzgas zu dem Misch­pulver vermahlen werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the powdery alloy components are ground under protective gas to the mixed powder. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­durch gekennzeichnet, daß die Legierungskomponenten bei mindestens einer vorbe­stimmten Temperatur zu dem Mischpulver vermahlen wer­den.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the alloy components are ground to the mixed powder at at least one predetermined temperature. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­durch gekennzeichnet, daß die pulverförmigen Legierungskomponenten solange ver­mahlen werden, bis die etwa alternierenden, schicht­ähnlichen Bereiche in den Mischpulverteilchen Dicken zwischen 0,01 µm und 0,9 µm, vorzugsweise zwischen 0,05 µm und 0,5 µm aufweisen.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the powdery alloy components are ground until the alternating, layer-like areas in the mixed powder particles thicknesses between 0.01 microns and 0.9 microns, preferably between 0.05 microns and have 0.5 µm. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­durch gekennzeichnet, daß die pulverförmigen Legierungskomponenten zu Mischpulver­teilchen mit Teilchendurchmesseern zwischen etwa 10 und 200 µm, vorzugsweise etwa 20 und 100 µm vermahlen wer­den.6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the powdery alloy components are ground to mixed powder particles with particle diameters between about 10 and 200 microns, preferably about 20 and 100 microns. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­durch gekennzeichnet, daß die Mischpulverteilchen einem Magnetfeld der Stärke zwi­schen 0,1 und 1 Tesla ausgesetzt werden.7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the mixed powder particles are exposed to a magnetic field of strength between 0.1 and 1 Tesla. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­durch gekennzeichnet, daß das Mischpulver bei angelegtem Magnetfeld einer Rüttel­oder Klopfbehandlung unterzogen wird.8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the mixed powder is subjected to a vibrating or tapping treatment with an applied magnetic field. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­durch gekennzeichnet, daß das Mischpulver durch Hämmern oder Strangpressen zu dem Zwischenprodukt verformt wird.9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the mixed powder is deformed by hammering or extrusion to the intermediate product. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­durch gekennzeichnet, daß die Diffusionsreaktion nach dem letzten Kompaktierungs- ­bzw. Verformungsschritt vorgenommen wird.10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the diffusion reaction is carried out after the last compacting or deformation step. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­durch gekennzeichnet, daß die Diffusionsreaktion zugleich mit dem letzten Kompaktie­rungs- bzw. Verformungsschritt durchgeführt wird.11. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the diffusion reaction is carried out simultaneously with the last compacting or deformation step. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß zwei magnetische Legierungskomponenten (A und B) mit verschiedenen Curie-Temperaturen (Tc A bzw. Tc B) vor­gesehen werden und daß das Ausrichten der Pulverteilchen im Magnetfeld bei einer Temperatur (T) vorgenommen wird, die in dem Temperaturintervall zwischen den bei­den Curie-Temperauren (Tc A und Tc B) liegt.12. The method according to any one of claims 1 to 11, characterized in that two magnetic alloy components (A and B) with different Curie temperatures (T c A and T c B ) are provided and that the alignment of the powder particles in the magnetic field at one Temperature (T) is made, which lies in the temperature interval between the two Curie temperatures (T c A and T c B ). 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, da­durch gekennzeichnet, daß ein nicht-kristallines Gefüge des Zwischenproduktes durch eine vorbestimmte Glühbehandlung in ein mikro­kristallines Gefüge umgewandelt wird.13. The method according to any one of claims 1 to 12, characterized in that a non-crystalline structure of the intermediate product is converted into a microcrystalline structure by a predetermined annealing treatment. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da­durch gekennzeichnet, daß das Zwischenprodukt aus mindestens zwei kristallinen Legie­rungskomponenten gebildet wird.14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that the intermediate product is formed from at least two crystalline alloy components. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da­durch gekennzeichnet, daß neben mindestens einem metallischen Ausgangselement oder einer metallischen Ausgangsverbindung als der einen Legierungskomponente mindestens ein weiteres Aus­gangselement bzw. eine weitere Ausgangsverbindung als weitere Legierungskomponente vorgesehen wird, die ein Metalloid ist.15. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that in addition to at least one metallic starting element or a metallic starting compound as the one alloy component, at least one further starting element or another starting compound is provided as a further alloy component, which is a metalloid. 16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch ge­kennzeichnet, daß als Metalloid amorphes Bor vorgesehen wird.16. The method according to claim 15, characterized in that amorphous boron is provided as the metalloid. 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, da­durch gekennzeichnet , daß als mindestens eine Ausgangskomponente eine Verbindung oder Legierung aus mehreren Elementen vorgesehen wird.17. The method according to any one of claims 1 to 16, characterized in that a compound or alloy of several elements is provided as at least one starting component.
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