DE69942937D1 - Vibratoren und ein Verfahren zum detektieren einer Winkelgeschwindigkeit und ein linearer Beschleunigungsmesser - Google Patents
Vibratoren und ein Verfahren zum detektieren einer Winkelgeschwindigkeit und ein linearer BeschleunigungsmesserInfo
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US5488862A (en) * | 1993-10-18 | 1996-02-06 | Armand P. Neukermans | Monolithic silicon rate-gyro with integrated sensors |
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