DE8608276U1 - Vorrichtung zur Messung kleiner Längen - Google Patents

Vorrichtung zur Messung kleiner Längen

Info

Publication number
DE8608276U1
DE8608276U1 DE19868608276 DE8608276U DE8608276U1 DE 8608276 U1 DE8608276 U1 DE 8608276U1 DE 19868608276 DE19868608276 DE 19868608276 DE 8608276 U DE8608276 U DE 8608276U DE 8608276 U1 DE8608276 U1 DE 8608276U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
waveguide
mirror
probe tip
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19868608276
Other languages
German (de)
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Original Assignee
Hommelwerke GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hommelwerke GmbH filed Critical Hommelwerke GmbH
Priority to DE19868608276 priority Critical patent/DE8608276U1/de
Publication of DE8608276U1 publication Critical patent/DE8608276U1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19868608276 1986-03-26 1986-03-26 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen Expired DE8608276U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19868608276 DE8608276U1 (de) 1986-03-26 1986-03-26 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19868608276 DE8608276U1 (de) 1986-03-26 1986-03-26 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8608276U1 true DE8608276U1 (de) 1987-06-11

Family

ID=6793054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19868608276 Expired DE8608276U1 (de) 1986-03-26 1986-03-26 Vorrichtung zur Messung kleiner Längen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE8608276U1 (el)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0242407A2 (de) Vorrichtung zur Messung kleiner Längen
DE3630887C2 (el)
DE68902419T2 (de) Verfahren zur positionierung eines objektes in bezug auf eine ebene, laengenmessverfahren und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens.
DE3719422C2 (el)
DE2521618B1 (de) Vorrichtung zum Messen oder Einstellen von zweidimensionalen Lagekoordinaten
EP2045572B1 (de) Vorrichtung zur Positionserfassung
DE2829222A1 (de) Vorrichtung zur kontrolle der stellung eines beweglichen organs
DE102007023300A1 (de) Positionsmesseinrichtung und Anordnung derselben
DE2164397C3 (de) Optoelektrische Spurvorrichtung
DE2213963A1 (de) Koordinatenmesser
EP0509979A2 (de) Photoelektronische Positionsmesseinrichtung
DE2161405A1 (de) Optische Vorrichtung zur Bestimmung des Ortes eines Punktes auf einer Flache
DE1930111B2 (de) Optische Vorrichtung zum Messen der Bewegung von gegeneinander bewegten Teilen
EP1085291B1 (de) Vorrichtung zur Positionsbestimmung und Ermittlung von Führungsfehlern
EP0352602A2 (de) Optischer Lagegeber
DE3909856C2 (el)
DE3824820A1 (de) Geraet zum beruehrungslosen optischen bestimmen von geometrischen abmessungen eines objektes
DE102018202556A1 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
DE2163200A1 (de) Einrichtung zur beruehrungslosen messung
DE8608276U1 (de) Vorrichtung zur Messung kleiner Längen
DE3710068A1 (de) Einrichtung zum messen der bewegungs- und positionierungsgenauigkeit eines maschinenteiles
DE8709031U1 (de) Vorrichtung zur Messung kleiner Längen
DE2308643B2 (de) Meßanordnung zur Lagebestimmung mit einem PräzisionsmaBstab
DE3322713A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur laufenden messung des rollwinkels eines beweglichen maschinenteiles
DE2625489B1 (de) Anordnung zum feststellen der abweichungen von der geradheit oder ebenheit von teilen