DE69817438T2 - Verfahren zur Herstellung von Submikron-Flüssigkeitströpfchen - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrobauelements auf einem Träger.
  • Der Zusammenbau von mikromechanischen Bauteilen erfordert häufig das gegenseitige Befestigen von Gegenständen im Mikrometermaßstab. Ein Verfahren zum Schaffen derartiger zusammengebauter mikromechanischer Bauteile ist offenbart in Pisten et al. "Microfabricated Hinges: Sensors and Actuators", Vol. A33, Nr. 3, 1. Juni 1992, Seiten 249–256. Pisten et al. befassen sich mit einem Oberflächen-Feinstzerspanungsverfahren zum Verbinden von Objekten im Mikrometermaßstab. Substrat-Scharniere werden einstückig mit einer Polysiliziumstruktur hergestellt, um Gegenstände im Mikrometermaßstab mit einer Basisstruktur zu verbinden. Scherenscharniere werden ebenfalls hergestellt, um unterschiedliche Gegenstände im Mikrometermaßstab untereinander zu verbinden und auf diese Weise das zusammengebaute mikromechanische Bauteil herzustellen.
  • Obschon Pisten et al. die hochauflösende Oberflächenlithographie erweitern auf dreidimensionale, mikromechanische Strukturen, macht es eine derartige Ausgestaltung auf der Grundlage von Scharnieren erforderlich, dass eine zusätzliche Nachmontage erfolgt, was mit typischen MOS-Prozessen nicht verträglich ist. Um diese Montage zu erleichtern, wäre es geeignet, die Objekte im Mikrometermaßstab dadurch zu befestigen, dass sie mit einem Klebstoff zusammengeklebt werden. Das Kleben derart kleiner Mikrogegenstände ist allerdings problematisch.
  • Beim Auftragen von Klebstoff ist es vorteilhaft, wenn nicht notwendig, den Klebstoff in exakten Mengen an exakte Stellen zu liefern, wobei der Klebstoff vernünftig lange Verarbeitungszeit und eine eingeschränkte Fließfähigkeit zu anderen Zonen aufweist. Allerdings neigen Klebstofttröpfchen dazu, eine Größe anzunehmen, die in unvorteilhafter Weise mehrere Größenordnungen größer ist als das typische mikromechanische Bauteil. Aber selbst wenn es ein Ver fahren gäbe, um geeignet kleine Klebstofftröpfchen zu dosieren, so hätten diese kleinen Klebstofftröpfchen die Neigung, nur eine geringe Verarbeitungszeit zu besitzen, weil das Klebstoff-Lösungsmittel aufgrund des großen Verhältnisses von Oberfläche zu Volumen rasch verdampft.
  • Es besteht also Bedarf an einem Verfahren zum Kleben derartiger, im Mikrometermaßstab vorliegender Gegenstände.
  • Erfindungsgemäß wird ein solches Verfahren gemäß Anspruch 1 geschaffen.
