DE8711811U1 - Feinantrieb für ein Laserwerkzeug - Google Patents

Feinantrieb für ein Laserwerkzeug

Info

Publication number
DE8711811U1
DE8711811U1 DE8711811U DE8711811U DE8711811U1 DE 8711811 U1 DE8711811 U1 DE 8711811U1 DE 8711811 U DE8711811 U DE 8711811U DE 8711811 U DE8711811 U DE 8711811U DE 8711811 U1 DE8711811 U1 DE 8711811U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
fine drive
drive according
laser tool
coil
tool
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE8711811U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE8711811U priority Critical patent/DE8711811U1/de
Publication of DE8711811U1 publication Critical patent/DE8711811U1/de
Priority to EP88810588A priority patent/EP0306456A1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F7/00Magnets
    • H01F7/06Electromagnets; Actuators including electromagnets
    • H01F7/08Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
    • H01F7/16Rectilinearly-movable armatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

■ «
Feinantrieb für ein ,Laserwerkzeug
tie Neuerung betrifft einen Feinantrieb für ein Laserwerkzeug.
fLäsarsteiraiiion ?*us LeistuncfElHssr-Qusllsn v/sräsn vorvrisgsnä durch optische Linsen derart gebündelt auf die Oberfläche des Hu bearbeitenden Werkstücks gerichtet/ dass der Brennpunkt Optimal zur Erzielung des gewünschten Effekts liegt. Bei der Bearbeitung eines Werkstücks aus Stahl beispielsweise, ist flie Wärmeeinwirkung der Laser-Energie in das Werkstück hinein flann optimal, wenn der Brennpunkt knapp unter der Werkstückoberfläche positioniert wird. Sofern die Oberfläche eines Werkstücks nicht plan ist, kann sich die Brennpunktlage bereits bei geringen Abstandsänderungen so ungünstig verändern, Hass die gewünschte Wirkung erheblich verschlechtert wird.
Laserwerkzeuge gibt es für die verschiedensten Zwecke und in Verschiedensten Ausführungsformen. Derzeit wird am häufigsten •ine Düsenanordnung verwendet, an deren Ende sowohl der Laserstrahl als auch ein zum Bearbeitungsprozess erforderliches Aas austritt.
Ihn bei einem solchen Werkzeug den Düsen-Werkstück-Abstand konstant zu halten, sind sensorgeführte Düsen bekannt, z.B. Äurch die US-PS-4,298,784 und JP-OS-083877/79.
Die Laserdüse wird dabei durch Sensorsignale eines oder mehrerer abstandsensitiver Sensoren geführt. Die Sensorsignale werden in bekannter Weise einer Regelanordnung oder einer Steueranordnung eines Antriebsmotors zugeführt. Dieser bewirkt die Verlagerung der Düse relativ zum Werkstück. Dabei lässt sich der Abstand zufriedenstellend konstant halten.
Bei Beärbeitüngsmaschinen mit Vorschub in drei Achsen ist die zum Werkstück hin gerichtete sogenannte Z-Achse meistens mit grossem Hub versehen. Damit sollen alle Topographien des Werkstücks, beispielsweise eines Kraftfahrzeug-Bauteils, durch den Antrieb ansteuerbar und "verfolgbar" werden.
Dies trifft vor allem für Roboter zu, bei denen die Düsen-
ED it 7. A XTl day &EEgr;&bgr;&agr;€&idiagr; ™i"ttel£ SinSE imvr\fr\rfvamtni *»T»l">=r·*»»"· KUl ,n(n
*■ a^ ^^^ ^^ ^^g ^"* ^^" ""W *·· ^^ &Lgr;&lgr; &Lgr;& %^m at ^& &Lgr; m b*Af ^bB t^l *A ·■* 1^7
über die Oberflächenform des Werkstücks geführt wird* Infolge von Toleranzen und Einzel-Abweichungen der Oberflächenkonfiguration von Werkstücken ist es aber sogar bei solchen Roboter-Steuerungen erforderlich, die Düse selbst relativ zum Werkstück und meistens unabhängig von der Robotersteuerung in einem kleinen Hubbereich auszulenken. Dazu wird meist ein separater Regelkreis vorgesehen, der einen an der Düse angebrachten Abstandssensor aufweist und mit sehr schnellen Zeitkonstanten die Nachführung der Düse gegenüber der Oberfläche des Werkstücks vornimmt. Dabei besteht die Forderung nach sehr schneller Reaktion der Antriebseinrichtung auf Abstandsänderungen y insbesondere bei hohen Bearbeitungsgeschwindigkeiteß der Maschine z.B. des Roboters. Bei grossen Vorscfribgeschwindigkeiten können Stellsignale für die Antriebseinrichtung Frequenzen bis zu 20 Hz erreichen.
