DE7321797U - Einrichtung zur optischen Abmessungsbestimmung - Google Patents

Description

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BBC Aktiengesellschaft Brown Boveri & Cie., Baden (Schweiz)

Einrichtung zur optischen AbmeβsungsbeStimmung

Die Neuerung betrifft eine Einrichtung zur hochgenauen Bestimmung einer Abmessung eines undurchsichtigen Gegenstandes auf optischem Wege. Unter dem Begriff "undurchsichtiger Gegenstand" soll im vorliegenden Zusammenhang jeder Gegenstand zu verstehen sein, der auf Grund seiner Absorptions-, Reflektions- oder sonstigen optischen Eigenschaften zur Abdeckung eines Lichtstrahlbündels oder eines sonstigen elektromagnetischen Strahlbündels geeignet ist. Ein spezielles Anwendungsgebiet der Neuerung ist dabei die Durchmesserbestimmung von grossen Gegenständen, z.B. von drehbaren Maschinenteilen und dergleichen.

Für die Durchmesserbestimmung von rotationssymmetrischen und demgemäse eine kontinuierliche Umfangsfläche aufweisenden Körpern ist eine nach Art eines Kurvenintegrators arbeitende Abwälzvorrichtung bekannt, welche den Durchmesser aus einer Umfangsmessung abzuleiten gestattet. Diese Vorrichtung ist jedoch zur Durchmesserbestimmung, d.h. tür Bestimmung der grössten Querabmessung eines Körpers, dann nicht geeignet, wenn es sich nicht um rotationssymmetrische Körper, sondern um solche mit einer Symmetrieachse endlicher Ordnung und demgemäss mit einer diskontinuierlichen Umfangeoder Seitenfläche handelt. Dies trifft z.B. zu für regelmäesige Mehrkan1;körper ebenso wie für kompliziertere Maschinenteile wie Schaufelräder von Turbinen und dergleichen. Für derartige Körper war eine hochgenaue Durchmesserbestimmung bisher praktisch nicht möglich.

Das Fehlen eines Verfahrens bzw. einer Einrichtung zur hochgenauen Durchmeeserbestimmung für Gegenstände der letztgenannten Art, Insbesondere für Turbinenschaufelräder, bedingt eine erhebliche Erschwerung im Herstellungsprozess. Die Kontrolle des Aussendurchmessers eines solchen Rotors erfolgt in der Praxis bei in den zugehörigen Stator eingebautem Rotor durch Bestimmung des Spiels zwischen beiden Teilen. Dieses bisher übliche Verfahren ist besonders dann

umständlich und aufwendig, wenn ein mehrmals aufeinanderfolgender Einbau und Wiederausbau des Rotors zur Nachbearbeitung dee Rotors im Sinne zunehmender Annäherung an die erforderliche Maesgenaulgkeit vorgenommen werden muss.

Aufgabe der Neuerung ist daher die Schaffung einer hochgenauen optischen Messeinrichtung, mittels deren Gegenstandsabmessungen wie die Durchmesser der erwähnten Maschinenteile und ähnlicher Gegenstände unabhängig von der geometrischen Gestalt des optisch in Erscheinung tretenden Gegenstandsrandes, d.h, der Kontur, auf einfache Weise bestimmbar Bind.

Die neuerungsgemässe Einrichtung zur Lösung dieser Aufgabe kennzeichnet sich dadurch, dass eine Vorrichtung zur Erzeugung mindestens eines Laser-Strahlbündels und eine Einstellvorrichtung zur Abtastung mindestens zweier Konturstellen des abzumessenden Gegenstandes mit mindestens einem Laser-StrahlbUndel sowie eine Messvorrichtung zur Bestimmung der Einstellungsdifferenz zwischen den Abtastungen als Mass für den Abstand der Konturstellen des Gegenstandes voneinander vorgesehen sind.