  • Eine Mikropipette, welche typischerweise für biologische Experimente verwendet wird, dient zum Bilden und zum Anbringen von Mikrometer -und Submikrometer- Klebstofftröpfchen. Die Mikropipette kann an einem Vakuum-/Druck-System angebracht sein, um den Klebstoff aufzusaugen und ro dosieren. Vorzugsweise werden Epoximaterialien mit geringer Viskosität verwendet, die durch ultraviolettes Licht (UV-Licht) aushärtbar sind, was zu Verarbeitungszeiten von einigen Stunden für die Klebstofftröpfchen führt. Man kann eine Mikromanipulator dazu benutzen, die Mikropipette und mithin ein Klebstofftröpfchen an die gewünschte Stelle zu bringen. Das Epoximaterial kann durch UV-Exposition ausgehärtet werden. Solche mikrometerfeinen und noch feineren Klebstofftröpfchen können in vorteilhafter Weise dazu benutzt werden, mikromechanische und mikroelektromechanische Strukturen herzustellen. In derartigen Mikrostrukturen werden Mikrokanäle gebildet, um Klebstoff zu Stellen zu bringen, die beschränkten Zugang aufweisen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung spezieller Ausführungsformen der Erfindung, wenn die Beschreibung unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen gelesen wird. Es zeigen:
  • 1 eine zum Liefern von Klebstofftröpfchen im Mikrometer- und Submikrometermaßstab geeignete Anordnung;
  • 2 eine beispielhafte Ausführungsform eines Vakuum-/Druck-Systems;
  • 3 eine beispielhafte Mikropipette;
  • 4 Mikrokanäle für den Klebstofftransport;
  • 5 ein Flußdiagramm eines Verfahrens zum Liefern von Submikrometer-Klebstofftröpfchen;
  • 6 ein MEMS-Bauelement (ein Bauelement für mikroelektromechanische Systeme), welches unter Verwendung von Klebstofftröpfchen im Mikrometermaßstab und Submikrometermaßstab zusammengebaut ist; und
  • 7 eine kanalbildende Membran auf einem Träger zum Bereitstellen von Klebstoff für ein Scharnier des MEMS-Bauelements nach 6.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Ein Verfahren zum Bilden von Flüssigkeitströpfchen im Mikrometer- und Submikrometermaßstab wird in Verbindung mit der Bildung von Klebstofftröpfchen für den Zusammenbau von Strukturen im Mikrometermaßstab erläutert. Klebstofftröpfchen zur Bildung derartiger Strukturen besitzen vorzugsweise eine Größe von etwa 0,6 Mikrometer bis etwa 20 Mikrometer. Allerdings versteht sich, dass das Verfahren eine größere Anwendungsbreite besitzt. Beispielsweise läßt sich das vorliegende Verfahren zur Herstellung von Mikrolinsen einsetzen.
  • 1 zeigt eine beispielhafte Anordnung 2 die sich zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahren eignet. Die Anordnung enthält eine Mikropipette 4, eine Vakuum-/Druck-System 14, eine Einrichtung 12 zum gegenseitigen Verbinden der Mikropipette und der Vakuum-/Druck-Anordnung, und einen Klebstoff 16. In einer grundlegenden, in 2 gezeigten Implementierung ist das Vakuum-/Druck-System 14 eine Spritze 14a mit einem Kolben 18. Man sieht, dass andere, höher entwickelte Vakuum-/Druck-Systeme 14 verwendet werden können. Die Einrichtung 12 kann ein Schlauch 12a oder dergleichen sein, geeignet, einen geringem Unter- oder Überdruck standzuhalten.
  • Möglicherweise reicht der Kapillareffekt aus, um den Klebstoff 16 in die Mikropipette 4 einzuziehen. Bei bevorzugten Ausführungsformen wird ein leichter Unterdruck mit Hilfe der Anordnung 2 erzeugt, um das Aufnehmen des Klebstoffs 16 zu erleichtern. Wenn das Vakuum-/Druck-System 14 als Spitze 14a ausgebildet ist, führt das teilweise Herausziehen des Kolbens 18 aus der Spritze 14a zur Erzeugung eines Unterdrucks, der sich zum Einziehen des Klebstoffs 16 eignet. Um den Klebstoff 16 aus der Mikropipette 4 auszubringen, wird der Kolben 16 in die Spritze 14a gedrückt, um dadurch einen Überdruck zu erzeugen, der sich zum Austreiben des Klebstoffs 16 aus der Mikropipette eignet.
  • Die Mikropipette 4 enthält eine Spitze 6, eine verjüngten Hals 8 und einen Körper 10. Der Innendurchmesser der Mikropipette 4 liegt typischerweise im Bereich von etwa 500 Angström bis einigen zehn Mikrometer, und er ist eine Funktion der gewünschten Größe des Klebstofftröpfchens. Die Mikropipette 4, die sich in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung eignet, kann unter Verwendung von handelsüblichen Mikropipetten-Ziehgeräten hergestellt werden, wie sie zum Beispiel beziehbar sind von U.S. Narishige International Inc., East Meadow, New York. Ein derartiges Mikropipetten-Ziehgerät eignet sich zur Herstellung einer Mikropipette mit einer Mündung, die einen Durchmesser von weniger als etwa 0,1 Mikrometer besitzt. Ein Pipettenschleifgerät, ebenfalls beziehbar von U.S. Narishige International Inc., lässt sich zum Zurückschleifen der Spitze 6 der Mikropipette 4 verwenden, wodurch deren Durchmesser je nach Wunsch vergrößert wird. Der Durchmesser der Spitze 6 der Mikropipette sollte nicht größer und sollte vorzugsweise etwas kleiner sein als die gewünschte Tröpfchengröße.