Der Einsatz konventioneller Antriebseinrichtungen und Motore führt dabei allerdings zu einer Vielzahl rotierender Massen (Wellen, Getriebe usw.) die grosse kenetische Energie aufnehmen. .Ein Grossteil der Antriebsleistung muss dabei zur üeberwindung des Trägheitsmoments der Antriebseinrichtungen selbst verwendet werden. Ausserdem sind derartige Antriebe wartungsintensiv und teuer. Aehnliche Probleme ergeben sich bei Hydraulik-Antrieben.
Aufgabe der Neuerung ist es die Nachteile des Bekannten zu vermeiden. Insbesondere soll ein schneller, kostengünstiger und wartungsarmer Feinantrieb ausreichender Genauigkeit ge-
• ·
■chaffen werden* Solche Feinantriebe weisen Hübe von wenigen Millimetern bis ca. 20 mm und darüber auf.
Die Neuerung erreicht dies gemäss Kennzeichen von Anspruch 1« Durch den Einsatz der in das stationäre Feld eintauchenden Spule, die ihrerseits am Laserwerkzeug befestigt ist, wird Bowohl geringe Massen-Beschleunigung als auch schnelle Hübfrsqusns ermöglicht. Durch Steuerung des strö&flussss durch dia Spule lassen sich sowohl kurzfristige Auslenküngen erreichen als auch Hübe über einen längeren Zeitraum erhalten. Je nach Anwendungsfall kann eine oder mehrere Spule und es können auch ein oder mehrere Magnete zur Erzeugung des Magnetfelds vorgesehen werden.
Besonders geringe bewegliche Massen ergeben sich, wenn die Spule am Laserwerkzeug befestigt ist und die Magnetanordnüng tür Erzeugung des Magnetfelds stationär ist.
Das Magnetfeld ist zweckmässigerweise so gestaltet, dass die auf dem Laserwerkzeug befindlichen Spulen stot's im weitgehend homogenen Bereich des Magnetfelds verbleiben. Die Länge der
Spule bzw. der Spulen ist jedoch grosser als die Länge des &Idigr; homogenen Magnetfelds.
• Besonders einfache Bauform ergibt sich, wenn die Spule das '; Laserwerkzeug umgibt.
y In der praktischen Realisierung ergibt sich eine besonders einfache und kostengünstige Bauform, wenn das stationäre Magnetfeld im Arbeitsluftspalt einer Magnetanordnung gebildet } ist, wobei die Magnetanordnung vorzugsweise einen Permanentmagneten aufweist.
Weitere Reduzierung der beweglichen Massen und besonders ,, Wärmeableitung von der Spule über das Werkzeug lässt sich erreichen, wenn die Spule direkt um einen Abschnitt des Werkzeugs gewickelt ist.
Einfache Herstellung und gute Anpassung an die meisten Laser-Bearbeitungswerkzeuge ergibt sich, wenn der Arbeitsluftspalt ein Ringspalt ist.
Eine besonders einfache Ausführungsfona ergibt sich, wenn die Magne.tanordnung einen Rohrkörper aufweist, der einerseits in den Magnetfluss einbezogen ist und andererseits als Mantel-Rohr für den Laserstrahl dient.
Das Laserwerkzeug, bzw. das Endteil des Laserwerkzeugs soll dabei an einer in Axialrichtung verlagerbaren Halteanordnung befestigt sein.
Vorteilhaft ist es, wenn die Halteanordnung wenigstens ein in Axialrichtung federndes Element aufweist, da auf diese Weise eine Rückstellkraft in eine definierte Null-Lage erzeugt wird.
Besonders gute Ergebnisse lassen sich erzielen, wenn die Halteanordnung wenigstens eine ringförmige Membran aufweist, die um den Hubweg des Werkzeugs federnd auslenkbar ist.
Die durch Verluste entstehende Wärme an der Spule kann vorteilhafterweise durch das sowieso verwendete Arbeitsgas abgeführt werden. Dies lägst sich besonders dann erreichen, wenn das Gas durch Hohlräume im Innern des Werkzeugs geführt und möglichst im Spulenbereich In der Wandung oder in entsprechend an der Wand angeformten Kanälen geführt wird.
Die Heuerung ist im folgenden in Ausführungsbeipielen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 Einen ßchematieäh im Teilsehnitt dargestellten Feihafitrleb wit den Merkmalen der Neuerung1/
«> ■ I Il 'I
III · ·
» I J I j
l!) &Iacgr;&idiagr; IK ill
Figur 2 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel gemäss Figur 1,
Figur 3 ein Prinzipschaltbild für die Steuerung des Feinantriebs gemäss der Neuerung.
Gemäss Figur 1 wird eine Düse 1 durch einen Abstands-Sensor über ein Werkstück 3 "geführt". Im Innern der Düse 1 ist eine Linse 4 zur Bündelung des Laserstrahls 4a vorgesehen. Die Düse 1 weist an ihrem unteren Arbeitsende eine Oeffnung auf, aus welcher der Laserstrahl 4a austritt. Ausserdem wird dort ein Arbeitsgas ausgeblasen, welches über den stationären Rohrkörper 5a und das Magnet-Eisenrohr 13 der Düse 11 zugeführt und an der Linse 4 vorbeigeleitet wird. Die Düse 1 ist an einem Rohrkörper 5 befestigt, welcher eine Spule 8 trägt. Der Rohrkörper 5 ist seinerseits mittels zwei Membranen 6 und 7 axial, d.h. in der Zeichnung vertikal auslenkbar an einem Magnet 9 bzw. an einer Endplatte 10 befestigt. Eine zweite Endplatte 11 ist mit einem Magnet-Eisenrohr 13 verbunden, so dass ich zwischen diesem und der Endplatte 10 ein Arbeitsluftspalt 12 ergibt, in welchem sich die Spule 8 befindet. Der ringförmige Magnet 9 hat oben den Nord- und unten den Südpol, so dass sich im gesamten ringförmigen Arbeitsluftspalt 12 ein in gleicher Richtung verlaufendes Feld ergibt. Selbstverständlich ist es auch möglich, anstelle des Ring-Magneten 9 einzelne Dauermagneten oder einen Elektromagnet vorzusehen.
fcum Auelenken der Düse 1 wird Spannung an die Spule 8 angelegt, und die Amplitude Polarität des resultierenden Stroms bewirkt die Auslenkung nach oben oder unten. Da die Membranen 6 und 7 federnd wirken, ist eine vertikale Auslenkung ohne weiteres mögllcti. Der Arbeitsluftspalt 12 ist derart schmal, dass das vom stationären Rohr 5a bzw» Vom Magnet-Eisenrohr herangeleitete 2irb§itsgas praktisch verlustfrei in die Düse geblasen wird·
• t t · t · *
Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispxel, bei welchem eine Spule (dort nicht dargestellt) mit grossen Arbeits-Strömen und damit grosser Erwärmung verwendet wird. Deshalb ist im Rohrkörper 16, welcher die nicht dargestellte Spule trägt, eine Anzahl von Kanälen 18 vorgesehen, die über einen Einlass 17 mit Arbeitsgas gespeist werden. Das Arbeitsgas kühlt damit unmittelbar die Wandung des Rohrkörpers 16 und führt damit die Vexlustwärme der Spule ab, bevor es durch die Düse 1 zum Werkstück 3 hin austritt.
Figur 3 zeigt den neuen Linearantrieb mit einer Düse 21, einem Sensor 22, einem Werkstück 23 und einea Rohrkörper 25. Zum Vertikalantrieb der Düse 21 ist analog Figur 1 eine nur skizzierte Magnet-Anordnung 29 und eine Spule 28 vorgesehen, welche um den Rohrkörper 25 gewickelt ist. Wie dargestellt, werden die vor Sensor 22 ermittelten abstandsabhängigen Signale einem Umsetzer 20 zugeführt, welcher über eine Leitung 24 entsprechende Regelsignale an einen Antriebsverstärker 26 abgibt, der seinerseits die Spule 28 speist. Die Regelsignale bewirken z.B., dass in der Sollstellung der Düse 21, und damit des Sensors 22, keine Spannung an der Spule 28 anliegt. Verkleinert sich jedoch der Abstand, wird das Signal und damit die Spannung an der Spule 28 negativ, vergrössert sich der Abstand, wird die Spannung positiv. Wenn nun der Antriebs-Verstärker 26 einen entsprechenden Strom abgibt, so wird sich die Spule 28 entsprechend der Richtung und der Stärke des Stroms im Feld des Arb^itsluftspalts 12 nach oben oder unten bewegen. Richtung und Amplitude der Auslenkung kann so gewählt werden, dass der Abstandsfehler nahezu völlig kompensiert wird.
Selbstverständlich lässt sich anstelle der Lagerung mittels Membranen gemäss Figur l auch eine Lagerung in Büchsen oder Ächiebölagern vorsehen, Nullpunkt-Einstellung kann durch zusätzliche Federn oder auf andere Weise erzeugt werden. Hier
&igr; -&igr;&ogr; -
&Igr; sind dem Fachmann unabhängig von der speziell gewählten Auf-
I hängung ("frei" oder "Rollenführung" oder "Schiebesitz" etc.)
J hinsichtlich der Auswahl der einsetsbaren Federelemente keine
I Grenzen gesetzt.

Claims (12)

PSchl7/26.08.87 Karl-Heinz Schnall, D-757 Baden-Baden 19 .anspräche
1. Feinantrieb für ein Laserwerkzeug, gekennzeichnet durch eine Antriebseinrichtung (8, 9, 10, 11, 12, 28, 29) mit wenigstens einer in ein stationäres Magnetfeld (12) eintauchenden, stromdurchflossenen Spule (8, 28), welche Antriebseinrichtung am Laserwerkzeug (1, 5, 16, 21, 25) angreift.
2. Feinantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Spule (8, 28) am Laserwerkzeug (1, 5, 16, 21, 25) befestigt ist,
3. Feinantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Spule (8, 28) das Laserwerkzeug (1, 5, 16, 21, 25) umgibt.
4. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das stationäre Magnetfeld (12) im Arbeitsluftspalt einer Magnetanordnung (9, 10, 11, 29) gebildet ist.
5. Feinantrieb nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetanordnung wenigstens einen Permanentmagnet (9, 29) aufweist.
6. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die in das Magnetfeld (12) eintauchende spüle (8, 28) um einen Abschnitt (5, 25) des Laserwerkzeugs (1, 5, 16, 21/ 25) gewickelt ist.
-■ · »J «&bgr; ■ a
7. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Arbeitsluftspalt (12) ein Ringspalt ist.
8. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Laserwerkzeug (1, 5, 16, 21, 25) im Bereich ihres Bearbeitungsendes relativ zu einem stationären Rohrkörper (5a) beweglich angeordnet ist.
9. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Magnet-Eisenrohr (13) vorgesehen ist, welches einerseits Teil der Magnetanordnung (9, 10, 11, 12) ist, und das andererseits mit dem stationären Rohrkörper (5a) verbunden ist und den Laserstrahl umgibt.
10. Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Laserwerkzeug (1, 5, 16, 21, 25) bzw. das Endteil (1, 21) an einer in Axialrichtung verlagerbaren Halteanordnung (6, 7) befestigt ist.
11. Feinantrieb nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daas die Halteanordnung (6, 7) in Axialrichtung verschiebbar gelagert und durch wenigstens ein in Axialrichtung federndes Element gehalten ist.
12. Feinantrieb nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, das*s die Hälteranordnung (6, 7) wenigstens eine ringförmige Membran aufweist.
13* Feinantrieb nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet/ dass das Laserwerkzeug (1, 5, 16/ 21/ 25) im Inneren Hohlräume (Innenraum der Düse 1, bzw. der Rohrkörper (S, Sa, 25 bzw. Karuäle 16} aufweist/ die Von einem Arbeitsgas bis in den Bereich des Werk-
• · I 4 • ti I
zeugendes durchströmt wird/ und dääs das Äfbeitsgas zur Kühlung der Spüle (8, 28) im Bereich der Spulenbefestigung an dieser vorbeigeleitet wird.
DE8711811U 1987-09-01 1987-09-01 Feinantrieb für ein Laserwerkzeug Expired DE8711811U1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8711811U DE8711811U1 (de) 1987-09-01 1987-09-01 Feinantrieb für ein Laserwerkzeug
EP88810588A EP0306456A1 (de) 1987-09-01 1988-08-26 Feinantrieb für ein Laserwerkzeug

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8711811U DE8711811U1 (de) 1987-09-01 1987-09-01 Feinantrieb für ein Laserwerkzeug

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8711811U1 true DE8711811U1 (de) 1987-10-15

Family

ID=6811617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8711811U Expired DE8711811U1 (de) 1987-09-01 1987-09-01 Feinantrieb für ein Laserwerkzeug

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP0306456A1 (de)
DE (1) DE8711811U1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0423069A2 (de) * 1989-10-11 1991-04-17 Robomatix GmbH Schneidkopf für eine kontaktlose Schneidevorrichtung
DE102019109589B4 (de) 2018-04-25 2023-05-11 Ii-Vi Delaware, Inc. Bewegungssicherung für Linearantrieb in einem Laserbearbeitungskopf

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4129278A1 (de) * 1991-09-03 1993-03-11 Weidmueller Interface Werkzeugkopf mit automatisch verstellbarer fokussierungsoptik
ATE401594T1 (de) 2005-02-04 2008-08-15 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Verfahren zur bewegungsaufteilung einer relativbewegung zwischen einem werkstück und einem werkzeug einer werkzeugmaschine
EP3565687B1 (de) * 2017-01-05 2023-08-09 Volkswagen Aktiengesellschaft Laserwerkzeug mit fokusverstelleinheit

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4358659A (en) * 1981-07-13 1982-11-09 Mostek Corporation Method and apparatus for focusing a laser beam on an integrated circuit
US4532402A (en) * 1983-09-02 1985-07-30 Xrl, Inc. Method and apparatus for positioning a focused beam on an integrated circuit
DE3426042A1 (de) * 1984-07-14 1986-01-16 Vacuumschmelze Gmbh, 6450 Hanau Elektrischer flachspulenantrieb

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2829851A1 (de) * 1978-07-07 1980-01-24 Precitec Gmbh Anordnung zur messung des abstands zwischen einem metallischen werkstueck und einem bearbeitungswerkzeug

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4358659A (en) * 1981-07-13 1982-11-09 Mostek Corporation Method and apparatus for focusing a laser beam on an integrated circuit
US4532402A (en) * 1983-09-02 1985-07-30 Xrl, Inc. Method and apparatus for positioning a focused beam on an integrated circuit
DE3426042A1 (de) * 1984-07-14 1986-01-16 Vacuumschmelze Gmbh, 6450 Hanau Elektrischer flachspulenantrieb

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 60-152385 A. In: Patents Abstracts of Japan, Sect. M, Vol.9, 1985, Nr.31, M-439 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0423069A2 (de) * 1989-10-11 1991-04-17 Robomatix GmbH Schneidkopf für eine kontaktlose Schneidevorrichtung
EP0423069A3 (en) * 1989-10-11 1991-07-03 F.I.A. Futurologie Industrielle Automation Gmbh Cutting head for use in a non-contact cutting process
DE102019109589B4 (de) 2018-04-25 2023-05-11 Ii-Vi Delaware, Inc. Bewegungssicherung für Linearantrieb in einem Laserbearbeitungskopf

Also Published As

Publication number Publication date
EP0306456A1 (de) 1989-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0317787B1 (de) Einrichtung zur Durchführung der Zustellbewegung eines Arbeitsorgans zu einer Arbeitsstation
DE2346449C3 (de) Einrichtung zur Steuerung der Vertikalbewegung eines Schreibstiftes in einem automatischen Zeichengerät oder dergleichen
DE2724808A1 (de) Einrichtung zum materialabtragenden bearbeiten von drehkoerpern
DE69522951T2 (de) Einrichtung zum bolzenschweissen
DE102011018648B3 (de) Vorrichtung für die thermische Bearbeitung eines Werkstücks
EP0997801B1 (de) Lineare Vorschubantrieb-Einrichtung für Bearbeitungswerkzeuge
DE8711811U1 (de) Feinantrieb für ein Laserwerkzeug
WO1987006358A1 (en) System for adjusting a light beam in an impingement plane
DE102004005118A1 (de) Vorrichtung zum elektroerosiven bearbeiten
DE3315848C2 (de)
DE102006017629A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung
DE1156638B (de) Einrichtung zur Herstellung gerasterter Bilder
DE4112105C2 (de) Plattenanordnung
DE2521720C3 (de) Schaltungsanordnung zur Steuerung einer Hammerbank eines Anschlagdruckers
DE9215587U1 (de) Materialbearbeitungslaser
DE3802145C1 (en) Optoelectrical device
EP0334392A1 (de) Optische Abtasteinheit
DE2219317B2 (de) Einrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit einem Laserstrahl
DD137037B1 (de) Prellfreie hubeinrichtung
DE4437264A1 (de) Bolzenschweißvorrichtung
DE2831396A1 (de) Einrichtung zur verstellung der auftriebs-steuerklappe fuer einen vertikal gefuehrten hochgeschwindigkeits-stromabnehmer
DE3127584A1 (de) Werkzeugmaschine mit einem beweglichen tisch
DE9218604U1 (de) Elektromagnetischer Koordinaten-Stellantrieb eines Arbeitsschlittens
DE2645074A1 (de) Flachschleifmaschine
DE1615301A1 (de) Maschine zur selbsttaetigen Lichtbogenschweissung