DE898053C - electron microscope - Google Patents

electron microscope

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Publication number
DE898053C
DE898053C DES12178D DES0012178D DE898053C DE 898053 C DE898053 C DE 898053C DE S12178 D DES12178 D DE S12178D DE S0012178 D DES0012178 D DE S0012178D DE 898053 C DE898053 C DE 898053C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron microscope
devices
microscope
support surface
table top
Prior art date
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Expired
Application number
DES12178D
Other languages
German (de)
Inventor
Heinz Otto Dr-Ing Mueller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DES12178D priority Critical patent/DE898053C/en
Application granted granted Critical
Publication of DE898053C publication Critical patent/DE898053C/en
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/16Vessels; Containers

Description

Es ist ein Elektronenmikroskop bekannt, das ein Stativ mit einer waagerechten Auflagefläche für das die Linsen enthaltende Vakuumgefäß in Form eines Tisches besitzt. Dabei sind in das Stativ an geeigneten Stellen auch alle wesentlichen sonstigen zum Betrieb benötigten Einzelteile, wie Vakuumpumpe, Kühlfalle, Regel- und Meßgeräte, eingebaut. Die Regelgeräte befinden sich bei der bekannten Konstruktion unterhalb der waagerechten Auflagefläche des Vakuumgefäßes. Eine Anordnung dieser Art wird erfindungsgemäß dadurch verbessert, daß sich die Regelgeräte des Mikroskops. in einem unter der waagerechten Auflagefläche angeordneten Kasten befinden, der an einer Drehachse so befestigt ist, @daß er zur Kontrolle der in ihn eingebauten Geräte von der Tischplatte nach unten hin weggeklappt werden kann. Dabei werden die in den Kasten. hineinführenden, vorzugsweise von einem unmittelbar hinter dem Tisch stehenden Netzanschlußgerät kommenden elektrischen Anschlußleiturngen derart als bewegliche Leitungen ausgeführt, daß sie bei der gelegentlich erforderlichen Kontrolle der Regelgeräte nicht gelöst werden müssen.There is known an electron microscope that has a tripod with a horizontal Has support surface for the vacuum vessel containing the lenses in the form of a table. All other essentials are in the tripod in suitable places Individual parts required for operation, such as vacuum pump, cold trap, control and measuring devices, built-in. In the known construction, the control devices are located below the horizontal support surface of the vacuum vessel. An arrangement of this type will improved according to the invention in that the control devices of the microscope. in a box located under the horizontal support surface, the on an axis of rotation is attached so that it can be used to control the devices built into it can be folded away from the table top. The in the box. leading into it, preferably from one just behind the table standing power supply unit coming electrical connection lines such as Movable lines run that they carry out the occasionally required inspection of the control devices do not have to be solved.

Weitere für die Erfindung wesentliohe Merkmale ergeben sich aus dem in :den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel, .das ein Elektron enmikroskop mit einem als viereckiger Tisch ausgeführten Stativ zeigt.Further features essential to the invention emerge from the in: the embodiment shown in the figures, .the an electron microscope with a tripod designed as a square table.

Fig. i zeigt eine Vorderansicht, Fig. 2 eine Draufsicht und Fig.3 eine teilweise im Schnitt dargestellte Seitenansicht des Mikroskops.FIG. 1 shows a front view, FIG. 2 shows a plan view and FIG a partially sectioned side view of the microscope.

