Verwendung eines in einem Übermikroskop angeordneten Auffängers zur
Scharfeinstellung Bei der Übermikroskopie bereitet .die Scharfeinstellung des Bildes
durch die Änderung des Objektabstandes von den Linsen oder durch Veränderung der
Linsenbrechkräfte große Schwierigkeiten, die insbesondere bei schwachen Intensitäten
des abbildenden Elektronenstrahles auftreten. Je größer die gewählte elektronenöptischeVergrößerung
ist, desto geringer ist im allgemeinen die Intensität des Bildes, da die Belastung
des Objektes nur einen beschränkten Strom zuläßt. Im übrigen ist es allgemein zweckmäßig,
zur Scharfeinstellung des Objektes mit geringen Strömen zu arbeiten, da dann die
Gleichgewichtstemperatur, die das Objekt annimmt, niedriger ist. Wenn*sehr konstante
Bedingungen vorliegen, wie es beispielsweise bei dem elektrischen Übermikroskop
oder bei einem permanentmagnetischen Mikroskop der Fall ist, wären auch längere
Belichtungszeiten möglich, falls nicht bei der Scharfeinstellung des Bildes Schwierigkeiten
eintreten würden.Use of a collector arranged in an over-microscope for
Focusing In hyper microscopy, the image is focused
by changing the object distance from the lenses or by changing the
Lens powers cause great difficulties, especially at low intensities
of the imaging electron beam occur. The larger the chosen electron optical magnification
is, in general, the lower the intensity of the image because of the stress
of the property only allows a limited current. In addition, it is generally advisable to
to work with low currents to focus the object, since then the
Equilibrium temperature that the object assumes is lower. If * very constant
Conditions exist, such as in the case of the electric microscope
or is the case with a permanent magnetic microscope, would also be longer
Exposure times possible, if there are no difficulties in focusing the image
would occur.
Es ist bereits bei Elektronenmikroskopen bekannt, einen kleinen Auffänger
zu verwenden,
über den der Elektronenstrahl bewegt werden kann,
um mit Hilfe eines mit dem Auffänger verbundenen Strommessers die Emissionsintensität
des dem ausgeblendeten Bildteiles entsprechenden Gebietes des abgebildeten Querschnittes
messen zu können.It is already known in electron microscopes, a small catcher
to use,
over which the electron beam can be moved,
to measure the emission intensity with the help of an ammeter connected to the collector
of the area of the depicted cross-section corresponding to the masked out image part
to be able to measure.
Die Erfindung betrifft die Verwendung eines in einem Übermikroskop
in bekannter `eise in der Ebene eines Leuchtschirmes angeordneten kleinen, mit einem
Strommesser verbundenen Auffängers zur Scharfeinstellung der übermikroskopischen
Bilder in der Weise, daß die vom Auffänger abgegebenen und verstärkten. Stromstöße,
welche den Bildkontrasten entsprechen, in einem Oszillographen zur Aufzeichnung
gelangen, dessen Zeitachse mit der Pendelfrequenz des Ruffängers bzw. des Bildes
synchronisiert ist, dabei wird zur Scharfeinstellung auf die steilsten Flanken des
Oszillogramms eingestellt. Dem Gegenstand der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde,
daß auf dem Leuchtschirm des Oszillographen dann eine Kurve entsteht, die sich bei
Betätigung der Scharfeinstellung in der '\#,Teise ändert, daß steilere Flanken der
Kurve stärkeren Kontrasten entsprechen. Das vorliegende Verfahren ist insbesondere
für 1=Tbermikroskope geeignet, bei denen eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Übersichtsbildes
vorhanden ist, das bei genügender Intensität betrachtet werden kann, während ein
ganz bestimmter wählbarer Ausschnitt derart stärker vergrößert abgebildet wird,
daß die Intensität zur Scharfeinstellung nicht mehr ausreicht. Der Auffänger kann
beispielsweise ähnlich wie die Abtastkamera von F a r n s tv o r t lt ausgebildet
sein. Das Bild braucht jedoch lediglich in einer Linie ausgelenkt zu werden. Gegebenenfalls
kann es auch zweckmäßig sein, statt des Bildes den Ruffänger mit seiner kleinen
Öffnung periodisch auf einer Geraden oder einer anderen definierten Kurve quer über
das Bild zu bewegen, da es genügt, eine Kontrastlinie im j Bild zu schneiden. Die
im Ruffänger abgegebenen Stromstöße entsprechen dann den Kontrasten des Elektronenbildes.The invention relates to the use of one in a super microscope
in the well-known way, small ones arranged in the plane of a luminescent screen, with a
Ammeter connected to the interceptor for focusing the microscopic
Images in such a way that those emitted and amplified by the interceptor. Power surges,
which correspond to the image contrasts, in an oscilloscope for recording
get whose time axis with the pendulum frequency of the caller or the picture
is synchronized, focusing on the steepest edges of the
Oscillogram set. The subject matter of the invention is based on the knowledge
that a curve then arises on the luminescent screen of the oscilloscope, which becomes at
Pressing the focus in the '\ #, Teise changes that steeper edges of the
Curve to correspond to stronger contrasts. The present procedure is particular
suitable for 1 = top microscopes with a device for generating an overview image
is present that can be viewed with sufficient intensity while a
very specific selectable section is shown enlarged in such a way that
that the intensity is no longer sufficient for focusing. The interceptor can
for example similar to the scanning camera from F a r n s tv o r t lt
be. However, the image only needs to be deflected in one line. Possibly
it may also be useful to instead of the picture the caller with his little one
Opening periodically on a straight line or other defined curve across
to move the picture as it is sufficient to cut a contrasting line in the j picture. the
Current surges emitted in the call catcher then correspond to the contrasts of the electron image.