Eine solche Einrichtung ist nicht nur zur AbmessungsbsStimmung an rotationssymmetrischen Gegenständen, sondern auch an

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solchen mit Symmetrieachse endlicher Ordnung geeignet, beispielsweise zur DurchmeBserbestimmung an Körpern mit prismatischer oder sogar diskontinuierlicher Umfange- oder Seitenfläche, wie dies für die erwähnten Schaufelräder zutrifft. Für eine Durchmesserbestimmung an einem solchen Werkstück braucht dies lediglich in Umdrehung versetzt zu werden, um eine vollständige Durchmesserbestimmung über den gesamten Umfang vorzunehmen. Eine solche Messung kann jeweils mit einer Umdrehung vollständig sein, so dass eine laufende Durchmesserüberwachung während der Drehbewegung möglich ist, beispielsweise während der Bearbeitung auf einer Drehbank oder dergleichen, mit entsprechenden Möglichkeiten für eine selbsttätige Regelung des Bearbeitungsvorganges bis zum Erreichen des vorgegebenen Endmasses.

Eine andere, besonders einfache Einrichtung, die speziell für die Durchmesserbestimmung an drehbaren Werkstücken geeignet ist, kennzeichnet sich dadurch, dass Mittel zum Verschieben eines Laser-Strahlbündelss parallel zu sich selbst in Richtung der zu bestimmenden Gegenstandsabmessung sowie Mittel zur hochgenauen Messung der Verschiebung des Strahlbündels zwischen den beiden Berührungsstellen des Strahlbündels bezüglich des Gegenstandes vorgesehen sind.

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Bine solohe Einrichtung kann ferner in vorteilhafter Ausgestaltung der Neuerung so ausgebildet werden, dass ein Laser-Sender mit einem Im TEMOl-Mod schwingenden optisohen Hohlraum vorgesehen ist, der ein sich parallel zur Richtung der zu bestimmenden Gegenstandsabmessung fortpflanzendes Strahlbündel erzeugt, und dass ein in dieser Portpflanzungsrichtung des Strahlbündels ν .schiebbarer und vorzugsweise unter einem Winkel von 45 zu dieser Richtung geneigt angeordneter Spiegel sowie ein Michelson-Interferometer zur hochgenauen Messung der Verschiebung des Spiegels vorgesehen ist.

Die Neuerung wird weiter anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Hierin zeigt:

Figur 1 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführung der neuerungsgemässen Einrichtung und

Figur 2 eine andere Ausführungsform einer solchen Einrichtung in Verbindung mit einer schematischen Darstellung der wesentlichen optischen,

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mechanischen und elektrischen Bestandteile der Gesamteinrichtung·

Bei der Anordnung gemäss Figur 1 sei der Durchmesser D eines rotationssymmetrischen Körpers 1 mit einer zur Zeichnungsebene senkrechten Drehachse A zu bestimmen. Die Messeinrichtung umfasst im wesentlichen einen Sender 2, der ein rechtwinklig zur Drehachse A gerichtetes Laser-Strahlbündel 3 erzeugt, sowie zwei um zur Drehachse A parallele Achsen 5a und 5b schwenkbare Spiegel 4a und 4b, deren letzterer totalreflektierend und deren ersterer halbreflektierend ist. Der Abstand L zwischen diesen beiden Spiegeln wird mit grosser Genauigkeit bestimmt. Der Spiegel 4a ist in Richtung des Strahlbündels 3 gesehen vor dem Spiegel 4b angeordnet» Die von beiden Spiegeln reflektierten Strahl« bündel 3a. 1 und 3b 1 verlaufen demgemäss in Richtung zum Gegenstand 1.

Die Wirkungsweise der Einrichtung ist wie folgt: Der Abstand L, der sich speziell auf die mittig angeordneten Spiegelachsen 5a und 5b beziehen soll, sei bekannt. Er kann

gegebenenfalls mit hoher Genauigkeit mittels eines bekannten

Verfahrens ermittelt werden, beispielsweise mit Hilfe eines Interferometers. Die Spiegel 4a und 4b sollen anfänglich

