DE893105C - Device for the production of interior images in corpuscular jet apparatus working on the pump - Google Patents

Device for the production of interior images in corpuscular jet apparatus working on the pump

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DE893105C
DE893105C DES11530D DES0011530D DE893105C DE 893105 C DE893105 C DE 893105C DE S11530 D DES11530 D DE S11530D DE S0011530 D DES0011530 D DE S0011530D DE 893105 C DE893105 C DE 893105C
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DE
Germany
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cassette
flap
holder
pump
shaped opening
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Expired
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DES11530D
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German (de)
Inventor
Bodo V Dr-Ing Habil Borries
Franz Weigend
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/22Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

Einrichtung zur Herstellung von Innenaufnahmen in an der Pumpe arbeitenden Korpuskularstrahlapparaten Bei an der .Pumpe arbentenden Korpuskularstrahlapparaten, bei,spielsweise Elektro-nenmi!krosko.pen, ist es üblich, das Fotomaterial zur Herstellung der Bilder in das Innere des Vakuumraumes zu bringen. Es wird meist im Strahlengang unmittelbar hinter dem Endbildleuchtschirm angeordnet, der für das Belichten der Fotoschicht aus dem Strahlengang herausgekla ppt wird. Es sind für diese Zwecke schon verschiedenartige Schleuseinrichtungen, besannt, dne es gestatten, @die Fotokassette ohne Unterbrechung des Vakuums in den Apparat einzuführen und daraus zu entnehmen. Derartige Schleuseinrichtu@ngen für .das Fotomaterial erfordern einen verhältnismäßig großen Aufwand, zumal der Innenraum i der Schleuse so groß sein muß, daß der Ka@ssetternschieber in ihm Zur Freilcigung der Fotoschicht aufgezoagen werden kann.Device for the production of interior shots in working on the pump Corpuscular jet devices In the case of corpuscular jet devices working on the pump, for example electron-nenmi! krosko.pen, it is common to use the photographic material for production of bringing the images into the interior of the vacuum space. It is mostly in the beam path arranged immediately behind the end screen, which is used for exposing the Photo layer is flipped out of the beam path. It is for this purpose already various lock devices, labeled, allow @ the photo cassette to be introduced into and removed from the apparatus without breaking the vacuum. Such Schleuseinrichtu @ ngen for. The photo material require a relatively great effort, especially since the interior i of the lock must be so large that the Ka @ ssetternschieber can be opened in it to expose the photo layer.

Gegenstand der Erfindung ist eine Einrichtung zur Herstellung von Innenaufnahmen in an Ader Pumpe arbeitenden Korpuskuliarstrahl.upparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen., mit einem im Strahlengang hinter dem Endbildleuchtschirm angeordneten Aufnahmeraum für die Fotokassette und einer mit einer Klappe verschließbaren schlitzförmigen Öffnung zum Einführen der Kassette. Erfind urngsgemäß .ist der Kassettenschieber zum Freilegen der Fotosichicht nach der Seite oder Verschlußkl@appe hin aus dem Apparat entfernbar. Auf diese Weise ergibt oich ein Kassettenaufnahmenaum innerhalb des Korpuskuliarstrahläpparates, ider -bedeutend kleiner sein kann und dementsprechend auch weniger Materiialau.fwand erfordert, als dies bei: den bisher bekannten Fotoschleusen ider Fall ist. Der Aufnahmeraum oder Kassette braucht nimliah bei der neuen Anordnung im wesentlichen nicht viel größer zu sein, als die Kassette nach Abziehen des Schiebers benötigt. Die Erfindung eignet sich für alle solche an ider Pumpe betriebenen Korpuskudarstrahlapparate, die ohne besondere Kassettensc'hleusein:richtung arbeiten ibzw. für solche Apparate, bei denen der Endbilidraum dos Vakuumgefäßes (durch eine zusätzliche Klappe, ein Ventil od.:dgl., von den übrigen den Strahlerzeuger und die abbildenden. Linsen enthaltenden Raum aibtrennbar ist. Man kann die Anordnung mit Vorteil so wählen, Üaß der Kassetternsch:ieber eo weit aus dem Öffnungsschlitz herausragt, daß ein Schließen der äußeren; Klappe nur (bei entferntem Kassettenschieber möglich ist. Mit idieser Bemessung wird ganz zwangsläufig-erreicht, daß nach idem Einlegen der Kassette in den Aufnahmeraum .dies Apparates id&s Freilegen ider Fotoschicht vor dem älußeren Abschließen des Aufnahmeraumes nicht vergessen, werden kann.The invention relates to a device for the production of Interior shots in corpuscular jet working on the vein pump, in particular Electron microscopes., With one in the beam path behind the end screen arranged receiving space for the photo cassette and one closable with a flap slot-shaped opening for inserting the cassette. The cassette pusher is in accordance with the invention to expose the photo layer to the side or closure flap out of the Removable device. To this In this way, there is also a cassette receiving space within the corpuscular jet apparatus, which can be significantly smaller and accordingly also requires less material wall than this with: the previously known photo locks ider the case. The recording room or cassette needs nimliah essentially not being much larger than the cassette with the new arrangement required after removing the slide. The invention is suitable for all such on the pump-operated corpus cudar blasting apparatus, which do not have a special cassette locking device work ibzw. for such devices, in which the Endbilidraum dos vacuum vessel (by an additional flap, a valve or the like, from the rest the jet generator and the depicting. Lenses containing space is separable. You can do the arrangement It is advantageous to choose so that the cassette slide is over eo far out of the opening slot protrudes that closing the outer; Flap only (with the cassette slide removed is possible. With this measurement it is inevitably achieved that according to idem Insertion of the cassette into the receiving space. This apparatus id & s exposure ider Do not forget the photo layer before locking the outside of the recording room can.

Zur Aufxiahme ,der Kassette kann man mit Vorteil einen besonderen Halter anwenden, der in iden Kassetteniaufhahmeraum idurch idie ischlitzförmige Öffnung einfuhrbar ist. Einen solchen Halter wird man dann mit einem aus der Öffnung herausragenden PIandigriff versehen, so.,daß das Einführen und Entnehmen der Kassette leicht möglich ist. Dabei kann_idie Abschlußklappe mit einer Aussparung versehen sein, in die der Handgriff ides Halters im eingesetzten Zustand hineinragt. Für idie Verschlußklappe selibst hat sich eine Konstruktion als besonders vorteilhaft erwiesen, bei der diese Klappe an einem um eine Driehachse schwenkbaren Halter mit ,Hilfe von Führungsmitteln in, der Verschlußrichtunig verschie#bhar ist und durch eine Schraube mit ihrer Trockendichtung gegen den Rand, der schlitzförmigen Öffnung gedrückt wird. Diese Schraube drückt idabei vorzugsweise gegen. den mittleren Bereich der Verschlußklappe, (so. daß eine allseitig gut- -Anlage des Gummidichtungsringes ran fder Öffnung gewährleistet ist.To mount the cassette you can use a special one with advantage Use the holder that is in the cassette storage space by the slit-shaped Opening is insertable. One becomes such a holder with one from the opening protruding PIandigriff provided, so that the insertion and removal of the cassette is easily possible. The closing flap can be provided with a recess be, into which the handle of the holder protrudes in the inserted state. For The closure flap itself has proven to be particularly advantageous proven to have this flap on a holder pivotable about a rotating axis , Help from guide means in which the locking mechanism is incorrectly different and through a screw with its dry seal against the edge, the slot-shaped opening is pressed. This screw preferably presses against it. the middle area the closing flap, (so. that a good all-round installation of the rubber sealing ring the opening is guaranteed.

