DE815410C - Interferometer - Google Patents

Interferometer

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Publication number
DE815410C
DE815410C DEL235A DEL0000235A DE815410C DE 815410 C DE815410 C DE 815410C DE L235 A DEL235 A DE L235A DE L0000235 A DEL0000235 A DE L0000235A DE 815410 C DE815410 C DE 815410C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
plane
diffraction
brought
mirrors
interference
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Expired
Application number
DEL235A
Other languages
English (en)
Inventor
Willi Dr Horn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DEL235A priority Critical patent/DE815410C/de
Application granted granted Critical
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Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

  • Interferometer Die Erfindung betrifft ein Interferometer, bei dem das von einer Lichtquelle ausgehende Licht in zwei kohärente Bündel gespalten wird, die miteinander zur Interferenz gebracht werden. In den einen Strahlengang wird das zu untersuchende Objekt gebracht, so daß Gangunterschiede in der Bildebene sichtl>ar werden und für Prüf- und Meßzwecke ausgewertet werden können.
  • Bei den bekannten Einrichtungen erfolgt die Aufsl)altullg durch Planparallelplatten, damit die beiden miteinander zur Interferenz zu bringenden Strahlenbündel kohärent sind. Die Größe des Objektfeldes ist bei diesen Einrichtungen von den Herstell ungsgrenzen ill terferenzgenauer Platten abhKingig (s. W. Kinder, . Theorie des Mach-Zehnder-liiterferometers, Optik I, 1946, S. 413 bis 448, insbesondere S. 424).
  • Um Objektfelder von größerer Ausdehnung erzeugen zu können, wird nach der vorliegenden Erfindung zur Erzeugung der beiden Strahlenbündel ein Beugungsgitter benutzt. Hierbei wird von der an sich bekannten Erscheinung Gebrauch gemacht, daß man farblose, achromatische Interferenzstreifen erzeugen kann, wenn man Gitterspektren verschiedener Ordnung als sekundäre Lichtquellen benutzt und ihre kohärenten Strahlen zur Interferenz bringt.
  • I)erartige Versuchsanordnungen sind beschrieben z. 13. in K ö n i g , Geometrische Optik, Hdbch. der Phys. XX, S. 380, und G e h r k e, Hdbch. der Phys. Optik I, 469 bis 470.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, die achromatischen Streifen nutzbar zu machen für interferometrische Untersuchungsgeräte, weil sie den Vorteil bieten, weißes Licht benutzen zu können und über ein großes Gesichtsfeld die optischen Eigenschaften eines ausgedehnten Untersuchungsobjektes erkennbar zu machen.
  • Die Erfindung besteht demgemäß darin, daß die kohärenten Lichtbündel, in deren eines das zu untersuchende Objekt gebracht wird, durch zwei Beugungsspektren gebildet sind, deren Strahlenwege hinter dem Beugungsgitter auf optischem Wege leicht räumlich so weit getrennt werden können, daß große Objekte eingebracht werden können. Diese werden insbesondere an die Stelle gebracht, die zu der Ebene des Gitters konjugiert ist.
  • Je nach dem zu untersuchenden Objekt sind die Lichtquelle und das Beugungsgitter linear oder z. B. auch kreissymmetrisch gestaltet.
  • Die Neigung des achromatischen Streifensystems kann beliebig eingestellt werden, z. B. in an sich be- -kannter Weise durch Einfügung eines um die optische Achse des einen Strahlenganges drehbaren Keiles.
  • Die Auswahl der beiden Beugungsspektren, von denen man beispielsweise die beiden Spektren erster Ordnung wählt, erfolgt in der Ebene einer Zwischenabbildung des Spaltes durch Abblenden der übrigen Spektren oder durch zwei Spiegel, die nur die gewünschten Strahlen weiterleiten. Im ersten Fall ergibt sich eine geradsichtige Anordnung, während im zweiten Fall der Strahlengang geknickt werden muß.
  • In derselben Ebene der Zwischenabbildung erfolgt durch die erwähnten Spiegel oder gleichwertige optische Mittel eine Auseinanderlegung der beiden Strahlenwege, die in einer Ebene hinter dem Untersuchungsobjekt in gleicher Weise wieder einander genähert werden.
  • Ein wesentlicher Vorteil der Anordnung besteht darin, daß beide Strahlen auf ihrem ganzen Wege dieselben abbildenden optischen Systeme durchlaufen, wodurch die Justierung der optischen Wege sich vereinfacht und gegen Störungen weniger empfindlich ist, weil die Weglängen von vornherein gleich sind.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel schematisch dargestellt.
  • Das von der Lichtquelle I ausgehende Licht erhellt den Spalt 2, der im Brennpunkt der Linse 3 steht. Dann folgt das Gitter 4 und auf dieses die Linse 5, die jedes der Beugungsbilder in der Nähe je eines der beiden als Winkel spiegel angeordneten Planspiegel 6a und 6 entwirft. Die Schnittlinie der Spiegelebenen ist gegen die optische Achse etwas geneigt. Die beiden Spiegel6a und6b lassen zwischen sich eine Öffnung frei, durch die das Bündel nullter Ordnung hindurchfällt. Die Beugungsbilder höherer als erster Ordnung werden durch geschwärzte Flächen absorbiert, während die die Bilder erster Ordnung erzeugenden Strahlen divergent reflektiert werden, so daß nunmehr zwen getrennte Strahlenbündel nebeneinander laufen. Durch die weitere Linse 7 wird die Objektebene 8 zu der Ebene des Gitters 4 konjugiert. In ihr entstehen demnach zwei getrennte Bildfelder, in deren eines das Untersuchungsobjekt gebracht wird. Durch die Linse 9, den ebenfalls gegen die optische Achse geneigten Winkelspiegel IOa und Iob und die Linse II werden beide Strahlengänge in der Ebene 12 zur Interferenz vereinigt, wo das Interferenzbild z. B. durch eine photographische Platte aufgefangen werden kann.
  • Statt der Linsen kann man auch Spiegel verwenden.
  • PATENTANSPRCCHE 1. Interferometer, bei dem das von einer Lichtquelle ausgehende Licht in zwei Bündel aufgespalten wird, die miteinander zur Interferenz gebracht werden sollen und in deren einen Strahlengang das zu untersuchende Objekt gebracht wird, so daß ein zusätzlicher Gangunterschied in der Bildebene sichtbar wird, dadurch gekennzeichnet, daß aus der Gesamtheit der von einem Beugungsgitter erzeugten Beugungsbilder einer spaltförmigen Lichtquelle zwei beliebige Beugungsbilder ausget-ählt und als sekundäre Lichtquellen der beiden kohärenten Strahlen bündel benutzt werden.

Claims (1)

  1. 2. Einrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß als Lichtquellen die beiden Beugungsbilder erster Ordnung benutzt werden.
    3. Einrichtung nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß von der spaltförmigen Lichtquelle objektseitig hinter dem Beugungsgitter ein Bild erzeugt wird, in dessen Ebene die Auswahl der beiden Beugungsbilder erfolgt.
    4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Bildebene zwei Spiegel von der Größe der auszuwählenden Beugungsbilder, beide unter Neigung zur optischen Achse, angeordnet sind.
    5. Einrichtung nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß alle weiteren nach der Trennung der beiden Strahlenbündel benötigten optischen Glieder jeweils nur einmal für beide Strahlenbündel gemeinsam angeordnet sind.
DEL235A 1949-11-01 1949-11-01 Interferometer Expired DE815410C (de)

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DEL235A DE815410C (de) 1949-11-01 1949-11-01 Interferometer

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DE815410C true DE815410C (de) 1951-10-01

Family

ID=7254798

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DEL235A Expired DE815410C (de) 1949-11-01 1949-11-01 Interferometer

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DE (1) DE815410C (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2694340A (en) * 1950-05-08 1954-11-16 Leitz Ernst Gmbh Interference microscope
DE1047478B (de) * 1952-01-21 1958-12-24 Lkb Produkter Fabriksaktiebola Anordnung bei Interferometern

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2694340A (en) * 1950-05-08 1954-11-16 Leitz Ernst Gmbh Interference microscope
DE1047478B (de) * 1952-01-21 1958-12-24 Lkb Produkter Fabriksaktiebola Anordnung bei Interferometern

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