DEP0012121DA - Mit magnetischen Linsen arbeitendes elektronenoptisches Gerät, insbesondere Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

Icopea₉ @latl eelsom die vereeaiedenevtt&etea msu aetieobaii Jeinsen* anordnende bekennt« Yie&feen nex&en bei eiektroact»actiooben Mo©« ©olete Jioaetrufctionea Oevoraugt₉ bei denen ei» &ek*&seite &r»et»©3mie&Uing teß ij^trone&etraal -uc^ibt* ienetraktioaea die«* s«⁸ ill?* eitti BQmtA *ur die /tbbiidttn^alinsea als eaeö 4&r den lendeneor eoieber Vcmaba «bXioJi* dann bei anderen ee&enaaatea ^eel^BstnilEtieB«^ 41© also nient mit @te ferresQi netieebea ÄspßÄm^ä iss» j^e^erwiekians Qroeitea₉ n&t fase ©eist selen« äoaetraktionea eingewendet» bei denen die ^rejerrcicklan^ ie® ^trani Itonseatriseii ut^lbt» 'Olm diese bekennten Konetraktionen ergeben ve*fcöltnieiB§wrilß ee&wer« Ifineea₉ eese die ^esoate loa* etrnktiea der Geräte maßgebend ait beeia&uset» Ä© j?i ladung üielt dareaf d)₉ ein met, netieonee i*iaoea©yoteni en Seaaifea₉ bei dem die Vakuaorübre. eeleae die weeeaUioaen Seiie der juiaee eatttditf xseeeatlien icleütor ^ebaat eein kern* i&eee &aCdbe *4τ& bei eines ait m^netiooaca dieses arbeitende* üiektrenea» ^erfct₉ insbesondere bei eines •«lektrottenaikroekop· in dem see* eiviee&en Je mmt A-eiu-eiiauea ^cbiiuete .ui neonatal te aintereia·» eader Iio_l^ea₉ anu die beiden oafeinender Sollenden i^iecüuae von ub^ktiv und iw^ektiv ^ioae ifeleritat Hsfeea_t eriindunge* ^emdee dadnren a*l8e<t₉ aera @nr £r«uanj der Linsen ein oder mearcre Mü»%i 4ioo|sr^nr>te;, cteae dienen» deren i&tteleeaenkel mit mm den ^traal ria^i4r<a% ao^eaeadea» die beiden isittlerea «eisenua* Terbiadeaaoa «ae &χ netieebea i^aterisl besteaeadea i©A and derea fedie uuoeerea ^ebenkei $® mit einem der beidea auseea lie&eade« iexcet^aae von UbjcktiT- and ^re^ektür über eia

rie^ürsÄGoe L-UwsiiL vcrbuiAlcc» ©ifiä« ulece -else k^a .«;>α Ctd« ein ..-Ac i;ti^OR?:-Euiii*rooiiöj[) alt mvgA .«bbiluUB /.XlBtartt r IiiisireCB_i bei drei die Vtiisawasöte©, ; eleüc die bdtloa ^ojkacbAsöc^otce» dio* ees* iiiföoe« Pftiii--It_e ait verb Afc&icEu-LA.. ...,orii^ea ev-.ieirt tue-

