EP0035696B1 - He-gekühlte Kaltfläche und damit versehene Kryopumpe - Google Patents

He-gekühlte Kaltfläche und damit versehene Kryopumpe Download PDF

Info

Publication number
EP0035696B1
EP0035696B1 EP81101347A EP81101347A EP0035696B1 EP 0035696 B1 EP0035696 B1 EP 0035696B1 EP 81101347 A EP81101347 A EP 81101347A EP 81101347 A EP81101347 A EP 81101347A EP 0035696 B1 EP0035696 B1 EP 0035696B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
cold surface
double
reservoir
surface according
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
EP81101347A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0035696A3 (en
EP0035696A2 (de
Inventor
Johann Dr. Hemmerich
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Juelich GmbH
Original Assignee
Forschungszentrum Juelich GmbH
Kernforschungsanlage Juelich GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Forschungszentrum Juelich GmbH, Kernforschungsanlage Juelich GmbH filed Critical Forschungszentrum Juelich GmbH
Publication of EP0035696A2 publication Critical patent/EP0035696A2/de
Publication of EP0035696A3 publication Critical patent/EP0035696A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0035696B1 publication Critical patent/EP0035696B1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S417/00—Pumps
    • Y10S417/901—Cryogenic pumps

Definitions

  • the invention relates to a cold surface, in particular for cryopumps, formed by the cooled side (s) of a (double) wall which is at least partially filled or acted upon with liquid helium, and to a cryopump provided therewith.
  • the invention is therefore based on the object of significantly improving the economy of such He-cooled cold surfaces.
  • the cold surface of the type mentioned at the outset to achieve this object is essentially characterized in that the LHe-loaded (double) wall is designed as a double jacket for an LHe reservoir, which is separated from the double jacket by a heat-insulated, in particular evacuated, space and with it is connected via a valve-fitted LHe line that leads from the almost lowest point of the double jacket to the approximately lowest point of the reservoir.
  • the externally effective double jacket and the liquid helium reservoir enclosed by it are connected via a valve-provided connecting line at the low point or lower end, as a result of which liquid helium is rapidly withdrawn from the externally effective double wall into the reservoir is possible solely by appropriate pressure control without line losses. Refilling can also be carried out without loss.
  • both the enclosed reservoir and the double wall each have a gas outlet, which are connected in particular via a system for generating a pressure difference.
  • the wall loaded with liquid helium which is designed as a well heat-insulated or vacuum double jacket for the enclosed LHe reservoir, can be designed without gaps over its entire surface as a liquid helium-absorbing double wall, or else by a system of area-connected LHe filled or absorbing tubes are formed or only at the overall concept adapted places such.
  • the space between the outwardly acting LHe-loaded wall and the LHe reservoir enclosed by it can preferably have a cryosorbent specifically as a surface covering of the enclosed reservoir, whereby the negative pressure in the space can be reduced in a desired manner.
  • the attached figure shows a diagram for a cold surface according to the invention with an LHe container which is formed in a coherent manner over the entire surface.
  • the externally effective (double) wall 1 forms a double jacket for an LHe reservoir 2 enclosed by it, which is separated from the double jacket by a well-insulated, in particular evacuated, intermediate space 3.
  • a cryosorbent 4 may be provided as the outer skin on the surface of the reservoir 2.
  • a multilayer heat radiation shield 13 made of highly reflective foils surrounds the entire reservoir 2 in a visually tight manner in order to reduce the LHe losses of the reservoir due to heat radiation in the case of a warm cold surface, that is to say, for example, in the case of ventilation of the vacuum system (in which case LN2-Baffie12 and cold wall 1 are at ambient temperature warm up).
  • This type of thermal radiation insulation (usually referred to as super insulation) is often used for this purpose in cryosystems.
  • a connecting line 6 provided with a valve connects the lower ends of the reservoir and the double wall.
  • the connecting wall 5 can be used to fill or empty the externally active wall without thermal line losses.
  • An additional connecting line 7 leads from the upper end of the reservoir to the lower end of the double wall.
