DE8032448U1 - Elektrischer praezisionswiderstand - Google Patents

Description

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Elektrischer Präzisionswiderstand

Die Neuerung bezieht sich auf einen Präzisionswiderstand nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Derartige Widerstände können bekanntlich als Widerstandsbahn selbsttragend oder auf einem Isolierkörper entweder nach einem subtraktiven Verfahren durch Ausarbeiten aus einer flächenförmig leitenden Schicht (z.B. durch Fotoätzen) oder nach einem additiven Verfahren durch Aufbringung auf einem Substrat hergestellt werden. Dabei unvermeidbare Fertigungstoleranzen müssen durch Abgleichen kompensiert werden, d.h. der Widerstand wird zunächst mit einem vorläufigen Wert hergestellt, der kleiner ist als der gewünschte Wert und dann um das erforderliche Maß erhöht wird. Zu diesem Zweck könnte man chemisch oder mechanisch die Fläche der Widerstandsbahn verkleinern. Da die damit verbundene Beschädigung der stromführenden Schichtstruktur aber insbesondere bei Folien oder Blechen aus Präzisionswiderstandslegierungen schädliche Einflüsse auf z.B. den Temperaturkoeffizienten und die zeitliche Konstanz hat, wird zur Erhöhung des Gesamtwiderstandes der Leiterbahnen das Auftrennen von gesonderten Widerstandsbahnen bevorzugt, die zu Teilen der Gesamtwiderstandsbahn parallelgeschaltet sind, da hierbei die in ihrer Struktur gestörten Teile aus dem Stromkreis herausfallen.

(folgt S. 5)

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Zum Abgleichen von Präzisionswiderständen der vorliegenden Art ist es bekannt und üblich, in einem mäanderförmigen Bahnmuster zwei parallele, an ihrem einen Ende verbundene Bahnabschnitte über ihre Länge durch leitersprossenartig in gleichen Abständen aufeinanderfolgende Brücken zu verbinden. Durch die an ihrem anderen Ende befindliche Brücke werden diese Bahnabschnitte kurzgeschlossen, und je mehr Brücken ausgehend von diesem Ende aufgetrennt werden, desto mehr wird der Widerstandswert stufenweise erhöht. Da zur Herstellung von Widerständen mit hoher Präzision des Widerstandswertes je nach gewünschter Abgleichgenauigkeit Abgleichschritte unterschiedlicher Größenordnung erforderlich sind, kann man neben einer ersten derartigen Abgleichgruppe weitere Abschnitte vorsehen, die mit Brücken für entsprechend kleinere Widerstandsänderungen versehen sind. Wenn z.B. ein Widerstand durch Ätzen mit einer Genauigkeit von 10% gefertigt werden kann und eine Endgenauigkeit von 0,01% angestrebt wird, müssen drei Gruppen von jeweils zehn äquidistanten Abgleichschritten vorgesehen werden. Die Schritte der ersten Abgleichgruppe haben dabei eine Widerstandsänderung von 1% , diejenigen der zweiten Gruppe von 0,1% und diejenigen der dritten Gruppe von 0,01% vom Ausgangswert zu bewirken. Wird eine Genauigkeit von 0,001% gewünscht, sind weitere zehn äquidistante Abgleichschritte von 0,001% erforderlich. Wegen dieser großen Anzahl erforderlicher Abgleichschritte, die von Hand durchgeführt werden, ist das bekannte Verfahren mühsam, zeitraubend und entsprechend aufwendig. Weitere Schwierigkeiten ergeben sich aus der Notwendigkeit, die zum Abgleich vorgesehenen, als Parallelwiderstände dienenden Brücken zum überwiegenden Teil an ungünstigen, weil schlecht zugänglichen Bereichen der Widerstandsbahnen positionieren zu müssen. Beim Auftrennen dieser Brücken besteht die Gefahr, die stromführenden Widerstandsbahnen zu beschädigen. Ausserdem eignet sich das bekannte Abgleichverfahren kaum für eine wünschenswerte Automatisierung.

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Ähnliche Probleme wie beim Abgleichen treten auf, wenn man einen Widerstand ausgehend von einem vorgegebenen Herstellungswert genau auf einen wählbaren anderen Nennwert einstellen will.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Abgleichen oder Einstellen von elektrischen Widerständen der erläuterten Art vorzugsweise hoher Präzision schneller und einfacher und insbesondere mit weniger Abgleichschritten zu ermöglichen als bisher.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs gelöst.

