EP0093125A1 - Thin or thick layer technic voltage divider. - Google Patents

Thin or thick layer technic voltage divider.

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EP0093125A1
EP0093125A1 EP82903234A EP82903234A EP0093125A1 EP 0093125 A1 EP0093125 A1 EP 0093125A1 EP 82903234 A EP82903234 A EP 82903234A EP 82903234 A EP82903234 A EP 82903234A EP 0093125 A1 EP0093125 A1 EP 0093125A1
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EP
European Patent Office
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voltage divider
resistance
resistance region
region
tap
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EP82903234A
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Lothar Schmidt
Ulrich Goebel
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of EP0093125B1 publication Critical patent/EP0093125B1/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material

Definitions

  • the invention relates to a voltage divider according to the preamble of the main claim.
  • the voltage divider according to the invention with the characterizing features of the main claim has the advantage that a certain equipotential line can be selected on the pickup electrode of the tap by moving the change required for the adjustment in the second resistance area belonging to the tap, without the actual one thereby Voltage divider resistance and its potential distribution must be changed significantly.
  • a particularly advantageous type of change applied to the second resistance area for the purpose of comparison results from sub-claim 2. Further advantageous developments of the invention result from the further subclaims 3 to 12.
  • dependent claim 13 provides a second advantageous solution to the comparison problem stood with a single coherent voltage divider, which is also used as a tap.
  • FIG. 1 shows the basic variant of a voltage divider according to the invention implemented in thick-film technology in a top view
  • FIG. 2 shows the equivalent circuit diagram of the voltage divider shown in FIG. 1, Figure 3 to Figure 8 further variants of voltage dividers according to the invention executed in thick-film technology in plan view.
  • the voltage divider shown in Figures 1 and 2 contains a current-carrying ohmic voltage divider resistor R. (Fig. 2), which consists of a single coherent, layered design of the first resistance layer 10, a connecting conductor 11 serving for current supply and a connecting conductor 12 serving for current dissipation , wherein the connecting conductors 11 and 12 are formed as conductor tracks (Fig. 1).
  • the first resistance region 10 forms a rectangular region, the length of which is greater than the width.
  • the connecting conductors 11 and 12 are attached to the narrow sides of this rectangular region and overlap with the first resistance region 10 along these narrow sides.
  • a tap is also provided for tapping off the desired divider voltage.
  • This tap consists of a second resistance region 13, which is embodied in layer technology, and of a removal electrode 1 h attached to it, which is designed as a conductor track.
  • the two resistance regions 10 and 13 abut one another in a region 15 which is located on one of the two long sides of the resistance layer 10 in such a way that good electrical contact is established in this region 15 between these two resistance regions 10 and 13.
  • first laser or sandblast cut is made in the second resistance region 13 16 and a second laser or sandblast cut 17 are introduced.
  • the two cuts 16 and 17 run parallel to the long side of the first resistance region 10, that is to say cut the equipotential lines formed during operation of the voltage divider.
  • the two cuts 16 and 17 are carried out until the potential at the pick-up electrode 1 4 of the tap has reached the desired value.
  • the effective value of the resistance R 1 is influenced relatively strongly by the adjustment. If this effect interferes, the material of the second resistance region 13 is selected with a higher resistance than the material of the first resistance region 10, so that the effective voltage divider resistance formed by the first resistance region 10 and its potential distribution are not significantly changed by the adjustment.
  • FIG. 3 shows a second exemplary embodiment of a voltage divider according to the invention, in which one tap 13, 14 and one tap 13, 14 are attached to one of the two long sides of the first resistance region 10 and two taps 13, 14 to the other long side.
  • the adjustment is carried out in the same way as in the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2.
  • the first resistance region 10, as in the exemplary embodiments according to FIGS. 1 and 3, is formed as a rectangular rectangle.
  • the second resistance region 13, like the first resistance region 10, is designed in the form of a strip.
  • the second resistance area 13 runs parallel to the first resistance region 10 and is connected to the first resistance region 10 via a contact zone 15.
  • the contact zone 15 extends over the entire length of the first resistance region 10.
  • a laser or sandblast cut 16 is provided in the second resistance region 13, which runs parallel to the longitudinal direction of the two resistance regions 10, 13.
  • the removal electrode 1 4 for the divider voltage to be tapped is designed differently in the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6.
