DE9212270U1

DE9212270U1 - Prüfkammer für Lecksucher

Info

Publication number: DE9212270U1
Application number: DE9212270U
Authority: DE
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1992-09-11
Filing date: 1992-09-11
Publication date: 1992-11-19
Anticipated expiration: 2002-09-12

Description

92.020 GM

LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT

Prüfkammer für Lecksucher

Die Erfindung bezieht sich auf eine Prüfkammer mit einer dem Anschluß an einen Lecksucher dienenden Verbindungsleitung.

Prüfkammern dieser Art dienen der Aufnahme von Prüflingen, die auf das Vorhandensein von Lecks untersucht werden sollen. In der Regel handelt es sich bei den Prüflingen um abgeschlossene Hohlkörper, in denen sich ein Testgas befindet. Die Prüfkammer ist über eine Verbindungsleitung an einen Lecksucher angeschlossen, in dem sich Evakuierungseinrichtungen, Ventile und ein Testgasdetektor befinden. Bei der Verwendung von Helium als Testgas ist der Testgasdetektor ein Massenspektrometer.

Die Lecksuche läuft folgendermaßen ab: Nach dem Einbringen der Prüflinge wird die Prüfkammer geschlossen und zunächst mit Hilfe einer Vorvakuumpumpe, die üblicherweise Bestandteil des Lecksuchers ist, vorevakuiert. Erst danach wird die Prüfkammer mit dem Testgasdetektor verbunden. Gegebenenfalls aus einem Leck eines Prüflings austretendes Testgas wird vom Testgasdetektor registriert.

Bei bekannten Prüfkammern besteht das Problem, daß die Zeiten für die Vorevakuierung sehr stark schwanken, und zwar insbesondere dann, wenn auf Drücke von unter 0,1 mbar evakuiert werden soll. Ein derartiger Druck ist erforderlich, um eine besonders empfindliche Lecksucher im Hauptstrombetrieb (unmittelbare

Verbindung zwischen Detektor und Prüfkammer über eine Druckstufe) durchgeführt werden soll. Bei Drücken dieser Größenordnung setzt die Desorption von in die Prüfkammer gelangter Luftfeuchtigkeit merklich ein. Dabei wird der desorbierende Gasstrom und damit die Pumpzeit von der Luftfeuchtigkeit (dem Wasserdampfpartialdruck) bestimmt. Eine Spezifikation der Pumpzeit ist damit nicht möglich, wird jedoch vom Anwender gefordert.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Prüfkammer mit einer dem Anschluß an einen Lecksucher dienenden Verbindungsleitung zu schaffen, bei der die Vorevakuierungszeit kalkulierbar ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Verbindungsleitung und/oder der Prüfkammer eine Heizeinrichtung zugeordnet ist. Durch eine Beheizung der Verbindungsleitung und der Prüfkammer können Kondensationen von Wasserdampf weitestgehend vermieden werden. Die Vorevakuierungszeit wird dadurch nicht nur unabhängig von der Feuchtigkeit in der Umgebungsluft sondern auch noch verkürzt. Sie ist damit spezifizierbar.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden.

Die Figur zeigt eine Prüfkammer 1 mit ihrem Deckel 2, die über die Verbindungsleitung 3 und das Flanschpaar 4 an einen Lecksucher 10 angeschlossen ist. Der Lecksucher 10 seinerseits umfaßt die Vorpumpe 5, die als Turbomolekularvakuumpumpe ausgebildete Hochvakuumpumpe 6 und den als Massenspektrometer ausgebildeten Testgasdetektor 7. Über Verbindungsleitungen 11, 12, 13 mit den Ventilen 14, 15, 16 kann die Prüfkammer 1 mit der Vorvakuumpumpe 5, unmittelbar mit dem Testgasdetektor 7 oder mit der Atmosphäre (zum Belüften) verbunden werden. Zwischen der Vorvakuumpumpe 5 und der Hochvakuumpumpe 6 befindet sich noch das Ventil 17, das während der Vorevakuierung der Prüfkammer 1 geschlossen ist.

Bei handelsüblichen Lecksuchern sind die Ventile 14 bis 17 häufig zu einem Ventilblock zusammengefaßt. Es ist deshalb erforderlich, in der Verbindungsleitung 3 einen Metallfaltenbalg 18 vorzusehen.

Erfindungsgemäß ist der Prükammer 1 und der Verbindungsleitung 3 eine Heizung 19 zugeordnet. Sie ist als Heizrohr ausgebildet, das die Verbindungsleitung 3 und den Faltenbalg 18 umgibt. Die Heizleistung ist so bemessen, daß der Balg 18 und die Verbindungsleitung 3 eine Betriebstemperatur von etwa 80° C annehmen. Die Kondensation von Wasserdämpfen ist dann in diesen Bereichen vollständig vermieden. Der Kontakt der Heizeinrichtung 19 mit der Prüfkammer 1, u.a. auch über die Verbindungsleitung 3, ist so gewählt, daß sich die Prüfkammer auf etwa 40 bis 50° C erwärmt. Diese Temperaturen lassen noch das Arbeiten mit der Prüfkammer 1 zu.

Nach der Vorevakuierung wird in der Regel zunächst das Ventil 17 geöffnet, so daß zunächst eine Untersuchung auf relativ grobe Lecks stattfinden kann. Das gegebenenfalls durch die Leitung 11 strömende Testgas gelangt im Gegenstrom durch die Hochvakuumpumpe 6 zum Testgasdetektor 7. Bei einer empfindlicheren Lecksuche wird das Ventil 15 geöffnet. Es muß in der Regel als Drosselventil ausgebildet sein und eine Druckstufe bilden, da der notwendige Betriebsdruck im Massenspektrometer 7 kleiner ist als der in der Prüfkammer 1 erzeugte Vorvakuumdruck.

Claims

92.020 GM Prüfkammer für Lecksucher -PATENTANSPRÜCHE

1. Prüfkammer (1) mit einer dem Anschluß an einen Lecksucher (10) dienenden Verbindungsleitung (3), dadurch gekennzeichnet, daß der Verbindungsleitung (3) und/oder der Prüfkammer (1) eine Heizeinrichtung (19) zugeordnet ist.

2. Prüfkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Verbindungsleitung (3) eine Heizung (19) zugeordnet ist, die derart bemessen ist, daß die Verbindungsleitung (3) eine Betriebstemperatur von etwa 80° C hat.

3. Prüfkammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Bestandteil der Verbindungsleitung (3) ein Faltenbalg (18) ist und daß der Faltenbalg (18) ebenfalls beheizt ist.

4. Prüfkammer nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizeinrichtung (19) als die Verbindungsleitung (3) umgebendes Heizrohr ausgebildet ist.

5. Prüfkammer nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Verbindungsleitung (3) eine Heizeinrichtung (19) zugeordnet ist und daß die Kontaktstellen zwischen der Heizeinrichtung (19) und der Prüfkammer (3) derart gewählt sind, daß die Prüfkammer (1) eine Betriebstemperatur von etwa 40 bis 5O⁰C annimmt.