DE9101682U1 - Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen - Google Patents

Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen

Info

Publication number
DE9101682U1
DE9101682U1 DE9101682U DE9101682U DE9101682U1 DE 9101682 U1 DE9101682 U1 DE 9101682U1 DE 9101682 U DE9101682 U DE 9101682U DE 9101682 U DE9101682 U DE 9101682U DE 9101682 U1 DE9101682 U1 DE 9101682U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
camera
interferometric measurement
objective
lens
object surfaces
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE9101682U
Other languages
German (de)
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MT Aerospace AG
Original Assignee
MT Aerospace AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MT Aerospace AG filed Critical MT Aerospace AG
Priority to DE9101682U priority Critical patent/DE9101682U1/de
Publication of DE9101682U1 publication Critical patent/DE9101682U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/002—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means for representing acoustic field distribution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
DE9101682U 1991-01-19 1991-01-19 Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen Expired - Lifetime DE9101682U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9101682U DE9101682U1 (de) 1991-01-19 1991-01-19 Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4101536 1991-01-19
DE9101682U DE9101682U1 (de) 1991-01-19 1991-01-19 Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9101682U1 true DE9101682U1 (de) 1991-05-29

Family

ID=25900357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9101682U Expired - Lifetime DE9101682U1 (de) 1991-01-19 1991-01-19 Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE9101682U1 (no)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10047495B4 (de) * 1999-10-09 2005-06-09 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung
US6943895B2 (en) 2000-03-30 2005-09-13 Robert Bosch Gmbh Interferometric measuring device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10047495B4 (de) * 1999-10-09 2005-06-09 Robert Bosch Gmbh Interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung
US6943895B2 (en) 2000-03-30 2005-09-13 Robert Bosch Gmbh Interferometric measuring device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19622359A1 (de) Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
DE102015001421A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
WO1998038542A1 (de) Lichtabtastvorrichtung
DE19801139A1 (de) Punktabtastendes Luminiszenz-Mikroskop
DE3343145A1 (de) Beobachtungsgeraet
DE3110287A1 (de) Druckgeraet mit scharfeinstelldetektor
EP0264404A1 (de) Vorrichtung zum selbsttaetigen fokussieren eines auflichtmikroskopes.
EP0941470B1 (de) Fluoreszenzkorrelationsspektroskopiemodul für ein mikroskop
DE4131737A1 (de) Autofokus-anordnung fuer ein stereomikroskop
EP3948392B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum erfassen von verlagerungen einer probe gegenüber einem objektiv
DE3132804C2 (de) Verfahren zum Erzeugen eines Fokussierfehlersignals eines Objektivs sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
EP1333304B1 (de) Autofokusmodul mit Zusatzlichtquellen für mikroskopbasierte Systeme und Zweistrahl-Fokusdetektionsverfahren unter Benutzung des Moduls
EP1636544B1 (de) Optischer neigungsmesser
EP3418789A1 (de) Verfahren und mikroskopiesystem zum aufnehmen eines bildes
EP0045915A1 (de) Fingerabdrucksensor zum Erzeugen eines dem topografischen Relief eines zu untersuchenden Fingers entsprechenden Ausgangssignals
DE19510034B4 (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Partikelgrößen und/oder Partikelgrößenverteilungen mittels Lichtbeugung
DE9101682U1 (de) Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen
DE102016116620B3 (de) Strahlführungseinheit und System aus Strahlführungseinheiten sowie deren Verwendung
DE60121746T2 (de) Bildaufnahmeeinrichtung
DE10146945A1 (de) Meßanordnung und Meßverfahren
DE102021106766A1 (de) Chromatisch-konfokales Messsystem für Hochgeschwindigkeits-Abstandsmessung
DE102010049751A1 (de) Optischer Strahlteiler zur simultanen Aufnahme eines Z-Stapels auf einem Halbleiterchip
DE10135321A1 (de) Mikroskopobjektivanordnung und Verwendung einer solchen Mikroskopobjektivanordnung bei einem Mikroskop
DE1804028C3 (de) Ablesevorrichtung für Meßteilungen oder andere periodische Objekte
DE102019129932A1 (de) Optische Detektionseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer optischen Detektionseinrichtung