Durch die Erfindung kann im Bereich der vorgesehenen maximalen Widerstandsänderung jeder beliebige Wert mit der gewünschten Endgenauigkeit (z.B. - 0,01% oder noch genauer) mit wesentlich weniger Abgleich- bzw. Einstellschritten erreicht werden als bisher. Bei einem erfindungsgemäß zu bevorzugenden Verhältnis der einzelnen Abgleichschritte , d.h. der von jeweils aufeinanderfolgenden Abschnitten (z.B. durch entsprechend abgestufte Längen dieser Abschnitte) bewirkbaren Widerstandserhöhungen von 2:1 sind besonders wenig Abgleichschritte nötig, z.B. im Fall einer Herstellungstoleranz von±10% für eine Endgenauigkeit von 0,01% nur noch maximal elf Schritte. Zudem ist es bei dem hier beschriebenen Widerstand möglich, relativ schnell und einfach z.B. mittels eines Rechners zu bestimmen, welche Brücken für einen gewünschten Endwert aufgetrennt werden müssen, was u.a. für eine Automatisierung von Interesse ist. Wenn man eine solche Rechnung wiederholt nach jedem Abgleich- bzw. Einstellschritt und nach Messung des jeweils erreichten Widerstandswertes durchführt, kann man zusätzliche Abgleichschritte vermeiden, die in gewissen Fällen zur Korrektur toleranzbedingter Abgleichfehler erforderlich sein können, wenn diese nicht sofort nach jedem Schritt berücksichtigt werden.

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Durch die Herabsetzung der Zahl der erforderlichen Abgleichbzw. Einstellschritte wird zugleich eine bevorzugte Anordnung aller aufzutrennenden Lereiche der Brücken an einer Seite des Widerstands ermöglicht oder wenigstens erleichtert. Dadurch ergeben sich wesentliche zusätzliche Vorteile. Insbesondere sind die Brücken der verschiedenen aufeinanderfolgenden Parallel-Abschnitte besser zugänglich als bisher und können ohne die Gefahr von Beschädigungen der Widerstandsstruktur einfach maschinell oder sogar automatisch aufgetrennt werden. Außerdem können bei dieser Anordnung, bei der zwischen dem eigentlichen Widerstandsbereich und dem durch die Brücken gebildeten Abgloichbereich eine räumliche Trennung herbeiführbar ist, die Widerstandsbahnen durch Aufbringen einer besonderen Schutzschicht abgedeckt werden, während der Abgleichbereich (wie auch ein gesonderter Kontaktbereich) zugänglich bleiben.

An einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird die Erfindung im folgenden näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:

Figur 1 einen typischen Präzisionswiderstand der hier beschriebenen Art vor dem Abgleichen bzw. Einstellen (die Erfindung betrifft aber selbstverständlich auch fertige Widerstände); und

Figur 2 die stark vereinfachte schematische Darstellung einer Vorrichtung zum Abgleichen oder Einstellen des Widerstandes.

Präzisionswiderstände der in Figur 1 dargestellten Art können nach an sich bekannten Methoden durch Ätzen (ähnlich wie die Schaltungen von kupferkaschierten Leiterplatten) aus vorzugsweise auf ein Substrat aufkaschierten , z.B. 0,02-0,04mm dicken Folien aus den üblichen Widerstandslegierungen hergestellt werden. In Figur 1 bestehen die weißen Bereiche aus dem auf dem Substrat 22 angeordneten Widerstandsmetall.

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Der Widerstand besteht im wesentlichen aus einer kontinuierlichen Widerstandsbahn 20, die sich darstellungsgemHß weitgehend mäanderförmig mit geometrisch parallelem Bahnverlauf zwischen den Anschlußkontaktflächen 21 erstreckt. In Bahnrichtung aufeinanderfolgend , d.h. elektrisch in Reihe liegend, hat die Widerstandsbahn mehrere, bei dem dargestellten Beispiel elf unterschiedlich dimensionierte Abschnitte, die mit 111, 112,113$ ...120,121 bezeichnet sind. Parallel zu jedem dieser Abschnitte, die in Figur 1 an den mit 23 bezeichneten Stellen beginnen bzw. sich dort befinden, liegt je eine einzige Brücke 1,2,3...10 bzw. 11 aus gesonderten Widerstandsbahnstücken. Zweckmässig befinden sich zwischen (sowie vor und nach) den verschiedenen Abschnitten 111-121 jeweils nicht überbrückte Bahnteile mit einer vom gewünschten Gesamtwiderstand abhängigen Länge oder Dimensionierung.

