DE7922341U1

DE7922341U1 - VACUUM CLAMPING TABLE FOR CLAMPING THIN FILMS

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Publication number: DE7922341U1
Application number: DE19797922341
Authority: DE
Original assignee: GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
Current assignee: GSI Gesellschaft fuer Schwerionenforschung mbH
Priority date: 1979-08-04
Filing date: 1979-08-04
Publication date: 1979-11-08

Description

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Description:

Die vorliegende Neuerung betrifft einen Vakuum-Aufspanntisch zum Aufspannen von dünnen Folien, Platten, Papier oder Werkstücken mit einem Vakuumgehäuse, auf dessen perforierter Deckplatte durch den Unterdruck die aufzuspannenden Teile festgespannt werden.The present innovation relates to a vacuum clamping table for clamping thin foils, plates, paper or workpieces with a vacuum housing, on its perforated Cover plate the parts to be clamped are clamped by the negative pressure.

Aufspanntische dieser Art werden unter anderem auf Bearbeitungsmaschinen zur Bearbeitung sehr dünner Werkstücke wie Folien oder Platten aus Metallen oder Kj*atstoffen verwendet. Besonders vielseitig ist auch die Anwendung zum Verspannen von Papier auf Siebdrucktischen, Fotovorlagen in Reprokameras usw.Clamping tables of this type are used, among other things, on processing machines Used for processing very thin workpieces such as foils or plates made of metals or plastics. The application for tensioning paper on screen printing tables, photo templates is particularly versatile in repro cameras etc.

Bisher wurde das Problem, dünne Folien oder Platten auf Bearbeitungstischen aufzunehmen, unter anderem dadurch gelöst, daß man für Vakuum-Aufspanntische eine gelochte Tischplatte verwendete. Der Nachteil solcher Aufspanntische besteht darin, daß die erreichbare flächenspezifische Anpreßkraft, mit der Folien oder Platten auf die Tischoberfläche gepreßt werden, wesentlich unterhalb des zur Verfügung stehenden atmosphärischen Luftdrucks liegen. Die Zahl der Bohrungen, von denen die effektive Saugfläche abhängt, ist bei solchen gelochten Tischplatten begrenzt. Man kann sie, mit Rücksicht auf die Festigkeit der Tischplatte nicht beliebig erhöhen. Ein weiterer Nachteil der gelochten Aufspanntische ist, daß dünne Folien e-was in die Bohrungen gesaugt werden, wodurch die Ebenheit der Folie verloren geht. Würde man z.B. dünne Metallfolien auf einem derartigen Aufspanntisch aufspannen, um sie zu überschleifen, so würde auf der geschliffenen Folienseite das Raster der Saugbohrungen sichtbar. Aus technischen und kostenmäßigen Gründen lassen sich die Bohrungsdurchmesser unterhalbSo far, the problem of holding thin foils or plates on processing tables has been solved, among other things, by that a perforated table top was used for vacuum clamping tables. The disadvantage of such worktables is there in that the surface-specific contact pressure that can be achieved with the foils or plates are pressed onto the table surface, significantly below the available standing atmospheric pressure. The number of holes on which the effective suction area depends, is limited with such perforated table tops. You can't, given the firmness of the tabletop increase at will. Another disadvantage of the perforated clamping tables is that thin foils can get into the holes sucked, whereby the flatness of the film is lost. For example, if you were to place thin metal foils on such a Clamp the clamping table in order to grind them, like this the grid of the suction holes would be visible on the sanded side of the film. For technical and financial reasons For reasons, the bore diameter can be below

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einer bestimmten Grenze nicht reduzieren.not reduce a certain limit.

Es sind weiterhin auch Vakuum-Aufspanntische bekannt, deren Tischplatte aus poröser Keramik besteht.. Mit solchen Aufepanntischen können zwar auch hohe flächenspezifische Anpreßdrücke erzielt und dünne Folien eben aufgespannt werden, doch weisen diese Tische verschiedene Nachteile auf. Derartige Keramiktische sind in der Herstellung sehr kostspielig und können nicht als Verschleißteile angesehen werden. Verschmutzte oder beschädigte Keramiktische können zur Regenerierung der Durchlässigkeit nicht ohne weiteres überarbeitet oder weggeworfen werden. Werkstücke mit empfindlichen Oberflächen können beim Spannen auf einem Keramiktisch verkratzt werden. Ein weiterer, wesentlicher Nachteil dieser Tische ist, daß man weder aus Versehen noch mit Absicht, wie es 'bei verschiedenen Bearbeitungsvorgängen unumgänglich ist, mit Bearbeitungswerkzeugen an die harte Keramikoberfläche stoßen darf.Vacuum clamping tables are also known, the table top of which is made of porous ceramic. With such clamping tables, high surface-specific contact pressures can be achieved and thin foils can be clamped, but these tables have various disadvantages. Such ceramic tables are very expensive to manufacture and cannot be regarded as wearing parts. Soiled or damaged ceramic tables cannot simply be reworked or thrown away to regenerate the permeability. Workpieces with sensitive surfaces can be scratched when clamping on a ceramic table. Another major disadvantage of these tables is that one must neither accidentally nor intentionally, as is unavoidable in various machining operations, hit the hard ceramic surface with machining tools.