  • the depth of the laser cut 16 mainly determines the level of the divider voltage to be picked up at the removal electrode 14.
  • the divider voltage tapped at the take-off electrode 14 can be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 11 and 12.
  • the different selection of the geometry of the removal electrode 14 enables the adjustment characteristic curve to be adapted to the respective requirement.
  • the exemplary embodiment according to FIG. 7 is used to generate arbitrarily selectable, monotonous adjustment characteristic curves and to compensate the important linearities of a circuit.
  • This exemplary embodiment differs from the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6 in that the first resistance region 10 forming the ohmic voltage divider resistor R 1 deviates from the range of its first connecting conductor 11 widened to the area of its second connecting conductor 12.
  • the limitation of both resistance areas 10 and 13 is linear in the contact zone 15 and the second resistance area 13 is strip-shaped.
  • the laser cut 16 runs in the second counter Stand area 13 parallel to its longitudinal direction.
  • the second resistance region 13 extends over the full length of the first resistance region 10 and at the upper end a little further, a voltage between 0 and 100% of the voltage between the connecting conductors 11 and 12 can also be picked up at the take-off electrode 14 .
  • the entire voltage divider consists of a single resistance layer 110.
  • This resistance layer 110 also forms the current-carrying ohmic voltage divider resistor R .. and tap 114.
  • the resistance layer 110 has one for power supply and one for power dissipation, each with a connecting conductor 111, 112 connected area.
  • the connecting conductors 111, 112 can be designed as bond wires.
  • a cut 116 is made in the coherent resistance layer 110, which runs between the part of the layer forming the tap 114 and the region of this layer which serves to supply or discharge current, and so on is carried far until the potential at tap 1 14 has reached the desired value.
  • the divider voltage tapped at the tap 114 can also be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 111 and 112.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments described with reference to the drawing.
  • the two resistance regions 10 and 13 can form a single, coherent region if the two regions 10 and 13 consist of the same material. In this case, the contact zone 15 can be omitted.

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Abstract

On propose un diviseur de tension en technique à couches minces ou épaisses ajustable avec une résistance ohmique traversée par un courant et au moins un moyen de prélèvement de la tension partielle. La résistance ohmique contient une première zone de résistance (10) de diviseur de tension qui contient une zone d'arrivée de courant et une zone de sortie de courant munies chacune d'un conducteur (11, 12). Le dispositif de prélèvement est constitué par une deuxième zone de résistance (13) située entre les deux zones et connectée avec la première zone de résistance (10) ainsi que par une électrode de prélèvement (14). Dans cette deuxième zone de résistance (13) on aménage deux fentes (16, 17) qui traversent les lignes équipotentielles qui se forment lors du fonctionnement du diviseur et on les prolonge suffisamment pour que sur l'électrode (14) du dispositif de prélèvement le potentiel ait la valeur désirée (Fig. 1).We propose a voltage divider using an adjustable thin or thick film technique with an ohmic resistance through which a current flows and at least one means for sampling the partial voltage. The ohmic resistor contains a first voltage divider resistance region (10) which contains a current input region and a current output region each provided with a conductor (11, 12). The sampling device is constituted by a second resistance zone (13) located between the two zones and connected with the first resistance zone (10) as well as by a sampling electrode (14). In this second resistance zone (13) two slots (16, 17) are provided which cross the equipotential lines which are formed during the operation of the divider and they are extended sufficiently so that on the electrode (14) of the sampling device the potential has the desired value (Fig. 1).

Description

Spannungsteiler in Dünn- oder Dickschichttechnik Voltage divider in thin or thick film technology
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft einen Spannungsteiler nach der Gattung des Hauptanspruchs.The invention relates to a voltage divider according to the preamble of the main claim.
