DE8410017U1 - Positionsmeßeinrichtung - Google Patents

Description

DR. JOHANNES HEIDENMAIN (3MBH 14. März 1984

Positionemeßeinriehtung

assess =ssssssa=s=5=:s==3e=:3»=s=:=s rs

Die Erfindung bettifft eine Positionsmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Bei Pösitionsmeßeinriehtungen ist es aur Ermitt- u lung von Beaugspösitionen bekannt, relativ zueinander bewegliehe Maschinenteile oder Meßsysteateiie aus einer Ausgangsposition bis zu einer Referenäfflarke zu verfahren, um den bis dort zurückgelegten Wert zu ermitteln und zu speichern ader ' di£ Referensmarke zur Bezugsposition mit dem Wert "Null" zu erklären. Ein seiches Verfahren ist mit einer inkrementalen Längen- ader Winkelmeßeinrichtung möglieh, wie sie in der de-ps 19 64 381 besehrieben wird. Dieses Verfahren erfordert aber eine ungehinderte ftelativfcewegliehkeit der zu mesöenden Objekte, da die Bauteile der Meßeinriehtung fest mit den zu messenden Objekten verbunden sind und gemeinsam mit diesen bis zu einer Referenzmarke verstellt werden müssen.

Aus der DE-OS 16 73 887 ist eine Meßeinrichtung bei einer Haschine bekannt, die bei einem auf dem Maschinenbett festgeklemmten Maschinenschlitten

die Ermittlung einer Beeugepositon erlaubt, zuerst muß dort der Schütten in diejenige Position gefahren werden/ die später die Bezugsposition zu Null erklärt werden soll. Danach wird S der Sehlitten auf dem Maschinenbett festgeklemmt. Anschließend wird die Abtastplatte der Meßeinrichtung relativ sum Maßstab verfahren, bis eine Referenzmarke erreicht ist. Bei Erreichen der Referenzmarke wird der elektronische Zähler der Meß- einrichtung auf den Wert Mull gesetzt. Sodann kann die Klemmung für den Maschinenschlitten wieder gelöst und der Schlitten i:i die gewünschte Position gefahren werden. Die Lage der Referenzmarke stellt also die Bezugsposition für die weiteren Arbeits-

IS gänge dar.

Die bekannten Verfahren zur Ermittlung einer ale Aus* gangslage definierten Bezugspositon, die vor den •eigentlichen Arbeitsvorgängen erfolgt, sind mit den beschriebenen inkrementalen Meßeinrichtungen jedoch dann nicht mehr möglich, wenn bereits Arbeitsgänge erfolgt sind und beispielsweise laufende Arbeitsgänge unterbrochen werden. Diese Unterbrechung eines laufenden Arbeitsvorganges, bei- spielsweise bei einem Handhabungsautomaten - im allgemeinen als Industrieroboter bezeichnet - ist durch Stromausfall möglich. Der Roboter bleibt dann in seiner momentanen Position stehen; der auf seine ursprüngliche Bezugspesitida bezogene Meßwert geat aber durch den Stromausfall verloren, da auch die Messung unterbrochen wurde. Zur Fortführung des unterbrochenen Arbeitsvorganges müßte jedoch die Bezugsposition bekannt sein. Eine Rückbewegung des Roboters aus seiner Momentanposition in die Ursprung liehe Ausgangslage scheidet aber in der Regel aus, weil beispielsweise gerade ein Werkzeug im Eingriff

• til

let.

Der Erfindung liegt, die Aufgabe zugrunde, eine Positionsmeßeinriehtung der genannten Gattung anaug·- ban, die die Nachteile der bekannten Einrichtungen beseitigt und es ermöglisht, nach Verlust der Lageinfermatien in unbekannten Momentanpoeitionen ohne Se« wegttng der zu meeeenden Objekte eine Beaugspoeition au reproduzieren. Io

Dieae Aufgabe wird erfindungegemäß durch die kennaelchnenden Merkmale dea Anspruches 1 gelöst.