In der Fig. i ist eine Anordnung dargestellt, bei der eine Abtastkamera
Verwendung findet. Durch die Blende i und die Linsen a, 3 ist das übermikroskop
schematisch angedeutet. In der optischen Achse 8 des Übermikroskops befindet sich
der Ruffänger 4., der beispielsweise an einer auf 5o Hz abgestimmten Feder befestigt
ist und mit dieser Frequenz über das Elektronenbild pendelt. Zur Erregung dienen
die Spulen 7. Die vom Ruffänger empfangenen Impulse «-erden dem Verstärker 5 zugeführt
und nach Verstärkung über die Leitung 6 auf einen Oszillographen gegeben, dessen.
Zeitachse mit der Pendelfrequenz der abgestimmten Feder synchronisiert ist. Auf
dem Schirm des Oszillographen entsteht dann eine Kurve, die sich bei Betätigung
der Scharfeinstellung ändert. und zwar in der Weise, daß steilere Flanken der Kurre
stärkeren Kontrasten entsprechen. L m eine Scharfeinstellung zu bewirken. ist es
somit l: diglich erforderlich, auf das mit den steilten Flanken versehene Oszillogramm
einzustellen.In Fig. I an arrangement is shown in which a scanning camera
Is used. Through the diaphragm i and the lenses a, 3 is the over microscope
indicated schematically. In the optical axis 8 of the microscope is located
the call catcher 4., which is attached, for example, to a spring tuned to 50 Hz
and oscillates across the electron image at this frequency. Serve for arousal
the coils 7. The pulses received by the call receiver are fed to the amplifier 5
and after amplification via the line 6 on an oscilloscope, its.
Time axis is synchronized with the oscillation frequency of the tuned spring. on
A curve is then created on the screen of the oscilloscope, which changes when the
the focus changes. in such a way that steeper flanks of the Kurre
correspond to stronger contrasts. L m to effect focusing. is it
thus l: only necessary, on the oscillogram provided with the steep edges
to adjust.
In manchen Fällen hat es sich auch als zweckmäßig erwiesen, vor dem
Verstärker einen Sekundärelektronenvervielfacher anzuordnen, welcher in der Fig.
2 in schematischer Weise dargestellt ist. In das Vervielfachergefäß 15 gelangen
die Elektronen g durch das Lenard-Fenster io. Der abgeschmolzene Vervielfacher enthält
in seinem Inneren die Sekundärelektroden i i. Der Vervielfacher ist dann über die
Leitung 12 mit dem Verstärker verbunden.In some cases it has also proven to be expedient to arrange a secondary electron multiplier, which is shown schematically in FIG. 2, in front of the amplifier. In the Vervielfachergefäß 1 5, the electrons pass through the g Lenard window io. The fused-off multiplier contains the secondary electrodes i i in its interior. The multiplier is then connected to the amplifier via line 12.
Es ist ferner möglich, auch eine Gasverstärkung vorzunehmen, da man
auf keine große Abtastgeschwindigkeit zu kommen braucht. In diesem Fall wird beispielsweise
die Anordnung nach Fig. 3 verwendet. In das mit einem Gas gefüllte Entladungsgefäß
16 gelangen durch das Fenster 14 die Elektronen 13 herein. Innerhalb des Entladungsgefäßes
befindet sich eine ringförmige Elektrode 18, die die Elektrode i;7, welche isoliert
durch die Wandung des Entladungsgefäßes hindurchgeführt ist, umgibt. Die ringförmige
Elektrode i8 ist direkt mit dem Entladungsgefäß verbunden. Die Verstärkung bei der
Anordnung nach Fig.3 erfolgt durch Stoßionisation. Das Entladungsgefäß 16 steht
über die Ixitung 2o mit dem Verstärker in Verbindung, während die andere Leitung
zum Verstärker über die Zuführung ig mit der Elektrode 17
verbunden ist.It is also possible to carry out a gas amplification, since there is no need to come to a high scanning speed. In this case, for example, the arrangement according to FIG. 3 is used. The electrons 13 enter the gas-filled discharge vessel 16 through the window 14. Inside the discharge vessel there is an annular electrode 18 which surrounds the electrode i; 7, which is passed through the wall of the discharge vessel in an insulated manner. The ring-shaped electrode i8 is connected directly to the discharge vessel. The reinforcement in the arrangement according to FIG. 3 takes place by impact ionization. The discharge vessel 16 is connected to the amplifier via the line 2o, while the other line to the amplifier is connected to the electrode 17 via the lead ig.