  • a valve is provided which is opened when driving cold and allows cold gas to be used for pre-cooling the double wall.
  • the entire arrangement is filled by an external liquid helium source via line 9.
  • Gas outlets 10 and 11 of the double wall or the reservoir can be connected to a control system, by means of which a pressure difference between rooms 1 and 2 required for the filling or emptying process is generated.
  • the entire arrangement serves in particular as the cold surface of a cryopump and is then surrounded by a gas-permeable heat radiation shield (LN z baffle) 12 which is at the liquid nitrogen temperature.
  • This heat radiation shield is preferably designed as specified in DE-A-29 07 055.
  • the refilling process can be quasi-continuous, whereby helium storage in the double wall itself is not necessary; this also minimizes helium losses due to rapid evaporation in the event of a vacuum break in the recipient to be accommodated in the cryopump.
  • This recipient can be ventilated without transferring the liquid helium back into an external reservoir.
  • the liquid helium remains in the internal reservoirs of the cryopumps.
  • the liquid helium can be returned from the double wall 1 into the reservoir 2, whereby the losses are reduced to that of a commercially available He-Dewar (0.5 l / day), regardless of the size of the cold surface , whereas systems of conventional design have standby losses of 0.5) /qm.h.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Kaltfläche, insbesondere für Kryopumpen, gebildet durch die gekühlte(n) Seite(n) einer zumindest teilweise mit flüssigem Helium gefüllten bzw. beaufschlagten (Doppel)-Wand sowie auf eine damit versehene Kryopumpe.
  • Beim Einsatz von Kryopumpsystemen herkömmlicher Bauart und großer Saugleistung ergeben sich in der Praxis folgende Probleme :
    • - Da Kryopumpen die gepumpten Gase nicht aus dem Rezipienten entfernen, sondern durch Kondensation oder Sorption an der Kaltfläche ausfrieren, entsteht beim Pumpen brennbarer Gase, beispielsweise Wasserstoff, die Gefahr der Bildung explosiver Gemische, wenn bei ausreichend hohem Gasinventar in der Pumpe der Vakuumbehälter belüftet wird. Dies kann beispielsweise auch ungewollt durch einen Betriebsunfall geschehen.
    • - Mit zunehmender Dicke der Kondensatschicht nimmt die Emissivität und damit der Kälteleistungsbedarf der Kaltfläche zu.
    • - Beim Pumpen des Wasserstoffisotops Tritium in zukünftigen Kernfusionsanlagen werden größere Mengen (0,1 bis 1 kg) an Kaltflächen gebunden und verursachen dort zusätzlich zur Explosionsgefahr die Gefahr einer Freisetzung größerer Mengen dieses gefährlichen Radionuklids.
  • Diese Probleme werden stark verringert bzw. vermieden, wenn die Kaltflächen der Kryopumpen relativ häufig abgetaut, d. h. von der Kondensatschicht befreit werden, wobei das freiwerdende Gas bei hohem Druck und hohem Durchsatz von einer Pumpe kleinen Saugvermögens (z. B. Turbomolekularpumpe) aus dem Rezipienten entfernt und in entsprechenden Aufbereitungsanlagen überführt wird. Dazu ist ein Erwärmen der Arbeitsfläche nach Entleerung des Flüssig-Heliums aus der Kaltfläche sowie allen übrigen Flüssig-Helium enthaltenden Leitungen und Vorratsbehältern, die mit dem Rezipienten vakuummäßig in Verbindung stehen, notwendig. Der damit verbundene zweimalige Transfer größerer Mengen Flüssig-Helium zwischen Pumpen und einem externen Reservoir ist zeitraubend und üblicherweise mit größeren Verlusten behaftet.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Wirtschaftlichkeit solcher He-gekühlten Kaltflächen wesentlich zu verbessern.
  • Die zur Lösung dieser Aufgabe erfindungsgemäß vorgesehene Kaltfläche der eingangs genannten Art ist im wesentlichen dadurch gekennzeichnet, daß die LHe-beaufschlagte (Doppel)-Wand als Doppelmantel für ein LHe-Reservoir ausgebildet ist, das vom Doppelmantel durch einen wärmeisolierten insbesondere evakuierten Zwischenraum getrennt und mit ihm über eine mit Ventil versehene LHe-Leitung verbunden ist, die vom annähernd tiefsten Punkt des Doppelmantels zum annähernd tiefsten Punkt des Reservoirs führt.
  • Bei dieser erfindungsgemäßen Kaltfläche hängen also der nach außen wirksame Doppelmantel und das von diesem umschlossene Flüssig-Helium-Reservoir nach Art der kommunizierenden Röhren über eine mit Ventil versehene Verbindungsleitung am Tiefpunkt oder unteren Ende zusammen, wodurch ein rascher Entzug von Flüssig-Helium aus der nach außen wirksamen Doppelwand in das Reservoir hinein allein durch eine entsprechende Druckregelung ohne Leitungsverluste möglich ist. Ebenso kann das erneute Befüllen verlustlos vorgenommen werden.
  • Besonders zweckmäßig für das Kaltfahren ist es, wenn eine zusätzliche mit Ventil versehene Verbindungsleitung vom oberen Ende des umschlossenen Flüssig-Helium-Reservoirs zum unteren Ende der Doppel-Wand hin vorgesehen ist, über die Helium-Kaltgas für die Vorkühlung der Doppelwand ausgenutzt werden kann, wodurch der Verbrauch an flüssigem Helium vermindert wird.
  • Vorzugsweise hat sowohl das umschlossene Reservoir als auch die Doppelwand je einen Gasauslaß, die insbesondere über ein System zur Erzeugung einer Druckdifferenz in Verbindung stehen.
  • Die mit Flüssig-Helium beaufschlagte Wand, die als gut wärmeisolierter bzw. Vakuumdoppelmantel für das umschlossene LHe-Reservoir ausgebildet ist, kann über ihre gesamte Oberfläche hinweg lückenlos als Flüssig-Helium aufnehmende Doppelwand ausgebildet sein oder aber durch ein System von flächenhaft miteinander verbundenen LHe-gefüllten oder -aufnehmenden Röhrchen gebildet werden oder auch nur an dem Gesamtkonzept angepaßten Stellen, wie z. B. einer zylindrischen Mantelfläche, als Behältnis ausgebildet sein.
  • Der Zwischenraum zwischen der nach außen wirksamen LHe-beaufschlagten Wand und dem von dieser umschlossenen LHe-Reservoir kann vorzugsweise ein Kryosorptionsmittel speziell als Oberflächenbelag des umschlossenen Reservoirs aufweisen, wodurch der Unterdruck im Zwischenraum in erwünschter Weise vermindert werden kann.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme auf die angefügte Zeichnung erläutert.
  • Die angefügte Figur zeigt ein Schema für eine erfindungsgemäße Kaltfläche mit über die gesamte Oberfläche zusammenhängend ausgebildeten LHe-Behältnis.
  • Wie aus der Zeichnung hervorgeht, bildet die nach außen wirksame (Doppel)-Wand 1 einen Doppelmantel für ein von diesem umschlossenes LHe-Reservoir 2, das vom Doppelmantel durch einen gut wärmeisolierten insbesondere evakuierten Zwichenraum 3 getrennt ist. Zur Verminderung des Drucks im Zwischenraum 3 kann vorzugsweise ein Kryosorptionsmittel 4 als Außenhaut an der Oberfläche des Reservoirs 2 vorgesehen sein. Ein Mehrlagen-Wärmestrahlungsschild 13 aus hochreflektierenden Folien umgibt optisch dicht das gesamte Reservoir 2 zur Verminderung der LHe-Verluste des Reservoirs infolge von Wärmestrahlung bei warmer Kaltfläche, d. h. zum Beispiel im Fall des Belüftens des Vakuumsystems (wobei sich LN2-Baffie12 und Kaltwand 1 auf Umgebungstemperatur aufwärmen). Diese Art der Wärmestrahlungsisolierung (üblicherweise als Superisolation bezeichnet) wird häufig zu diesem Zweck in Kryosystemen eingesetzt.
  • Eine mit Ventil versehene Verbindungsleitung 6 verbindet die unteren Enden von Reservoir und Doppelwand. Über diese Verbindungsleitung kann mit Hilfe des Ventils 5 je nach dem Vorzeichen der Druckdifferenz zwischen der Doppelwand 1 und dem Reservoir 2 eine Füllung oder Entleerung der nach außen wirksamen Wand ohne thermische Leitungsverluste vorgenommen werden.
  • Eine zusätzliche Verbindungsleitung 7 führt vom oberen Ende des Reservoirs zum unteren Ende der Doppelwand. In dieser Leitung 7 ist ein Ventil vorgesehen, das beim Kaltfahren geöffnet wird und eine Ausnutzung von Kaltgas zur Vorkühlung der Doppelwand zuläßt. Die gesamte Anordnung wird von einer äußeren Flüssig-Heliumquelle über die Leitung 9 gefüllt. Gasauslässe 10 und 11 der Doppelwand bzw. des Reservoirs können mit einem Steuersystem verbunden sein, mit dessen Hilfe eine für den Füll-oder Entleerungsvorgang erforderliche Druckdifferenz zwischen den Räumen 1 und 2 erzeugt wird.
  • Die gesamte Anordnung dient insbesondere als Kaltfläche einer Kryopumpe und ist dann von einem gasdurchlässigen Wärmestrahlungsschild (LNz-Baffle) 12 umgeben, der sich auf Flüssigstickstofftemperatur befindet. Dieser Wärmestrahlungsschild ist vorzugsweise wie in der DE-A-29 07 055 angegeben ausgebildet.
  • Beim Betrieb der vorstehend beschriebenen Anordnung ergeben sich, wiebereits angedeutet, folgende Vorteile :
  • Durch das praktisch verlustfreie Nachfüllen von 2 nach 1 kann der Nachfüllvorgang quasikontinuierlich sein, wodurch eine Helium-Bevorratung in der Doppelwand selbst entfällt ; damit werden auch Heliumverluste durch schnelles Verdampfen bei Vakuumeinbruch in dem die Kryopumpe aufzunehmenden Rezipienten minimalisiert.
  • Dieser Rezipient kann ohne Rücktransfer des Flüssig-Heliums in ein externes Reservoir belüftet werden. Das Flüssig-Helium verbleibt in den internen Reservoirs der Kryopumpen.
  • Im Standby-Betrieb kann das Flüssig-Helium aus der Doppelwand 1 in das Reservoir 2 zurückgeleitet werden, wodurch die Verluste auf die eines handelsüblichen He-Dewars (0,5 I/Tag) reduziert werden, und zwar ohne Rücksicht auf die Größe der Kaltfläche, wohingegen Systeme herkömmlicher Bauart Standby-Verluste von 0,5 )/qm.h aufweisen.

Claims (8)

1. Kaltfläche, insbesondere für Kryopumpen, gebildet durch die gekühlte(n) Seite(n) einer zumindest teilweise mit flüssigem Helium gefüllten bzw. beaufschlagten (Doppel)-Wand (1), dadurch gekennzeichnet, daß die LHe-beaufschlagte (Doppel)-Wand (1) als Doppelmantel für ein LHe-Reservoir (2) ausgebildet ist, das vom Doppelmantel durch einen wärmeisolierten insbesondere evakuierten Zwischenraum (3) getrennt und mit ihm über eine mit Ventil (5) versehene LHe-Leitung (6) verbunden ist, die vom annähernd tiefsten Punkt des Doppelmantels (1) zum annähernd tiefsten Punkt des Reservoirs (2) führt.
2. Kaltfläche nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine mit Ventil (8) versehene Verbindungsleitung (7) zwischen dem oberen Ende des LHe-Reservoirs (2) und dem unteren Ende der (Doppel)-Wand (1).
3. Kaltfläche nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen Gasauslaß (10) am oberen Ende der (Doppel)-Wand (1).
4. Kaltfläche nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Gasauslaß (11) am oberen Enden des Reservoirs (2).
5. Kaltfläche nach Ansprüche 3 und 4, gekennzeichnet durch eine äußere Verbindung der beiden Gasauslässe (10, 11) mit einem System zur Erzeugung einer Druckdifferenz.
6. Kaltfläche nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Kryosorptionsmittel (4) im Zwischenraum (3).
7. Kaltfläche nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Wärmestrahlungsschilde (13) im Zwischenraum (3).
8. Kryopumpe mit einer von flüssigem Kältemittel beaufschlagten Kaltfläche, die von einem Wärmestrahlungsschild (12) umgeben wird, gekennzeichnet durch eine Kaltfläche nach einem der vorangehenden Ansprüche.
EP81101347A 1980-03-04 1981-02-25 He-gekühlte Kaltfläche und damit versehene Kryopumpe Expired EP0035696B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3008128A DE3008128C2 (de) 1980-03-04 1980-03-04 Kryopumpe mit He-gekühlter Kaltfläche
DE3008128 1980-03-04

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0035696A2 EP0035696A2 (de) 1981-09-16
EP0035696A3 EP0035696A3 (en) 1981-09-30
EP0035696B1 true EP0035696B1 (de) 1983-08-24

Family

ID=6096143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP81101347A Expired EP0035696B1 (de) 1980-03-04 1981-02-25 He-gekühlte Kaltfläche und damit versehene Kryopumpe