däroc? *ilBe@ii» ica.ei.e üCi boo^uaerofc eriiaiüb^clceuo©©» umatomtiOB eisen ^.cmtoäA «lws? cieü bildet» ueg* fecto ik£i-QS3ttib(:U dee * OS⁰Utcc Ggi do** cat^rceuaadga «toAAe von «es* ^eito ü<sr attje* öoat ώ1Μ· ^ob &>su Jio .^iiiiuua_u, eov.wM bei oAe^teooi^aoiAooaca oAo cuoa Dr_w cäo^oototiiociieB ω Auocasuordaacb ob aOftcadoa· .oei ddr riolitTOOi^aDtioeiiem . ^tus ^daraB₀o^okb Sie _jAbi £ie ^ «v ^crwAolAuttj» Ui m& . iodi&l^eueaee eotikrcoUt s© o&tteoliea .<>©&iöe dee .·· crutoo llejt» doa err;, totes £ittc&ouboohel fee /^iogwi_uCJi «IQetac_vj met« ©j'otma® iäci der Ω. ^aGtootatioo&ea .^iuaxuQ_,o£oni jfcaa de«? alt tieren *»ckeeiicl öee ^netasotm® ^urob eines äc*a A^actAluee Orecta₀ cactoa λ ofixacttfcii^aetGtab ^cfciAac-t eeia. uabroad aao SUr eile «e^ela,^ der JjiBseQbreau?elt& iai .ulic dos cAr-utsoücl,BßfcieeU crrc^tea »>yofc>fiK» Aa ta oAoi* bo&aoater -c4oe ο las? ^oaeruaj te© ^rc^orotrooee is Setoeüt Bietita kona* &aau mm beiß Bia ₀Betoetatieoaaa oyetern Uir ciif JttbeltUfe tier itiaeeabreaanelto moh wiemt w®iter«a *«α^estaitaife_i ie⁵ üjtfiadiU|5 ^©AkUriier sftfieM©% diö 4b B©te»b©b to öetiertÄ das ü^oete^efcet^csi^iai OtGiibsP elad* ^ki@as sem «ti© ^£Aad»b£ bei £Ac&tx*a<äeMjptieoiiea •«©Futea_f bele#iel8B*lee ^eiitroGeBaliiroettopGa, onewadett äA© ▼öB eimm, Ifelilefettv &©traG©a ra©rde&_f Iobb aas mit Vorteil die öse© Maeeai^oiftaaog 00 amefeüießf dose dae ^,apteyetcsa A» dio *a$eeltt&^ tee ötative ©Aö^etiiist Iot_t co des« m mm salt ilea Irelea «©tea&eJ.@Mea Baöfe der ^eitc der aucooruuAb dor ^Q^oeLuas !©iiiÄlQ»» Äj»eis.t»Bet2rite© ens dor a^jcgI ncäraiae^t«

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lasid QUi d®p iinlceft sä d©e üäte©aete©& 23 aaotoeeeodoii ^clte eoiO0& mvapol fest* £& ^i_w» 2 ißt ia @iooa Quorsolsaitt die Beiesti^aes der ^tere Losaetkilrper dor^eoteilt« de& detieii&^eadeOf to eiepiel mot&e ss Bit tieren *»efeee&ei 27 _f ©iod am dieee^ äw©efc_f Uaitee· 31 ee£eötigt# on doaea die flöte© lait Wlt@ der Bsö4©r f'3 und der «»elireiieeii 'M verßeöratiöt iet_f m du* e die iseiOB ^teeosadofeeii der ^efeeiiEreieQdeii eiefe feet ^ejett die mte#ro©iaecdei& ^ efee» afeseSaetiteB aaetoeeeadea £@üe der iiüiarc Ic^eB* Uu ein j\»iapeiefeeeä reeefeee Auefoo^©m am deft fdfettQEi*iaöeiircBöteiieB en gef^ferieieteBf sind i& der a#lir©

bei 33 aisfkaeil© parallel sttr optischen hoübq verlaufend ao^e«» ordnett die elm Verbloduqg der Vtikuuapumpe amöh mit den lasern«* räumen dee ötrablertteugerteileB »Bd über die Qmerkaaü© 34 ©it dem ZvfleoheabHdrauu gee tat ten* Beim Objektiv ist mit 35 ochematiseh ein Objekttisch angedeutet»' der In den üa«a roi©ehe® de& beide» ^eleehabee 15 und 1? eisgefütat ©ard©a kam« Zu eeloer Qu&retellung dienen sieh feÄaaate IiasteilechraiibeB₉ von denen die eine» 36, In d©r Figur sichtbar ist. Am Untcsrteil der E8hr© let mit Hilfe einer der Schraubkappe 14 entsprechenden Kappe .an ÖBterteü de© idneeuetuekee der Söhre der Bodblldtubue 58 unter Verwendung einer aeaidiehtos^i verechraubt* Ba© Ssdfeild kanu durch die 8ctem§i£&w^ 39 auf dem Endbiltoohtrsk 40 betrachtet wfrtefc DAfsegF ieaeütechiim kann in bekannter «©in© na die Darehaehse 41 nach oben gekippt werden» so dass dann die fotogr** phtsete Schicht 42 sur jeellehtang frel^ele^t ist· im i*ndblldtubue 3ö let die Anschlussleitung 43 der Hochvakuumpumpe 44 anjeeohloe-

Jiae gaee MilsiOatop let ©uf eisern tlsoiiföraljea tiobletatlT söe» tiert, von dem in der Figur die XlechHäohe 45» ©iae s@nfer©oht stehende flache 46 und eine obere Abdeckplatte 47 sichtbar sind« Vie die Άίρα erkennen läset« ist das ilUoroskop so montiert» daee ein grosser Teil dee Sndblldtubue 38 in den Hohlraum dee Stative, der sich »Bteriialb d©r Sleesniette 45 beiladet* eingebaut let md dose Xerner dse J^esenisgueteyetea mit der firregerffie&ung In die üLapeel Met» 4©r senkrecht stehenden faaä 46 so eingebaut let, dass aax die freien SehenkeLendea dee Uagnetkürpere h©ram©ri^©a_f um hl» das Ansetzen der Äkroeköpröte© au e»8g» liehen« »t 4S let der BeohepaaaiiagetreiMfotmatoy der Anlege fet* zeichnet« Äea« Zreneformator let ©a einem iflakel©ieeBraiao©a 49 befestigt, mit des auch die tlnkeleleen 50 und 51 fest ver* banden Bind* die Uuregeelt· als XrSger des jteegenft^usmteyeteae dleaea* Die ffili»eJ»prtStag wird bei der dergesteHtett äöää* rtinj£B£ortt von d©*k £rregeraa£neten ^ehaltert· An dem ffinkelelssen·* rahmen 49 ist auch dl© naape 44 mit Hilfe d©r i»aeohe 52 verspannt*

Sine aedere AueflUiruusefora , bei der die ^rfiad«® an einer waasgereeht IiegeMea mikroekoprühre sw Anwendung tommtj ist in den figuren 3 und 4 in einer Vorderen»! ent mod einem (jusreehnitt geaeieheet^lit 61 1st hler der StraM,©«©ögert©Ä_f mit 62 der die Linsen enthaltende geü mä alt 65 der BadfeiIdtiABii der Sdhre beselehnet· Bt Hilfe der- Baader 64 ist die Röhre alt ihre Bltteletilck m den öeheskÄB 65, 66 und 67 dee in dleeem falle

el® !©»sftefftfissg»©!©^stea ausgebildeten ioolma^ noten befestigt, 4X8» Auitotm der .löte© ist liier el©© so Gewaat_t •daee das Srreger-Magnetsystem- Iie tresentllenen ia dem Viammmoht liegendes Seil 77 tee Xleahes eingebaut ist* Iit 68 let das Joetetiieis üm &*reg«- mg^ noten be&eichnet» üas MseiiopfiGiimiysici*©I 69 Mlwt mm d©a Ja SeH 75 öee Jiechee elnjebanten Booiispannnngetraiieform\*tor* Ab den iindbiidtubue 63 iet Cllier die BoeIivatei!z4@it»iü 71 atf die ISihlieiie 72 ai© üochViAuumpuape 73 an&eecnlosesfu M@ Pumpe lot im lietom Seil 7§ d@© tleonjttrmjgen Stativs untergebracht» i)er quer wr dem Ittteostop siteeote BeebaQiiteiⁱ betrachtet ta© iindblld uuroh daß .gefeeegiiigi aus jsndblldtttbne«

Ite bei dieses ifaenetost&tlse&en Minsens? stosi ©ia© Sf^elaog äm MmmammiM &m Objektiv© beaw. dee ifeejektlTS en ermöglichen, sind in den sanenfceln 65 und 66 ae« - Kfognetsy stems Betarogea vor» g@@A®ftf iß welonsn ÄfgialMSrg« 61 In der Isäag©Floating ¥©retÄl* bor ©tat« i)le Verstellung «jrUalgt Ät Mit® der Sifbelft 79 und SQ_i ti© in der atie J%# 4 e*aichtlicfaea ieie© aber ti© Ee<ielra<i@r 82f -85 auf fli© Verstell^ewlnde der Keyelkörper 81 arbeiten»

Anstelle der in den !figuren dargestellten JrormeUf b©i denen nur ein i^föralgei¹ ttaguetkorper verwendet Iet₉ kann man d«e Sriia« ■aeBgeßrißsip auoh ver«lricliolien_# ioäes swei oder mehr solcher S^fiBiigef' Jaageetfeorpef^t ©i»§» »©ietmffeea ^©IsetailiaeewjeteB sugsordnet sind« Meee iSsgnetkörper ketenes dann sternförmig aft den entsprechenden Linsenteil anjeoetet sein«

sie die dargestellte Ausführung efoxm erkennen Iaest_v tot man ©it dor eem« Joonma^ netenordnnns Our on die Aufteilung dee IggBet-

Unseen in ffetfeilĩ eine Iigiletteit_f die volle durch den

•rregen&en Etektawatsnoten gegebene nagaitiBeli© Spa&saeg an federn der Linsencpalte zm ISrirknns brikett® Bm hat verglichen alt den' b'lQmw bekeitiatee Qlnlitx-mm^ H_iOtiscb erregten Maeeasyetmee €ea Vort dee© der iUiftonnd an ^regerampca?ewinduogen herabgesetzt werden tesa®

«rundeätBlich wichtig und fur tsikamskopkonotruktlonen eilg©ia©iB vorteilhaft ist es, dace feel der dai^sg©st©llt#m Ansfniirungeforn Ii© eigentliche da@ VakunBiseiSee bildende iäektrOnens tr ahlröhre verhältnismässig leicnt gebeut sein kenn» Ber ikirehmeeser dieeer Ednre kann an jeder stelle de strahlengang eng angepasst werden »ei let Aa neeentllohen dädureii beding t# dass die .fiösre nur die eigentlichen tür die Bildnns Xtineenfeldee wichtigen felle der Mwea nämlloh doe ^lsenuhsyeten aufnimmt»- während die

Claims (1)

1. vidi ootoer©reu 4c» tevejcslaK-ie bi?*<2cB&ea ^eiXe_t rist* u^ßcfr* eyeten um ei» oößüti^efö aria ^aetiltio© e& deti «-aiotsbubeft iUisfoo?* den teHn^&lam wa dear otter« _uct3v&&toti 'ic?ü, UUUtc% aei; ä&r &*italt«rt «erde» kaea des? ce,..-* Cic^sB ^iUics? aev ■^•tusoG Uttvo

   i-oAoel2ühe2i ^cMJk⁰Ct© iiiuoptißjritG iiiat'^ia etiles* iic..,eß iiä* 6io

   ü& uimm eia euer taäirero ,»-^iixoigG d<M&x.jaoi0£u*iiJitt ν,ioeoot αιΐ?ΘΒ wlittieliC'ijafSuicl. alt 4ca aos ^iftÄ riö^iwvuti^ lynsb teeedeay üic IeM« ulfülfs« roiootuatoe veÄ&faÄoeäÄj» yns t^tietieebexi ta** teiol Ικ&ΐοααι&οα fen esa deren tooiuo äucooron ^öaeaiioi jö oioea der fecMeo ^äjscä lic^onäGn £Uioenubo »a ^αΛίΛ uod &tö« jofctlv ftfecs? ein rln^ürsiigoe ötüek wÄtasÄe© &ioä*

   <s« -Ari£treaco&£'tiuebc-e Jepat /Huoh «.t^runh X_e jracauficiun&ftt aurch ein cle&tsm^tietieeii er ^jteo »JCftaoteyGteffi_t ©<*i dca α ic» itfs e^er« wiokltxs^» seres ΰΐΒία^,,εβαΙι© ^s^ree&t ssf o^iieciaee des

   dm toqgtteto&rint&sefe ewe^te«» *-a.;Bcto#ot©n sit eines *ctt^ae&taag«» eetetö^t 4« dem Gdttiewa ^©feeaiicÄ fee »•«^aeteiyeteaa biidet»

   Bot_i fees sw &e^ii&eü "iraenbreiusBreito «-«pelfciirßeaf Mmmm₉ 4it

   5» la cJLu Hoblclsc tiv ete^ eat©© eioists-mieaoistieetee? öop&t tiuöh Aaoproeh 1 fei© 4» deänreb ^cfce«nuoieiiQct# dt.ne dae «.^Beto^etos iß 4it öeo «tctiiro riöjoöi-ut ist am Bur oit doe, dreien

   »a©iyi.ÄeBÄ©B KeA öe *>eitc deip «üclxtreßeiiffütee Mb ims die©«