DE69723891D1 - Photoakustische Vorrichtung und Verfahren zur Feststellung mehrerer Gase - Google Patents

Photoakustische Vorrichtung und Verfahren zur Feststellung mehrerer Gase

Info

Publication number
DE69723891D1
DE69723891D1 DE69723891T DE69723891T DE69723891D1 DE 69723891 D1 DE69723891 D1 DE 69723891D1 DE 69723891 T DE69723891 T DE 69723891T DE 69723891 T DE69723891 T DE 69723891T DE 69723891 D1 DE69723891 D1 DE 69723891D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detecting multiple
multiple gases
photoacoustic device
photoacoustic
gases
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69723891T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69723891T2 (de
Inventor
Andrew R Wood
Thomas M Rezachek
Rudy R Hegel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell Inc
Original Assignee
Honeywell Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell Inc filed Critical Honeywell Inc
Publication of DE69723891D1 publication Critical patent/DE69723891D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69723891T2 publication Critical patent/DE69723891T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G01N2021/1704Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
DE69723891T 1996-12-31 1997-11-21 Photoakustische Vorrichtung und Verfahren zur Feststellung mehrerer Gase Expired - Fee Related DE69723891T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/778,382 US5933245A (en) 1996-12-31 1996-12-31 Photoacoustic device and process for multi-gas sensing
US778382 1996-12-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69723891D1 true DE69723891D1 (de) 2003-09-04
DE69723891T2 DE69723891T2 (de) 2004-06-03

Family

ID=25113150

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69723891T Expired - Fee Related DE69723891T2 (de) 1996-12-31 1997-11-21 Photoakustische Vorrichtung und Verfahren zur Feststellung mehrerer Gase
DE69706438T Expired - Fee Related DE69706438T2 (de) 1996-12-31 1997-11-21 Photoakustische vorrichtung und verfahren zur feststellung mehrerer gase

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69706438T Expired - Fee Related DE69706438T2 (de) 1996-12-31 1997-11-21 Photoakustische vorrichtung und verfahren zur feststellung mehrerer gase

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5933245A (de)
EP (2) EP1111367B1 (de)
JP (1) JP2001507798A (de)
DE (2) DE69723891T2 (de)
WO (1) WO1998029733A1 (de)

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6322670B2 (en) 1996-12-31 2001-11-27 Honeywell International Inc. Flexible high performance microbolometer detector material fabricated via controlled ion beam sputter deposition process
AU3279099A (en) * 1998-02-26 1999-09-15 Presens As A method for drift compensated measurement of gas concentration, and a photoacoustical gas sensor
US6155160A (en) * 1998-06-04 2000-12-05 Hochbrueckner; Kenneth Propane detector system
FR2791134A1 (fr) * 1999-03-16 2000-09-22 Commissariat Energie Atomique Detecteur photoacoustique integre
US6244101B1 (en) * 1999-06-01 2001-06-12 Battelle Memorial Institute Photoacoustic method for measuring concentration of chemical species
US6363772B1 (en) * 1999-12-10 2002-04-02 Quadrivium, L.L.C. System and method for detection of a biological condition
EP1325307B1 (de) * 2000-10-09 2009-03-04 Siemens Aktiengesellschaft Optoakustische messanordnung und deren verwendung
EP1211501A1 (de) * 2000-11-29 2002-06-05 Siemens Building Technologies AG Zellkörper für optoakustische Sensoren
US6662627B2 (en) 2001-06-22 2003-12-16 Desert Research Institute Photoacoustic instrument for measuring particles in a gas
KR100419094B1 (ko) * 2001-06-28 2004-02-19 (주)나노믹스 기체 식별기
US6853449B2 (en) * 2003-01-28 2005-02-08 Honeywell International Inc. Programmable diffraction grating sensor
AT6119U3 (de) * 2003-01-29 2003-12-29 Avl List Gmbh Verfahren zur photoakustischen messung von fremdstoffen in gasen
IES20030396A2 (en) * 2003-05-23 2004-11-17 Univ Dublin City A method and apparatus for analysis of semiconductor materials using photoacoustic spectroscopy techniques
US20050056080A1 (en) * 2003-08-01 2005-03-17 Lucci Christopher Scott Blood monitoring system
DE10337750A1 (de) * 2003-08-07 2005-03-10 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Regelung eines Umluft- und/oder Zuluftanteils in einer Fahrgastzelle
DE102004006226A1 (de) * 2004-02-09 2005-09-08 Littmann, Wolfgang, Dipl.-Phys. Dr. Verfahren zur Umwandlung von Schall in elektrische Signale (Mikrofon) mittels Temperaturmessung
CA2461328A1 (en) * 2004-03-24 2005-09-24 Robert Anthony Crane A multiplexed type of spectrophone
DE102004034832B4 (de) * 2004-07-19 2014-05-22 Gerhart Schroff Verfahren und Anordnung zur Gasanalyse
US7213444B2 (en) * 2005-05-16 2007-05-08 Carthago International Solutions, Inc. Optoacoustic gas sensor
DE102005030151B3 (de) * 2005-06-28 2006-11-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photoakustischer Freifelddetektor
DE102006023061B4 (de) * 2006-05-17 2008-08-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gasdetektor mit akustischer Messzelle und selektiv adsorbierender Oberfläche
EP1906169A1 (de) * 2006-09-27 2008-04-02 IR Microsystems S.A. Gasdetektionsverfahren und Gasdetektionsvorrichtung
DE102006048839B4 (de) * 2006-10-16 2010-01-07 Eads Deutschland Gmbh Photoakustische Gassensor-Vorrichtung mit mehreren Messzellen
JP2010512536A (ja) 2006-12-12 2010-04-22 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 温度補償機能を備えるセンサ濃度検出器
DE102007014516B4 (de) * 2007-03-27 2008-12-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Messung des photoakustischen Signals mit rechnergestützter Auswertung
DE102007014520B3 (de) * 2007-03-27 2008-10-30 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photoakustischer Detektor mit zwei Strahlengängen für das Anregungslicht
US7895880B2 (en) * 2008-04-17 2011-03-01 Honeywell International Inc. Photoacoustic cell incorporating a quantum dot substrate
US7808640B2 (en) * 2008-07-30 2010-10-05 Honeywell International Inc. Photoacoustic spectroscopy system
US8085403B2 (en) * 2008-08-21 2011-12-27 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor
US8312758B2 (en) * 2008-12-11 2012-11-20 Honeywell International Inc. Apparatus and method for using the speed of sound in photoacoustic gas sensor measurements
DE102009023230A1 (de) * 2009-05-29 2010-12-02 Pas-Analytik Gmbh Verfahren zum Nachweisen mehrerer Substanzen eines Gasgemischs durch eine zeitlich aufeinanderfolgende Bestimmung der Einzelkonzentration der Substanzen
FR2951545B1 (fr) * 2009-10-21 2014-01-03 Commissariat Energie Atomique Detecteur de gaz photoacoustique
US8269972B2 (en) 2010-06-29 2012-09-18 Honeywell International Inc. Beam intensity detection in a cavity ring down sensor
US8437000B2 (en) 2010-06-29 2013-05-07 Honeywell International Inc. Multiple wavelength cavity ring down gas sensor
US8322191B2 (en) 2010-06-30 2012-12-04 Honeywell International Inc. Enhanced cavity for a photoacoustic gas sensor
FR2963102B1 (fr) * 2010-07-21 2017-01-13 Univ Reims Champagne Ardenne Procede et dispositif de detection de traces de gaz multiples
US8594507B2 (en) * 2011-06-16 2013-11-26 Honeywell International Inc. Method and apparatus for measuring gas concentrations
US8848191B2 (en) 2012-03-14 2014-09-30 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor with mirror
DE102012008102B3 (de) * 2012-04-25 2013-08-01 Testo Ag Messvorrichtung und Messverfahren
US9513261B2 (en) * 2013-10-14 2016-12-06 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas
US9570659B2 (en) * 2013-10-14 2017-02-14 Infineon Technologies Ag Semiconductor device for emitting frequency-adjusted infrared light
CN103983544B (zh) * 2014-05-28 2015-12-30 南京大学 多通道气溶胶散射吸收测量仪
FR3042866A1 (fr) * 2015-10-21 2017-04-28 Aerovia Dispositif de detection de gaz a tres forte sensibilite base sur un resonateur de helmholtz
DE102016103646B4 (de) * 2016-01-22 2023-03-02 Infineon Technologies Ag Integriertes photoakustisches gassensormodul
RU172629U1 (ru) * 2016-04-18 2017-07-17 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Института общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук Фотоакустический газоанализатор
US10620165B2 (en) * 2016-12-29 2020-04-14 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas analyzer for determining species concentrations using intensity modulation
TWI696812B (zh) 2017-12-04 2020-06-21 研能科技股份有限公司 氣體檢測裝置
EP3508836B1 (de) * 2018-01-05 2020-07-29 Infineon Technologies AG Photoakustisches system und verfahren zur abschätzung einer gaskonzentration
US11029284B2 (en) 2018-02-08 2021-06-08 South Dakota Board Of Regents Acoustic resonance chamber
DE102018206669B9 (de) 2018-04-30 2020-03-05 Infineon Technologies Ag Fluidsensor und Verfahren zum Bereitstellen desselben
EP3702772A1 (de) * 2019-02-26 2020-09-02 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Photoakustisches spektroskop mit einer schwingenden struktur als schalldetektor
CN109799206A (zh) * 2019-03-08 2019-05-24 上海大学 一种非分光型红外气体传感器及其运行方式
EP3550286B1 (de) * 2019-04-17 2021-01-27 Sensirion AG Photo-akustische gassensorvorrichtung
BG112997A (bg) 2019-09-17 2021-03-31 "Амг Технолоджи" Оод Прибор за мониторинг на газове
CN112903592A (zh) * 2019-12-04 2021-06-04 财团法人金属工业研究发展中心 气体浓度检测系统以及气体浓度检测方法
US11867676B2 (en) 2020-03-09 2024-01-09 General Electric Company Multi-gas sensing system and method
KR20220012517A (ko) * 2020-07-23 2022-02-04 삼성전자주식회사 오디오 모듈을 이용하여 가스를 측정하는 전자 장치 및 방법
EP3985452A1 (de) * 2020-10-16 2022-04-20 The Swatch Group Research and Development Ltd Vorrichtung zum messen eines relativen feuchtigkeitsgrads im gehäuse einer armbanduhr
GR1010249B (el) * 2020-10-29 2022-06-16 Αριστοτελειο Πανεπιστημιο Θεσσαλονικης-Ειδικος Λογαριασμος Κονδυλιων Ερευνας, Διαταξη με αισθητηρα οπτικης απορροφησης με μεγαλη ευαισθησια και μεθοδος χρησης της για περιβαλλοντικες εφαρμογες
EP4009035A1 (de) * 2020-12-07 2022-06-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Photoakustisches sonar-spektrometer
CN112881296B (zh) * 2021-01-20 2023-02-28 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 用于光声光谱装置环境因素影响分析的实验平台
EP4046569A1 (de) * 2021-02-19 2022-08-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und sensor zum bestimmen einer konzentration eines zielgases im blut eines lebewesens
IT202100032276A1 (it) * 2021-12-22 2023-06-22 Enea Agenzia Naz Per Le Nuove Tecnologie Lenergia E Lo Sviluppo Economico Sostenibile Un apparato e un metodo fotoacustico per rilevare un analita in un campione di un materiale da ispezionare
CN217688711U (zh) * 2022-04-28 2022-10-28 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种气体传感器

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3938365A (en) * 1973-11-29 1976-02-17 Massachusetts Institute Of Technology Detecting trace gaseous species acoustically in response to radiation from an intense light source
US4044257A (en) * 1975-02-20 1977-08-23 Diax Corporation Retention time chromatograph employing an IR absorption spectrographic detector
US4273450A (en) * 1979-09-28 1981-06-16 Fuji Electric Co., Ltd. Photoacoustic spectrometer with analysis-signal enhancement
US4323777A (en) * 1980-05-19 1982-04-06 Infrared Industries, Inc. Hydrocarbon gas analyzer
DE3043332A1 (de) * 1980-11-17 1982-07-01 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator
EP0072821B1 (de) * 1981-02-25 1988-10-26 OEHLER, Oscar, Dr. Optischer gasanalysator, vorzugsweise optoakustischer gasdetektor
DE3109224C2 (de) * 1981-03-05 1986-09-18 Auergesellschaft Gmbh, 1000 Berlin Schaltungsanordnung zum Nachweis von Gasanteilen in einer zu überwachenden Gasatmosphäre
WO1984000217A1 (en) * 1982-06-25 1984-01-19 Oskar Oehler Light collector device and utilization thereof for spectroscopy
JPS5946839A (ja) * 1982-09-10 1984-03-16 Hitachi Ltd 液体用光音響分析装置
US4457162A (en) * 1982-09-17 1984-07-03 Institute Of Gas Technology Multi-frequency photo-acoustic detector
US4740086A (en) * 1984-02-07 1988-04-26 Oskar Oehler Apparatus for the photoacoustic detection of gases
DE3509532A1 (de) * 1985-03-16 1986-09-18 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt Fotometer
US4709150A (en) * 1986-03-18 1987-11-24 Burough Irvin G Method and apparatus for detecting gas
DK247786D0 (da) * 1986-05-27 1986-05-27 Brueel & Kjaer As Fotoakustisk gasanalysator
DE3707622A1 (de) * 1987-03-10 1988-09-22 Pierburg Gmbh Verfahren und vorrichtung zum messen geringer gaskonzentrationen
US4866681A (en) * 1988-03-09 1989-09-12 Mine Safety Appliances Company Photo-acoustic detector
US5060508A (en) * 1990-04-02 1991-10-29 Gaztech Corporation Gas sample chamber
GB2271181A (en) * 1992-09-30 1994-04-06 Marconi Gec Ltd Photoacoustic Gas Analyser.
CH688291A5 (de) * 1993-09-30 1997-07-15 Oehler Oscar Thermische Lichtquelle, insbesondere zur Erzeugung von Infrarotstrahlung in einem Lampengehaeuse ausMetall oder Keramik
US5394934A (en) * 1994-04-15 1995-03-07 American Standard Inc. Indoor air quality sensor and method
CH686589A5 (de) * 1994-07-14 1996-04-30 Aritron Instr Ag Photoakustischer Gasdetektor mit optischem Infraschallmikrophon.
DE4446390C1 (de) * 1994-12-23 1996-07-04 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Konzentration eines in einer Probe enthaltenen Analyten

Also Published As

Publication number Publication date
EP1111367B1 (de) 2003-07-30
EP0950179A1 (de) 1999-10-20
JP2001507798A (ja) 2001-06-12
US5933245A (en) 1999-08-03
EP1111367A2 (de) 2001-06-27
EP0950179B1 (de) 2001-08-29
DE69706438D1 (de) 2001-10-04
EP1111367A3 (de) 2001-10-04
DE69723891T2 (de) 2004-06-03
DE69706438T2 (de) 2002-06-13
WO1998029733A1 (en) 1998-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69723891D1 (de) Photoakustische Vorrichtung und Verfahren zur Feststellung mehrerer Gase
DE69831991D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Sprachdetektion
DE69816682D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abgasbehandlung
DE19781766T1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur NO¶x¶-Verringerung in Magergasströmen
DE69700499D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum nachweis mehrerer analyten
DE69827085D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Leckerkennung
DE69709442D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abgasreinigung
DE69615303D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abgasreinigung
DE69633524D1 (de) Verfahren und Gerät zur Objekterfassung
DE69926851D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Sprachaktivitätsdetektion
DE69931257D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur spektralanalyse und kodierer
DE69805756T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur analyse
DE69725384D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Branderkennung
DE69723477D1 (de) Anordnung und verfahren zur rauschvorhersagenden maximal-wahrscheinlichkeitsdetektion
DE69839641D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur blutdruckmessung
DE69732971D1 (de) Methode und vorrichtung zur reinigung eines verunreinigungen enthaltenden gases
DE69820312D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verminderung von Abgasen
DE69634187D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlzündungen
DE59710226D1 (de) Einrichtung und verfahren zur leckageerkennung
DE69718571T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Abgasströmen
DE50111492D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur überwachung von gasen
DE69412457T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur atem-erkennung
DE69532841D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Gasabsorptionseigenschaften
DE69803202T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur sprachdetektion
DE69823416D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Branderkennung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee