DE8628918U1

DE8628918U1 - Transportbehälter

Info

Publication number: DE8628918U1
Application number: DE19868628918
Authority: DE
Original assignee: Merck Patent GmbH
Current assignee: Merck Patent GmbH
Priority date: 1986-10-30
Filing date: 1986-10-30
Publication date: 1988-01-07

Description

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Merck Patent GmbH
6100 Darmstadt

Transportbehälter

Die Erfindung betrifft einen Transportbehälter für hochreine flüssige Chemikalien mit einem aus Kunststoff bestehenden, einen oberen Verschlußflansch aufweisenden Innenbehälter, der in einem Außenbehälter aufgenommen ist, der einen den Verschlußflansch im Abstand umgebenden, mit Durchbrüchen versehenen Schutzkragen aufweist.

Bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen werden in vielen Fällen flüssige Chemikalien benötigt, an deren Reinheit höchste Ansprüche gestellt werden. Beim Transport, der Lagerung und der Handhabung müssen jegliche Verunreinigungen dieser Chemikalien vermieden werden. Außerdem ist zu berücksichtigen, daß diese Chemikalien in vielen Fällen giftig oder in anderer Weise schädlich sind; ein unbeabsichtigtes Ausfließen, beispielsweise durch eine Beschädigung des Transportbehälters, muß daher mit hoher Sicherheit ausgeschlossen werden.

Die Materialauswahl für derartige Transportbehälter muß sich in erster Linie nach de- Anforderung richten, jegliche Verunreinigungen auszuschließen. Diese Forderung wird zwar von Glasbehältern erfüllt, deren Bruchgefahr aber die Verwendung als Transportbehälter ausschließt. Um die Beanspruchungen der Transportbehälter möglichst gering zu halten, wurden Behälter der eingangs genannten Gattung bisher ausschließlich als drucklose Behälter ausgeführt, d.h. der Behälter durfte keinen wesentlichen Innendruck

aufweisen. Deshalb mußte die Entnahme der flüssigen Chemikalien ebenfalls drucklos/ nämlich mittels Saugpumpen, erfolgen. Diese Saugpumpen weisen aber bewegte, aneinanderreibende Teile auf, so daß Verunreinigungen durch im Pumpenbereich entstehenden Abrieb nicht vollständig ausgeschlossen werden können.

Es ist andererseits - insbesondere bei den genannten Glasbehältern - bekannt, die Entnahme mittels eines Tauchrohrs durch Zuführung eines inerten Druckgases durchzuführen, so daß keine Pumpe benötigt und somit jeglicher Abrieb vermieden wird. Der dabei aufzuwendende erhöhte Druck schließt aber einen Einsatz bei drucklosen Behältern aus.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Transportbehälter der eingangs genannten Gattung zn schaffen, der den sehr hohen Reinheitsanforderungen beim Transport, der Lagerung und der Entnahme von hochreinen flüssigen Chemikalien entspricht, der eine ausreichende mechanische Festigkeit aufweist, um eine Zulassung als Transportbehälter zu ermöglichen, und der eine Entnahme mittels Tauchrohr ohne Pumpen ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß dei Innenbehälter zweischalig ausgeführt ist und eine innere Schale aus inertem Fluorkunststoff und eine die Innenschale vollständig umhüllende Außenschale aus glasfaserverstärktem Kunststoff aufweist, und daß die Außenschale einstückig mit einem zylindrischen Mantel ausgeführt ist, dessen oberer Abschnitt den Schutzkragen bildet.

Der so ausgeführte Transportbehälter kommt mit dem hochreinen Behälterinhalt nur mit der inneren Schale aus inertem Fluorkunststoff in Berührung, so daß eine Verunreinigung ausgeschlossen ist. Die die innere Schale enganliegend umhüllende Außenschale aus glasfaserverstärktem Kunststoff gibt dem Behälter eine so hohe Festigkeit; deß er als Druckbehälter ausgeführt; werden kann. Dadurch wird ein Entleeren über ein Tauchrohr mittels Zufuhr von inertem druckgas, vorzugsweise Stickstoff, möglich, so daß kein Pumpen erforderlich ist. Ein möglicher Abrieb von gegeneinander bewegten Teilen wird dabei ausgeschlossen.

Da.die aus glasfaserverstärktem Kunststoff bestehende Außenschale, die die Festigkeit für den Druckbehälter liefert, zugleich einstückig mit dem zylindrischen Mantel ausgeführt ist, dessen oberer Abschnitt den Schutzkragen bildet, wird bei geringem Gesamtgewicht des Transportbehälters ein einheitlicher Aufbau von hoher mechanischer Festigkeit geschaffen, der die beim Transport möglicherweise auftretenden Stöße und sonstigen Beanspruchungen ohne die Gefahr von Beschädigungen aufnehmen kann.

In Weiterbildung des Erfindungsgedankens ist vorgesehen, daß die Behälteroberseite vom Verschlußflansch allseitig zu mehreren Abströmöffnungen am unteren Rand des Schutzkragens abfallend ausgeführt ist. Diese Gestaltung des den Verschlußflansch umgebenden Bereichs ist besonders an die Arbeitsbedingungen in Reinräumen angepaßt. In diesen Reinräumen wird üblicherweise eine gleichmäßige laminare Luftströmung von oben nach unten erzeugt. Diese Laminarströmung kann den Verschlußflansch mit den aufgesetzten Füll- und Entnahmeanschlüssen und ggf. -leitungen weitestgehend verwirbelungsfrei umströmen und gelangt ohne Störungen zu den an der tiefsten Stelle

gelegenen Abströmöffnungen. Die Erzielung einer derartigen turbulenzfreien Strömung des absinkenden Reinluftschleiers wird in Weiterführung des Erfindungsgedankens noch dadurch unterstützt, daß mindestens zwei als GriffÖffnungen ausgeführte Durchbrechungen des Schutzkragens im unteren Bereich des Schutzkragens liegen. Dadurch kann der allergrößte Teil des Reinluftschleiers aus dem den Verschlußflansch umgebenden Bereich innerhalb des Schutzkragens bereits durch die GriffÖffnungen nach außen abströmen, während nur ein kleiner Teil der Luftströmung noch durch die wesentlich kleineren Abströmöffnungen austritt.

Die Konturen des Innenbehälters sind nicht nur für die beschriebene Reinluftströmung, sondern auch für einen Reinigungsvorgang optimal gestaltet, weil durch die einstückige Ausführung des Innenbehälters mit dem zylindrischen, außen glattwandigen Mantel Toträume und störende Kanten vermieden werden. Die glatte Außenwand des Transportbehälters erleichtert ebenfalls die Reinigung. Eine Pfützenbildung im Bereich des Verschlußflansches oder im Bodenbereich wird vermieden.

Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert, das in der Zeichnung dargestellt ist.

Die Zeichnung zeigt teilweise in einer Seitenansicht und teilweise in einem senkrechten Schnitt einen Transportbehälter für hochreine flüssige Chemikalien, wie sie in der Elektronikindustrie benötigt werden, beispielsweise zur Herstellung von integrierten Bauteilen und Speichern sehr hoher Speicherdichte. Der Transportbehälter weist einen Innenbehälter 1 auf, der an seiner Oberseite einen zentralen Verschlußflansch 2 trägt. Auf den Verschlußflansch 2 ist ein Verschluß 3 aufgesetzt und mittels Verschraubungen 4 befestigt, der Anschlüsse 5,

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6 zum Füllen und Entleeren aufweist. Der eine Anschluß 5 ist mit einem Tauchrohr 7 verbunden, das bis zur tiefsten Stelle des Behälterinnenraums 8 ragt und zur Entnahme der flüssigen Chemikalien dient. Hierzu wird durch den Anschluß 6 ein Druckgas, bßispielsweise Stickstoff zugeführt.

Der Innenbehälter 1 ist zweischalig ausgeführt. Seine innere Schale 9 oder Auskleidung besteht aus inertem Fluorkunststoff, vorzugsweise aus Perfluoralkoxy-Copolymer (PFA) oder Polyvinylidenfluorid (PVDF). Aus dem gleichen Material bestehen auch das Tauchrohr 7 und alle übrigen Leitungsteile, die mit den flüssigen Chemikalien in Berührung kommen.

Die innere Schale 9 wird vollständig und enganliegend von einer Äußenschale 10 aus glasfaserverstärktem Kunststoff umhüllt, die dem Behälter die erforderliche Druckfestigkeit gibt, damit er als Druckbehälter zugelassen wird. Die Außenschale 10 ist einstückig mit einem zylindrischen Mantel 11 ausgeführt, dessen untere Kante mit einem Kantenschutz 12 aus Gummi versehen ist und einen Stellrand 13 für den Transportbehälter bildet.

Der zylindrische Mantel 11, der aus glasfaserverstärktem Kunststoff besteht, geht nach oben in einen Schutzkragen 14 über, der den Verschlußflansch 2 allseitig im Abstand umgibt und gegen mechanische Beschädigungen schützt. Die obere Kante des Schutzkragens 14 ist ebenfalls mit einem Kantenschutz 15 aus Gummi versehen.

Im unteren Bereich des Schutzkragens 14 sind vier einander gegenüberliegende Durchbrechungen 16 als Grifföffnungen ausgeführt und an ihrer oberen Kante ebenfalls mit einem Kantenschutz 17 aus Gummi versehen. Die Durchbrechungen reichen bis nahe über die Oberwand 18 des Innenbehälters

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1. Diese Oberwand 18 ist vom Hals des Verschlußflansches 2
allseitig nach außen abfallend ausgeführt. Mehrere
Abströmöffnungen 19 liegen j eweils an der tiefsten Stelle
an der Verbindung zwischen der Oberwand 18 und dem ■>

zylindrischen Mantel 11. %

Wenn der Transportbehälter in einem Reinraum unter einem

von oben herabströmenden Reinluftschleier steht, strömt

die von oben in den Schutzkragen 14 einströmende Reinluft %

turbulenzfrei um den Verschlußflansch 2 und tritt durch !'«

i die Durchbrechungen 16 und die Abströmöffnungen 19 nach

außen und unten aus. &aacgr;

Claims

• ■ Merck Patent GmbH 6100 Darmstadt Transportbehälter •P-er-fe-e- Jg^ nsprüche

1. Transportbehälter für hochreine flüssrige Chemikalien mit einem aus Kunststoff bestehenden, einen oberen Verschlußflansch aufweisenden Innenbehälter, der in einem Außenbehälter aufgenommen ist, der einen den Verschlußflansch im Abstand umgebenden, mit Durchbrüchen versehenen S"-hutzkragen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenbehälter (1) zweischalig ausgeführt ist und eine innere Schale (9) aus inertem Fluorkunststoff und eine die Innenschale (9) vollständig umhüllende Außensckale (10) aus glasfaserverstärktem Kunststoff aufweist/ und daß die Außenschale (10) einstückig mit einem zylindrischen Mantel (11) ausgeführt ist, dessen oberer Abschnitt den Schutzkragen (14) bildet.

2. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Behälteroberseite (18) vom Vexschlußflansch (2) allseitig zu mehreren Abströmöffnungen (19) am unteren Rand des Schutzkragens (14) abfallend ausgeführt ist.

3. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei als GriffÖffnungen ausgeführte Durchbrechungen (16) des Schutzkragens (14) im unteren Bereich des Schutzkragens (14) liegen.