Die Figuren zeigen ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. In Fig. i ist ein Ungsschnitt, in Fig. 3 ein Querschnitt durch die Fotokammer eines Elektronenmikroskops dargestellt. Fig. 2i zeigt die in die Fotokammer einzulegende Kassette. Die Aufnahmekammer i der Kassette wird gebildet durch die Grundplatte :2 edles Elektronienmikroskops: und einen darin eingesetzten Ring 3, in dem sich die Lagerbuchsen q., 5 der Schwenkachse 6 des Enidbia,di- ° leuchtschi-rmes 7 befinden. Mit 8 ist ider äußere mit der Schwenkachse 6 gekuppelte Handgriff bezeichnet, mit d ess .en Hilfe !der Endbi.ldleuichtschhirm 7 von außen her 'bei Beginn der Belichtung hochgeklappt und ,beim Ende der Belichtung in, die @dargestellte Lage zurückgeklappt werden kann. In idie Aufnahmekammer i, ist ein Halter 9 einsetzbar, in den die Kassette io päßt. Ein Handgriff ii des Halters ragt @dalyei aus der seitlichen schlitzförmigen Öffnung 1,2 ides Aufnahmeraumes i ein wenig heraus, so !daß: -mian den Halter 9 mitt ider @diarin eingesetzten Kassette io bequem einführen und entnehmen kann. Der äußere Verschluß der schlitzförmigen Öffnung ie wird gebildet durch eine Klappe r3, deren Gummiidichtung iq. sich inm geschlossenen ZuAand fest gegen Iden äußeren Rand der Öffnung 12 legt. Die Klappe z'3 selbst ist an einem Halter 15 mit Hilfe von zwei Schrauben r6, 17 derart befestigt, daß die" Klappe in Richtung auf die zu verschließende Öffnung i2 hin relativ zum Halter i.5 mit Hilfe der Druckschraube .18 gepreßt werdkn kann. Der Halter r5, welcher die Klappe 13 in (dieser Weise trägt, ist um eine Drehachse 19-ochwenkbar. Mit 2o ist (der idurch den Handgriff 21 zu Schließrieg`el ides, Verschlusses bezeichnet. Der aus Fig. 2 ersichtliche Kassettenschieber =@ ist .bei der dargestellten Anordnung eo bemessen, daß man nach Einführen der Kassette rn -t Hilfe ides: Halters 9 idie Verschlußklappe 13 erst dann schließen kann, wenn der Schieber 22 aus, der Kassette herausgezogen ist. Auf diese Weise ist ohne weiteres zwangsläufig dafür gesorgt, daß beim Schließen der äu ßerzn Klappe 13 idie Fotoschicht durch Wegziehen ides Schiebers 2@2 freigelegt ist, so&ß man im Ansc'hluß daran unmittelbar die Aufnahme idurch Betätigen des Leuchtschirmes. 7 machen kann. Mit 23 ist eine Filzdichtung im Ring 3 @hezeichnet,-,die zusammen mit der üblichen Dichtung 24 an der Kassette den lichtdichten AbschluB (der Fotoschicht wach: der Seite der Öffnung i,2 hin sichert, wenn der Kassettenschieber 22 herausgezogen wird.The figures show an embodiment of the invention. In Fig. i is a Ungsschnitt, in Fig. 3 a cross section through the photo chamber of an electron microscope shown. Fig. 2i shows the cassette to be inserted into the photo chamber. The receiving chamber i the cassette is formed by the base plate: 2 elegant electronic microscopes: and a ring 3 inserted therein, in which the bearing bushes q., 5 of the pivot axis 6 of the Enidbia, di- ° Leuchtschi-rmes 7 are located. With 8 is the outer one with the pivot axis 6 coupled handle, with the help of the final screen 7 from the outside 'folded up at the beginning of the exposure and, at the end of the exposure in, the @shown position can be folded back. In i the receiving chamber i, a holder 9 can be used, in which the cassette fits io. A handle ii of the holder @dalyei protrudes from the side slit-shaped opening 1,2 ides receiving space i out a little, so that: -mian the holder 9 with the @diarin inserted cassette io can be easily inserted and removed. The outer closure of the slit-shaped Opening ie is formed by a flap r3, whose rubber seal iq. himself inm closed ZuAand firmly against the outer edge of the opening 12. The flap z'3 itself is attached to a holder 15 with the help of two screws r6, 17 in such a way that that the "flap in the direction of the opening to be closed i2 out relative to Holder i.5 can be pressed using the pressure screw .18. The holder r5, which the flap 13 is supported in this way and can be swiveled about an axis of rotation 19. With 2o is (which is designated by the handle 21 to lock bolt ides, lock. The cassette slide shown in FIG. 2 = @ is. In the illustrated arrangement eo dimensioned that after inserting the cassette rn -t help ides: holder 9 idie Shutter 13 can only close when the slide 22 is out of the cassette is pulled out. In this way it is inevitably ensured that that when closing the outer flap 13 ides the photo layer by pulling it away Slider 2 @ 2 is exposed, so you can immediately follow the recording i by pressing the fluorescent screen. 7 can do. At 23 there is a felt seal in the ring 3 @hezeich, - which together with the usual seal 24 on the cassette the light-tight closure (of the photo layer awake: secures the side of the opening i, 2, when the cassette pusher 22 is pulled out.

Claims (5)

PATENTANSPRÜCHE: i. Einrichtung zur Herstellung von Innen-.aufnahmen in an der Pumpe arbeitenden Korpus -kularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikros:kopten, mit einem im Strahlentgang hinter .dem Endbilclleuchts,chirm angeordneten Aufnahmeraum für idie Fotokassette und einer mit einer Klappe schlitzförmigen Öffnung zum Einführen ider Kassette, dadurch gekennzeichnet, daß ider Kassettenschieber zum Freilegen der Fotosehicht nach oder Seite der Verschlußklappe hin aus dem Apparat entfernbar ist. PATENT CLAIMS: i. Facility for the production of indoor shots in body beam devices working on the pump, in particular electron microscopes, with a recording space arranged in the beam path behind the end lamp, screen for the photo cassette and a slit-shaped opening with a flap for insertion ider cassette, characterized in that ider cassette slide for exposure the photo layer to or from the side of the closure flap can be removed from the apparatus is. 2. Einrichtung nach Anspruch r, (dadurch gekennzeichnet, @daß der Kassettenschieber so weit aus dem Öffnungsschlitz herausragt, daß ein Schließen der Klappe nur bei entferntem Kassettenschieber möglich ist. 2. Device according to claim r, (characterized in that @ that the cassette slide so far protrudes from the opening slot that the flap can only be closed when removed cassette slide is possible. 3. Einrichtung nach Anspruch z oder 2" da-.durch gekennzeichnet, @daß zur Aufnahme -der Kassette ein Halter dient, der einen aus ider schlitzförmigen Öffnung herausragenden Handgriff besitzt. 3. Device according to claim z or 2 " as-characterized by @ that a holder is used to hold the cassette, which has a handle protruding from the slot-shaped opening. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gkennzeicb@net, daß,die Abschlußklappe eine Aussparurig besitzt, in die der Handgriff des Hialters im eüngesetzten Zu:stanide, hineinragt. 4. Establishment according to claim 3, characterized in that the closing flap has a recess owns, into which the handle of the hialter protrudes at the end of the line: stanide. 5. Einrichtung nach Anspruch i oder einem der folgenden, @dadurch gekennzeichnet, daß idie Alrschlußkliappe an einem um eine Dreh,ach,se schwenkbaren Halter mit Hilfe von Führungsmitteln in der Verschliußrichtung verschiebbar ist und durch eine Schraube mit ihrer Trocken--dichturig geigen (den Rand- (der schlitzförmigen Öffnung gedrückt wird.5. Establishment according to claim i or one of the following, @ characterized in that i the closing flap on a holder pivotable about a rotation, ach, se with the help of guide means in the direction of closure is displaceable and by a screw with its dry - Dichturig violins (the edge (of the slit-shaped opening is pressed.
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