Sie mit der Erfindung ersielten Vorteile bestehen

IS insbesondere darin, daß die vorgeschlagene Positions« Blaseinrichtung auf einfache und schnelle Weise dia Reproduktion einer Beaugsposition naeh unterbrochenen Messungen und Bewegungen aus unbekannten Momentanpoeitionen erlaubt, ohne daß die zu meeeenden

2e Objekte bewegt werden müssen. Ein solches zu messendes Objekt in Form eines Werkzeuges kann somit bei einer Unterbrechung des Meßvorganges und des Bearbeitungevorganges durch eine Störung im Eingriff am Werkstück verbleiben, so daß naeh Behe- bung der Störung und Wiederermittlung der Bezugsposition der unterbrochene Bearbeitungsvorgang un~ veratiglich wieder fortgesetzt werden kann. Ein Zurückziehen des Werkzeuges von der Eingriffstelle am Werkstück und ein es-aeu&es genaues Wiederaaiah« ren dieser Bingriffstelle ist zeitaufwendig und schwierig und kann zu Beschädigungen des Werkstückes führen. Ferner sind beispielsweise bei Industrierobotern programmgesteuerte Überprüfungen der jeweiligen Bezugspositionen zwischen einzelnen Arbeitsablaufen möglich, wodurch die Betriebssicherheit derartiger Systeme erheblich erhöht wird.

Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprächen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen

Figur 1 eine Hinkelmeßeinrichtung im Längsschnitt,

Figur 2 eine Ansicht eines Ausschnittes einer ersten Teilscheibe und

Figur 3 eine Ansicht eines Ausschnittes

einer zweiten Teilscheibe.

Die in Figur 1 im Längsschnitt dargestellte inkrementale Winkelmeßeinrichtung ist mit einem Gehäuse

G an einem zweiten zu messenden Objekt O₂, beispielsweise an einem Maschinenbett einer nicht gezeigten Bearbeitungsmaschine befestigt. Im Inneren des Gehäuses G ist eine Welle W mittels Lager L. drehbar gelagert und trägt eine erste Teilscheibe S₁ mit einer ersten inkrementalteilung T₁ und mit der ersten Inkrementalteilung T₁ absolut zugeordneten ersten Referenzmarken R₁₁ (i=l,2,..., &eegr;), denen jeweils wiederum zur Identifizierung erste Codemarken C₁₁ zugeordnet sind (Figur 2). Die erste Inkrementalteilung T,, die ersten Referenzmarken R₁₁ und die zugehörigen ersten Codemarken C₁₁ werden lichtelektrisch von einer ersten Abtasteinheit A₁ abge- tftitet, die ein· «rate Beleuchtungeeinheit B₁, einen ersten Kondensor K₁, eine erste Abtastplatte AP₁ sowie «rate Photoelemente P₁ aufweist.

• · · iititfii ·

Uli 4*111 t t

• !#■·· · 4 Il I f I

• S I · I « I 1 ff » •9 I Ii* «I «I Bit ·

-T-

Die erste Inkrementalteilung &Tgr;_&khgr; in Form eines Radialgitters besteht aus lichtdurchlässigen und lichtundurchlMssigen Streifen, die abwechselnd aufeinander folgen. Der ersten Inkrementalteilung T- ist auf der ersten Abtastplatte AP₁ ein erstes Teilungsabtastfeld zugeordnet, dessen Teilung mit der ersten Inkrementalteilung T₁ identisch ist. Die ersten Referenzmarken R₁. bestehen jeweils aus identischen Strichgruppen mit einer bestimm ten unregelmäßigen Strichverteilung, denen auf der ersten Abtastplatte AP₁ ein erstes Referenzmarkenabtastfeld mit einer identischen Strichverteilung zugeordnet ist. Die absoluten Positionen der ersten Referehzmarken R₁. zum Teilungsnullpunkt der ersten Inkrementalteilung T₁ werden durch die zugehörigen ersten Codemarken C^ gekennzeichnet, die jeweils die Absolutpositionen der zugehörigen ersten Referenzmarken R . als codierte Information, beispielsweise als sogenannten Barcode enthalten. Den ersten

2ö Codemarken C-. ist auf der ersten Abtastplatte AP₁ ein erstes Codemarkenabtastfeld zugeordnet. Der ersten Inkrementalteilung T₁, den ersten Referenzmarken R-. und den ersten Codemarken C₁₁ sowie den zugehörigen ersten Abtastfeldern ist jeweils ein erstes Photoelement P₁ zugeordnet.

