DE915481C - Anordnung zur Messung der Betriebsspannung des Strahlerzeugers von Korpuskularstrahlapparaten - Google Patents

Description

Bei vielen Arbeiten an Korpuskularstrahlappa- ^aten, beispielsweise bei Beugungsaufnahmen, die voA Objekten -mit Hilfe eines Elektronenmikroskops hergestellt werden, nmß zu jeder Aufnahme der genaue Wert der Beschleunigungsspannung festgestellt werden. Dieser Wert läßt sich an einem auf Hochspannungswerte geeichten Niederspannungsmesser an der Primärseite des Hochspannungstransformators nicht genau genug ablesen, weil die ίο Höhe des Emissionsstromes im Elektronenmikroskop großen Einfluß auf die Spannungshöhe hat. Ein neben dem Elektronenmikroskop aufzustellender Hochspannungsmesser benotigt im allgemeinen zu viel Platz und setzt die ünfallgefahr herauf, da weitere hochspannungsführende Teile im Raum stehen.

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Messung der Betriebsspannung von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, mit Hilfe zweier Elektroden, zwischen denen sich das elektrische Feld der zu messenden Spannung ausbildet und der ein kleiner Teil der einen Elektrode relativ zu den übrigen Teilen der Elektrode beweglich angeordnet ist und zur Steuerung eines Lichtzeigers od. dgl. dient. Ein derartiges Hochspannungsmeßgerät wird dadurch mit dem Korpuskularstrahlapparat selbst vereinigt, daß erfindungsgemäß der Batteriekasten des Strahlerzeugers als die eine an dem zu messenden Potential liegende Elektrode und das geerdete Gehäuse des Strahlerzeugers als die andere Elektrode verwendet wird. Dabei wird man zweckmäßig die Wände des Batteriekastens so anordnen, daß sie parallel zu den Wänden des geerdeten Gehäuses liegen.

Die Zeichnungen zeigen als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Elektronenmikroskop, das mit einem Meßinstrument zur Messung der Strahlspannung vereinigt ist.

In Fig. ι ist eine Seitenansicht und in Fig. 2 eine Aufsicht auf die Anordnung dargestellt.

Mit ι ist das Stativ des Elektronenmikroskops, mit 2 ein daran befestigter seitlicher Fuß bezeichnet, auf dein das senkrecht stehende Mikroskop 3 befestigt ist. Am Oberteil des Stativs 1 ist eine Abschirmwanne 4 befestigt, die mit Erde verbunden ist. Diese Wanne dient als Berührungsschutz für die oben auf dem Stativ angeordneten hochspannungsführenden Teile des Gerätes. Mit 5 ist der Batteriekasten bezeichnet, welcher dem Strahlerzeugungssystem des Elektronenmikroskops zugeordnet ist. Die Außenwände dieses Batteriekastens, welche an der zu messenden Hochspannung liegen, sind so ausgeführt, daß sie parallel zu den Innenflächen der Abschirmwanne 4 liegen. Die Teile 4 und 5 bilden auf diese Weise die beiden Elektroden eines an sich bekannten Starke-Schroeder-Meßwerkes. Mit 6 ist ein Teil der Außenelektrode bezeichnet, der auf demselben Potential wie diese liegt, aber relativ zu ihr drehbar angeordnet ist. Der Teil 6 der Elektrode kann als Spiegel ausgebildet sein, so daß man seine Drehbewegungen mit Hilfe einer Lampe 7 und einer Skala 8 sichtbar machen kann. Die Skala 8 wind für jede Ausführung besonders geeicht und so ausgeführt, daß man die Hochspanniungswerte unmittelbar ablesen kann. Man wird diese Skala derart räumlich zum Gerät anordnen, daß der mit dem Elektronenmikroskop arbeitende, davor sitzende Beobachter die Hohe der Hochspannung an der Skala 3 ablasen kann, ohne seinen Sitzplatz zu verlassen.

Man kann die Erfindung auch bei sonstigen Elektronenbeugungsapparaturen, bei Kathodenstrahlgeräten, Oszillographen, überhaupt allgemein bei Korpu'skularstrahlapparaten anwenden, sobald es darauf ankommt, die Strahlspannung genau zu messen.

Claims (2)

1. Patentansprüche:

   i. Anordnung zur Messung der Betriebsspannung des Strahlerzeugers von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, mit Hilfe zweier Elektroden, zwischen denen sich das elektrische Feld der zu messenden Spannung ausbildet und bei der ein kleiner Teil der einen Elektrode relativ zu den übrigen Teilen der Elektrode beweglich angeordnet ist und zur Steuerung eines Lichtzeigers od. dgl. dient, gekennzeichnet durch durch die Verwendung des Batteriekastens des Strahlerzeugers als die eine an dem zu messenden Potential liegende Elektrode und durch die Verwendung des geerdeten Gehäuses des Strahlerzeugers als die andere Elektrode.
2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wände des Batteriekastens zu den Wänden des geerdeten Gehäuses parallel liegen.