Es sind bereits in Dünn- oder Di cks chi chtte chnik aus geführte Spannungste iler bekannt, bei denen der stromdurchflos sene ohmsche Spannungsteilerwiderstand aus zwei durch eine Metallisierung verbundenen Einzel- widerständen besteht. Die Metallisierung bildet dabei gleichzeitig den zum Abgreifen der gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff. Diese Spannungsteiler haben aber den Nachteil, daß bei ihnen ein Abgleich des Teilerwiderstandes auf einen gewünschten Wert nur durch Erhöhen der Einzelwiderstände möglich ist, aus denen der Spannungsteilerwiderstand besteht, so daß dadurch der Gesamtwiderstand des Teilers und die Strom- und Potentialverteilung im Spannungsteilerwiderstand selbst mit verändert werden. Vorteile der ErfindungThere are already known in thin or thick chi chtte technology from voltage dividers in which the current-carrying ohmic voltage divider resistor consists of two individual resistors connected by a metallization. At the same time, the metallization forms the tap used to tap the desired divider voltage. However, these voltage dividers have the disadvantage that they can only be adjusted to a desired value by increasing the individual resistors that make up the voltage divider resistor, so that the total resistance of the divider and the current and potential distribution in the voltage divider resistor itself also change become. Advantages of the invention
Der erfindungsgemäße Spannungsteiler mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß durch das Verlegen der für den Abgleich erforderlichen Veränderung in das zum Abgriff gehörende zweite Widerstandsgebiet eine bestimmte Äq.uipotentiallinie an der Abnahmeelektrode des Abgriffs ausgewählt werden kann, ohne daß dadurch der eigentliche Spannungsteilerwiderstand und seine Potentialverteilung wesentlich verändert werden müssen. Eine besonders vorteilhafte Art der am zweiten Widerstandsgebiet zum Zwecke des Abgleichs angebrachten Veränderung ergibt sich aus dem Untefanspruch 2. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Unteransprüchen 3 bis 12. Der Uebenanspruch 13 liefert alternativ zum Anspruch 1 eine zweite vorteilhafte Lösung des Abgleichproblems mit einem einzigen zusammenhängenden Spannungsteilerwider stand, der zugleich als Abgriff mit herangezogen wird.The voltage divider according to the invention with the characterizing features of the main claim has the advantage that a certain equipotential line can be selected on the pickup electrode of the tap by moving the change required for the adjustment in the second resistance area belonging to the tap, without the actual one thereby Voltage divider resistance and its potential distribution must be changed significantly. A particularly advantageous type of change applied to the second resistance area for the purpose of comparison results from sub-claim 2. Further advantageous developments of the invention result from the further subclaims 3 to 12. As an alternative to claim 1, dependent claim 13 provides a second advantageous solution to the comparison problem stood with a single coherent voltage divider, which is also used as a tap.
Zeichnungdrawing
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Spannungsteilers sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:Embodiments of the voltage divider according to the invention are shown in the drawing and explained in more detail in the following description. Show it:
Figur 1 die Grundvariante eines in Dickschichttechnik ausgeführten erfindungsgemäßen Spannungsteilers in der Draufsicht,FIG. 1 shows the basic variant of a voltage divider according to the invention implemented in thick-film technology in a top view,
Figur 2 das Ersatzschaltbild des in Figur 1 gezeigten Spannungsteilers, Figur 3 bis Figur 8 weitere Varianten von in Dickschichttechnik ausgeführten erfindungsgemäßen Spannungsteilern in der Draufsicht.FIG. 2 shows the equivalent circuit diagram of the voltage divider shown in FIG. 1, Figure 3 to Figure 8 further variants of voltage dividers according to the invention executed in thick-film technology in plan view.
Beschreibung der ErfindungDescription of the invention
Der in den Figuren 1 und 2 dargestellte Spannungsteiler enthält einen stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand R. (Fig. 2), der aus einer einzigen zusammenhängenden, in Schichttechnik ausgeführten ersten Widerstandsschicht 10, einem zur Stromzufuhr dienenden Anschlußleiter 1 1 und einem zur Stromabfuhr dienenden Anschlußleiter 12 besteht, wobei die Anschlußleiter 11 und 12 als Leiterbahnen ausgebildet sind (Fig. 1). Das erste Widerstandsgebiet 10 bildet einen rechteck förmigen Bereich, dessen Länge größer als dessen Breite ist. Die Anschlußleiter 11 und 12 sind an den Schmalseiten dieses rechteckförmigen Bereichs angebracht und überlappen sich entlang diesen Schmalseiten mit dem ersten Widerstandsgebiet 10.The voltage divider shown in Figures 1 and 2 contains a current-carrying ohmic voltage divider resistor R. (Fig. 2), which consists of a single coherent, layered design of the first resistance layer 10, a connecting conductor 11 serving for current supply and a connecting conductor 12 serving for current dissipation , wherein the connecting conductors 11 and 12 are formed as conductor tracks (Fig. 1). The first resistance region 10 forms a rectangular region, the length of which is greater than the width. The connecting conductors 11 and 12 are attached to the narrow sides of this rectangular region and overlap with the first resistance region 10 along these narrow sides.