  • Zur Verwendung im Rahmen der Erfindung geeignete Klebstoffe 16 beinhalten durch Wärme und insbesondere durch UV-Licht aushärtbare Klebstoffe. Ein geeigneter UV-aushärtbarer Klebstoff ist Norland Optical Adhesive No. 81, beziehbar von Norland Products Inc., New Jersey. Klebstoffe sollten so ausgewählt werden, dass eine geeignete Verarbeitungszeit zur Verfügung steht, während der sich der Klebstoff nicht verfestigt, nicht austrocknet und deutlich viskoser wird. Norland Optical Adhesive No. 81 kann in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung auch dazu benutzt werden, Linsen im Mikrometermaßstab herzustellen.
  • Darüber hinaus sollte der Klebstoff 16 im Submikrometerbereich homogen sein, sodass keine Phasentrennung stattfindet, wenn die Mikropipette 4 mit Klebstoff gefüllt wird. Beispielsweise enthalten einige leitende Epoximaterialien Metallpartikel mit einer Größe im Bereich von etwa 1 bis 10 Mikrometer. Solche Partikel können größer sein als der Innendurchmesser der Mikropipette 4. Deshalb sollte ein solcher Klebstoff nicht verwendet werden.
  • Die zum Einziehen und Abgeben von Klebstoff 14 aufzubringende Zeit ist eine Funktion der aufgebrachten Druckdifferenz und der Klebstoff-Viskosität. Ein relativ stark viskoser Klebstoff führt zu einer relativ längeren Einzieh- und Abgabezeit. Eine Viskosität von 300 centipiose hat sich als geeignet erwiesen, um für kurze Einzieh-/Abgabe-Zeiten bei vernünftigen Druckdifferenzen von beispielsweise weniger als etwa 1 Atmosphere.
  • Unter Bezugnahme auf 3 besteht eine weitere Komponente bei der Klebstoffauswahl in dem Kontaktwinkel φ1 zwischen dem Klebstoff 16 und der Innenoberfläche 20 der Mikropipette 4. Der Kontaktwinkel φ1 bestimmt sich durch die Eigenschaften sowohl des Klebstoffs 16 als auch der Innenoberfläche 20. Bei bevorzugten Ausführungsformen sollte der Kontaktwinkel φ1 kleiner als etwa 90° sein. Es hat sich gezeigt, dass bei Kontaktwinkeln von mehr als etwa 90° ungeeignet starke Druckdifferenzen erforderlich sind, um dem Klebstoff 16 in die Mikropipette 4 einzuziehen. Bei weniger bevorzugten Ausführungsformen kann die Auswahl eines speziellen Mikropipetten-Innendurchmesser d und eines speziellen Kontaktwinkels φ1 eine externe Druckerzeugung erfordern, um den Klebstoff einzuziehen.
  • Bei einem Kontaktwinkel φ1 von weniger als 90° hat jeder Klebstoff 16 in Berührung mit der Spitze 6, der nicht in die Mikropipette 4 eingezogen wird, die Neigung, sich auf der Aussenfläche 22 der Mikropipette auszubreiten. Damit bleibt ausserhalb der Mikropipette 4 befindlicher Klebstoff nicht in der Nähe der Spitze 6. Insoweit setzt sich Klebstoff bei unbeabsichtigten Oberflächenberührungen nicht ab, wenn nicht die Mikropipette 4 gezielt unter Druck gesetzt wird.