eine solche Stellung einnehmen, datts die Strahlbündel 3a 1 und

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3b 1 zur rechten des Gegenstandes 1 vorbeitreten. Die Spiegel werden dann so verschwenkt, dass die Strahlbündel 3a 1 und 3b 1 die Umfangsfläche des Gegenstandes 1 gerade in den Punkten A 1 und B 1 berühren* Es wird nun mit grosser Genauigkeit die Grosse der entsprechenden Winkel Oil und ß\ der Strahlbündel bestimmt. Die Berührungsstellungen der Strahlbündel werden mit Hilfe eines in Figur 1 nicht dargestellten Detektors festgestellt, der auf das Passieren eines Ungleichförmigkeitsbereiches der Energieverteilung innerhalb des Strahlbündelquerschnittes anspricht und hieraus ein hochgenaues Koinsridenzsignal für das Festsetzen der Spiegel in der betreffenden Tangentialstellung liefert. Beispielsweise kann innerhalb der Energieverteilung über den Strahlbündelquerschnitt ein Minimum vorgesehen werden, welches insbesondere den Wert 0 aufweisen kann, sodass bei sich fortschreitend ändernder Abdeckung des Strahlbündels durch die Gegenstandskontur im Bereich dieses Minimums eine Abstufung im zeitlichen Verlauf der beispielsweise von einem photoelektrischen Wandler hinter der Gegenstandskontur aufgefangenen Strahlungsenergie und damit eine entsprechend markante, impulsförmige Schwankung der Aenderungsgeschwindigkeit des Wandlersignales durchlaufen wird. Zweckmässig ist insbesondere ein furchenartig langgestreckter Verlauf ^der Minimalzone innerhalb des Strahlbündelquerschnittes, wobei sich diese Zone vorteilhaft parallel zum Gegenstandsrand erstreckt. Diese Minimalzone

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wird ferner zweckrnässig diametral bezüglich des Strahlbündelquerschnittes angeordnet.

Die Spiegel bzw. Strahlbündel werden dann weiter verschwenkt, bis sie die andere Seite des Gegenstandes in den Punkten A 2 und B 2 berühren. Wiederum wird die Grosse der entsprechenden Winkel CC 2 und β 2 der reflektierten Strahlbündel bestimmt.

Der gesuchte Durchmesser D begibt sich aus dem Abstand L und den Winkeln CK 1, OL 2 und β 1, β 2 nach folgender Beziehung:

η «ψί -sin.

=2 L

2-

Das Messverfahren beruht also auf der Bestimmung zweier Punktepaare A 1 und A 2 sowie B 1 und B 2 auf dem Gegenstandsrand , und zwar von zwei verschiedenen Blickpunkten aus, die in einer zur Drehachse A senkrechten Ebene liegen. Im Beispielsfall sind diese beiden Blickpunkte durch die Durchstosspunkte der Schwenkachsen 5a und Sb der Spiegel 4a und 4b in der Zeichnungsebene gegeben.

Das vorstehend in bezug auf einen rotationssymmetrischen bzw. speziell zylindrischen Körper erläuterte Verfahren

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lässt sich auf sehr grosse Durchmesser oder sonstige Querabmessungen von Gegenständen mit prismatischer oder sonst diskontinuierlicher Seiten- oder Umfangsflache anwenden, und zwar insbesondere bei rotierendem Gegenstand.'

In Figur 2 ist demgemäss ein mit Schaufeln 6a besetzter Rotor 6 angedeutet, der im Sinne des Pfeils f mit einer ausreichend hohen Geschwindigkeit rotiert. Die verwendete'< Messeinrichtung umfasst einen Laser-Sender 7 mit vorzugsweise im TEMOl-Mod schwingendem optischem Hohlraum, der ein Laser-Strahlbündel 8 mit einer Querschnitts-Energieverteilung der vorstehend erläuterten Art aussendet. Wie erwähnt kann diese Verteilung insbesondere zwei snergie-

eine reichere Zonen aufweisen, die durch/diametrale Zone geringerer Energie voneinander getrennt sind. Diese Minimalzone erstreckt sich beispielsweise parallel zum Rand des Messgegenstandes, und zwar im Beispielsfall parallel zu den äussersten Konturabschnitten El bzw. E2 der Schaufeln 6a, beispiels-

also
weise/"auch parallel zur Drehachse A.