Ferner ist ein zum Abgreifen der gewünschten Teilerspannung dienender Abgriff vorgesehen. Dieser Abgriff besteht aus einem in Schichttechnik ausgeführten zweiten Widerstandsgebiet 13 und aus einer daran angebrachten Abnahmeelektrode 1 h , die als Leiterbahn ausgebildet ist. Die beiden Widerstandsgebiete 10 und 13 stoßen in einem Bereich 15, der sich an einer der beiden Längsseiten der Widerstandsschicht 10 befindet, derart aneinander, daß in diesem Bereich 15 zwischen diesen beiden Widerstandsgebieten 10 und 13 ein guter elektrischer Kontakt hergestellt wird.A tap is also provided for tapping off the desired divider voltage. This tap consists of a second resistance region 13, which is embodied in layer technology, and of a removal electrode 1 h attached to it, which is designed as a conductor track. The two resistance regions 10 and 13 abut one another in a region 15 which is located on one of the two long sides of the resistance layer 10 in such a way that good electrical contact is established in this region 15 between these two resistance regions 10 and 13.
Zum Abgleich des Spannungsteilers ist in das zweite Widerstandsgebiet 13 sin erster Laser- oder Sandstrahlschnitt 16 und ein zweiter Laser- oder Sandstrahlschnitt 17 eingebracht. Die beiden Schnitte 16 und 17 verlaufen parallel zur Längsseite des ersten Widerstandsgebiets 10, schneiden also die beim Betrieb des Spannungsteilers gebildeten Äquipotentiallinien. Die beiden Schnitte 16 und 17 werden beim Abgleich des Spannungsteilers R1, R2 so weit geführt, bis an der Abnahmeelektrode 1 4 des Abgriffs das Potential den gewünschten Wert erreicht hat.To adjust the voltage divider, first laser or sandblast cut is made in the second resistance region 13 16 and a second laser or sandblast cut 17 are introduced. The two cuts 16 and 17 run parallel to the long side of the first resistance region 10, that is to say cut the equipotential lines formed during operation of the voltage divider. When adjusting the voltage divider R 1 , R 2, the two cuts 16 and 17 are carried out until the potential at the pick-up electrode 1 4 of the tap has reached the desired value.
Wenn das Material des ersten Widerstandsgebiets 10 und das Material des zweiten Widerstandsgebiets 13 gleich s ind , wird der Ef fektivwert des Widerstandes R 1 dur ch den Abgleich relativ stark beeinflußt. Falls dieser Effekt stört, wird erfindungsgemäß das Material des zweiten Widerstandsgebiets 13 hochohmiger als das Material des ersten Widerstandsgebiets 10 gewählt, damit der durch das erste Widerstandsgebiet 10 gebildete wirksame Spannungsteilerwiderstand und seine Potentialverteilung durch den Abgleich nicht wesentlich verändert werden.If the material of the first resistance region 10 and the material of the second resistance region 13 are the same, the effective value of the resistance R 1 is influenced relatively strongly by the adjustment. If this effect interferes, the material of the second resistance region 13 is selected with a higher resistance than the material of the first resistance region 10, so that the effective voltage divider resistance formed by the first resistance region 10 and its potential distribution are not significantly changed by the adjustment.
In Figur 3 ist ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Spannungsteilers dargestellt, bei dem an einer der beiden Längsseiten des ersten Widerstandsgebiets 10 ein Abgriff 13, 1 4 und an der anderen Längsseite des ersten Widerstandsgebiets 10 zwei Abgriffe 13, 14 angebracht sind. Der Abgleich ist in der selben Weise ausgeführt wie beim Ausführungsbeispiel nach den Figuren 1 und 2.FIG. 3 shows a second exemplary embodiment of a voltage divider according to the invention, in which one tap 13, 14 and one tap 13, 14 are attached to one of the two long sides of the first resistance region 10 and two taps 13, 14 to the other long side. The adjustment is carried out in the same way as in the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2.
Bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 ist das erste Widerstandsgebiet 10 wie bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 1 und 3 als langge s trecktes Recht eck aus gebildet . Das zweite Widerstandsgebiet 13 ist wie das erste Widerstandsgebiet 10 streifenförmig ausgebildet. Das zweite Widerstandsgebiet 13 verläuft parallel zum ersten Widerstandsgebiet 10 und steht über eire Kontaktierzone 15 mit dem ersten Widerstandsgebiet 10 in Verbindung. Die Kontaktierzone 15 erstreckt sich dabei über die ganze Länge des ersten Widerstandsgebiets 10. Zum Abgleich ist im zweiten Widerstandsgebiet 13 ein Laseroder Sandstrahlschnitt 16 vorgesehen, der parallel zur Längsrichtung der beiden Widerstandsgebiete 10, 13 verläuft. Die Abnahmeelektrode 1 4 für die abzugreifende Teilerspannung ist bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 verschieden ausgebildet. Bei allen drei Ausführungsbeispielen bestimmt aber in der Hauptsache die Tiefe des Laserschnitts 16 die Höhe der an der Abnahmelektrode 14 abzugreifenden Teilerspannung. Die an der Abnahmeelektrode 14 abgenommene Teilerspannung kann dabei zwischen 0 und 100 % der an den Anschlußleitern 11 und 12 angelegten Spannung betragen. Bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 ermöglicht die verschiedene Wahl der Geometrie der Abnahmeelektrode 14 eine Anpassung der Abgleichkennlinie an den jeweiligen Bedarf.In the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6, the first resistance region 10, as in the exemplary embodiments according to FIGS. 1 and 3, is formed as a rectangular rectangle. The second resistance region 13, like the first resistance region 10, is designed in the form of a strip. The second resistance area 13 runs parallel to the first resistance region 10 and is connected to the first resistance region 10 via a contact zone 15. The contact zone 15 extends over the entire length of the first resistance region 10. For comparison, a laser or sandblast cut 16 is provided in the second resistance region 13, which runs parallel to the longitudinal direction of the two resistance regions 10, 13. The removal electrode 1 4 for the divider voltage to be tapped is designed differently in the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6. In all three exemplary embodiments, however, the depth of the laser cut 16 mainly determines the level of the divider voltage to be picked up at the removal electrode 14. The divider voltage tapped at the take-off electrode 14 can be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 11 and 12. In the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6, the different selection of the geometry of the removal electrode 14 enables the adjustment characteristic curve to be adapted to the respective requirement.
Zum Erzeugen beliebig wählbarer, monotoner Abgleichkennlinien und zum Ausgleich der Wichtlinearitäten einer Schaltung dient das Ausführungsbeispiel nach Figur 7. Dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4 bis 6 dadurch, daß sich das den ohmschen Spannungsteilerwiderstand R1 bildende erste Widerstandsgebiet 10 vom Bereich seines ersten Anschlußleiters 11 bis zum Bereich seines zweiten Anschlußleiters 12 verbreitert. Die Begrenzung beider Widerstandsgebiete 10 und 13 ist jedoch in der Kontaktier zone 15 geradlinig und das zweite Widerstandsgebiet 13 streifenförmig ausgebildet. Der Laserschnitt 16 verläuft im zweiten Wider Standsgebiet 13 parallel zu dessen Längsrichtung. Da auch hier das zweite Widerstandsgebiet 13 sich über die volle Länge des ersten Widerstandsgebiets 10 und am oberen Ende noch etwas darüber hinaus erstreckt, ist auch hier an der Abnahmeelektrode 14 eine Spannung zwischen 0 und 100 % der zwischen den Anschlußleitern 11 und 12 liegenden Spannung abgreifbar.The exemplary embodiment according to FIG. 7 is used to generate arbitrarily selectable, monotonous adjustment characteristic curves and to compensate the important linearities of a circuit. This exemplary embodiment differs from the exemplary embodiments according to FIGS. 4 to 6 in that the first resistance region 10 forming the ohmic voltage divider resistor R 1 deviates from the range of its first connecting conductor 11 widened to the area of its second connecting conductor 12. The limitation of both resistance areas 10 and 13 is linear in the contact zone 15 and the second resistance area 13 is strip-shaped. The laser cut 16 runs in the second counter Stand area 13 parallel to its longitudinal direction. Since here, too, the second resistance region 13 extends over the full length of the first resistance region 10 and at the upper end a little further, a voltage between 0 and 100% of the voltage between the connecting conductors 11 and 12 can also be picked up at the take-off electrode 14 .
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 8 besteht der gesamte Spannungsteiler aus einer einzigen Wider standsschicht 110. Diese Widerstandsschicht 110 bildet zugleich den stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand R.. und den Abgriff 114. Die Widerstandsschicht 110 weist einen zur Stromzufuhr und einen zur Stromabfuhr dienenden, mit je einem Anschlußleiter 111, 112 verbunden Bereich auf. Die Anschlußleiter 111, 112 können dabei als Bonddrähte ausgebildet sein. Zum Erzeugen einer Teilerspannung am Abgriff 114, der Bestandteil der Widerstandsschicht 110 ist, ist ein Schnitt 116 in die zusammenhängende Widerstandsschicht 110 eingebracht, der zwischen dem den Abgriff 114 bildenden Teil dieser Schicht und dem zur Stromzufuhr oder zur Stromabfuhr dienenden Bereich dieser Schicht verläuft und so weit geführt ist, bis am Abgriff 1 14 das Potential den gewünschten Wert erreicht hat. Die am Abgriff 114 abgenommene Teilerspannung kann je nach Tiefe des Laserschnitts 116 auch hier zwischen 0 und 100 % der an den Anschlußleitern 111 und 112 angelegten Spannung betragen. Die Erfindung ist nicht auf die anhand der Zeichnung beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Insbesondere können bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 1 und 3 bis 7 die beiden Widerstandsgebiete 10 und 13 ein einziges, zusammenhängendes Gebiet bilden, wenn die beiden Gebiete 10 und 13 aus demselben Material bestehen. In diesem Falle kann also die Kontaktiersone 15 entfallen. In the embodiment of Figure 8, the entire voltage divider consists of a single resistance layer 110. This resistance layer 110 also forms the current-carrying ohmic voltage divider resistor R .. and tap 114. The resistance layer 110 has one for power supply and one for power dissipation, each with a connecting conductor 111, 112 connected area. The connecting conductors 111, 112 can be designed as bond wires. To generate a divider voltage at the tap 114, which is a component of the resistance layer 110, a cut 116 is made in the coherent resistance layer 110, which runs between the part of the layer forming the tap 114 and the region of this layer which serves to supply or discharge current, and so on is carried far until the potential at tap 1 14 has reached the desired value. Depending on the depth of the laser cut 116, the divider voltage tapped at the tap 114 can also be between 0 and 100% of the voltage applied to the connecting conductors 111 and 112. The invention is not limited to the exemplary embodiments described with reference to the drawing. In particular, in the exemplary embodiments according to FIGS. 1 and 3 to 7, the two resistance regions 10 and 13 can form a single, coherent region if the two regions 10 and 13 consist of the same material. In this case, the contact zone 15 can be omitted.

Claims

Ansprüche Expectations
1. In Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik ausgeführter, abgleichbarer Spannungsteiler ( R 1 - R2) mit einem stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand und mit mindestens einem zum Abgreifen einer gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff, wobei der ohmsche Spannungsteilerwiderstand (R1) ein einziges, zusammenhängendes erstes enthält,1. In thin-film or thick-film technology, adjustable voltage divider (R 1 - R 2 ) with a current-carrying ohmic voltage divider resistor and with at least one tap for tapping a desired divider voltage, the ohmic voltage divider resistor (R 1 ) containing a single, coherent first,
Widerstandsgebiet (10) das einen zur Stromzufuhr und einen zur Stromabfuhr dienenden, mit je einem Anschlußleiter (11, 12) verbundenen Bereich aufweist, dadurch gekennzeic daß der Abgriff aus einem zwischen diesen beiden Bereichen mit dem ersten Widerstandsgebiet (10) in Verbindung stehenden zweiten Widerstandsgebiet (13) und aus einer daran angebrachten Abnahmeelektrode (14) besteht und daß an diesem zweiten Widerstandsgebiet (13) eine Veränderung derart angebracht ist, daß an der Abnahmeelektrode (14) des Abgriffs das Potential den gewünschten Wert aufweist. Resistance region (10) which has a region for the supply of current and a region for the purpose of current dissipation, each connected to a connecting conductor (11, 12), characterized in that the tap comprises a second resistance region connected between the two regions and the first resistance region (10) (13) and consists of a removal electrode (14) attached to it and that a change is attached to this second resistance region (13) in such a way that the removal electrode (14) of the tap has the potential of the desired value.
2. Spannungsteiler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die an dem zweiten Widerstandsgebiet (13) angebrachte Veränderung aus mindestens einem in diese Widerstandsschicht (13) eingebrachten Laserschnitt oder Sandstrahlschnitt (16, 17) besteht, der die beim Betrieb des Spannungsteilers (R1 , R2) gebildeten Äquipotentiallinien schneidet und so weit geführt ist, bis an der Abnahmeelektrode (14) des Abgriffs das Potential den gewünschten Wert erreicht hat2. Voltage divider according to claim 1, characterized in that the change applied to the second resistance region (13) consists of at least one laser cut or sandblast cut (16, 17) introduced into this resistance layer (13), which during operation of the voltage divider (R 1 , R 2 ) formed equipotential lines and is guided until the potential on the pick-up electrode (14) of the tap has reached the desired value
3. Spannungsteiler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Stromzufuhr bzw. zur Stromabfuhr dienenden Bereiche des ersten Widerstandsgebiets (10) einander gegenüberliegende Endabschnitte dieses Widerstandsgebiets (10) sind und daß die mit diesen Bereichen verbundenen Anschlußleiter (11, 12) Leiterbahnen sind.3. Voltage divider according to claim 1 or 2, characterized in that the regions of the first resistance region (10) serving for current supply or current discharge are opposite end sections of this resistance region (10) and that the connecting conductors (11, 12) connected to these regions are Are traces.
4. Spannungsteiler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit den Endabschnitten des ersten Widerstandsgebiets ( 10 ) verbundenen Leiterbahnen (11, 12) sich über diese ganzen Endabschnitte erstrecken.4. Voltage divider according to claim 3, characterized in that the conductor tracks (11, 12) connected to the end sections of the first resistance region (10) extend over these entire end sections.
5. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß. das Material des zweiten Widerstandsgebiets (13) hochohmiger als das Material des ersten Widerstandsgebieis (10) gewählt ist, um den wirksamen Spannungsteilerwiderstand (R1) des ersten Widerstandsgebiets (10) und seine Potentialverteilung durch den Abgleich nicht wesentlich zu verändern. 5. Voltage divider according to one of claims 1 to 4, characterized in that. the material of the second resistance region (13) is chosen to have a higher resistance than the material of the first resistance region (10) in order not to significantly change the effective voltage divider resistance (R 1 ) of the first resistance region (10) and its potential distribution by the adjustment.
6. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Widerstands- gebiet (10) und das zweite Widerstandsgebiet (13) aus verschiedenen Materialien bestehen und dadurch miteinander in Verbindung stehen, daß sie sich gegenseitig geringfügig überlappen.6. Voltage divider according to one of claims 1 to 5, characterized in that the first resistance region (10) and the second resistance region (13) consist of different materials and are thereby connected to each other that they overlap each other slightly.
7. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das den ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1) bildende erste Widerstands gebiet (10) einen von dem Bereich seines ersten Anschlußleiters (11) bis zum Bereich seines zweiten Anschlußleiters (12) sich erstreckenden, vorzugsweise rechteckig ausgebildeten Streifen bildet.7. Voltage divider according to one of claims 1 to 6, characterized in that the ohmic voltage divider resistor (R 1 ) forming the first resistance area (10) one from the area of its first connecting conductor (11) to the area of its second connecting conductor (12) extending, preferably rectangular strips.
8. Spannungsteiler nach Anspruch 7 mit mindestens einem Abgriff, dadurch gekennzeichnet, daß der mit dem ' ersten Widerstandsgebiet (10) in Verbindung stehende Bereich (15) des zweiten Widerstandsgebiets (13) jedes Abgriffs sich nur über einen Teil der Länge des ersten Widerstandsgebiets (10) erstreckt.8. A voltage divider according to claim 7 with at least one tap, characterized in that the area (15) of the second resistance area (13) of the tap, which is connected to the 'first resistance area (10), extends only over part of the length of the first resistance area ( 10) extends.
9. Spannungsteiler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß an jeder der beiden Längsseiten des ersten Widerstandsgebiets (10) mindestens ein Abgriff (13, 14) angebracht ist.9. A voltage divider according to claim 8, characterized in that at least one tap (13, 14) is attached to each of the two long sides of the first resistance region (10).
10. Spannungsteiler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Widerstandsgebiet (13) einen Streifen bildet, der über die ganze Länge des streifenförmigen ersten Widerstandsgebiets (10) mit diesem in Verbindung steht, und daß zum Abgleich ein Laseroder Sandstrahlschnitt (l6) im zweiten Widerstandsgebiet (13) vorgesehen ist, der parallel zur Längsrichtung des ersten Widerstands- gebiets (10) verläuft.10. A voltage divider according to claim 7, characterized in that the second resistance region (13) forms a strip which is connected to the strip-shaped first resistance region (10) over the entire length thereof, and in that a laser or sandblast cut (l6) is used for comparison second resistance region (13) is provided, which runs parallel to the longitudinal direction of the first resistance region (10).
11. Spannungsteiler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das den ohmschen Spannungsteilerwiderstand (R1) bildende erste Widerstandsgebiet (10) sich vom Bereich seines ersten Anschlußleiters (11) bis zum Bereich seines zweiten Anschlußleiters (12) in seiner Breite verändert.11. Voltage divider according to one of claims 1 to 6, characterized in that the ohmic voltage divider resistor (R 1 ) forming the first resistance region (10) from the region of its first connection conductor (11) to the region of its second connection conductor (12) in its width changed.
12. Spannungsteiler nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Widerstandsgebiet (10) an einer vom Bereich≤eines ersten Anschlußleit'ers ( 1.1 ) bis zum Be reichseines zweiten Anschlußleiters (12) reichenden Seite geradlinig begrenzt ist, daß das zweite Widerstandsgebiet (13) streifenförmig ausgebildet ist und entlang dieser ganzen Seite mit dem ersten Widerstandsgebiet (10) in Verbindung steht und daß zum Abgleich ein Schnitt (l6) im zweiten Widerstandsgebiet (13) vorgesehen ist, der parallel zu dessen Längsrichtung verläuft.12. A voltage divider according to claim 11, characterized in that the first resistance region (10) is rectilinearly limited on a side extending from the area of a first connecting conductor (1.1) to the area of its second connecting conductor (12), that the second resistance region ( 13) is in the form of a strip and is connected to the first resistance region (10) along this entire side and that a cut (16) is provided in the second resistance region (13) for comparison, which runs parallel to its longitudinal direction.
13. In Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik ausgeführter Spannungsteiler mit einem stromdurchflossenen ohmschen Spannungsteilerwiderstand ( R 1 ) und mit einem zum Abgreifen einer gewünschten Teilerspannung dienenden Abgriff (114), wobei der ohmsche Spannungsteilerwiderstand (R1) eine einzige zusammenhängende Widerstandsschicht (110) bildet, die einen zur Stromzufuhr und einen zur Stromabfuhr dienenden, mit je einem Anschlußleiter (111, 112) verbundenen Bereich aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Abgriff (114) Bestandteil der den13. Thin-film or thick-film technology voltage divider with a current-carrying ohmic voltage divider resistor (R 1 ) and with a tap (114) for tapping a desired divider voltage, the ohmic voltage divider resistor (R 1 ) forming a single coherent resistance layer (110), one for power supply and a serving for power dissipation, each with a connecting conductor (111, 112) connected area, since d characterized in that the tap (114) is part of the
Spannungsteilerwiderstand (R1 ) bildenden zusammenhängenden Widerstandsschicht (110) ist und daß zum Erzeugen einer Teilerspannung am Abgriff (114) ein Laser- oder Sandstrahlschnitt (116) in die zusammenhängende Widerstandsschicht (110) eingebracht ist, der zwischen dem den Abgriff (114 ) bildenden Teil dieser Schicht (110) und dem zur Stromzufuhr oder Stromabfuhr dienenden Bereich dieser Schicht (110) verläuft und so weit geführt ist, bis am Abgriff (114) das Potential den gewünschten Wert erreicht hat (Fig. 8). Voltage divider resistor (R 1 ) forming coherent resistance layer (110) and that to generate a divider voltage at the tap (114) is a laser or sandblast cut (116) is introduced into the coherent resistance layer (110), which runs between the part of this layer (110) forming the tap (114) and the region of this layer (110) which serves to supply or dissipate current and is guided until am Tap (114) the potential has reached the desired value (Fig. 8).
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