DE878884C - Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume - Google Patents

Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume

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DE878884C
DE878884C DEB9479D DEB0009479D DE878884C DE 878884 C DE878884 C DE 878884C DE B9479 D DEB9479 D DE B9479D DE B0009479 D DEB0009479 D DE B0009479D DE 878884 C DE878884 C DE 878884C
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DE
Germany
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wire
evacuated
guide part
rooms
supply
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Expired
Application number
DEB9479D
Other languages
English (en)
Inventor
Helmut Adam
Richard Mueller
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Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Laie Verarbeitung von Metalldrähten in evakuierten Räumen, wenn es sich z. B. um Nachschubmaterial für die thermische Verdampfung handelt, kann .in der Weise erfolgen, daß die Drahtvorratstolle selbst sich im eva'kuierte'n Raum befindet. Nachteilig ist hierbei aber, daß die Rolle unter Umständen rnitbedampft wird, da es nicht möglich ist, sie auf genügend hohe Temperatur.'zu bringen, damit eine Kondensation des Dampfes unterbleibt.
  • Die Erfindung gibt daher eine Vorrichtung, an, die es gestattet, den Nachschubdraht von außen durch das Gehäuse des evakuierten Raumes zu führen, ohne daß dabei das Vakuum unterbrochen oder auch nur beeinträchtigt wird. Die Vorrichtung besteht erfindungsgemäß aus einem den einzuführenden Draht umgebenden ringförmigen Führungsteil, welcher zu dem Draht hingewandte Öffnungen enthält und dessen Hohlraum mit einer Vakuumpumpe dauernd verbunden ist. Das Führungsteil liegt zweckmäßig zwischen Gummidichtungen, die den einzuführendenDraht umeben. Der Draht kann von der Vorratsrolle durch eine im Innern des evakuierten Raumes .befindliche Ziehvorrichtung abgezogen oder durch eine außerhalb .des evakuierten Rautees gelegene Vorschubeinrichtung z. B. zwischen zwei Wälzen abgezogen. und .durch .die erfindungsgemäße Vorrichtung in das Innere :des evakuierten Raumes gedrückt werden..
  • Die Abbildung zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Von. der Vorratsrolle i wird der Nachschubdraht 2 in bekannter, hier nicht dargestellter , Weise abgezogen. Das Gestell 3 für die Vorratsrolle i ist am Gehäuse q. eines evakuierten Arbeitsraumes befestigt: Der in den evakuierten Raum einzuführende Draht geht zunächst durch die Gummidichtung5 hindurch und dann durch das erfindungsgemäße ringförmige Führungsteil 6: Das Teil 6 enthält einen Hohlraum 7 und die Bobrungen 8, g, io und i i, die an den etwas abgeschrägten zurückliegenden Kanten liegen. Der Hohlraum 7 ist durch den Stutzen 12 mit einer nicht gezeichneten Vakuumpumpe verbunden und wird dauernd abgesaugt, so däß die durch die Gummidichtung und zwischen dem Draht und dem Führungsteil eindringende Außenduft nicht in den evakuierten Raum gelangen kann, sondern vorher abgesaugt wird.
  • Schließlich wird der Draht 2 durch eine zweite Gummidichtung 13 geführt. DieGrummidichtungen 5 und 13 bestehen aus dünnen nachgiebigen Gummiplatten, die vom durchzuführenden Draht einfach durchstoßen sind.
  • DieVorridhtung ist leicht amGehäuse evakuierter Räume anzubringen und erlaubt es, die Einführung von Draht von Vorratsrollen in einfacher Weise vorzunehmen. - -

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE; i. Vorrichtung zum Einführen von Drähten in evakuierte Räume, :gekennzeichnet durch einen den einzuführenden Draht umgebenden ringförmigen Führungsteil, welcher zu dem Draht hingewandte Öffnungen enthält und dessen Hohlräume mit einer Vakuumpumpe dauernd verbunden sind.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i; dadurch gekennzeichnet, @daß das ringförmige Führungsteil an den zum Draht hingewandten Öffnungen abgeschrägt ist, so daß der einzuführende Draht nicht an diesen Stellen des Führungsteils anliegt.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsteil zwischen Gummidichtungen liegt, die den einzuführenden Draht - umgeben.
DEB9479D 1944-02-10 1944-02-10 Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume Expired DE878884C (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3045642A (en) * 1957-07-12 1962-07-24 Commissariat Energie Atomique Vacuum pumps of the getter type
US3121062A (en) * 1961-06-22 1964-02-11 Herbert J Gonld Vapor phase crystallization
DE19923654A1 (de) * 1999-05-22 2000-11-23 Leybold Systems Gmbh In einem Rezipienten einer Vakuumbeschichtungsanlage anzuordnender Verdampfer und Verfahren zum Regeln der Verdampfungsrate einees solchen Verdampfers

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DE19923654A1 (de) * 1999-05-22 2000-11-23 Leybold Systems Gmbh In einem Rezipienten einer Vakuumbeschichtungsanlage anzuordnender Verdampfer und Verfahren zum Regeln der Verdampfungsrate einees solchen Verdampfers

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