Die aus dem Gehäuse G herausragende Welle W ist mit einem ersten zu messenden Objekt O₁ in Form der Spindel eines Maschinenschlittens der Bearbeitungsmaschine verbunden. Auf der Welle W ist im Gehäuse G die erste Abtasteinheit A₁ mittels Lager L₂ relativ zum Gehäuse G und zur ersten Teilscheibe S₁ drehbar gelagert.

it I

Beim eigentlichen Meßvorgang wird bei einer Drehung der Welle W und damit der ersten Teilscheibe S₁ bei bezüglich des Gehäuses G ortsfester erster Abtasteinheit A₁ die erste Inkrementalteilung T. relativ zum zugehörigen ersten Teilungs abtastfeld auf der stillstehenden ersten Abtastplatte AP₁ gedreht. Der von der ersten Beleuchtungseinheit B. ausgehende Lichtstrom wird durch die relativ zueinander bewegten Teilungen der ersten Inkre- mentalteilung T₁ und des ersten Teilungsabtastfeldes moduliert und fällt auf das zugehörige erste Photoelement P₁, das ein periodisches Analogsignal liefert, das in einer nicht gezeigten Auswerteeinrichtung der Winkelmeßeinrichtung in Impulse umge- formt wird. Diese Impulse werden über einen ersten Eingang einem Differenzzähler der Auswerteeinrichtung zur Zählung zugeführt und können in einer nachgeschalteten Anzeigeeinheit als Positionsmeßwerte in digitaler Form angezeigt oder direkt einer nume rischen Steuereinrichtung der Bearbeitungsmaschine zugeführt werden. Zur Diskriminierung der Drehrichtung der ersten Teilscheibe S. weist das erste Teilungsabtastfeld der ersten Abtastplatte AP₁ zwei zueinander um ein Viertel der Teilungsperiode der ersten Inkrementalteilung T₁ versetzte Teilungen auf.

An der auf der Welle W orehhar gelagerten ersten Abtasteinheit A₁ ist eine zweite Teilscheibe S₂ mit einer zweiten Inkrementalteilung T₂ und mit der zweiten Inkrementalteilung T₂ absolut zugeordneten zweiten Referenzmarken R_2i (i=l,2,...,n) befestigt/ denen wiedertun zur Identifizierung jeweils zweite Codemarken C₂₁ zugeordnet sind (Fl- gur 3). Die zweite Inkrementalteilung T₂, die

•· · * (I Il «III·

• · · III Il III ·

M 1 t &igr; · &igr; &igr; &igr; * *

4 « I««· «till · ·

zweiten Referenzmarken R_2i und die zugehörigen zweiten Codemarken C₂. werden lichtelektrisch von einer zweiten Abtasteinheit A₂ abgetastet, die ortsfest im Gehäuse 6 angebracht ist und eine zweite Beleuchtungseinheit B-, einen zweiten Kondensor Kj, eine zweite Abtastplatte AP₃ sowie zweite Photoelemente P. aufweist.

Die zweite Inkrementalteilung T₃, die zwe.iben ReferenzmarkeD R₂- und die zweiten Codemarken C₂.

der zweiten Teilscheibe S₂ stimmen jeweils mit der ersten Inkrementalteilung T., den ersten Referenzmarken R-. sowie den ersten Codemarken C₁. der ersten Teilscheibe S- überein. Auf der zweiten Ab-

tastplatte AP₂ sind der zweiten Inkrementalteilung T₂ ein zweites Teilungsabtastfeld, den zweiten Referenzmarken R_. ein zweites Rcferenzmarkenabtastfeld und den zweiten Codemarken C-^ ein zweites Codemarkenabtastfeld zugeordnet; die Abtastfelder der zweiten Teilscheibe S₂ stimmen mit den Abtastfeldern der ersten Teilscheibe S. überein. Der zweiten Inkrementalteilung T₂, den zweiten Referenzmarken R₂- und den zweiten Codemarken Z-. sowie den zugehörigen Abtastfeldern ist jeweils ein zweites Photoelement P₂ zugeordnet. Zur Diskriminierung der Drehrichtung der zweiten Teilscheibe S₂ weist das zweite Teilungsabtastfeld auf der zweiten Abtastplatte AP₂ 2wei zueinander um ein Viertel der Teilungsperiode der zweiten Inkrementalteilung T_ versetzte Teilungen auf.

Bei einer inkrementalen Meßeinrichtung let es jedoch von großer Bedeutung« zu Beginn einer Messung die öezugsposition zu bestimmen/ die ale Auegangeposition für die Messungen dient und die auch nach Stoffüllen wieder reproduziert werden kann.

ItI I Ii fl till»

- Io -

&bgr;&bgr; wird davon ausgegangen, daft sieh vor Beginn einer Messung oder aueh im ßtörfall, bei dem -beispielsweise dureh Stromauefaii - bekanntlich bei inkrementalen PoeltlonemeAelnriehtungen der Posltionsmeawert verloren geht, die relativ zueinander bewegliehen, au messenden Objekte O₁, O₂ im Stillstand befinden. Die erste Teilsehelbe S₁ befindet sieh also in einer Position, in der die Lage ihres Tellungenullpunktes relativ sum Gehiuse G nicht bekennt ist.

Zur Gewinnung dieser Beaugeposltlon muß nun die momentane Poeltion der ersten Teilscheibe S₁ be-2Uglioh des Gehäuses G bestimmt werden. Zu diesem

IS Zweck wird in bekannter und daher nicht näher bezeichneter Weise der DIfferenasähler in der Auswerteeinrichtung auf den Wert Null oder auf einen anderen Zahlenwert eingestellt und gleichzeitig die Eiehbetriebsart eingeschaltet! Indem die erste Abtast- einheit A₁ von einem im Gehäuse G befestigten Motor M über ein Revereiergetriebe Z in Drehung versetzt wird. Zuerst möge beispielsweise das zweite Referenzmarkenabtaetfeld der ortsfesten zweiten Abtast« platte AP₂ eine zweite Referenzmarke R₃₁ auf der sieh mit der erstes Abtasteinheit A₁ synchron drehenden zweiten Teilscheibe S₂ abtasten, so dafl das zugehörige zweite Photoelement P₂ der ortsfesten zweiten Abtasteiäheit A₂ ein Signal liefert, das in der Siehbetriebsart den Mfferesazähler In der Auswerteeinrichtung startet* Von diesem Zeitpunkt an wird das vom zugehörigen zweites Photoelement P₂ bei der Abtastung der zweite» inkrementalteilung T₂ der sieh drehenden zweiten Teilscheibe S₃ mittels des zugehöriges zweites Teilusgsabtastfeldes auf der ortsfesten zweiten Abtastplatte AP erzeugte peri-

— ■ .-&eegr;» »_■

- 11 -

odieehe Analogsignal ausgewertet und die Zählimpulse dem Differenzzähler über einen zweiten Eingang zugeführt.

Nach dem Zählerstart und dem Beginn der Zählung der Teilungeinkremente der aweiten Inkrementalteilung T₂ wird irgendwann die näohstgelegene erste Referenzmarke R₁₁ auf der stillstehenden ersten Teilscheibe S₁ vom zugehörigen ersten Referenzmarken- abtaatfeld auf der sieh drehenden ersten Abtastplatte AP₁ abgetastet und durch ein Signal des zugehörigen ersten Photoelements P₁ der ersten Abtasteinheit A₁ die Zählung der Teilungsinkremente der ersten Inkrementalteilung T₁ der ersten Teilscheibe S^ begon-

IS nen. Durch die gleichseitige Zählung der Teilungöinkremente der ersten Inkrementalteilung T₁ und der zweiten Inkrementalteilung T₂ wird der Differenzzähler gestoppt, da die Differenz der beiden Zähl folgen Hull ergibt. Gleichzeitig hat das erste Codemar- kenabtastfeld auf der ersten Abtastplatte AP₁ aus der der abgetasteten ersten Referenzmarke R₁. zugehörigen ersten Codemarke C₁. den absoluten Positionswert der ersten Referenzmarke R₁, abgelesen. Bei der Ab» tastung der zweiten Referenzmarke tu . wurde gleich« zeitig aus der zugeordneten aweiten Codemarke C_2i vom augehörigen aweiten Codemarkenabtaetfeid auf der zweiten Äbtastplatte AP, der absolute Positionswert dieser sweiten ftefereiiaatastee R_2i abgelesen. Diese beiden absoluten Positionswerte der ersten Referenzmar- ke R^. und der zweiten Referenzmarke R,. werden in die Attöwerteeinrichtung eingespeist. Sem absoluten Positionswert der ersten Referenzmarke R_1± werden der absolute Positionswert der zweiten Referenzmarke R_2± sowie der Zählwert int Differenzzähler, der dem Ab« stand zwischen den beiden Referenzmarken Rj., R_2i

- 12 -

entspricht, vorzeichanrichtig überlagert. In der Auswerteeinrichtung steht nun der absolute Positionswert an, den die erste Teilscheibe S₁ zum Gehäuse G momentan einnimmt. Der Motor M wird still-S gesetzt und der Eiehvorgang ist damit beendet.