Mit i ist die viereckige Tischplatte des Mikroskopstativs bezeichnet. Die Tischplatte ruht auf den vier mit 2 bezeichneten Beinen. Oben auf die Tischplatte ist das Elektronenmikroskop 3 . senkrecht stehend aufmontiert. Im oberen Teil des Mikroskops befindet sich das Strahlerzeugungssystem. Mit q. und 5 sind die dem Endbildileuchtschirm zugeordneten Schaulöcher für den vor dem Tisch sitzenden Hauptbeobachter und auf der linken Seite sitzenden zweiten Beobachter bezeichnet. Das Mikroskop ist aus der Tischmitte heraus nach- der vorderen linken Ecke 5 des Tisc he.s hin versetzt derart angeordnet, daß der Hauptbeobachter an der mit 6 bezeichneten Seite -und ein zweiter Beobachter an der mit 7 bezeichneten. Seite seinen Sitzplatz hat. Mit 8 ist die zur Hauptvakuumpumpe 9 führende Vakuumleitung bezeichnet; bei iio ist die Kühlfalle für die Vakuumleitung angedeutet. Die erforderlichen Vakuumschaltungen werden mit Hilfe eines Hahnes iii, der durch einen Handgriff 12 verstellt werden kann, durchgeführt. Den hinteren Abschluß auf der Tischplatte bildet ein Kasten 13, in den Meßinstrumente 14 eingebaut sind. Eine Soffittenlampe 15 sorgt für blendungsfreie Belzuchtung der Instrumentskalen. Rechts neben dem Haupt@beoibachtungsplaz ergibt sich vor' dem Kasten 13 eine freie Tischfläche 116, so daß der Hauptbeobachter hier Schreib- und Ablegemöglichkeit hat; für den auf der linken Seite 7 des Tisches sitzenden Beobachter ergibt sich auf der Tischplatte bei 17 ebenfalls eine entsprechende Tischfläche. Diese Tischfläche ist dadurch ausreichend' groß gemacht, daß die Pumpleitung 8 in der aus dein Grundriß der Fig. 2 ersichtlichen Weise auf der rechten Seite des Mikroskops 3 verlegt ist. Unterhalb der Tischplatte ist ein Kasten i8 angeordnet, der die Schalt- und Regelgeräte des Mikroskops enthält. Mit i9 sind die Bedienungshandgriffe für .diese Geräte bezeichnet. Der Kasten 16 ist an einer Drehachse 2o so befestigt, daß er zur Kontrolle der in ihm eingebauten Schalt- und Regelgeräte nach Lösung der vorderen in der Figur im einzelnen nicht dargestellten Befestigungsmittel von der Tischplatte nach unten hin weggeklappt werden kann. Dabei sind die in,der Figur im einzelnen nicht dargestellten elektrischen Zuleitungen, die in den Kasten 18 führen, derart beweglich ausgebildet, daß man diese Kontrolle der Geräte durchführen kann, ohne die elektrischen. Zuleitungen dabei lösen zu müssen.The square table top of the microscope stand is denoted by i. The table top rests on the four legs marked 2. On top of the tabletop is the electron microscope 3. mounted vertically. In the upper part of the The beam generation system is located in the microscope. With q. and 5 are those of the final picture luminescent screen assigned viewing holes for the main observer sitting in front of the table and on the second observer seated on the left. The microscope is off the center of the table towards the front left corner 5 of the table arranged in such a way that the main observer on the side indicated by 6 -and a second observer at the designated 7. Side has its seat. With 8, the vacuum line leading to the main vacuum pump 9 is designated; at iio is indicated the cold trap for the vacuum line. The required vacuum circuits are adjusted with the help of a cock iii, which can be adjusted by means of a handle 12 can be done. A box forms the rear end of the table top 13, in which measuring instruments 14 are built. A festoon lamp 15 ensures glare-free Illumination of the instrument scales. To the right of the main @beoibachtungsplaz results in front of the box 13 a free table surface 116 so that the main observer here Has writing and filing options; for the one sitting on the left side 7 of the table Observer there is also a corresponding table surface on the table top at 17. This table surface is made sufficiently large that the pump line 8 in the manner apparent from your plan of Fig. 2 on the right side of the microscope 3 is relocated. A box i8 is arranged below the table top, which holds the switch and control devices of the microscope. With i9, the operating handles for .these devices are designated. The box 16 is attached to an axis of rotation 2o so that that he is responsible for checking the switching and regulating devices built into him for a solution the front fastening means of not shown in detail in the figure the table top can be folded away downwards. Here are those in, the figure electrical leads, not shown in detail, which are in the box 18 lead, designed so movably that you can perform this control of the devices can without the electric. To have to solve supply lines.

Abweichend von den in -der Figur dargestellten Ausführungsformen kann man auch andere Grundrißformen -für die waagerecht liegende Auflagefläche des Mikroskops anwenden.Notwithstanding the embodiments shown in the figure, you can also use other plan forms -for the horizontally lying support surface of the microscope use.

Claims (1)

PATENTANSPRUCH: Elektronenmikroskop mit einem Stativ, das eine waagerechte Auflagefläche für -das die Linsen enthaltende Vakuumgefäß besitzt und das die übrigen zum Betrieb benötigten Einzelteile; wie Vakuumpumpe, Kühlfalle, Regeluni Meßgeräte, trägt, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Regelgeräte in einem unter der waagerechten Auflagefläche angeordneten Kasten befinden, der an einer Drehachse so befestigt ist, daß er zur Kontrolle der in ihn eingebauten Geräte von der Tischplatte nach unten hin weggeklappt werden kann.PATENT CLAIM: Electron microscope with a stand that has a horizontal one Support surface for the vacuum vessel containing the lenses and the other individual parts required for operation; such as vacuum pump, cold trap, Regeluni measuring devices, carries, characterized in that the control devices in a below the horizontal Support surface arranged box are located, which is attached to an axis of rotation is that he has to check the devices built into him from the table top can be folded away at the bottom.
DES12178D 1943-06-12 1943-06-24 electron microscope Expired DE898053C (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
DES12178D DE898053C (en) 1943-06-12 1943-06-24 electron microscope

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE247857X 1943-06-12
DE230643X 1943-06-23
DES12178D DE898053C (en) 1943-06-12 1943-06-24 electron microscope

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DE898053C true DE898053C (en) 1953-11-26

Family

ID=27185034

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DES12178D Expired DE898053C (en) 1943-06-12 1943-06-24 electron microscope

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