Die genannten Abschnitte sind erfindungsgemäß so dimensioniert, daß beim Auftrennen der jeweiligen Brücke von Abschnitt zu Abschnitt stufenweise zunehmend kleinere bzw. größere (je nachdem, in welcher Reihenfolge die Brücken aufgetrennt werden) Änderungen des Gesamtwiderstandes zwischen den Anschlußkontaktflächen 21 bewirkt werd=n.Vorzugsweise haben zu diesem Zweck wenigstens einige der verschiedenen Abschnitte entsprechend abgestufte Längen. So erstreckt sich der erste Abschnitt 111 von der Stelle 23 zunächst bis zum oberen Ende des Widerstands und zurück bis zu der Stelle 24, während der zwaite Abschnitt 112 von 23 bis zu der

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Stelle 25 reicht undTvorletzte Abschnitt 120 nur noch quer zu der allgemeinen Bahnlängsrichtung verläuft. Der letzte Abschnitt 121 bewirkt dagegen bei dem dargestellten Beispiel deswegen bei Auftrennen der zugehörigen Brücke eine noch geringere Widerstandsänderung als der etwa ebenso lange vorletzte Abschnitt 120, weil er breiter ist. Wie noch näher erläutert wird, stehen die Widerstandswerte in einem solchen vorbestimmten Verhältnis zueinander, daß die summierte Widerstandserhöhung aufgrund aller Abschnitte mindestens gleich der maximal zulässigen Abweichung des sich bei der Herstellung ergebenden Widerstandswerts vom gewünschten

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Wert ist, während die Widerstandserhöhung aufgrund der einzelnen Abschnitte wesentlich kleiner als diese Abweichung ist.

Die dargestellte verschachtelte Anordnung mit den geometrisch parallel zwischen nicht überbrückten Bahnteilen liegenden unterschiedlich langen bzw. breiten Abschnitten 111-121, an deren den Brücken abgewandten Enden angrenzend andere Bahnteile jeweils quer verlaufen, wie z.B. bei 25 dargestellt ist, erlaubt eine besonders zweckmässige Platzausnutzung auf dem Substrat 22. Es versteht sich aber, daß von diesem Vorteil abgesehen die geometrische Anordnung im Rahmen der Erfindung weitgehend beliebig ist. Eine hinsichtlich des Platzbedarfes weniger günstige, aber sehr einfache Anordnung ergibt sich beispielsweise, wenn man die abgestuft bemessenen Nebenwiderstände Seite an Seite an eine geradlinige Hauptwiderstandsbahn anschließt. Es ist ferner nicht notwendig, daß gemäß dem vorbestimmten Widerstandsverhältnis aufeinanderfolgende Abschnitte auch im Bahnver.lauf unmittelbar aufeinanderfolgen bzw. benachbart sind. Auch können zu je einer Brücke mehrere Abschnitte elektrisch parallelgeschaltet und/oder für einen Abschnitt eine oder mehrere zusätzliche Brücken vorgesehen sein.

Eine andere mögliche Abwandlung des hier beschriebenen Ausführungsbeispiels besteht darin, statt der Brücken 1-11 die abgestuften Nebenwiderstandsabschnitte selbst auftrennbar zu machen.

Es ist jedoch zu bevorzugen , daß diejenigen Teile , die zur Widerstandsänderung auftrennbar sein sollen, alle an einer Seite des Widerstands angeordnet sind. Darstellungsgemäß sind dies die Teile der Brücken 1-11 am unteren, den Anschlußkontaktflächen 21 abgewandten Rand des Widerstands. Durch die von Metall freien (in der Zeichnung schwarzen) Bereiche zwischen den Stellen 23 und dem unteren Rand wird der durch die Auftrennteile der Brücken 1-11 gebildete eigentliche Abgleich- oder Einstellbereich des Widerstands von dessen Hauptteil räumlich getrennt, wodurch u.a. die Gefahr von Beschädigungen beim Auftrennen herabgesetzt und außerdem die Möglichkeit eines gesonderten Schutzes z.B. durch eine nur auf dem Hauptteil angeordnete Deckschicht geschaffen wird. Vor alle aber erleichtert eine derartige Anordnung der Auftrennteile wesentlich eine wünschenswerte maschinelle, insbesondere vollautomatisch Auftrennung z.B. mittels der weiter unten beschriebenen Vorrichtung

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Die Auftrennteile sind zweckmässig nebeneinander unmittelbar am Rand des Substrates angeordnet und können in ihrer eigenen Längsrichtung miteinander fluchten, so daß sie durch ein Trennwerkzeug mit senkrecht zu ihrer Längsrichtung liegender Schnittlinie aufgetrennt werden können. Je nach dem zu verwendenden Trennwerkzeug können stattdessen beliebige andere Formen für die Brücken gewählt werden. Die Brücken können statt aus Widerstandsmaterial auch aus einem anderen Leitermaterial bestehen.

Das erwähnte vorbestimmte Widerstandsverhältnis zwischen je zwei in der Abstufung aufeinanderfolgenden Abschnitten muß nicht unbedingt von Abschnitt zu Abschnitt gleich sein. Vorzugsweise soll es aber jeweils ungefähr 2:1 betragen, weil bei diesem Verhältnis ein Abgleich oder Einstellen des Widerstands mit besonders wenigen Schritten und besonders einfach möglich ist. Diese Tatsache beruht auf den mathematischen Eigenschaften der konvergenten geometrischen Reihe 1 + 1/2 + 1/4 + 1/8 + .... , bei der u.a. jeweils die von einem bestimmten Glied der Reihe an gerechnete Summe aller Restglieder gleich dem unmittelbar vorhergehenden Glied ist. Die Zweckmässigkeit dieses Dualsystems

ist der Grund, warum sich in Figur 1 die Bahnlänge der Abschnitte 111, 112 usw. von Abschnitt zu Abschnitt ungefähr halbiert , doch lässt sich die gewünschte Abstufung auch auf andere Weise erreichen.

Die hier beschriebene Methode soll im folgenden an unterschiedlichen Beispielen erläutert werden, und zwar zunächst unter der Annahme, ein mit einer Genauigkeit von nur +_ 10% hergestellter geäzter Widerstand gemäß Figur 1 solle auf einen Sollwert von 100,00 Ω (d.h. mit +_ 0,01%) abgeglichen werden. Den gemäß Figur 1 möglichen elf Abgleichschritten entsprechend den auftrennbaren Brücken 1-11 sind folgende prozentuale Widerstandsänderungen, bezogen auf den Anfangswert, zugeordnet:

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Abgleich Nr.	AR [%] vom Anfangswert
1	5
2	2,5
3	1,25
4	0,625
5	0,3125
6	0,1563
7	0,07813
8	0,0906
9	0,01953
10	0,00977
11	0,00488

Es wird zunächst der Anfangswert des Widerstandes gemessen, der beispielsweise 93,783Ω sei. Damit ergeben sich für die einzelnen Abgleichschritte folgende Widerstandsänderungen:

Abgleich Nr.	Δ R [Ω]
1	4,689
2	2,345
3	1,172
4	0,5861
5	0,2931
6	0,1465
7	0,07327
8	0,03663
9	0,01832
10	0,00916
11	0,004 58

Es wird nun die Abweichung des Widerstands-Ist-Wertes vom Sollwert berechnet und der Parallelschluß desjenigen Abgleichpunktes, d.h. die Brücke desjenigen Abschnitts aufgetrennt, der (jeweils) die größte Widerstandsänderung verursacht, die kleiner ist als die gesamte (jeweils noch) benötigte Änderung. Danach wird der Widerstand erneut gemessen und das Verfahren so lange wiederholt, bis der Endwiderstand mit der gewünschten Genauigkeit erreicht ist. Im vorliegenden Fall sind folgende Abgleichschritte erforderlich:

Auftrennen der Brücke Nr.

Differenz Istwert/ Sollwert [ü]

berechneter nächster Abgleichpunkt Nr.