Ein halbreflektierender Spiegel 9 ist unter einem Winkel von zum Strahlbündel 8 geneigt angeordnet und leitet ein Strahlbündel 8a zur Eingancff lache 10a eines Pentaprismas 10 , welches mit einem Wagen 11 auf einer Gewindespindel 12 gelagert und bei Drehung der letzteren - beispielsweise mit gleichförmiger

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Drehzahl - mittels eines Drehantriebes 15 in Richtung des Pfeiles 13 verschiebbar ist, und zwar parallel zur Richtung des vom Spiegel 9■reflektierten * ' Strahlbündels 8a. Das linke Ende der Gewindespindel 12 ist mit entsprechender Ausrichtung in einem Lager 14 angeordnet. Auf der Eingangsfläche 10a des Pentaprismas ist eine Zielvorrichtung 16 angeordnet, mittels deren die Einrichtung so ausgerichtet werden kann, dass das Strahlbündel 8a immer genau den gleichen Punkt der Eintritt sflache 10a trifft. Nach Totalreflektion an zwei Flächen des Pentaprismas 10 hat das Strahlbündel eine Ablenkung um insgesamt 90 erfahren und verlässt das Pentaprisma über die Austrittsfläche 10b mit einer Linse 17 grosser Brennweite zur Verbesserung der Konzentration des austretenden Strahlbündels 8b 1 auf der Höhe der Gegenstandsränder E 1 und E 2. Bei einer Stellung des Wagens 11 auf der Gewindespindel 12, in welcher das austretende Strahlbündel 8b 1 bzw. 8b 2 zur rechten bzw. zur linken des Rotors 6 ohne Abdeckung durch die betreffende· Schaufel . 6a vorbeitritt, gelangen diese Strahlbündel zu je einem Diffusor 18a bzw. 18b, von wo jeweils ein Teil der Strahlung zum Singangsfenster eines photoelektrischen Wandlers 19b bzw. 19b gelangt.

Der Ausgangsstrom dieser Wandler wird über Leitungen 20a und

mit
20b zu /entsprechenden Verstärkern ausgerüsteten Schaltungs-

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einheiten 21a bzw. 21b geleitet, die eine zeitliche Differentiation dl/dt des Wandlerstromes I durchführen.

Der Teil 8c des Strahlbündels 8a, welcher von der Eintrittsfläche 10a des Pentaprismas 10 reflektiert wird, durchquert den halbreflektierenden Spiegel 9 und wird in einem Michelson-Interferometer 22 bekannter Art aufgefangen, welches mit einem Periodenzähler 22a ausgerüstet ist. Die Rückstellung auf Null des letzteren kann durch Zuführen eines elektrischen Signals an einem Eingang 22b gesteuert werden, der durch eine Leitung 2J mit dem Ausgang der Differentiate onsschaltung 21a verbunden ist. Der Ausgang der Differentiationsschaltung 21b ist dagegen durch eine Leitung 24 mit einem Eingang 15a des Drehantriebes 15 verbunden, worüber dieser Antrieb stillgesetzt werden kann.

Die Wirkungsweise der Einrichtung ergibt sich wie folgt: Der Wagen 11 nehme eine Ruhestellung zur rechten der in Fig.2 gezeigten Stellung (voll ausgezogene Linien) ein, wobei das aufsteigende Strahlbündel 8b 1 von den Schaufeln 6a des Rotors 6 nicht geschnitten wird. Nun wird der Drehantrieb 15 eingeschaltet, so dass über die Drehung der Gewindespindel 12 der Wagen 11 und damit das Pentaprisma 10 mit konstanter Geschwindigkeit in Richtung des Pfeils 13 verschoben wird. Der Ausgangsstrom I des Wandlers 19a

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bleibt nun konstant, bis die Schaufeln 6a in den Strahlbündelquerschnitt einzurücken beginnen und die energiereiche erste Zone innerhalb dieses Querschnitts zunehmend abdecken, wobei der Wandlerstrom I nunmehr mit konstanter Aenderungsgeschwindigkeit abnimmt, bis die Abdeckung der energieärmeren Mittelzone und damit eine Abstufung des Verlaufs des Wandlerstromes beginnt. Bei einer Strahlungsenergiedichte Null in dieser Mittelzone weist die Abstufung einen horizontalen Mittelabschnitt auf. Jedenfalls tritt aber im Bereich der Abstufung eine starke Abnahme der Aenderungsgeschwindigkeit des Wandlerstromes auf, die ' in der Differentiationsschaltung in eine impulsförmige Absenkung des Ausgangssignals von einem innerhalb der

] energiereicheren Zone im wesentlichen konstanten höheren

j Signalniveau umsetzt. Dieses impulsförmige Signal wird mit

sehr hoher Genauigkeit festgestellt. Diese Genauigkeit wird auch nicht dadurch beeinträchtigt, dass die Abdeckung des Strahlbündels durch die Schaufeln 6a nicht gleichförmig, sondern periodisch intermittierend gemäss der Drehung des Rotors 6 erfolgt, sofern nur die Drehgeschwindigkeit des letzteren genügend hoch ist. Nach vollständiger Abdeckung der Mittelzone steigt die Aenderungsgeschwindigkeit wieder an. Der somit ausgelöste elektrische Impuls stellt den Zähler 22a des Interferometers 22 auf Null, während sich der Wagen 11 mit dem Pentaprism 10 in Bezug auf Fig.2 weiter nach links

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bewegt. Sobald das Strahlbündel - nunmehr in der strichliert angedeuteten Lage mit 8b 2 bezeichnet - beginnt, den Konturbereich der Schaufeln 6a zu verlassen, setzt eine abnehmende Abdeckung zunächst des linken.der.energiereicheren äusseren Querschnittszonen des Strahlbündels und damit eine im wesentlichen konstante Zunahme des Ausgangsstromes des Wandlers 19b ein. Bei Erreichen der energieärmeren Mittelzone des Strahlbündels 8b 2 tritt wieder eine Abstufung im Verlauf des Wandlerstromes ein, die - sinngemäss mit umgekehrtem Vorzeichen wie beim Einrücken des Strahlbündels in die Schaufelkontur - über die Differentiationsschaltung 21b einen elektrischen Impuls und damit nun über Leitung 24 und Eingang 15a das Stillsetzen des Drehantriebes 15 auslöst. Bei nun stillstehendem Wagen 11 und Pentaprisma 10 sowie Zähler 22 kann letzterer abgelesen werden, woraus sich in Verbindung mit der bekannten Wellenlänge des Laser-Senders 7 sogleich mit hoher Genauigkeit der Abstand zwischen denjenigen beiden Stellungen des Pentaprismas 10 ergibt, für die das Strahlbündel die Kontur der Umhüllungsfläche der Schaufeln 6a an den beiden diametralen Punkten El und E2 berührte, d.h. der äussere Schaufelkranzdurchmesser.

Die hohe Genauigkeit des erhaltenen Messresultats ist einerseits durch die Genauigkeit der Lagebestimmung der Rand-

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bzw. Konturpunkte El und E2 des Rotors 6 von den Beobachtungspunkten Pl und F2 gemäss den beiden Tangentialstellungen des Strahlbündels und den entsprechenden Wagenstellungen bedingt, wobei diese Beobachtungspunkte in der zur Drehachse A des Rotors rechtwinkligen Zeichnungsebene der Pig.2 liegen, und andererseits durch die hohe Genauigkeit der Abstandsbestimmung zwischen den Punkten Fl und P2 mittels des Michelson-Interferometers 22.

Ausgehend von den dargestellten Beispielen sind zahlreiche Abwandlungen der Neuerung denkbar, die alle im Bereich des Neuerungsgegenstandes liegen. So können z.B. die Schwenkspiegel 5& ^und 5to der Ausführung nach Pig.l und das verschiebbare Pentaprisma 10 der Ausführung nach Pig.2 durch andere gleichwertige Reflektoren ersetzt werden, insbesondere das letztgenannte Pentaprisma durch einen unter 45° gegen den Eingangsstrahl geneigten Spiegel, Die Mittel zum Verschieben des Pentaprismas 10 in Fig.2 parallel zum Strahlbündel 8a sind ebenfalls weitgehend beliebig. Gegebenenfalls ist es sinnvoll, den Laser-Sender selbst zu verschieben, und zwar derart, dass das von ihm ausgesandte Strahlbündel parallel zu sich selbst gerichtet bleibt. Anstelle eines Michelson-Interferometers, welches mit einem ausgeblendeten Teil des zur Abmessungsbestimmung dienenden Strahlbündels arbeitet, kann zur hochgenauen Messung der Parallelverschiebung

