DE878884C - Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume - Google Patents
Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte RaeumeInfo
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- DE878884C DE878884C DEB9479D DEB0009479D DE878884C DE 878884 C DE878884 C DE 878884C DE B9479 D DEB9479 D DE B9479D DE B0009479 D DEB0009479 D DE B0009479D DE 878884 C DE878884 C DE 878884C
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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Description
- Laie Verarbeitung von Metalldrähten in evakuierten Räumen, wenn es sich z. B. um Nachschubmaterial für die thermische Verdampfung handelt, kann .in der Weise erfolgen, daß die Drahtvorratstolle selbst sich im eva'kuierte'n Raum befindet. Nachteilig ist hierbei aber, daß die Rolle unter Umständen rnitbedampft wird, da es nicht möglich ist, sie auf genügend hohe Temperatur.'zu bringen, damit eine Kondensation des Dampfes unterbleibt.
- Die Erfindung gibt daher eine Vorrichtung, an, die es gestattet, den Nachschubdraht von außen durch das Gehäuse des evakuierten Raumes zu führen, ohne daß dabei das Vakuum unterbrochen oder auch nur beeinträchtigt wird. Die Vorrichtung besteht erfindungsgemäß aus einem den einzuführenden Draht umgebenden ringförmigen Führungsteil, welcher zu dem Draht hingewandte Öffnungen enthält und dessen Hohlraum mit einer Vakuumpumpe dauernd verbunden ist. Das Führungsteil liegt zweckmäßig zwischen Gummidichtungen, die den einzuführendenDraht umeben. Der Draht kann von der Vorratsrolle durch eine im Innern des evakuierten Raumes .befindliche Ziehvorrichtung abgezogen oder durch eine außerhalb .des evakuierten Rautees gelegene Vorschubeinrichtung z. B. zwischen zwei Wälzen abgezogen. und .durch .die erfindungsgemäße Vorrichtung in das Innere :des evakuierten Raumes gedrückt werden..
- Die Abbildung zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Von. der Vorratsrolle i wird der Nachschubdraht 2 in bekannter, hier nicht dargestellter , Weise abgezogen. Das Gestell 3 für die Vorratsrolle i ist am Gehäuse q. eines evakuierten Arbeitsraumes befestigt: Der in den evakuierten Raum einzuführende Draht geht zunächst durch die Gummidichtung5 hindurch und dann durch das erfindungsgemäße ringförmige Führungsteil 6: Das Teil 6 enthält einen Hohlraum 7 und die Bobrungen 8, g, io und i i, die an den etwas abgeschrägten zurückliegenden Kanten liegen. Der Hohlraum 7 ist durch den Stutzen 12 mit einer nicht gezeichneten Vakuumpumpe verbunden und wird dauernd abgesaugt, so däß die durch die Gummidichtung und zwischen dem Draht und dem Führungsteil eindringende Außenduft nicht in den evakuierten Raum gelangen kann, sondern vorher abgesaugt wird.
- Schließlich wird der Draht 2 durch eine zweite Gummidichtung 13 geführt. DieGrummidichtungen 5 und 13 bestehen aus dünnen nachgiebigen Gummiplatten, die vom durchzuführenden Draht einfach durchstoßen sind.
- DieVorridhtung ist leicht amGehäuse evakuierter Räume anzubringen und erlaubt es, die Einführung von Draht von Vorratsrollen in einfacher Weise vorzunehmen. - -
Claims (3)
- PATENTANSPRÜCHE; i. Vorrichtung zum Einführen von Drähten in evakuierte Räume, :gekennzeichnet durch einen den einzuführenden Draht umgebenden ringförmigen Führungsteil, welcher zu dem Draht hingewandte Öffnungen enthält und dessen Hohlräume mit einer Vakuumpumpe dauernd verbunden sind.
- 2. Vorrichtung nach Anspruch i; dadurch gekennzeichnet, @daß das ringförmige Führungsteil an den zum Draht hingewandten Öffnungen abgeschrägt ist, so daß der einzuführende Draht nicht an diesen Stellen des Führungsteils anliegt.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsteil zwischen Gummidichtungen liegt, die den einzuführenden Draht - umgeben.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB9479D DE878884C (de) | 1944-02-10 | 1944-02-10 | Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEB9479D DE878884C (de) | 1944-02-10 | 1944-02-10 | Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE878884C true DE878884C (de) | 1953-06-08 |
Family
ID=6956363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEB9479D Expired DE878884C (de) | 1944-02-10 | 1944-02-10 | Vorrichtung zum Einfuehren von Draehten in evakuierte Raeume |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE878884C (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3045642A (en) * | 1957-07-12 | 1962-07-24 | Commissariat Energie Atomique | Vacuum pumps of the getter type |
US3121062A (en) * | 1961-06-22 | 1964-02-11 | Herbert J Gonld | Vapor phase crystallization |
DE19923654A1 (de) * | 1999-05-22 | 2000-11-23 | Leybold Systems Gmbh | In einem Rezipienten einer Vakuumbeschichtungsanlage anzuordnender Verdampfer und Verfahren zum Regeln der Verdampfungsrate einees solchen Verdampfers |
-
1944
- 1944-02-10 DE DEB9479D patent/DE878884C/de not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3045642A (en) * | 1957-07-12 | 1962-07-24 | Commissariat Energie Atomique | Vacuum pumps of the getter type |
US3121062A (en) * | 1961-06-22 | 1964-02-11 | Herbert J Gonld | Vapor phase crystallization |
DE19923654A1 (de) * | 1999-05-22 | 2000-11-23 | Leybold Systems Gmbh | In einem Rezipienten einer Vakuumbeschichtungsanlage anzuordnender Verdampfer und Verfahren zum Regeln der Verdampfungsrate einees solchen Verdampfers |
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