DE9101682U1 - Vorrichtung zur interferometrischen Messung von Objektoberflächen - Google Patents
Vorrichtung zur interferometrischen Messung von ObjektoberflächenInfo
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10047495B4 (de) * | 1999-10-09 | 2005-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung |
US6943895B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-09-13 | Robert Bosch Gmbh | Interferometric measuring device |
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1991
- 1991-01-19 DE DE9101682U patent/DE9101682U1/de not_active Expired - Lifetime
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DE10047495B4 (de) * | 1999-10-09 | 2005-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung |
US6943895B2 (en) | 2000-03-30 | 2005-09-13 | Robert Bosch Gmbh | Interferometric measuring device |
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