1 3 5 8 9 10

	6,217	= 1,528
6,217	- 4,689	= 0,356
1,528	- 1 ,172	= 0,0629
3,356	- 0,2931	= 0,02627
3,0629	- 0,03663	= O,OO795
D,02627	- 0,01832	=-0,00121
3,00795	- 0,00916

1 3 5 8 9 10

Durch die Summe der Widerstandserhöhungen ergibt sich folglich ein Widerstandsendwert von 100,00121 Ω. Die Abweichung vom Sollwert beträgt nach den nur 6 Abgleichschritten 0,00121%.

Es bedarf keiner weiteren Erläuterung, daß durch relativ wenige zusätzliche Abgleichschritte, also durch zusätzliche Abschnitte, die eine größere und/oder kleinere Widerstandserhöhung bewirken als die Abschnitte 111 bzw. 121 (Figur 1) , die Endgenauigkeit praktisch beliebig gesteigert werden kann.

Nun sei ein Beispiel eines einstellbaren Widerstands betrachtet.

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In manchen Fällen kann es nämlich zweckmässig sein, Widerstände zunächst mit einem relativ geringen einheitlichen Widerstandswert (und normalen Toleranzen) herzustellen und diese Widerstände später durch Widerstandserhöhung möglichst genau auf andere, ggf. von Widerstand zu Widerstand verschiedene Nennwerte einzustellen. Da in diesem Fall die Soll-Endwerte je nach dem Verwendungszweck des betreffenden Widerstands sehr unterschiedlich sein und von dem bei der Herstellung gewählten Anfangswert erheblich abweichen können, kann von einem Abgleich nicht mehr gesprochen werden.

Es sei angenommen, ein durch Ätzen mit einem Anfangswert von 9,35 Ω hergestellter Widerstand, der allgemein der Darstellung der Figur 1 entspricht, jedoch einen zusätzlichen (zwölften) Abschnitt hat, solle in einen Widerstand mit einem anderen Soll-Endwert verwandelt werden. Die zwölf Einstell-Abschnitte erlauben eine Widerstandsänderung über den Bereich einer Dekade, wobei die Genauigkeit des Endwertes (Δ R/R) besser ist als 0,1%. Folgende prozentuale Widerstandsänderungen können den verschiedenen Einstellschritten zugeordnet werden:

Einstellschritt	Widerstandsänderung [%] vom Anfangswert
1	500
2	250
3	125
4	62,5
5	31,25
6	15,625
7	7,8125
8	3,9063
9	1,9531
10	0,9766
11	0,4883
12	0,2441

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Für den erwähnten Anfangswert von 9,35Ω ergeben sich hieraus bei den einzelnen Einstellschritten folgende Widerstandsänderungen:

Einstellschritt	Widerstandsänderung [ω]
1	46,75
2	23,375
3	11 ,6825
4	5,4838
5	2,9219
6	1,4609
7	0,7305
8	0,3652
9	0,1826
10	0,0913
11	0,0457
12	0,0228

Wenn z.B. ein Soll-Endwert von 11,29 Ω eingestellt werden soll, werden unter Anwendung desselben Verfahrens wie bei dem oben erläuterten Abgleich-Beispiel folgende Schrittte gewählt:

Einste11schritt	Differenz Istwert/ Sollwert [Ω]	1,9400	= 0,4791	nächste aufzutrei nende Brücke ent sprechend Einste! schritt Nr.
		- 1,4604	= 0,1139	6
6	1,9400	- 0,3652	= 0,01226	8
8	0,4791	- 0,0913	=-0,0002	10
10	0,1139	- 0,01228	12
12	0,00226

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Der Widerstandsendwert beträgt somit 11,29Ο2Ω bei einer Abweichung vom Sollwert von nur 0,002%.

Für einen anderen Sollwert von z.B. 72,48 Ω ergibt sich ausgehend von dem gleichen Anfangswert, von 9,35Ω folgendes:

Einsteilschritt	Differenz Istwert/	63,130	= 16,380	nächster Einstel
Nr.	Sollwert |Ω	- 46,75	= 4,6925	schritt Nr.
		- 11,6875	= 1,7710	1
1	63,1300 -	- 2,9215	= 0,3101	3
3	16,380 -	- 1,4609	= 0,1275	5
5	4,6925 -	- 0,1826	= 0,0362	6
6	1,7710 -	- 0,0913	= -0,0095	9
9	0,3101 -	- 0,0457	10
10	0,1271 -		11
11	0,0362 -

Der Widerstandsendwert von 72,4895 Ω weicht nach den 7 Einstellschritten nur um 0,013% von dem Soll-Endwert ab.

In Figur 2 ist schematisch eine Vorrichtung dargestellt, mit der das beschriebene Verfahren maschinell und vollautomatisch durchgeführt werden kann. Die Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einer Meßeinrichtung M, einem Rechner R und einem zur Positionierung und Steuerung eines Trennwerkzeugs TW dienenden Schrittschaltwerk S. Das z.B. an die Kontaktflächen 21 des in Figur 1 dargestellten Widerstands angeschlossene Meßgerät mißt ständig den jeweiligen Ist-Widerstandswert und teilt diesen dem Rechner ggf. in einer von dem Rechner bereits verwendbaren codierten Form mit. Der Rechner, bei dem es sich um eine handelsübliche elektronische Einheit relativ einfacher Art handeln kann, bestimmt

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auf Grund der ihm als Sollwert eingegebenen Daten D bzw. gespeicherter Daten, welche Brücke des' Widerstands W in Abhängigkeit von dem jeweils vorliegenden Meßsignal der Meßeinrichtung M als nächster Schritt aufgetrennt werden muß. Ein entsprechendes Informationssignal gelangt an das Positionierungs- oder Schrittschaltwerk S, welches das Trennwerkzeug TW bezüglich der richtigen Brücke positioniert, welches daraufhin diese Brücke auftrennt. Die beschriebenen Schritte können von einem (nicht dargestellten) Taktgeber gesteuert werden.

Diese einfache Vorrichtung ermöglicht das Abgleichen oder Einstellen einer großen Zahl von Widerständen bei dem Hersteller in erheblich kürzerer Zeit, als es bei Präzisionswiderständen der vorliegenden Art bisher möglich gewesen wäre. Stattdessen besteht aber auch die Möglichkeit, daß ein nicht abgeglichener Widerstand etwa gemäß Figur 1 erst von demjenigen, der den Widerstand verwenden will, auf den gewünschten Endwert gebracht wird.

Statt der beschriebenen Widerstandserhohung eines zunächst mit geringerem Widerstandswert hergestellten Präzisionswiderstands kann man im Rahmen der Erfindung auch den umgekehrten Weg gehen, den Widerstand zunächst mit offenen Brücken herzustellen und seinen Wert dann durch Schließen der jeweils erforderlichen Brücken auf den gewünschten Endwert herabzusetzen. Das erläuterte Prinzip ändert sich dadurch nicht.

Claims (3)

Schutzansprüche :

1.) Elektrischer Prazisionswiderstand in Form einer z.B. durch Ätzen aus einer Widerstandsfolie gebildeten kontinuierlichen Widerstandsbahn, die in Bahnrichtung aufeinanderfolgende, elektrisch in Reihe liegende Abschnitte hat, die jeweils durch zu dem betreffenden Abschnitt parallel liegende, je einer Trennstelle zugeordnete Brücken aus gesonderten Leiter- oder Widerstandsbahnstücken überbrückt sind,

dadurch gekennzeichnet, daß die aufeinanderfolgenden Abschnitte (111-121) stufenweise in einem vorbestimmten Verhältnis zunehmend langer bzw. kürzer und/oder mit kleinerer bzw. größerer Breite bemessen sindf und daß die Auftrennteile aller Brücken (1-11) an nur einer Seite des Widerstands angeordnet sind.

2.) Prazisionswiderstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Länge und Breite aufeinanderfolgender Abschnitte (112-121) so bemessen sind, daß sich die durch Auftrennen der jeweiligen Brücke (2-11) bewirkte Widerstandserhöhung von Abschnitt zu Abschnitt jeweils ungefähr halbliert.

3.) Präzisionswiderstand nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschnitte (111,112 usw.) wenigstens zum Teil in einer gegebenen Richtung geometrisch parallel zwischen nicht überbrückten Teilen der Wider?tandsbahn (20) liegen, und daß nicht überbrückte Teile der Widerstandsbahn (20) an den von den Brücken (1-11) abgewandten Enden jedes dieser Abschnitte (111,112...) quer zu der gegebenen Richtung verlaufen.