DK2098845T3 - Keramisk tryksensor - Google Patents
Keramisk tryksensor Download PDFInfo
- Publication number
- DK2098845T3 DK2098845T3 DK08004325.0T DK08004325T DK2098845T3 DK 2098845 T3 DK2098845 T3 DK 2098845T3 DK 08004325 T DK08004325 T DK 08004325T DK 2098845 T3 DK2098845 T3 DK 2098845T3
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- pressure sensor
- diaphragm
- measuring chamber
- sensor according
- carrier element
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Claims (14)
1. Tryksensor med et bærerelement (12), en membran (14) og en forstærkerelektronik (32), hvor membranen (14), der begrænser et målekammer (28), kan bøje ved en trykpåvirkning i kraft af et medium og bærer omsætningsmidler (30) på den side, der vender væk fra mediet, hvilke er beregnet til at omsætte membranens (14) bøjning til et analyserbart elektrisk signal, der kan tilføres til forstærkerelektronikken (32), hvor bærerelementet (12) og membranen (14) er udformet af keramikplader, der i et overlapningsafsnit ligger over hinanden med deres fladesider og derimellem begrænser målekammeret (28), kendetegnet ved, at membranen (14) og bærerelementet (12) går gennem en metalplade (20), og metalpladen (20) er tætnet i forhold til membranen (14) og bærerelementet (12), således at membranen (14) og bærerelementet (12) er opdelt i et måleafsnit (22), der omfatter målekammeret (28) og kan være i kontakt med mediet, og et analyseafsnit (24), der omfatter forstærkerelektronikken (32) og skal anbringes uden for mediet.
2. Tryksensor (1) ifølge krav 1, kendetegnet ved, at bærerelementet (12) og membranen (14) er forbundet fast med hinanden ved hjælp af forbindelsesmidler (16), fortrinsvis ved hjælp af glaslodning, et klæbemiddel eller et egnet dielektrikum, og forbindelsesmidlet (16) i det mindste afsnitsvist begrænser målekammeret (28).
3. Tryksensor (1) ifølge krav 2, kendetegnet ved, at bærerelementet (12) og membranen (14) i det væsentlige er plane i området ved målekammeret (28).
4. Tryksensor (1) ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at målekammeret (28) omfatter en fordybning i bærerelementet (12).
5. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 4, kendetegnet ved, at målekammeret (28) er lukket tæt på alle sider, og tryksensoren (10) derved er udformet som en absolut tryksensor.
6. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 5, kendetegnet ved, at forstærkerelektronikken (32) er anbragt på keramikpladen, der danner membranen (14).
7. Tryksensor ifølge krav 6, kendetegnet ved, at en del af forstærkerelektronikken (32) også er anbragt på den side af membranen (14), der vender mod bærerelementet (12).
8. Tryksensor ifølge krav 7, kendetegnet ved, at bærerelementet (12) omfatter en pladegennemkrydsende bærerudsparing (34) i et område, der ligger over for forstærkerelektronikken (32).
9. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 8, kendetegnet ved, at metalpladen (20) er udformet karformet, og fortrinsvis er tætnet i forhold til membranen (14) og bærerelementet (12) ved hjælp af kunststofharpiks (27).
10. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 8, kendetegnet ved, at metalpladen (20) er udformet plade- eller skiveformet, og fortrinsvis er tætnet i forhold til membranen (14) og bærerelementet (12) ved hjælp af kunststofharpiks (27).
11. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 8, kendetegnet ved, at metalpladen (20) er udformet plade- eller skiveformet, og at der på metalpladen (20) på dens ansatsflade (42) på målekammersiden er fastgjort en elastomerring (36), fortrinsvis påvulkaniseret, og elastomerringen (36) fortrinsvis er tætnet i forhold til membranen (14) og bærerelementet (12) ved hjælp af kunststofharpiks (27).
12. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 11, kendetegnet ved, at omsætningsmidlerne (30) er piezoresistive modstande, der er anbragt i en wheat-stones bro og fortrinsvis er påført i en tykfilmteknologi.
13. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 12, kendetegnet ved, at elektriske lederbaner, der forbinder omsætningsmidlerne (30) og forstærkerelektronikken (32), er anbragt på membranens (14) fladeside, der vender mod bærerelementet (12).
14. Tryksensor ifølge et af kravene 1 til 13, kendetegnet ved en integreret temperatu rmåleføler.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP08004325.0A EP2098845B1 (de) | 2008-03-08 | 2008-03-08 | Keramischer Drucksensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DK2098845T3 true DK2098845T3 (da) | 2018-02-12 |
Family
ID=39730651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DK08004325.0T DK2098845T3 (da) | 2008-03-08 | 2008-03-08 | Keramisk tryksensor |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2098845B1 (da) |
| DK (1) | DK2098845T3 (da) |
| NO (1) | NO2098845T3 (da) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2784463B1 (de) * | 2013-03-25 | 2017-10-18 | VEGA Grieshaber KG | Druckmesszelle mit einer Einbauanordnung |
| CN107238461A (zh) * | 2017-07-17 | 2017-10-10 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种微型正负压测量孔隙水压力传感器 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5436795A (en) * | 1994-03-28 | 1995-07-25 | Texas Instruments Incorporated | Pressure transducer apparatus and method for making same |
| DE20300498U1 (de) | 2002-12-18 | 2003-04-17 | Huba Control AG, Würenlos | Drucksensor |
| US20040200291A1 (en) * | 2003-04-11 | 2004-10-14 | Xunhu Dai | Multilayer ceramic pressure sensor |
-
2008
- 2008-03-08 NO NO08004325A patent/NO2098845T3/no unknown
- 2008-03-08 DK DK08004325.0T patent/DK2098845T3/da active
- 2008-03-08 EP EP08004325.0A patent/EP2098845B1/de not_active Not-in-force
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2098845B1 (de) | 2017-11-29 |
| NO2098845T3 (da) | 2018-04-28 |
| EP2098845A1 (de) | 2009-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6812162B2 (ja) | 密封した圧力センサ | |
| JP5153126B2 (ja) | 流体の圧力および温度を測定するセンサ装置 | |
| US7942062B2 (en) | Pressure sensor and method for manufacturing the same | |
| CN101427118B (zh) | 一种用于压力传感器的压力端口装置及其形成方法 | |
| US8069729B2 (en) | Pressure gauge | |
| KR20110134308A (ko) | 밀폐형 압력 감지 장치 | |
| CN108692854B (zh) | 压力传感器 | |
| US20060169048A1 (en) | Differential pressure sensor | |
| EP1790964B1 (en) | A sensor arrangement for measuring a pressure and a temperature in a fluid | |
| EP3287758B1 (en) | Differential pressure sensor incorporating common mode error compensation | |
| CN112689748B (zh) | 液压隔膜密封件和具有液压隔膜密封件的压力换能器 | |
| US8770032B2 (en) | Relative pressure sensor | |
| CA2313313C (en) | Relative pressure sensor | |
| CN111094923B (zh) | 陶瓷压力传感器 | |
| DK2098845T3 (da) | Keramisk tryksensor | |
| US8281665B2 (en) | Pressure sensor assembly | |
| JPS63289432A (ja) | 圧力センサを組み立てる方法並びに圧力センサ | |
| WO2012079091A2 (en) | Self-heated mems based capacitance diaphragm gauge | |
| US6425291B1 (en) | Relative-pressure sensor having a gas-filled bellows | |
| CN106525328B (zh) | 密闭压力传感器 | |
| US7073400B2 (en) | Sensor for measuring pressure in a sealed volume | |
| CN110542465A (zh) | 一种陶瓷电阻式液位传感器 | |
| US20240102873A1 (en) | Notification Sensor Arrangement for a Differential Pressure Sensor and a Method for Outputting a Sensed Warning Signal | |
| WO2022085497A1 (ja) | 圧力温度センサ | |
| WO2010137391A1 (ja) | 流体圧力センサ |