Der Dl££erenz2tthler wird jetzt für den eigentliche« Meßvorgang über den ersten Eingang mit den ZMhlimpulsen gespeist, die bei der Drehung der ersten Teilscheibe S₁ beaüglich des Gehäuses Q bei der Abtastung der ersten Inkrementalteilung T₁ mittels des ersten Tellungsabtastfeldee auf der stillstehenden ersten Abtastplatte AP₁ und mittels des zugehörigen ersten Photoelementes P₁ erzeugt werden.

Beim Auftreten von Störungen, beispielsweise bei Stromausfall, kann die Bezugsposition für die erste Teilscheibe S₁ sinngemäß mittels des vorbeschriebenen Eiohvorgangs reproduziert werden, auch wenn die erste Teilscheibe S₁ nicht aus ihrer Mo-

2ö mentanposition heraus bewegt werden kann, weil beispielsweise gerade eia Werkzeug, das über die Spindel der Bearbeitungsmaschine mit der Welle W in Wirkverbindung steht, im Eingriff an einem zu bearbeitenden Werkstück steht, wenn die Störung auftritt.

Bei der Beschreibung des Eichvorganges und des Reproduktionsvorgangee wurde angenommen, daß die Welle W mit der ersten Teilseheibe S₁ bezüglich des Gehäuses G stillsteht; dies ist aber nicht Bedingung.

Auch beim eigentlichen Heßvorgang ist ein Stillstand der ersten Abtästeinheit A₁ und damit der zweiten Teilscheibe S₉ elÄSnfails nicht Bedingung. Eine ReIa-

tivdrehung der ersten Abtalteinheit A₁ und damit der aweiten Teilscheibe S₂ beatiglieh dee Gehäuses Q hat bei dem eigentlichen MefiVorgang leeinen Einfluß auf die Messung, da bei dieser Relativdrehung die bei der Abtastung der aweiten Inkrementelteilung &Tgr;« der aweiten Teilscheibe S₂ gewonnenen Zahl-Impulse dem aweiten eingang dee OlfferenaaMhlere augeführt werden, während die bei der Abtastung der ersten Inkrementalteilung T. der ersten Teilschei be S₁ gewonnenen ZMhlimpules für die eigentliche Messung dem ersten Eingang des Dlfferenaaählers augeleitet werden; die bei dieser Relativbewegung der ej.-eten Abtasteinheit A₁ gewonnenen Zählwerte werden 4en zahlwerten der eigentlichen Messung je nach Drehriehtung der ersten Abtastelnheit A. additiv oder sutraletiv überlagert. Die Ruhestellung der ersten Abtasteinheit A. und der zweiten Teilscheibe S₂ beatiglich des Gehäuses &bgr; beim eigentlichen Hefivorgang ist damit beliebig, so daß ein meeha nischer Anschlag im Gehäuse &bgr; für die erste Abtast einheit A₁ zur reproduzierbaren Positionierung der Abtasteinheit A₁ nach einem Eichvorgang oder einem P.eproduktionsvorgang nicht erforderlich i&'~i ein solcher Anschlag ist zudem verschleißbehaftet*

In besonders einfacher Ausgestaltung sind auf der ersten Teilscheibe S₁ nur eine erste Referenzmarlee R₁ und auf der zweiten Teilscheibe S₂ nur eine zwei te Sefereösmarfce R₂ vorgesehen? die beiden

marken IL, R₂ stellen jeweils den Teilungsnullpunkt der beiden Inkrementalteilungen T₁, T₃ dar und bedürfen keiner Codierung dwrch Codemarken, so daß sich die Herstellung der beiden Teilscheiben Sw S vereinfacht.

I ·

• ·

- 14 -

Der beim Eichvorgang oder beim Reproduktionsvorgang im Differenzzahler ermittelte Zählwert für den Abstand zwischen der ersten Referenzmarke R. und der zweiten Referenzmarke R₂ stellt in diesem Fall direkt den absoluten Positionswert dar, den die erste
einnimmt.

die erste Teilscheibe S. zum Gehäuse 6 momentan

Die Drehung der ersten Abtasteinheit A. erfolgt für den Eichvorgang oder den Reproduktionsvorgang wegen der mit der ersten Beleuchtungseinheit B. und den ersten Photoelementen P₁ verbundenen elektrischen Leitungen E über einen Schwenkbereich, der etwas größer als ein Vollkreis ist und zwar abwechselnd in beide Drehrichtungen. Dieser Reversierbetrieb ermöglicht zwischen einzelnen Arbeitsabläufen beispielsweise programmgesteuerte Überprüfungen der jeweiligen Bezugspositionen.

In nicht dargestellter Weise kann die Stromversorgung der ersten Beleuchtungseinheit B^ und der ersten Photoelemente P* statt durch die elektrischen Leitungen E auch durch Schleifringe erfolgen« In diesem Falle kann die erste Abtasteinheit A₁ mitsamt der zweiten Teilscheibe S₂ ohne Reversiergetriebe Z in nur einer Drehrichtung um beliebig viele Umdrehungen gedreht werden.

Die Erfindung ist weder auf die gezeigte Winkelmeßeinrichtung noch auf lichtelektrische Abtastprinzipien beschränkt.

ftf I Il · # · ···

«ll ir » Il (H

•ft* |*&Igr;(· * ·

• &idigr; MH I » ti I f I

Claims (13)

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 13. September 1988 G 84 10 017.6 Ansprüche

1. Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier zueinander beweglicher Objekte, bei der eine mit wenigstens einer Referenzmarke versehene Teilung eines Teilungsträgers von einer Abtasteinheit abtastbar ist, gekennzeichnet durch folgende Merkmale zum Reproduzieren einer Bezugsposition nach unterbrochener Messung und Bewegung bei beliebiger unbekannter Momentanposition der zu messenden Objekte zueinander: 10

a) eine erste Abtasteinheit (Ai) zum Abtasten der mit der wenigstens einen ersten Referenzmarke (Ri &igr;) versehenen ersten Teilung (Ti) des ersten Teilungsträgers (Si) ist mit einem zweiten Teilungsträger (S2) fest verbanden, der eine mit wenigstens einer zweiten Referenzmarke (R21) versehene zweite Teilung (Ta) aufweist;

b) eine zweite Abtasteinheit (A2) ist zum

Abtasten der mit der wenigstens einen zweiten Referenzmarke (R21) versehenen zweiten Teilung (T₂) des zweiten Teilungsträgers (S₂) vorgesehen;

c) zum Abtasten der wenigstens einen ersten

III·· 4 « « · 2

I * · I · ♦♦ ««

(I

Referenzmarke (Ri &igr;) des ersten Texlungsträgers (Si) und zum Abtasten der wenigstens einen zweiten Referenzmarke (R21 ) des zweiten Teilungsträgers (S2) durch die zweite Abtasteinheit (A₃} ist die erste Abtasteinheit (Ai) zusammen mit dem zweiten Teilungsträger (S2) mittels einer Verstelleinrichtung (M, Z) verstellbar;

d) der Verstellweg der ersten Abtasteinheit (Ai ) und des zweiten Teilungsträgers (S2) entsprechend dem Abstand zwischen der ersten Referenz^arke (Ri 1 ) und der zweiten Referenzmarke (R21) ist durch eine Registriereinrichtung registrierbar.

2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teilungsträger [Sz ) in Form einer zweiten Teilscheibe konzentrisch zum ersten Teilungsträger (Si) in Form einer ersten Teilscheibe drehbar gelagert und mitsamt der ersten Abtasteinheit (Ai ) mittels eines Antriebes (M, Z) verdrehbar ist.

3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß den ersten Referenzmarken (Rn) jeweils erste Codemarken (Cn) und den zweiten Referenzmarken (R21) jeweils zweite Codemarken (C21) zugeordnet sind.

4. Poeitlonsmeßeinrichtunp nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzmarken (Hn, R21) jeweils aus einer Strichgruppe mit einer bestimmten unregelmäßigen Strichverteilung bestehen.

«· * I « &Idigr; J

• ··« » &igr; &igr; · ttti

J J · · «&igr; « t

S.

Poiition»meß«inrichtung flach Anspruch 2, dadurch g«kennz«iohn«t, dap der Antrieb *u· einem Motor (M) und aus einen Reveraiergetriebe (2) besteht.

10 IS

2S

35

&PSgr;&Bgr; ·«