  • Bei einem Kontaktwinkel φ1 von weniger als 90° ist eine endliche Überdruckdifferenz ΔP zwischen dem inneren der Mikropipette 4 und der Umgebung erforderlich, um die Abgabe von Klebstoff 16 aus der Mikropipette in Gang zu setzen. Der Überdruckunterschied ΔP ist erforderlich, um einen Kapillareffekt zu überwinden, der die Neigung hat, den Klebstoff 16 innerhalb der Mikropipette 4 zu halten. Die Überdruckdifferenz ΔP ist eine Funktion des Kontaktwinkels φ1 der Oberflächenspannung σ des Klebstoffs 16 und des Innendurchmessers d der Mikropipette 4 in folgender Form: (1) ΔP = (4σ/δ)cos φ1
  • Aus der Gleichung (1) ergibt sich, dass bei Abnahme des Kontaktwinkels φ1 oder des Innendurchmessers d der Mikropipette die Druckdifferenz ΔP zunimmt.
  • Die Formel (1) basiert auf der Annahme, dass der Transport des Klebstoffs durch eine regelmäßig geformte, das heißt kreisförmige Spitze 6 erfolgt. Ist die Form der Spitze unregelmäßig oder weicht sie anderweitig von einer Kreisform ab, so sollte der Druckunterschied, der zum Überwinden des Kapillareffekts erforderlich ist, abnehmen. Insoweit ist die Formel (1) eine konservative Abschätzung des erforderlichen Druckunterschieds. Ausserdem sollte gesehen werden, dass sich die vorliegende Beschreibung auf die Abgabe der Klebstoffflüssigkeit auf eine Oberfläche überzieht, im Gegensatz zur Abgabe auf eine andere Flüssigkeit oder in Luft.
  • Die Auswahl des Klebstoffs 16 wird außerdem beeinflusst durch die Kennwerte der Oberfläche, auf die der Klebstoff aufzutragen ist. Diese Kennwerte führen zu einem speziellen Kontaktwinkel φ2 zwischen dem Klebstoff und dieser Oberfläche. Der Kontaktwinkel φ2 sollte größer als 0 sein weil sonst der Klebstoff 16 sich über die Oberfläche verteilt und nicht als Tröpfchen im Submikrometerformat erhalten bleibt. Ausserdem sollte φ2 kleiner als φ1 sein, um die Neigung des Klebstoffs 16 zu minimieren, sich über die Außenfläche 22 der Mikropipette 4 auszubreiten, anstatt an der vorgesehenen Abgabestelle zu verbleiben. Eine Kombination aus Klebstoff 16, Mikropipette 4 und Zielfläche, die zu einem Wert von etwa 60° für φ1 und einem Wert von etwa 30° für φ2 führt, hat sich als für die Umsetzung der Erfindung in die Praxis geeignet erwiesen.
  • Um Beschränkungen bezüglich der Klebstoffauswahl aufgrund der Oberflächenbeschaffenheit der Außenoberfläche 22 der Mikropipette 4 zu vermeiden, kann die Außenoberfläche 22 mit einem Material überzogen werden, welches zu einem Kontaktwinkel φ3 zwischen dem Klebstoff und der Beschichtung der Außenoberfläche 22 führt. Ist dieser Kontaktwinkel φ3 größer als φ1, wird die vorerwähnte Bedingung φ2 < φ1 abgemildert, die Forderung wird nun zu φ2 < φ3.
  • Wie in 4 gezeigt ist, lässt sich in Mikrometerstrukturen ein kanalbildendes Element 31 zur Schaffung eines Mikrokanals 30 einbauen. Ein Mikrometer-Klebstofftröpfchen 40, welches an einem Ort 32 abgesetzt wird, verbreitet sich durch Kapillarwirkung durch den Mikrokanal 33 hin zu der Stelle 34. Damit kann ein Tröpfchen 40 in sicherer Entfernung von empfindlichen Strukturen abgesetzt und durch einen Mikrokanal an die gewünschte Stelle geliefert werden. Ein solcher Mikrokanal 30 mildert in vorteilhafter Weise Anforderungen an die Tröpfchengröße und erleichtert die Zuführung von Klebstoff 16 zu Stellen, die (i) für die Mikropipette 4 unzugänglich sind und (ii) zu nahe bei empfindlichen Strukturen liegen, um eine direkte Zufuhr von Klebstoff aus der Mikropipette wagen zu können.
