DE69821939D1 - Vereinfachtes Verfahren zur Bestimmung des Tunnelgebiets in nichtflüchtigen, nicht selbstjustierten Halbleiterspeicherzellen - Google Patents

Vereinfachtes Verfahren zur Bestimmung des Tunnelgebiets in nichtflüchtigen, nicht selbstjustierten Halbleiterspeicherzellen

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DE69821939D1
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Matteo Patelmo
Libera Giovanna Dalla
Nadia Galbiati
Bruno Vajana
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