Die vorliegende Neuerung hat nun zur Aufgabe, bei einem Vakuum-Aufspanntisch der eingangs beschriebenen Art die flächenspezifische Anpreßkraft wesentlich zu erhöhen und die völlig ebene Aufspannung selbst dünner Folien zu gewährleisten, wobei sie jederzeit ersetzbar oder zur Wiederherstellung der Durchlässigkeit und der Planheit spanabhebend überarbeitet werden kann. Die Tischoberfläche soll unempfindlich gegen die Berührung durch Werkzeuge wie Fräsern,Bohrern usw. sein, wenn dies die Umstände des entsprechenden Bearbeitungsvorganges verlangen.The present innovation now has the task of a vacuum clamping table of the type described above to increase surface-specific contact pressure and significantly to guarantee the completely flat clamping of even thin foils, whereby they can be replaced or restored at any time the permeability and the flatness can be reworked by machining. The table surface should insensitive to contact with tools such as milling cutters, drills, etc., if this is the case for the appropriate Request processing process.

Zur Lösung dieser Aufgabe schlägt: nun die vorliegende Neuerung vor, daß die aus einem Metall-Sinterwerkstoff bestehende Platte als auswechselbares Verschleißteil ausgebildet ist, indem die Platte an ihrer Unterseite Sack-To solve this problem suggests: now the present innovation before that the consisting of a metal sintered material Plate is designed as a replaceable wear part by placing the plate on its underside with a bag

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lochgewxndebohrungen zu ihrer Montage auf dem Vakuumgehäuse aufweist. Die Neuerung schlägt weiter in besonders vorteilhafter Weise vor, daß im Inneren des Vakkuumgehäuses Stützrippen zur Abstützung der Platte vorhanden sind.has lochgewxndebohrungen for their assembly on the vacuum housing. The innovation suggests further in particularly advantageous Way before that support ribs are present in the interior of the vacuum housing to support the plate.

Der besondere Vorteil der vorliegenden Neuerung besteht darin, daß Tischplatten aus Metall-Sinterwerkstoff wegen ihrer vergleichsweise geringen Kosten als entsprechend gelochte Tischplatten oder Keramiktischplatten als demontierbares Verschleißteil vorgesehen werden können. Es kann z.B. in die Tischoberfläche gebohrt werden, was bei einigen Bearbeitungsvorgängen unumgänglich ist. Solche beschädigten Tischplatten können bei der vorliegenden Neuerung in besonders vorteilhafter Weise nach Bedarf spanabhebend überarbeitet oder gänzlich erneuert werden.The particular advantage of the present innovation is that table tops made of metal sintered material because of their comparatively lower cost than appropriately perforated table tops or ceramic table tops as removable Wear part can be provided. For example, it can be in the table surface can be drilled, which is inevitable for some machining operations. Such damaged table tops can be revised by machining in a particularly advantageous manner with the present innovation as required or completely renewed.

Weitere Einzelheiten der Neuerung werden im folgenden anhand der Figur, die eine prinzipielle Ausbildung des Vakuum-Aufspanntisches zeigt, erläutert:Further details of the innovation are given below with reference to the figure, which shows a basic design of the vacuum clamping table shows, explains:

Der Vakuum-Aufspanntisch besteht aus einer Tischplatte 1 und einem Gehäuse 2, welches über einen Pumpstutzen 3 und ein Belüftungsventil 11 an eine nicht näher dargestellte Saugpumpe angeschlossen ist. Das hohle Gehäuse 2 weist in seinem Innenraum eine Vielzahl von Rippen 4 auf, auf welchen sich die Tischplatte 1 abstützt, um die durch den Unterdruck auftretenden Kräfte abzufangen. Die Kanäle 5 zwischen den Rippen 4 sind mit dem Pumpstutzen 3 verbunden. Dabei gehen die Flächen 6, auf welchen die Tischplatte 1 auf den Rippen 4 liegt als effektive Ansaugfläche nicht verloren, weil die kugelige Struktur des Metall-Sinterwerkstoffes in allen Richtungen gleichermaßen hochporös ist. Die Tischplatte 1 ist mit Schrauben 7 und den Sacklöchern 12 auf das -Gehäuse 2 festgeschraubt. An; Umfang des Gehäuses 2 ist die Platte 1 mittels der Dichtung 8 abgedichtet. In der Figur ist wexter-The vacuum clamping table consists of a table top 1 and a housing 2, which via a pump connector 3 and a ventilation valve 11 to a not shown Suction pump is connected. The hollow housing 2 has in its interior a plurality of ribs 4 on which the table top 1 is supported in order to absorb the forces caused by the negative pressure. The channels 5 between the Ribs 4 are connected to the pump nozzle 3. The surfaces 6 on which the table top 1 rests on the ribs 4 is not lost as an effective suction surface, because the spherical structure of the metal sintered material in all Directions is equally highly porous. The table top 1 is attached to the housing with screws 7 and the blind holes 12 2 screwed tight. On; The circumference of the housing 2 is the plate 1 sealed by means of the seal 8. In the figure is wexter-

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Claims

GESELLSCHAFT FÜR SCHWERIONEN- Darmstadt, June 26th 1979 RESEARCH MBH DARMSTADT PLA 7936 Sdt / str Protection claims:

1. Vacuum clamping table for clamping thin foils, plates, Paper or workpieces with a vacuum housing, on whose perforated cover plate the vacuum to be clamped Parts are clamped, characterized in that they consist of a metal sintered material Plate (1) is designed as a replaceable wear part.

2. Vacuum clamping table according to claim 1, characterized in that that the plate (1) has tapped blind holes (12) on its underside for mounting it on the vacuum housing (2) having.

3. Vacuum clamping table according to claim 1 to 2, characterized in that that inside the vacuum housing (2) there are supporting ribs (4) to support the plate (1).

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