  • 5 zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens, bei welchem im Arbeitsblock 100 ein Klebstoff und eine Anordnung, die sich zum Einziehen des Klebstoffs und zur Abgabe von Klebstofttröpfchen im Mikrometer- und im Submikrometermaßstab eignet, bereitgestellt werden. Wie im Ablaufblock 102 angegeben ist, wird in der Anordnung ein Unterdruck erzeugt, um Klebstoff einzuziehen. Die Entwicklung von Unterdruck ist in einigen Fällen optional, da mögli cherweise die Kapillarwirkung ausreicht, den Klebstoff einzuziehen. Die Spitze der Anordnung befindet sich an der vorgesehenen Stelle für die Klebstoffabgabe, wie durch den Betriebsblock 104 angegeben ist. Zu diesem Zweck kann man mit Mikromanipulatoren arbeiten. In der Anordnung wird ein Überdruck erzeugt, um den Klebstoff zu der vorgesehenen Stelle auszutreiben, entsprechend dem Block 106 und dann wird der Klebstoff typischerweise durch UV- oder Wärmeexposition ausgehärtet. Bei weiteren Ausführungsformen können Mikrokanäle in einem Objekt ausgebildet werden, für die der Klebstoff vorgesehen ist, um die Zufuhr von Klebstoff zu einer gewünschten Stelle zu erleichtern.
  • 6 zeigt ein beispielhaftes Bauelement mit mikroelektromechanischen Systemen (MEMS-Bauelement) 50, welches unter Verwendung von Klebstofttröpfchen im Submikrometermaßstab hergestellt wird. Das MEMS-Bauteil 50 nach 6 ist ein Aktuator mit Scharnierplatte. Ein solcher Aktuator sowie dessen Verwendung in optischen Schaltern ist in der anhängigen Patentanmeldung Nr. 98 303 498.4 beschrieben. Man sieht, dass das vorliegende Verfahren in vorteilhafter Weise auf eine Vielfalt weiterer MEMS-Strukturen angewendet werden kann.
  • Das MEMS-Bauteil 50 wird hergestellt aus mehreren Scharnierplatten 56, 60, 66, 70 und 76. Zum Zusammenbauen des MEMS-Bauteils 50 werden die verschiedenen Scharnierplatten, die typischerweise durch Fotolithographie als Muster in der Ebene des Substrats 48 gebildet werden, in eine Ausser-Ebenen-Stellung geschwenkt, wie in 6 gezeigt ist. Scharniere 59, 62, 72 und 78 ermöglichen ein Verschwenken der Platten. Die Scharnierplatte 70 nimmt die Scharnierplatte (den Rahmen) 60 in einer Kerbe 74 auf. Die Platte 66 ist an einem Querglied 64 des Rahmens 60 in der Weise aufgehängt, dass die Platte 66 frei schwingen kann. Bei der Ausführungsform nach 6 ermöglichen Scharniere 68 diese Funktionsweise. Die Platte 66 arbeitet als bewegliche Elektrode. Die Scharnierplatte 76 nimmt die Kante 58 einer Scharnierplatte 56 in einer Kerbe 80 auf. Die Scharnierplatte 56 fungiert als feststehende Elektrode.
  • Wird eine Spannung an die Scharnierplatte 56 und 66 gelegt, bildet sich eine elektrostatische Kraft aus, welche bewirkt, dass die bewegliche Scharnierplatte 66 in einem im Wesentlichen horizontalen Weg in Richtung der Scharnierplatte 66 schwingt. Die im Wesentlichen horizontale Verlagerung der Scharnierplatte 66 kann über ein nicht dargestelltes Gestänge auf ein angelenktes Objekt übertragen werden, sodass sich dieses bewegt.
  • Um zu Verhindern, dass es zu einem Kurzschluss zwischen der beweglichen Elektrode 66 und der ortsfesten Elektrode 56 kommt, werden dielektrische Anschläge 82 in der Nähe der unteren Eckränder einer oder beider Flächen 57, 67 der Elektroden 56 und 66 angebracht. Ein einzelner Anschlag 62 ist in 6 ersichtlich. Die Anschläge 82 können Mikrometer-Tröpfchen eines Klebstoffs sein, die nach dem vorliegenden Verfahren gebildet und abgesetzt wurden. Ein Tröpfchen eines Klebstoffs mit einem Durchmesser von etwa 5 Mikrometer hat sich als zur Bildung der Anschläge 82 geeignet erwiesen. Darüber hinaus können Klebstofftröpfchen im Mikrometermaßstab auf die Scharniere 59, 62, 72 und 78 aufgebracht werden, um das Fixieren der verschiedenen Scharnierplättchen in ihrer angestrebten Ausser-Ebenen-Stellung zu unterstützen.
  • Kanalbildende Elemente wie zum Beispiel das beispielhafte kanalbildende Element 77, können dazu benutzt werden, Klebstoff einem Scharnier eines MEMS-Bauteils zuzuführen, beispielsweise dem Scharnier 59 des in 6 gezeigten MEMS-Bauteils 50. Das kanalbildende Element 77 stellt in Verbindung mit dem Träger 48 einen Mikrokanal 79 dar. Ein Mikrometer-Klebstofftröpfchen 90, welches an einem Ende des Mikrokanals 79 platziert wird, wird in Fallrichtung 92 durch den Mikrokanal gezogen und an das Scharnier 59 an der Stelle 94 geliefert.
  • Das Scharnier selbst fungiert als Mikrokanal und verbreitet den Klebstoff in Richtung des Pfeils 96 über das gesamte Scharnier. Aus Gründen der Klarheit sind in 7 ein einzelnes kanalbildendes Element 77, ein Mikrokanal 79 und ein Scharnier 59 dargestellt. Allerdings versteht sich, dass derartige Mikrokanäle in Verbindung mit jedem Scharnier eines solchen MEMS-Bauteils vorhanden sein können.
  • Darüber hinaus können Klebstofftröpfchen im Mikrometerformat den Kerben 75 und 80 in den jeweiligen Scharnierplättchen 70 bwz. 76 zugeleitet werden, um diese Plättchen an dem Rahmen 60 und der ortsfesten Elektrode 56 zu fixieren.
  • Obschon spezifische Ausführungsformen der Erfindung hier dargestellt und beschrieben werden, versteht sich, dass diese Ausführungsformen lediglich beispielhaft sind für zahlreiche mögliche spezielle Ausgestaltungen, die bei der Anwendung der Grundprinzipien der Erfindung in Betracht kommen. Es können zahlreiche abgewandelte und weitere Ausführungsformen gemäß diesem Grundprinzipien vom Fachmann aufgefunden werden, ohne von Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.

Claims (13)

  1. Verfahren zum Herstellen eines Mikrobauteils (50) auf einem Träger (48) umfassend: Bilden von Platten (56, 66) mit Scharnieren (59, 68), von denen ein erstes Scharnier (59) einer der Platten (56) diese Platte (56) drehbar mit einer Oberfläche des Trägers (48) verbindet, wobei die Plate (56) nach ihrer Ausbildung auf der Oberfläche des Trägers liegt; Ausbilden eines Kanals (79), der von einer ersten Zone des Trägers (48) ro dem ersten Scharnier (59) der einen Platte (56) führt; Drehen der einen Platte (56) weg von der Oberfläche des Trägers (48) um das ersten Scharnier (59); Zuführen von Klebstoff zu der ersten Zone des Trägers (48) mit einer Mikropipette (4), wobei der Klebstoff als ein erstes Mikrometer- oder noch kleiner bemessenes Tröpfchen (90) zugeführt wird; Leiten des Klebstoffs von der ersten Zone zu dem ersten Scharnier (59) durch den Kanal (79).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Klebstoff von der ersten Zone zu dem ersten Scharnier (59) durch Kapillarwirkung geleitet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt des Zuführens von Klebstoff umfasst: Einziehen des Klebstoffs in die Mikropipette (4); Positionieren einer Öffnung (6) der Mikropipette an der ersten Zone des Trägers (48); Bilden eines Überdrucks in der Mikropipette, um das erste Tröpfchen Klebstoff aus ihr auszutreiben.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem der Vorgang des Einziehens die Bildung eines Unterdrucks in der Mikropipette (4) beinhaltet.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem der Vorgang des Einziehens das Einziehen eines Klebstoffs in die Mikropipette (4) beinhaltet, was einen Kontaktwinkel φ1 zwischen dem Klebstoff und einer Innenoberfläche (20) der Mikropipette von weniger als etwa 90° bildet.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem Vorgang des Einziehens das Einziehen eines Klebstoffs in die Mikropipette (4) beinhaltet, was einen Kontaktwinkel φ2 zwischen dem Klebstoff und der Oberfläche des Trägers (48) von mehr als 0 und kleiner als φ1 bildet.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem φ1 etwa 60° und φ2 etwa 30° beträgt.
  8. Verfahren nach Anspruch 5, umfassend das Überziehen einer Aussenoberfläche (22) der Mikropipette (4) mit einem ersten Werkstoff, wobei ein Kontaktwinkel φ3 zwischen dem Klebstoff und dem ersten Material größer ist als ein Kontaktwinkel φ2 zwischen dem Klebstoff und der Oberfläche des Trägers (48).
  9. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Vorgang der Ausbildung von Platten beinhaltet: Ausbilden einer ersten (56) und einer zweiten (66) elektrische leitenden Platte, die sich bei Anlegen einer Spannung an sie aufeinander zu bewegen, wobei die elektrisch leitende Platte (56) über das erste Scharnier drehbar an der Oberfläche des Trägers (48) befestigt ist; die zweite elektrisch leitende Platte (66) an einer dritten Platte (60, 64) über ein zweites Scharnier (68) drehbar befestigt ist; die dritte Platte über ein drittes Scharnier (82) drehbar an der Oberfläche des Trägers (48) befestigt ist; wobei der Vorgang des Drehens beinhaltet: Drehen der ersten elektrisch leitenden Platte (56) weg von der Oberfläche des Trägers (48) um das erste Scharnier (59); Fixieren der ersten elektrisch leitenden Platte (56) in deren gedrehter Stellung; Drehen der dritten Platte (60, 64) weg von der Oberfläche des Trägers (48) um das dritte Scharnier (82) und Fixieren der dritten Platte (60, 64) in ihrer gedrehten Stellung; wobei das Verfahren beinhaltet: Zuführen eines zweiten Tröpfchens (82) Klebstoff mit einer Größe in der Größenordnung von 10 Mikrometer an die erste (56) und/oder die zweite (66) elektrisch leitende Platte an einer darauf befindlichen Stelle, die sich dazu eignet, einen Kontakt zwischen der ersten und der zweiten elektrisch leitenden Platte bei Anlegen einer Spannung zu verhindern.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem der Vorgang des Herstellens der Platten beinhaltet: Bilden einer Trägerplatte (76), welche über ein viertes Scharnier (78) drehbar an der Oberfläche des Trägers (48) befestigt ist, wobei die Trägerplatte (76) eine Kerbe (80) zum Zusammenwirken mit der ersten elektrisch leitenden Platte (56) aufweist; der Vorgang des Drehens beinhaltet: Drehen der Trägerplatte (76) weg von der Oberfläche des Trägers (48) um das vierte Scharnier (78); und der Vorgang des Fixierens der ersten elektrisch leitenden Platte (56) beinhaltet: Drehen der Trägerplatte (76) solange, bis diese mit der ersten elektrisch leitenden Platte (56) in Eingriff tritt, und Zuführen eines dritten Tröpfchens Klebstoff in der Größenordnung von 10 Mikrometer zu der Kerbe.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, umfassend das Belichten des ersten, des zweiten und des dritten Klebstofftröpfchens mit ultraviolettem Licht.
  12. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Kanal (79) über ein Kanalerzeugungselement (77) gebildet wird, welches sich auf der Oberfläche des Trägers (48) befindet.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem das Kanalerzeugungselement (77) einen Abschnitt des ersten Scharniers (59) aufweist.
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