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des Messstrahlbündels und des Pentaprlsrnas 10 auch ein Interferometer mit einem unabhängigen Laser-Sender verwendet werden, dessen Strahlbündel parallel zu dem in das Pentaprisma eintretenden Messstrahlbündel verläuft und eine mit dem Pentaprisma mechanisch verbundene Hilfs-Reflexionsfläche oder einen ähnlichen Reflektor trifft. Für den Laser-Sender selbst kommen ebenfalls verschiedene Abwandlungen in Betracht, z.B. neben der erwähnten Ausführung mit furchenartiger diametraler Energieabsenkung innerhalb des Strahlbündelquerschnitts infolge eines entsprechenden Schwingungsmods auch Ausführungen mit mehreren solchen Absenkungen, gegebenenfalls auch mit einer anderen als langgestreckten diametralen Absenkungszone oder mit gleichförmiger Energieverteilung in Verbindung mit geeigneten nachgeschalteten Abschirmelementen, etwa mit einem diametral zum Strahlbündelquerschnitt aufgespannten Draht oder dergl..

Endlich ist es nicht notwendig, dass das Strahlbündel 8a durch das totalreflektierende Prisma 10 oder einen ähnlichen Reflektor genau um einen Winkel von 90° abgelenkt wird. Bei einer Ablenkung um den Winkel (90° + OL)₁, wo der Winkel <X nur mit entsprechend hoher Genauigkeit bekannt sein muss und etwa mittels optischer Metoden gemessen werden kann, ergibt sich für den gesuchten Gegenstandsdurchmesser die Be-

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Ziehung

2) D=L cos W ,

wobei L der interferometrisch gemessene Verschiebungsweg des totalreflektierenden Prismas oder des entsprechenden sonstigen Reflektors ist.

Claims (3)

28, März 1974 -17« 18/73 2 Schutzansprüche

1. Einrichtung zur hochgenauen Bestimmung einer Abmessung eines undurchsichtigen Gegenstandes auf optischem Wege, dadurch gekennzeichnet, dass eine Sendevorrichtung (7j9) zur Erzeugung mindestens eines Laser-Strahlbündels (8) und eine mit dieser Sendevorrichtung gekuppelte Einstellvorrichtunp (11,12, 15) zur Abtastung mindestens zweier Konturstellen (E-, Ep) des abzumessenden Gegenstandes (6) mit mindestens einem Laser-Strahlbündel (8b 1 bzw. 8b 2) sowie eine Messvorrichtung (22) zur Bestimmung der Einstellungsdifferenz (L) zwischen den Abtastungen als Mass für den Abstand der Kontur3tellen des Gegenstandes voneinander vorgesehen sind (Fig. 1 und Fig. 2),

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sendevorrichtung (2,4a,4b) einen teilreflektierenden und einen totalreflektierenden Spiegel (4a bzw. 4b) aufweisen, dass diese beiden Spiegel schwenkbar um eine Achse (5a bzw. 5b) angeordnet sind, die zu einer durch die Strahlbündelrichtung (3) und die Richtung der zu bestimmenden Abmessung (D) gegebenen Ebene senkrecht steht, dass der teilreflekt erende Spiegel (4a) in einem mit hoher Genauigkeit bestimmten Abstand in Strahlrichtung gesehen vor dem totalreflektierenden Spiegel (4b) angeordnet ist und dass eine Winkeleinsteil- und Winkelmessvorrichtung zur Bestimmung derjenigen Relativ-Winkelstellung der beiden Spiegel, für welche die von diesen Spiegeln reflektierten Teil-Strahlbündel den Gegenstand berühren, vorgesehen ist (Fig. 1).

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3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einstellvorrichtung (11,12,15) zum Verschieben eines Abtast-Strahlbündels (8b 1 bzw, 8b 2) parallel zu sich selbst in Richtung der zu bestimmenden Gegenstandsabmessung sowie eine Messvorrichtung (22) zuj Bestimmung der Verschiebung des Abtast-Strahlbündels vorgesehen sind (Fig. 2).

'4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass ein Laser-Sender (7) mit einem für den TEMOl-Mod ausgelegten optischen Hohlraum sowie ein parallel zur Richtung der zu bestimmenden Gegenstandsabmessung angeordnetes Abtast-Strahlbündel (8a) und eine in dieser Fortpflanzungsrichtung des Strahlbündels verschiebbare Ablenkvorrichtung (10) mit einer vorzugsweise unter einem Winkel von 45° zu dieser Richtung geneigt angeordneten Spiegelfläche sowie ein Michelson-Interferometer als Messvorrichtung (22) zur Bestimmung der Verschiebung des Spiegels vorgesehen sind.

BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie.