DE7034659U

DE7034659U - DEVICE FOR MOVING MACHINE PARTS IN PRESET POSITIONS.

Info

Publication number: DE7034659U
Application number: DE7034659U
Authority: DE
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 1970-09-18
Filing date: 1970-09-18
Publication date: 1972-04-27

Description

L'un hochgonauen Verschieben vor. Maschinenteile:.L'un hochgonauen move ahead. Machine parts:.

ei-.r vorgegebene Position ist es einmal notwendig wälirc-nc ier 3(τ..·ο äYong die Reibung so klein v:ie möglich zu halter- _:r.;: :■;:.. .ίn ren das verschobene Teil bei Erre:'?hen der Sollpcr._-10:. zu stoppen, daß es in Ruhezustand die vorreg ebene L'-^e _Lo-r. einnimut.For a given position, it is necessary to keep the friction as small as possible, _: r.;:: ■;: .. .ίn ren the shifted Part at Erre: '? Hen the Sollpcr ._- 10 :. to stop that the pre-regulation level L' - ^ e _L or.

Die Erreichung eines kleinen Reibur.gswiderst and es geli-gt du^ch die Verwendung eines an sich bekannten Luftlagers, bei dem unter überdruck aus Düsen strömende Luft ein Luftpolster zv;ischen dem zu verschiebenden Teil und drn M. schi.-ier.bett erzeugt. Bedingt durch die geringe Reibung ■ ät es jedoch schierig, das Maschinenteil so zu stoppen., da.3 es genau die vorgeschriebene Position einnimmt.A small amount of friction can be achieved and it is possible to use an air bearing known per se, in which air flowing out of nozzles under excess pressure creates an air cushion between the part to be moved and inside the bed generated. Due to the low friction ■ it is difficult to stop the machine part in such a way that it takes exactly the prescribed position.

Es ist bekannt, das Stoppen des Kaschinenteiles durch nechanische Mittel zu bewirken, doch treten dabei unerwünschte ITebeneffekte a\if, die ein sehr genaues Erreichen d-3r GoIlposition verhindern.It is known to stop the machine part by mechanical Means to effect, but occur in the process undesirable IT side effects a \ if a very precise achievement of the target position impede.

3ekannt ist auch eine Vorrichtung zum Verschieben von Gegenständen, bei der über Düsen ein unter Druck stehendes Medium der Lagerfläche zugeführt wird und bei der über gesonderte Düsen dieses Medium gleichzeitig abgesaugt wird. Durch entsprechende Regelung von Druck und von Saugleistung läßt sich ein optimaler Abstand zwischen Gegenstand und Lagerfläche einstellen, der ein reibungsloses Verschieben des Gegenstandes ermöglicht., Zum Festhalten des Gegenstandes wird die Zuführung des unter Druck stehenden Mediums unterbrochen.A device for moving objects is also known, in which a pressurized medium is fed to the storage area via nozzles and in which via separate Nozzles this medium is sucked off at the same time. By regulating the pressure and suction power accordingly, Set an optimal distance between the object and the storage surface that allows the object to move smoothly allows., To hold the object, the supply of the pressurized medium is interrupted.

Diese bekannte Vorrichtung ermöglicht zwar ein reibungsloses Verschieben und. ein relativ unproblematisches Festhält on eines Genenstandes ir. einer bestimmten Lage, ist .jedoch sehr aufwendig.This known device allows a smooth Move and. a relatively unproblematic holding on on a genealogy ir. a certain situation is .but very complex.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Neuerung eine einfach aufgebaute und wenig aufwendige Vorrichtung zum Verschieben von Maschinenteilen in vorgegebene Position zu schaffen, welche es ermöglicht, den Reibungswiderstand während des Verschiebens minimal zu halten und vorgegebene Sollpositionen mit größter Genauigkeit zu erreichen.The task of the present innovation is a simple one constructed and inexpensive device for moving of machine parts in a predetermined position, which makes it possible to reduce the frictional resistance during the Moving to keep minimal and predetermined target positions to achieve with the greatest possible accuracy.

Die Neuerung geht aus von einer Vorrichtung, bei der unter Überdruck aus Düsen strömende Luft ein Luftpolster zwischen dem zu verschiebenen Teil und dem Maschinenbett erzeugt, bei den also ein Luftlager vorgesehen ist. Gemäß der Neuerung ist neben einem Druckerzeuger eine Pumpe zur Erzeugung von Unterdruck vorgesehen und es ist mit den Luftdüsen ein Ventil verbunden, das diese während der Verschiebung des Maschinenteiles mit dem Druckerzeuger und nach Erreichen der Sollposition mit der Pumpe verbindet.The innovation is based on a device in which air flowing from nozzles under excess pressure creates an air cushion between the part to be moved and the machine bed, which means that an air bearing is provided. According to the innovation, a pump for generating negative pressure is provided in addition to a pressure generator and a valve is connected to the air nozzles, which connects them with the pressure generator during the displacement of the machine part and with the pump after the target position has been reached.

Bei der neuen Vorrichtung v/i rd also das Luftpolster zwischen Maschinenteil und -bett bei Erweichen der Sollposition schlagartig beseitigt und der entstehende Unterdruck unterstützt die fixierung des Maschinenteiles in der Sollposition. Die Larrerreibung steigt von einem beim Verschieben geltenden Minimalwert schlagartig auf den bei Haftreibung unter Druck geltende:: hohen V/ert an. Die Vorrichtung selbst ist einfach aufgebaut, ia dieselben Düsen zur Erzeugung des Luftlagers und r-ur Fixierung des Maschinenteiles dienen und da zur Funktionsumschaltung nur ein Ventil zu bedienen ist.With the new device, the air cushion between the machine part and bed when the target position softens abruptly eliminated and the resulting negative pressure supports the fixation of the machine part in the target position. The noise friction increases suddenly from a minimum value that applies when moving to that with static friction under pressure applicable :: high V / ert. The device itself is simple built, generally the same nozzles for generating the air bearing and serve to fix the machine part and to switch functions only one valve can be operated.

Da nach Beseitigung des Luftpolsters eine Verschiebung des Maschinenteiles praktisch nicht mehr möglich ist, ist es zweckmäßig, einen Sensor zur automatischen Betätigung des Ventils bei Erreichen der Sollposition vorzusehen. Dieser Sensor kann optischer, mechanischer, elektrischer oder vorteilhaft auch elektronischer Natur sein. Er schaltet dasSince after the air cushion has been removed, the Machine part is practically no longer possible, it is expedient to have a sensor for the automatic actuation of the Provide valve when the target position is reached. This sensor can be optical, mechanical, electrical or advantageous also be electronic in nature. He switches that

Ventil automatisch von der Stellung in der es die Luftdüsen mit einem Druckerzeuger verbindet in eine Position, in der es diese Düsen mit der Unterdruck erzeugenden Pumpe verbindet .Valve automatically from the position in which it has the air nozzles with a pressure generator connects to a position in which it connects these nozzles with the vacuum-generating pump .

Die Neuerung wird im folgenden anhand der Figuren 1 und 2 der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Im einzelnen zeigen:The innovation is explained in more detail below with reference to FIGS. 1 and 2 of the accompanying drawings. In detail demonstrate:

Fig. 1 ein stark schematisiertes Ausführungsbeispiel der Vorrichtung im Schnitt;1 shows a highly schematic exemplary embodiment of the device in section;

Fig. 2 ein weiteres Ausführungsbeispiel in der Anseht von oben.FIG. 2 shows a further exemplary embodiment as viewed from FIG above.

In Fig. 1 ist mit 1 ein Maschinenbett und mit 2 ein auf diesem zu verschiebendes Maschinenteil bezeichnet. Die Lagerfläche dös zu verschiebenden Maschinenteiles 2 ist durch ein oberflächlich geschliffenes Teil 3 aus gesintertem Werkstoff gebildet. Dieses Teil 3 erlaubt den Durchtritt von Luft durch viele feine Düsen.In Fig. 1, 1 denotes a machine bed and 2 denotes a machine part to be displaced on this. The bearing surface to be displaced machine part 2 is formed by a surface-ground part 3 made of sintered material. This part 3 allows air to pass through many fine nozzles.

Mit dem Hohlraum 4 des Teiles 2 ist fein elastischer Schlauch 5 verbunden, der seinerseits mit einem Ventil 6 in Verbindung steht. An das Anschlußstück 7 ist eine Einrichtung zur Erzeugung von Überdruck, beispielsweise eine Druckpumpe angeschlossen. An das Anschlußstück 8 ist eine Einrichtung zur Erzeugung von Unterdruck, vorzugsweise eine Saugpumpe angeschlossen. With the cavity 4 of the part 2 there is connected a finely elastic hose 5, which in turn is connected to a valve 6. A device for generating excess pressure, for example a pressure pump, is connected to the connection piece 7. A device for generating negative pressure, preferably a suction pump, is connected to the connecting piece 8.

In der gezeichneten Stellung wird über das Anschlußstück 7 und das Ventil 6 Druckluft in den Hohlraum A- gepresst. Die unter tiberdruck stehende Luft tritt durch die feinen Düsen des Sintermaterials 3 aus und bildet zwischen dem zu verschiebenden Teil 2 und dem Maschinenbett Λ ein Luftpolster. Auf diesem kann das Maschinenteil 2 mit minimaler Reibung verschoben v/erden.In the position shown, compressed air is pressed into the cavity A- via the connection piece 7 and the valve 6. The pressurized air exits through the fine nozzles of the sintered material 3 and forms an air cushion between the part 2 to be moved and the machine bed Λ. The machine part 2 can be displaced on this with minimal friction.

Bei Erreichen der Sollposition des Teiles 2 wird das Ventil 6 um 90° gedreht und verbindet damit die über 8 angeschossene Säugpumpe mit dem Schlauch 5· Dadurch wird das Luftpolster zwischen dem Teil 2 und dem Maschinenbett 1 schlagartig abgesaugt, das Teil 2 kommt zur Auflage auf dem Maschinenbett und der erzeugte Unterdruck verstärkt diese Auflage.When the target position of the part 2 is reached, the valve 6 is rotated 90 ° and thus connects the 8 shot Suction pump with the hose 5 · This creates the air cushion Suddenly sucked off between part 2 and machine bed 1, part 2 comes to rest on the machine bed and the negative pressure generated reinforces this overlay.

In Fig. 2 ist mit 10 ein Maschinenbett bezeichnet, das mit zwei Führungen 11 und 12 versehen ist. Ein auf diesen Führungen zu verschiebender Schlitten ist mit 13 bezeichnet. Der Schlitten 13 trägt beispielsweise ein zu bearbeitendes Werkstück 14. Mit 15 ist eine flexible Schlauchleitung bezeichnet, welche über das Ventil 16 den Schlitten 13 entweder mit einem Druckerzeuger 17 oder einer Saugpumpe 18 verbindet.In FIG. 2, 10 denotes a machine bed which is provided with two guides 11 and 12. A slide to be displaced on these guides is denoted by 13. The slide 13 carries, for example, a workpiece 14 to be machined. 15 denotes a flexible hose line which connects the slide 13 via the valve 16 to either a pressure generator 17 or a suction pump 18.

Die Wirkung der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung entspricht genau derjenigen der Vorrichtung nach Fig. 1. Solange also der Schlitten 13 mit dem Druckerzeuger 17 in Ver-[ bindung stent, gleitet er- praktisch ohne Seibung auf denThe effect of the device shown in FIG. 2 corresponds exactly to that of the device according to FIG. 1. As long as so the carriage 13 with the pressure generator 17 in relation [ binding stent, slides on the with practically no friction

Führungen 11 und 12.Tours 11 and 12.

Der Schlitten 13 ist mit Spiegeln 19 ^^s 22 versehen, welche entsprechend den verschiedenen Sollpositionen des Schlittens angebracht sind. 23 bezeichnet einen elektrooptischen Sensor, der mit einem Relais 24 verbunden ist.The carriage 13 is provided with mirrors 19 ^ ^s 22, which are attached in accordance with the various target positions of the carriage. 23 denotes an electro-optical sensor connected to a relay 24.

Sobald der Schlitten 13 eine Sollposition erreicht, spricht der Sensor 23 an und das Ventil 16 wird über das Relais 24 umgeschaltet. Dadurch wird der Schlitten 13 schlagartig mit der Saugpumpe 18 verbunden und der Schlitten 13 wird mit größter Genauigkeit in der Sollposition gestoppt.As soon as the carriage 13 reaches a target position, the sensor 23 responds and the valve 16 is activated via the relay 24 switched. As a result, the carriage 13 is suddenly connected to the suction pump 18 and the carriage 13 is with maximum accuracy stopped in the target position.

Anstelle der hier gezeichneten Spiegel 19 bis 22 und des Sensors 23 können auch andere Sensoren Anwendung finden, insbesondere auch digital arbeitende Anordnungen.Instead of the mirrors 19 to 22 and the sensor 23 shown here, other sensors can also be used, especially also digitally working arrangements.

Claims

Protection against law

'. V \ -.-. Atung tin Moving machine parts in front- £ Γ! _; Ene positions in which under overpressure from nozzles stromer.de air creates an air cushion between the part to be moved and the machine bed, characterized in that, in addition to a pressure generator (?), a pump (8) is provided for generating negative pressure and that with the Air nozzles (3) a valve (6) is connected, which connects this during the displacement of the machine part (2) with the pressure generator (?) And after reaching the target position with the pump (8).

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that a sensor (23) ziir automatic actuation of the valve (16) is provided when the target position is reached.

3- Device according to claim 1, characterized in that the air nozzles (3) are grounded on the surface Part are formed from sintered material, which is a bearing surface of the machine part to be moved (2) and / or the machine bed (1).