DK3957774T3 - Fremgangsmåde og anlæg til trækning af et enkeltkrystal efter fz fremgangsmåden - Google Patents

Fremgangsmåde og anlæg til trækning af et enkeltkrystal efter fz fremgangsmåden Download PDF

Info

Publication number
DK3957774T3
DK3957774T3 DK20191715.0T DK20191715T DK3957774T3 DK 3957774 T3 DK3957774 T3 DK 3957774T3 DK 20191715 T DK20191715 T DK 20191715T DK 3957774 T3 DK3957774 T3 DK 3957774T3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
plant
single crystal
crystal according
crystal
Prior art date
Application number
DK20191715.0T
Other languages
English (en)
Inventor
Georg Brenninger
Götz Meisterernst
Original Assignee
Siltronic Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siltronic Ag filed Critical Siltronic Ag
Application granted granted Critical
Publication of DK3957774T3 publication Critical patent/DK3957774T3/da

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/16—Heating of the molten zone
    • C30B13/20—Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/16—Heating of the molten zone
    • C30B13/22—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
    • C30B13/24—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge using electromagnetic waves
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02—Elements
    • C30B29/06—Silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
DK20191715.0T 2020-08-19 2020-08-19 Fremgangsmåde og anlæg til trækning af et enkeltkrystal efter fz fremgangsmåden DK3957774T3 (da)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP20191715.0A EP3957774B1 (de) 2020-08-19 2020-08-19 Verfahren und anlage zum ziehen eines einkristalls nach dem fz-verfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK3957774T3 true DK3957774T3 (da) 2023-03-06

Family

ID=72147981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK20191715.0T DK3957774T3 (da) 2020-08-19 2020-08-19 Fremgangsmåde og anlæg til trækning af et enkeltkrystal efter fz fremgangsmåden

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3957774B1 (da)
DK (1) DK3957774T3 (da)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3625669A1 (de) 1986-07-29 1988-02-04 Siemens Ag Induktionsheizer zum tiegelfreien zonenschmelzen
DE102005060391B4 (de) 2004-12-17 2012-02-16 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Ein Apparat zur Herstellung eines Einkristalls und ein Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls
CN103255473B (zh) * 2013-04-25 2016-06-29 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于区熔炉的辅助加热装置及其单晶棒保温方法
CN108070901A (zh) 2016-11-17 2018-05-25 上海新昇半导体科技有限公司 浮区法生长晶体的设备及方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3957774A1 (de) 2022-02-23
EP3957774B1 (de) 2022-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK3276164T3 (da) System og fremgangsmåde til styring af en vindmølle
DK3384154T3 (da) En vindturbine og en fremgangsmåde til styring af en vindturbine til reduktion af kantvise svingninger
DK3382197T3 (da) Styringsfremgangsmåde og -indretning til en vindmølle
DK3101273T3 (da) System og fremgangsmåde til reduktion af vridningsbevægelse i et vindmølletårn
DK3504149T3 (da) Fremgangsmåde og apparat til udførelse af vedligeholdelse på en vindmøllekomponent
DK3743624T3 (da) System og fremgangsmåde til stabilisering af en vindmølle
DK3542056T3 (da) Fremgangsmåde til styring af et vindenergianlæg og tilhørende vindenergianlæg
DK3548737T3 (da) Vindenergianlæg og fremgangsmåde til drift af et vindenergianlæg
DK3749851T3 (da) Fremgangsmåde til styring af et vindenergianlæg og et tilsvarende vindenergianlæg
DK3400385T3 (da) Løfteindretning til at løfte en komponent af et vindenergianlæg og fremgangsmåde til at montere komponenter af et vindenergianlæg
DK3464887T3 (da) Fremgangsmåde til styring af et vindenergianlæg og vindenergianlæg
DK3382982T3 (da) System og fremgangsmåde til styring af en flerhed af vindkraftanlæg
DK3740671T3 (da) Vindenergianlæg og fremgangsmåde til styring af et vindenergianlæg
DK3397859T3 (da) Vindenergianlæg og køleindretning til et vindenergianlæg
DK3828121T3 (da) Kran og fremgangsmåde til at rejse et tårn
DK3966929T3 (da) Solcellemodulholdeanordning og fremgangsmåde til fremstilling af en solcellemodulholdeanordning
DK3489507T3 (da) Fremgangsmåde og anordning til drift af et vindenergianlæg
DK3707486T3 (da) Fremgangsmåde og indretning til omdrejningsmomentmåling i drivstrengen af et vindenergianlæg
DK3714157T3 (da) Komponent til et vindenergianlæg og fremgangsmåde til fremstilling og fremgangsmåde til kontrol af komponenten
DK3918262T3 (da) Tårnstruktur af et foropvarmningstårn af et anlæg til termisk bearbejdning af mineraler og fremgangsmåde til opstilling af foropvarmningstårnet
DK3715626T3 (da) Fremgangsmåde til bestemmelse af en effektkurve af et vindenergianlæg og tilsvarende vindenergianlæg
DK3296565T3 (da) Fremgangsmåde og system til analysering af en tilstand af et vindenergianlæg
DK3957774T3 (da) Fremgangsmåde og anlæg til trækning af et enkeltkrystal efter fz fremgangsmåden
EP3981928C0 (en) STRUCTURAL MODULE CONNECTION AND METHOD FOR ASSEMBLING A MAJORITY OF MODULES
DK3601791T3 (da) Flangesegment til et vindenergianlæg-ståltårnringsegment og fremgangsmåde