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4364235A (de)
EP (1) EP0035696B1 (de)
JP (1) JPS56135767A (de)
DE (2) DE3008128C2 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4988014A (en) * 1989-02-04 1991-01-29 Air Products And Chemicals, Inc. Method and apparatus for storing cryogenic fluids
US7165408B2 (en) * 2004-02-19 2007-01-23 General Motors Corporation Method of operating a cryogenic liquid gas storage tank
DE102004011653A1 (de) * 2004-03-10 2005-09-29 Bayerische Motoren Werke Ag Druckbehälter für kondensierte Gase mit Kühlschild
CN113362970B (zh) * 2021-06-16 2023-10-27 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 一种用于nbi低温传输线的弹性绝缘绝热支撑

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1158531B (de) * 1959-08-24 1963-12-05 Thomson Houston Comp Francaise Kuehlvorrichtung, insbesondere fuer die Kuehlfalle bei Diffusionspumpen
US3144756A (en) * 1962-07-23 1964-08-18 Ion Physics Corp Vacuum system cooling trap
US3252652A (en) * 1963-01-24 1966-05-24 Bendix Balzers Vacuum Inc Process and apparatus for the production of high vacuums
FR1565487A (de) * 1968-02-09 1969-05-02
FR2146100B2 (de) * 1971-07-16 1974-03-29 Air Liquide

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56135767A (en) 1981-10-23
DE3008128C2 (de) 1983-10-20
DE3160776D1 (en) 1983-09-29
US4364235A (en) 1982-12-21
EP0035696A3 (en) 1981-09-30
EP0035696A2 (de) 1981-09-16
DE3008128A1 (de) 1981-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1287285B1 (de) Speicherbehälter für kryogenen treibstoff
DE2257984A1 (de) Speicherbehaelter fuer verfluessigten wasserstoff
DE102005007551B4 (de) Verfahren zum Betreiben eines Tieftemperatur-Flüssiggasspeichertanks
DE3318524A1 (de) Vakuumdichter fluid-transport-pipelineabschnitt
DE2429725B2 (de) Behaelter zum speichern und zum transport eines verfluessigten gases
DE2449129C3 (de) Kryostat
DE102005048714B4 (de) Gasdichter Behälter mit einer Diffusionssperrschicht aus Metallhydriden und Verfahren zur Herstellung desselben
WO2017186336A1 (de) Wasserstofftankstelle mit flüssigem wasserstoff
EP0035696B1 (de) He-gekühlte Kaltfläche und damit versehene Kryopumpe
DE10021681A1 (de) Energiespeichersystem, insbesondere System zum Speichern von Wasserstoff
EP3382411B1 (de) Kryostatanordnung mit einem halsrohr mit einer tragenden struktur und ein die tragende struktur umgebendes aussenrohr zur verringerung des kryogenverbrauchs
EP3495711B1 (de) Transportbehälter mit kühlbarem, thermischen schild
DE4041170C1 (en) Double-walled insulated container - incorporates metal woven band with shield made of aluminium
Motyka The replacement tritium facility
DE3600298A1 (de) Verfahren zum einbringen eines adsorptionsmittels
CH628959A5 (en) Cryopump with a fitted refrigerating machine
DE1814783B2 (de) Kryostat mit einer in einem Behälter für ein tiefsiedendes flüssiges Kühlmittel angeordneten Supraleitungsspule
WO1991019931A1 (de) Grossbehälter zur lagerung oder zum transport verflüssigter gase
DE2124915C2 (de) Vorratstank für Tieftemperaturflüssigkeiten
DE102015209028A1 (de) Kryogenes Druckbehältersystem
DE2047363A1 (en) Evaporated liquefied gas blanket - is utilised by feeding it directly to gas bottles
DE10259551A1 (de) Isolierbehälter
DE102021210616B3 (de) Kryogen-Speichersystem
AT502191B1 (de) Isolierung für gekühlte baueinheiten
WO2024088563A1 (de) Speicherbehälter und verfahren

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE FR GB

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE FR GB

17P Request for examination filed

Effective date: 19811020

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE FR GB LI

REF Corresponds to:

Ref document number: 3160776

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19830929

ET Fr: translation filed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 19840216

Year of fee payment: 4

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 19840430

Year of fee payment: 4

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19850305

Year of fee payment: 5

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19890225

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Effective date: 19890228

Ref country code: CH

Effective date: 19890228

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 19891027

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19891101

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST