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Gebiet der
Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft
das galvanische Abscheiden von Metall und insbesondere, nicht aber
ausschließlich,
das Metallisieren von flexiblen Polymerfolien. Diese Folien kann
man auch als Platten, dünne
Lagen oder Schichten bezeichnen. Die Erfindung bezieht sich insbesondere
auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum galvanischen Beschichten
einer Metallschicht auf ein nicht-metallisches, elektrisch isolierendes
Substrat mit einer auf diesem anhaftenden Metallschicht, ein Verfahren
zum Bilden einer gedruckten Leiterplatte und auf deren Produkte.
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Stand der
Technik
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Das galvanische Abscheiden von Metallen
aus einer wäßrigen Lösung ist
im Stand der Technik bekannt. Einfach ausgedrückt beinhaltet das Verfahren
die Verwendung einer Kathode, einer Anode (zusammen „Elektroden" genannt), eine wäßrige Lösung; die
Metall-Ionen enthält,
die der galvanischen Beschichtung unterworfen werden, und eine äußere Stromquelle.
Wenn elektrischer Strom zu der Anode geliefert wird, werden die
Metall-Ionen reduziert und aus der wäßrigen Lösung galvanisch abgeschieden.
Praktisch kann jedes Metall, das durch Wasser gelöst werden
kann (in typischer Weise Metallsalze) durch die vorstehend bestimmte Vorrichtung
galvanisch abgeschieden werden.
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Galvanisch abgeschiedenes Kupfer
wird in der elektronischen Industrie weitgehend verwendet. Traditionell
wird Kupfer in Rollen galvanisch abgeschieden, in Platten geschnitten,
an Polymerplatten gebunden und geätzt. Dann werden diskrete elektronische
Teile an die Leiterplatte angebracht, und die Leiterplatte wird
in eine Vorrichtung oder ein Gerät
eingeführt.
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Wenn das nicht-metallische, elektrisch
isolierende Substrat eine flexible Polymerplatte ist, kann das Metall,
wie zum Beispiel Kupfer, direkt auf eine Schicht aus Metall galvanisch
abgeschieden werden, die gesputtert, aus dem Dampf abgeschieden,
autokatalytisch abgeschieden oder durch ähnliche Techniken auf dem flexiblen
Polymersubstrat angebunden werden. Durch eine solche Lösung wird.
die Notwendigkeit eliminiert, den Zwischenschritt des Verbindens
einer Metallfolie mit dem Substrat durchzuführen. Die flexible Polymerschicht
kann vor dem Abscheiden der Metallschicht vorbehandelt werden. Nachdem
das Polymer anfänglich metallisiert
ist, kann das Metall galvanisch auf der Metallschicht abgeschieden
werden und bringt Dicken von galvanisch abgeschiedenem Metall von
bis zu herkömmlichen
Dicken hervor, d. h. von etwa 0,25 Unzen zu etwa 2 Unzen (7–56 g) (entsprechend
den Dicken von etwa 0,3 mit bis etwa 2,8 mit (0,007–0,07 mm)
galvanisch abgeschiedenen Metalls).
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Die sich ergebenden flexiblen, mit
Metall beschichteten Polymerfilme finden Verwendung in Kabelschaltungen,
automatischem Folienbonden, elektromagnetischer Störabschirmung
und anderen Gebieten, wo metallisierte Substrate nützlich sind.
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Die folgenden US-Patente beschreiben
Erfindungen bezüglich
des Metallisierens von Polymeren und anderer solcher Nichtmetalle.
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Morrissey et al., US-Patent 4,683,036
beschreiben ein Verfahren des galvanischen Abscheidens eines nicht-leitenden
Substrates unter Verwendung eines Photoresists und die Reduktionsfähigkeit
von Wasserstoff in der Gegenwart eines metallischen Katalysators,
der auf dem mit Metall zu überziehenden
Substrat angeordnet ist.
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Pian et al., US-Patent 4,897,164
beschreiben ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden auf Wänden durchgehender
Löcher
in laminierten Druckplatten.
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Bladon, US-Patent 4,919,768 beschreibt
ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden auf einem Herstellungsgegenstand.
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Pendleton, US-Patent 5,015,339 beschreibt
ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden einer Metallschicht auf
der Oberfläche
eines nicht-leitenden Materials.
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Bladon et al., US-Patent 4,952,286
beschreiben ein Verfahren zum Plattieren der Oberfläche eines nicht-leitenden
Gegenstandes.
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Beach et al., US-Patent 4,673,469
beschreiben ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Abscheiden von
Metall auf Gegenständen
unter Einschluß anfänglich eines
autokatalytischen Verfahrens mit einem nachfolgenden galvanischen
Abscheiden.
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Houska et al., US-Patent 4,322,280
beschreiben ein Elektrolysegerät
zum galvanischen Abscheiden eines Metalls auf mindestens einer Oberfläche eines
Bandes bzw. einer Folie, das bzw. die vorher auf jener Oberfläche mit
einem Metall beschichtet wurde.
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Goffredo et al., US-Patent 4,576,685
beschreiben ein Verfahren und eine Vorrichtung für das Abscheiden von Metall
auf im allgemeinen flachen Oberflächen über ein autokatalytisches Abscheideverfahren,
gefolgt von einem Verfahren mit galvanischem Abscheiden.
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Deyrup, US-Patent 3,963,590 beschreibt
ein Verfahren zum Vorätzen, Ätzen, Neutralisieren
und Behandeln der Oberfläche
von Polyoxymethylen für
das autokatalytische Abscheiden eines Metalls, gefolgt von einem
Schritt mit galvanischem Abscheiden.
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Herkömmliche Verfahren mit galvanischem
Abscheiden für
Kupfer auf flexiblen Polymerplatten bzw. -lagen verwenden Stromdichten
von etwa fünfundzwanzig
bis etwa fünfzig
Ampere pro Quadratfuß (277
555 A/m2). Diese Stromdichten führen zu
ziemlich langen Niederschlagszeiten, insbesondere wenn Dicken gewünscht sind,
die größer sind
als 1 mil (0,025 mm) Kupfer. Diesbezüglich wird die typische Menge
von galvanisch abgeschiedenem Kupfer auf flexiblen Polymerplatten
in „Unzen" angegeben. Eine
Unze ist das Gewicht an Kupfer für
ein Quadratfuß (0,3
kg/m2) Kupfertolie (dies repräsentiert
eine Dicke von im Durchschnitt 1,35 mil (0,033 mm) Kupfer). Mit
herkömmlichen
galvanischen Abscheideverfahren, die bislang bekannt sind, sind etwa
vierzig bis sechzig Minuten erforderlich, um eine Unze Kupfer auf
einen Quadratfuß einer
flexiblen Polymerfolie galvanisch abzuscheiden.
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Die Abscheidegeschwindigkeit von
Metall in einem solchen galvanischen Abscheideprozeß hängt grundsätzlich von
dem Strom ab, der auf das Metall auf dem Polymersubstrat aufgebracht
werden kann, wobei das Metall tatsächlich ein Leiter für den Strom
wird. In einer Beziehung ist der Strom zu der Materialbahn durch die
Dicke des Metalls auf dem Substrat beschränkt sowie durch die Strombelastungseigenschaften
des Metalls auf dem Substrat. In einer anderen Beziehung wird der
auf das Metallsubstrat aufgebrachte Strom durch die Anodenform und
Anordnung bestimmt, insbesondere die Stromdichte, die an der Anodenoberfläche(n) erzeugt werden
kann, und den Leistungsverlust bei Wärme, die während des galvanischen Abscheidungsprozesses erzeugt
wird.
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Bislang bekannte Verfahren und Vorrichtungen
sind im allgemeinen wegen ihrer Konstruktionen in dem Strombetrag
beschränkt,
der auf das Polymersubstrat aufgebracht werden kann, und sind in
anderer Beziehung insofern beschränkt, als der auf das Substrat
aufgebrachte Strom auf der Dicke der anfänglichen Metallschicht auf
dem Substrat basiert.
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Die vorliegende Erfindung überwindet
die Beschränkungen
der bislang bekannten Vorrichtungen und schafft ein Verfahren und
eine Vorrichtung zum galvanischen Abscheiden eines Metalls auf einem
nicht-metallischen, elektrisch isolierenden Substrat, wobei die
Vorrichtung und das Verfahren die galvanische Abscheidezeit dramatisch
dadurch reduzieren, daß der
Spalt zwischen den aktiven Anodenoberflächen und dem sich bewegenden
Substrat reduziert wird, wodurch der Wärmeleistungsverlust durch eine
Spannungsverringerung reduziert wird durch Erhöhen der Stromdichte, die auf
die aktiven Anodenoberflächen
aufgebracht werden kann, und durch Verwendung der Strombelastbarkeit
des abgeschiedenen Metalls, um das Aufbringen eines höheren Stromes
auf das Substrat zu ermöglichen.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden
Erfindung wird eine Elektrolysezelle für das galvanische Abscheiden
von Metall auf einem Substrat mit einer darauf befindlichen Metallschicht
zur Verfügung
gestellt, wobei die Zelle besteht aus:
einem Tank zum Halten
elektrolytischer Lösung,
einer
nicht-leitenden, gekrümmten,
flachen Oberfläche
in dem Tank zur Bestimmung eines Weges, entlang dem sich das Substrat
bewegt,
einer Vielzahl von länglichen, ähnlichen Anoden, deren jede
einen gleichmäßigen, prismatischen
Querschnitt hat, einen inneren Kern hat, der aus einem hochleitfähigen ersten
Metallmaterial besteht, und ein äußeres Gehäuse hat,
das aus einem leitfähigen
zweiten Metallmaterial gebildet ist, welches gegenüber der
elektrolytischen Lösung
inert ist, und mindestens zwei aktive Anodenoberflächen hat,
wobei jede der Anoden Befestigungsmittel hat zum Anbringen jeder
der Anoden an dem Tank in zwei unterschiedlichen Ausrichtungen,
wobei eine der mindestens zwei aktiven Anodenoberflächen der
nicht-leitenden Oberfläche
in jeder der Ausrichtungen zugewandt ist und wobei ein Abschnitt
der Anode sich durch den Tank erstreckt, die Anoden dicht nebeneinander
angeordnet sind, um einen im allgemeinen kontinuierlichen, gleichmäßigen Spalt
zwischen der nicht-leitenden Oberfläche und den aktiven Anodenoberflächen der
Anoden zu bestimmen,
Verbindungsmitteln für das Verbinden von Gruppen
einer oder mehrerer benachbarter Anoden an getrennte Energiequellen,
und
einem Kathodenteil außerhalb
des Tankes für
den Eingriff mit dem Metallabschnitt des Substrates, wenn es aus
dem Tank austritt.
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Gemäß einem anderen Aspekt der
vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden
eines Metalls auf einem nicht-metallischen, elektrisch isolierenden
Substrat zur Verfügung
gestellt, mit folgenden Schritten:
- a) Bewegen
eines elektrisch nicht-leitenden Substrates mit einer darauf befindlichen
Metallschicht entlang einem vorbestimmten Weg, wobei das Substrat
zuerst durch eine elektrolytische Lösung auf einer nicht-leitenden
Oberfläche
an einer Vielzahl von Anoden vorbeibewegt wird, die in der Lösung angeordnet
sind, und dann über
eine leitfähige
Kathodenoberfläche
außerhalb
der elektrolytischen Lösung,
wobei die Metallschicht auf dem Substrat den Anoden in der Lösung zugewandt
ist und mit der leitfähigen
Kathodenoberfläche
in Eingriff kommt, und
- b) Versorgen von Gruppen von einer oder mehreren benachbarten
Anoden mit elektrischem Strom auf unterschiedlichen Niveaus, um
fortlaufend Metall auf der Metallschicht des Substrates galvanisch
abzuscheiden und aufzubauen, wobei jede folgende Gruppe von Anoden
ein höheres
Stromversorgungsniveau hat als die vorhergehende Gruppe; und wobei
das Stromversorgungsniveau jeder speziellen Anodengruppe auf der
Strombelastbarkeit der Metallschicht oder des Aufbaumetalls basiert,
welches auf dem Substrat zwischen der speziellen Anodengruppe und
der Kathode vorhanden ist.
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Gemäß einem weiteren Aspekt der
vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Bilden bzw. Formieren
gedruckter Schaltungen auf einem nicht-metallischen, elektrisch
isolierenden Substrat zur Verfügung gestellt
mit folgenden Schritten:
- a) Drucken einer Galvanisierungsabdeckung
auf eine elektrisch leitende Schicht aus Material auf einer Seite
eines länglichen
Streifens aus einem flexiblen, nicht-leitfähigen Material einer im allgemeinen
fortlaufenden Länge,
um ein freies, kontinuierliches Band der leitenden Schicht frei
zu belassen, welche sich längs des
Streifens erstreckt, wobei ein oder mehrere Muster einer gedruckten
Schaltung mit dem Band in Verbindung gelangen;
- b) Bewegen des Streifens, auf welchem die gedruckte Schaltung
vorhanden ist, längs
eines vorbestimmten Weges, wobei der Streifen zuerst durch eine
elektrolytische Lösung
bewegt wird und sich auf einer nicht-leitenden Oberfläche in der
Lösung
an einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Anoden vorbeibewegt,
die in der Lösung
angeordnet sind, um eine im allgemeinen gleichmäßige Lücke mit dem Streifen zu bestimmen,
und dann aus der elektrolytischen Lösung austritt und sich über eine
leitfähige
Kathodenoberfläche
außerhalb
der elektrolytischen Lösung
bewegt, wobei das kontinuierliche Band der leitfähigen Schicht auf dem Streifen
den Anoden in der Lösung
zugewandt ist und mit der leitfähigen
Kathodenoberfläche
in Eingriff kommt; und
- c) Versorgen von Gruppen einer oder mehrerer benachbarter Anoden
auf unterschiedlichen Niveaus mit elektrischem Strom, um kontinuierlich
Metall auf dem freien, kontinuierlichen Band der leitfähigen Schicht galvanisch
abzuscheiden und aufzubauen, wobei jede nachfolgende Anodengruppe
ein höheres
Energieversorgungsniveau hat als die vorhergehende Gruppe; und wobei
das Niveau der Stromversorgung jeder speziellen Anodengruppe auf
der Strombelastbarkeit der Metallschicht oder des Aufbaumetalls
basiert, welches auf dem Substrat zwischen der speziellen Anodengruppe
und der Kathode vorhanden ist.
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Die vorliegende Erfindung schafft
ein Verfahren und eine Vorrichtung zum galvanischen Abscheiden eines
Metalls auf einem nicht-metallisch, elektrisch isolierenden Substrat;
eine
Vorrichtung gemäß vorstehender
Beschreibung, welche im wesentlichen die galvanische Abscheidezeit der
bislang bekannten Vorrichtung reduziert;
eine Vorrichtung gemäß vorstehender
Beschreibung vorsieht, die einen präzisen, gleichmäßigen Spalt
bzw. eine Lücke
zwischen einer aktiven Anodenoberfläche und dem sich bewegenden
metallisierten Substrat schafft;
stellt eine Vorrichtung der
vorstehend beschriebenen Art zur Verfügung mit einer Vielzahl von
Anoden, die angeordnet sind, um eine im allgemeinen kontinuierliche
Anodenoberfläche
zu bestimmen;
stellt eine Vorrichtung der vorstehend beschriebenen
Art zur Verfügung
mit einer Vielzahl von Anoden, deren jede separat mit Energie versorgt
werden kann, um eine Stromdichte unterschiedlich von benachbarten
Anoden zu erhalten;
schafft eine Vorrichtung, wie sie oben
beschrieben ist, wobei weniger elektrische Energie zu der Vorrichtung als
Wärme verloren
wird;
schafft eine Vorrichtung, wie sie oben beschrieben ist,
wobei Anoden in Gruppen einer oder mehrerer Anoden angeordnet sind
und die Stromdichte, die auf die Anoden der besonderen Gruppe aufgebracht
wird, größer als die
einer benachbarten Gruppe ist;
schaffte eine Vorrichtung, wie
sie oben beschrieben ist, wobei das Abscheiden von Metall als ein
Leiter verwendet wird, um die auf nachfolgende Anoden aufgebrachte
Stromdichte zu erhöhen;
schafft
eine Vorrichtung, wie sie oben beschrieben ist wobei der Stromfluß von der
Anode zu der Materialbahn durch Verringerung des Abstandes dazwischen
erhöht
wird;
schafft ein Verfahren zum Abscheiden von Metall auf ein
sich bewegendes, elektrisch nicht-leitendes Substrat;
schafft
ein Verfahren, wie es oben beschrieben ist, wobei das auf dem Substrat
abgeschiedene Metall als eine Kathode verwendet wird;
schafft
ein Verfahren, wie es oben beschrieben ist, wobei die Strombelastbarkeit
des abgeschiedenen Metalls verwendet wird, um nacheinander das Stromniveau,
welches auf das sich bewegende Substrat aufgebracht wird, zu erhöhen;
schafft
ein Verfahren, wie es oben beschrieben ist, wobei unterschiedliche
Stromniveaus gleichzeitig auf unterschiedliche Abschnitte des Substrates
aufgebracht werden können;
schafft
ein Verfahren, wie es oben beschrieben ist, wobei sich die Stromniveaus
in der Laufrichtung des sich bewegenden Substrates erhöhen;
schafft
eine flexible Polymerplatte oder -folie mit darauf galvanisch abgeschiedenem
Metall für
die Verwendung bei der Herstellung flexibler elektronischer Schaltungen;
schafft
eine flexible Polymer-/Metallplatte bzw. -folie, wie sie oben beschrieben
ist, wobei die Metallschicht im Querschnitt frei von Linien ist;
schafft
eine flexible Polymer-/Metallfolie, wie sie oben beschrieben ist,
wobei die Folie bzw. Platte eine erhöhte Flexibilität hat;
schafft
eine flexible Polymer-/Metallplatte bzw. -folie, wie sie oben beschrieben
ist, wobei die Platte höhere Längungseigenschaften
hat;
schafft ein Verfahren und eine Vorrichtung für die fortlaufende
Herstellung gedruckter Schaltungen durch ein galvanisches Abscheideverfahren.
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Diese und andere Vorteile ergeben
sich aus der folgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispieles
unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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Die Erfindung nimmt körperliche
Form in gewissen Teilen und der Anordnung der Teile an, wobei eine bevorzugte
Ausführungsform
derselben nun im einzelnen in der Beschreibung beschrieben und in
den anliegenden Zeichnungen veranschaulicht wird, welche einen Teil
der Erfindung bilden, wobei gilt:
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1A und 1B zusammen sind teilweise
geschnittene Endansichten einer Vorrichtung zum galvanischen Abscheiden
von Metall auf einer sich bewegenden Bahn unter Darstellung einer
bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
eine vergrößerte Schnittansicht
entlang der Linien 2-2 der 1 unter
Darstellung einer typischen Anodenbefestigung gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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3 ist
eine erste Endansicht der in 2 gezeigten
Anode;
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4 ist
eine Seitenansicht der in 2 gezeigten
Anode;
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5 ist
eine Draufsicht auf die in 2 gezeigte
Anode;
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6 ist
eine zweite Endansicht der in 2 gezeigten
Anode;
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7 ist
eine vergrößere Ansicht
eines Endes der in 2 gezeigten
Anode unter Darstellung eines an diesem angebrachten elektrischen
Verbinders;
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8 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie 8-8 der 5;
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9 ist
eine optische Mikrophotographie einer Seitenansicht einer galvanisch
abgeschiedenen Kupferfolie gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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10 ist
eine optische Mikrophotographie einer Seitenansicht einer kommerziell
galvanisch abgeschiedenen Kupferfolie auf einem Polymersubstrat
unter Darstellung der unterschiedlichen, abgeschiedenen Kupferschichten
gemäß einem
bisher bekannten kommerziellen Verfahren;
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11 ist
eine Draufsicht auf eine Materialbahn mit einer überdeckten Metallschicht zur
Bestimmung von Schaltungsmustern unter Veranschaulichung eines anderen
Aspektes der vorliegenden Erfindung;
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12a ist
eine vergrößerte Schnittansicht
unter schematische Veranschaulichung einer Materialbahn vor dem
galvanischen Abscheideverfahren eines Metalls gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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12b ist
ein vergrößerter Schnitt
der in 12a gezeigten
Materialbahn unter Veranschaulichung eines aufgebauten Metalls gemäß der vorliegenden
Erfindung; und
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13 ist
eine Draufsicht auf eine Materialbahn mit einer überdeckten Metallschicht zur
Bildung einer Vielzahl ähnlicher
Schaltungsmuster, die verbunden sind, um sich längs der Materialbahn zu erstrecken.
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Ausführliche
Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform
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Bezieht man sich nun auf die Zeichnungen,
bei denen es der Zweck ist, nur eine bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung zu veranschaulichen, und nicht der Zweck ist, dieselbe
zu begrenzen, so zeigt 1 eine
Vorrichtung 10 für
das galvanische Abscheiden von Metall auf einem Substrat 12.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und
ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Metall auf einem nicht-metallischen,
elektrisch isolierenden Substrat, vorzugsweise einem Polymerfilm
mit einer Schicht aus an diesem anhaftenden Metall. Vorzugsweise
ist der Polymerfilm Polyimid oder Polyester. Die Erfindung wird
unter Bezugnahme auf eine flexible Polymerplatte beschrieben, die
in der Dicke von etwa 0,5 bis etwa 7 mil (0,012–0,175 mm) rangiert. Während Polymerfilme
das bevorzugte Substrat für
die Benutzung bei der Vorrichtung und dem Verfahren der vorliegenden
Erfindung sind, versteht es sich aus dem folgenden Studium der Beschreibung,
daß auch
andere nicht-metallische, elektrisch isolierende Materialien benutzt
werden können,
zum Beispiel Keramikband bzw. -folie oder „Green"-Band bzw. -folie, andere Stoffe und
dergleichen. Entsprechend der hier vorgenommenen Verwendung ist
eine „Schicht" von Metall als ein
dünner
Metallüberzug
definiert, dessen Dicke von etwa 500 Ångstrom bis etwa 3000 Ångstrom
(1 Ångstrom
= 10–10 m)
rangiert. In typischer Weise ist eine Metallschicht entweder durch
Sputtern beschichtet, autokatalytisch abgeschieden oder durch herkömmliche
CVD-Techniken (chemische Dampfabscheidung) beschichtet, obwohl auch
andere Techniken versucht werden.
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Zwar ist die Erfindung insbesondere
anwendbar auf die galvanische Abscheidung von Metall auf einem nicht-metallischen,
elektrisch isolierenden Polymersubstrat und wird unter besonderer
Bezugsnahme darauf beschrieben, es versteht sich aber, daß die Erfindung
auch beim Abscheiden von Metall auf anderen kontinuierlichen Oberflächen vorteilhaft
angewendet werden kann.
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Allgemein gesagt, besteht die Vorrichtung 10 aus
einem Tank mit einer geeigneten Ausgestaltung, um eine elektrolytische
Lösung
zu halten, einer teilweise in der elektrolytischen Lösung in
dem Tank angeordneten Trommel 50 und einer Vielzahl gleicher
Anoden, mit 60 bezeichnet, die in dem Tank rund um die
Trommel 50 angeordnet sind. Bei der gezeigten Ausführungsform
hat der Tank solche Maße,
daß er
eine im allgemeinen zylindrische Gestaltung hat ähnlich der zylindrischen Trommel 50.
Der Tank wird durch eine im allgemeinen halbzylindrische Bodenwand 22 und
zwei Endwände 24, 26 bestimmt,
wie man am besten in 2 sieht.
Eine bogenförmige
Verstärkungsplatte 28 istan
jeder Wand 24, 26 angebracht, wie man am besten
in den 1A und 2 sieht. Der Tank bildet
einen halbzylindrischen Hohlraum mit geeigneter Ausgestaltung, um
eine Trommel 50 und die elektrolytische Lösung aufzunehmen.
Eine Zuführleitung 32 ist
am untersten Abschnitt des Tanks vorgesehen, um ein elektrolytisches
Fluid dem Tank zuzuführen. Überlaufwannen
oder -rinnen 34 sind längs den
oberen Kanten des Tanks vorgesehen, um überlaufende elektrolytische
Lösung
zu sammeln und dieselbe durch Öffnungen 36 zu
rezyklieren, wie herkömmlich
bekannt ist. Der Tank wird auf einem Stützaufbau 42 gehaltert,
der aus einer Vielzahl von Querbändern 44 besteht,
die auf Beinen 46 getragen sind.
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Die Trommel 50 hat zylindrische
Gestalt und erfindungsgemäß eine nicht-leitende äußere Oberfläche 52.
Zu diesem Zweck kann die Trommel 50 ganz aus einem festen
Kunststoff oder Polymermaterial gebildet sein, oder sie kann aus
einem Metallmaterial mit einem äußeren Gehäuse bzw.
einer äußeren Überdeckung aus
einem nicht-leitendem Material gebildet sein. Bei der gezeigten
Ausführungsform
ist die Trommel 50 auf einer Welle 54 drehbar,
welche durch (nicht gezeigte) Lager in Endwänden 24, 26 des
Tanks 20 getragen ist. Die Trommel 50 wird vorzugsweise
von einem geeigneten Motorantrieb (nicht gezeigt) gedreht, wie er
im Stand der Technik herkömmlich
bekannt ist, wobei die Trommel 50 mit einer veränderlichen
Umfangsgeschwindigkeit gedreht werden kann, um es dem Substrat 12 zu
gestatten, mit der elektrolytischen Lösung in dem Tank eine ausreichende
Zeit lang in Berührung
zu bleiben, um die gewünschte
Foliendicke zu entwickeln, wie in größerer Einzelheit nachfolgend
beschrieben wird.
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Eine Vielzahl ähnlicher Anoden 60 ist
in dem Tank 20 am Umfang benachbart zur Trommel 50 angeordnet.
Die Anoden 60 sind längliche
Stangen von gleichmäßigem, prismatischem
Querschnitt, und jede bildet eine Vielzahl von flachen, aktiven
Anodenoberflächen.
Bei der gezeigten Ausführungsform
sind die Anoden 60 dünne
Stangen von gleichförmigem,
rechteckigem Querschnitt, wie in den 3–6 veranschaulicht ist. Jede Anode 60 besteht
aus einem länglichen
Körper 62 mit
einem inneren Kern 64, der aus einem hochleitenden Material
gebildet ist, und einem äußeren Mantel
oder einer Umhüllung 66 aus
leitendem Metall, welches in der elektrolytischen Lösung maßstabil
ist, wie in 8 gezeigt
ist. Bei der gezeigten Ausführungsform
ist der Anodenkörper 62,
wie er bislang beschrieben ist, so gebildet, daß er einen Kern 64 aus
einem Kupferlegierungsmaterial und eine äußere Hülle bzw. Plattierung oder Verkleidung 66 aus
Titan hat. Der mit Titan umhüllte
Kupferkörper 62 der
Anoden 60 kann mit einem Koextrusionsprozeß gebildet
werden, wie im Stand der Technik konventionell bekannt ist. Eine
rechteckige Platte 68, die aus einem Material gebildet
ist ähnlich
jenem, welches die Hülle
bzw. Plattierung 66 bildet, d. h. Titan bei der gezeigten
Ausführungsform,
ist vorzugsweise durch Schweißen
an einem Ende des Körpers 62 angebracht,
um den Kern 64 einzuschließen. Die rechteckige Gestalt
der Anode 60 bestimmt gegenüberliegend gerichte te aktive
Anodenoberflächen,
die in den Zeichnungen mit 80a, 80b bezeichnet.
Wie sich aus dem weiteren Studium der Beschreibung ergibt, könnten die
Anoden 60 auch mit quadratischem oder dreieckigem Querschnitt
(nicht gezeigt) benutzt werden, ohne den Gedanken der vorliegenden
Erfindung zu verlassen.
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Ein Zentrierstift 72, der
mit der Längsachse
des Körpers 62 in
Flucht liegt, ist auf der Platte 68 vorgesehen, und am
gegenüberliegenden
Ende befindet sich ein kreisförmiger
Kragen 74. Der Stift 72 und der Kragen 74 sind
auch aus Titan gebildet. Zwei Gewindebohrungen 76 sind
am anderen Ende des Körpers 62 in den
Kern 64 hineingeformt, d. h. neben dem Kragen 74.
An diesem Ende der Anode 60 ist der Kern 64 frei bzw.
offen oder bloßgelegt.
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Die Anoden 60 sind in dem
Tank nebeneinander angeordnet, um eine halbzylindrische elektrische
Metallfläche 58 zu
bilden, die mit der Oberfläche 52 der
Trommel 50 in Übereinstimmung
ist bzw. dieser entspricht, wie man am besten in 1B sieht. Spezieller sind die Anoden 60 nebeneinander
angeordnet und erstrecken sich längs
des Tanks 20. Die Anoden 60 erstrecken sich parallel
zueinander und parallel zur Achse der Trommel 50 und sind
eng gepackt, berühren
sich aber körperlich
nicht. Die Anoden 60 sind relativ zu einer nicht-leitenden
Oberfläche 52 der
Trommel 50 angeordnet, um mit dieser einen gleichförmigen Spalt
zu bilden, der gemäß der vorliegenden
Erfindung vorzugsweise kleiner als ein Zoll (2,5 cm) ist und vorzugsweise
etwa dreiviertel eines Zoll (1,8 cm) beträgt. Gemäß einem anderen Aspekt der
vorliegenden Erfindung erstreckt sich jede Anode 60 durch
den Tank längs
einer festen Achse und ist an mindestens einem der Endwände 22, 24 des Tanks
angebracht und von diesem getragen, wobei sich ein Ende der Anode 60 außerhalb
des Tanks erstreckt. Bei der Ausführungsform sind die Anoden 60 geeignet
ausgestaltet, um in dem Tank angeordnet zu werden, wie in 2 veranschaulicht ist. Diesbezüglich sind
der Abstand zwischen den Seitenwänden 22, 24 des Tanks
und die Abmaße
der Anoden 60 derart, daß sich die Anoden 60 durch
den Tank zwischen den Endwänden 22, 24 erstrecken,
wobei die Enden der Anode 60 bei den Endwänden 22, 24 angeordnet
sind und von diesen getragen sind. Speziell sind in den Endwänden 22, 24 mehrere
im Abstand angeordnete zylindrische Bohrungen 92 gebildet.
Jede Bohrung 92 ist so bemessen, daß sie gemäß Darstellung in 2 den Stift 72 bündig auf
der Anode 60 aufnimmt. Ein Stopfen 94 ist vorzugsweise
in das äußere Ende
der Bohrung 92 eingefügt
und eingeschweißt,
um dasselbe abzudichten.
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Eine Vielzahl von im Abstand angeordneten
größeren Öffnungen 96 ist
in den Seitenwänden 22, 24 gebildet,
um das mit dem Kragen versehene Ende der Anode 60 aufzunehmen.
Jede Öffnung 96 weist
einen ersten zylindrischen Abschnitt 96a auf mit Abmaßen, um
bündig
den Kragen 74 der Anode 60 aufzunehmen, und weist
einen zweiten zylindrischen Abschnitt 96b größeren Durchmessers
auf. Die Bohrungen 92 und die Öffnungen 96 sind längs einer
kreisförmigen
Mittellinie angeordnet, deren Mitte längs der Achse „A" der Trommel 50 so
angeordnet ist, daß die
Anoden 60 in einer Halbkreisform gemäß obiger Darstellung angeordnet
werden. Die Bohrungen 92 sind längs der kreisförmigen Mittellinie
an jedem Mittepunkt zwischen den Öffnungen 96 angeordnet.
Die kreisförmige
Mittellinie jeder Endwand 22, 24 befindet sich
mit der anderen in axialer Flucht. Bei der dargestellten Ausführungsform
befindet sich eine Öffnung 96 in
der Seitenwand 22 koaxial in Flucht mit einer Bohrung 92 in
der Seitenwand 24 und umgekehrt. Somit sind bei der gezeigten
Ausführungsform
benachbarte Anoden 60 aus ihren gegenüberliegenden Enden in den Tank 20 eingeführt. Mit
anderen Worten befinden sich die Öffnungen 96 und die
Bohrungen 92 auf den entsprechenden Endwänden 22, 24 versetzt
zueinander derart, daß das „Stiftende" der einen Anode 60 nächst dem „Kragenende" der benachbarten Anode 60 liegt.
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Eine Dichtungsanordnung 102 ist
um den Kragen 74 jeder Anode 60 herum angeordnet.
Die Dichtungsanordnung 102 besteht aus einem paar von ringförmigen Dichtungen 104,
die aus einem federnd elastischen, kompressiblen Material gebildet
sind, die zwischen dem Kragen 74 und der inneren Oberfläche des zweiten
zylindrischen Abschnittes 96b angeordnet sind. Ein Kompressionsring 106 ist
mit Gewinde in einer Gewindebohrung 108 in der Platte 28 aufgenommen.
Die Dichtungen 104 werden durch den Kompressionsring 106 zusammengedrückt, um
eine fluiddichte Abdichtung zwischen dem Kragen 74 der
Anode 60 und der inneren Oberfläche des zweiten zylindrischen
Abschnittes 96b der Bohrung 96 zu bilden. Wichtig
ist, daß die Anoden 60 sich
symmetrisch um die Achse „X" befinden, wodurch
es möglich
wird, daß diese
in dem Tank 20 angeordnet werden, wobei jede Anodenoberfläche 80a oder 80b der
Trommel 50 zugewandt ist.
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Gemäß Darstellung in 2 erstreckt sich bei der
Anbringung im Tank 20 ein Abschnitt der Anode 60, d.
h. der Abschnitt jenseits des Kragens 74 außerhalb
des Tanks 20. Ein elektrischer Verbinder 82 ist
an dem Ende der Anode 60 angebracht, wie man am besten
in 7 sieht. Der Verbinder
bzw. die Verbindungseinrichtung 82 schließt einen
flachen Plattenabschnitt 84 ein, in welchem im Abstand
angeordnete Öffnungen
vorhanden sind. Die Öffnungen
in der Platte 84 sind so bemessen, daß sie mit den Bohrungen 76 im
Kern 64 der Anode 60 in Registerlage sind. Die
Bohrungen 76 sind so bemessen, daß sie mit Gewinde versehene
Befestigungseinrichtungen oder Böcke,
Ansätze
bzw. Muttern 78 aufnehmen. Die Befestigungseinrichtungen
oder Muttern 78 sind geeignet ausgestaltet, um die Platte 84 der
elektrischen Verbindungseinrichtung 62 an der Anode 60 anzubringen.
Jede Verbindungseinrichtung 62 ist mit einer (nicht gezeigt)
Energiequelle verbindbar. Wichtig ist, daß die Platte 84 der
Verbindungseinrichtung 62 in direktem Kontakt mit dem Kupferkern 64 der Anode 60 steht.
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Eine Führungsrolle 112 ist
an der Einlaßseite
der Vorrichtung 10 vorgesehen, um das hereinlaufende Substrat 12 relativ
zur Trommel 50 zu positionieren. Eine Kathodenaufnahmerolle 114 ist
an der Auslaßseite der
Vorrichtung 10 über
und außerhalb
des Tanks 20 und der darin enthaltenen elektrolytischen
Lösung
vorgesehen. Die Kathodenaufnahmerolle 114 ist angeordnet,
um mit der Metallseite des Substrats 12 in Eingriff zu
kommen und mit diesem in elektrischen Kontakt zu kommen, wenn es
aus dem Tank 20 austritt. Die Kathodenaufnahmerolle 114 ist
elektrisch leitend und so ausgestal tet, daß sie in der Lage ist, den
maximalen Strom zu leiten, der zu den Anoden 60 gebracht
werden kann, wie in größerer Einzelheit
unten noch diskutiert wird.
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Wir nehmen jetzt Bezug auf den Betrieb
der Vorrichtung 10 und ein Verfahren der galvanischen Abscheidung
von Metall auf einem sich bewegenden Substrat, und dabei wird ein
Polymersubstrat 12 mit anhängender Metallschicht in eine
galvanische Abscheidevorrichtung 10 eingeführt derart,
daß die
metallische Schicht auf dem Substrat 12 dem Elektrolytbad
im Tank 20 offen frei ausgesetzt wird, während die
andere Seite des Substrats 12 auf der elektrisch nicht-leitenden äußeren Oberfläche 52 der
Trommel 50 angeordnet ist. Praktisch kann jede flexible
Polymerplatte oder -folie und können
vorzugsweise thermoplastische Folien oder Platten verwendet werden,
solange eine leitende Schicht aus Metall auf die Oberfläche der
flexiblen Polymerplatte angeheftet werden kann. Als anschauliche
Beispiele solcher Polymerplattern oder -folien sind Polyimidplatten
(Kapton®,
E. I. DuPont) oder Polyesterplatten, die mit etwa 2000 Angstrom
Metall gesputtert sind, wie zum Beispiel Zinn, Messing, Zink, Kupfer,
Chrom oder dergleichen.
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Das Substrat 12 geht über eine
Führungsrolle 112 und
auf die Trommel 50. Das Substrat 12 wird durch die
elektrolytische Lösung
im Tank 20 auf die Trommel 50 vorbewegt. Das Substrat 12 geht
durch den Spalt 90 hindurch, welcher zwischen der Trommel 50 und
den Anoden 60 gebildet ist, wo bei das darauf befindliche Schichtmetall
den aktiven Anodenoberflächen 80 der
Anoden 60 zugewandt ist. Das Substrat 12 tritt
aus der elektrolytischen Lösung über eine
Kathodenaufnahmerolle 114 aus, wobei die metallisierte
Seite des Substrats 12 mit der Rolle 114 in Berührung ist.
Die an dem Substrat 12. anhaftende Metallschicht wirkt
dadurch während des
galvanischen Abscheideprozesses wie eine Kathode, wenn Strom den
Anoden 60 zugeführt
wird. Gemäß der vorliegenden
Erfindung werden die Anoden 60 in Gruppen, die eine oder
mehrere Anoden 60 enthalten, mit Energie versorgt, wobei
jede folgende Gruppe einer Anode oder von Anoden 60 in
der Laufrichtung des Substrats 12 ein höheres Stromversorgungsniveau
hat als die vorhergehende Gruppe. Wenn Metall auf der anfänglichen
Metallschicht auf dem Substrat 12 durch die Anfangsgruppen
der Anode oder der Anoden 60 abgeschieden wird, wird die
erhöhte
Strombelastbarkeit des dickeren Metalls ausgenutzt, um für die nachfolgenden
Anodengruppen die Möglichkeit
zu geben, höhere
Stromversorgungsniveaus zu haben, wobei das dickere Metall wie ein
Leiter zur Kathodenaufnahmerolle 114 wirkt und höhere Stromversorgungsniveaus
ermöglicht. Mit
anderen Worten wird die Metallschicht auf dem Substrat 12 anfänglich als
eine elektrische Leitung zu der Kathodenaufnahmerolle 114 benutzt,
um Metall auf dem Substrat 12 aufzubauen, d. h. abzuscheiden.
Die immer zunehmende Dicke des Metalls auf dem Substrat 12 und
seine zunehmende Strombelastbarkeit wird dann benutzt, um das galvanische
Abscheiden des Metalls durch kontinuierlich schrittweises Hochgehen,
d. h. Vergrößern des
Stroms zu den nachfolgenden Anodengruppen 60 zu erhöhen, basierend
auf der Strombelastbarkeit des Metalls, welches sich auf den vorhergehenden
Anodengruppen 60 angesammelt hat. Man versteht selbstverständlich,
daß die
ursprüngliche
Metallschicht auf dem Polymersubstrat 12 eine begrenzte
Strombelastbarkeit hat und deshalb die unterschiedlichen Stromni veaus
nicht unmittelbar oder sofort auf verschiedene Anodengruppen 60 aufgebracht
werden können.
Anfänglich
ist die Stromdichte, die auf das Substrat 12 aufgebracht
werden kann, durch die Strombelastbarkeit der Metallschicht begrenzt,
d. h. der Strom, den es zur Kathodenaufnahmerolle 114 leiten
kann, ist begrenzt. Überschüssige Stromdichten,
die auf die Anoden 60 aufgebracht werden, blasen in der
Paxis die dünne
Metallschicht nur von dem Polymersubstrat 12 weg. Deshalb ist
es notwendig, die Metalldicke auf dem Substrat 12 durch
aufeinanderfolgendes Versorgen der Gruppen der Anoden 60 mit
Strom allmählich
aufzubauen.
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Speziell wird die erste von Anoden 60,
d. h. die Gruppe, welche von dem in dem Tank 20 eintretenden Substrat
zuerst angetroffen wird, auf einem Niveau mit elektrischem Strom
versorgt, welches die Metallschicht auf dem Polymersubstrat handhaben
kann. Diese erste Gruppe von Anoden würde somit Metall aus der elektrolytischen
Lösung
auf die Metallschicht abscheiden, wodurch die Dicke des Metalls
auf dem Polymersubstrat 12 aufgebaut würde. Wenn das Substrat 12 mit
einer vorbestimmten Geschwindigkeit durch die elektrolytische Lösung in
dem Tank 20 bewegt wird, erreicht eine kontinuierliche
Schicht aufgebauten Metalls möglicherweise die
Kathodenaufnahmerolle 114, wodurch die Strombelastbarkeit
erhöht
wird, die auf das Substrat 12 aufgebracht werden kann.
Zu dieser Zeit kann die zweite Gruppe von Anoden 60 auf
einem Stromversorgungsniveau mit Energie versorgt werden, welches
höher ist
als das der ersten Gruppe von Anoden. Das Energieversorgungsniveau
dieser zweiten Gruppe würde
auf der Strombelastbarkeit des Metalls beruhen, welches von der
ersten Gruppe von Anoden 60 aufgebaut ist. Das von der
ersten Gruppe von Anoden 60 abgeschiedene Metall wird somit
als ein Leiter benutzt, um die Möglichkeit
für höhere Stromniveaus
zu schaffen, die auf das Substrat 12 aufgebracht werden,
und um diese zu der Kathodenaufnahmerolle 114 zu leiten.
Nach einer vorbestimmten Zeit erreicht das aufgebaute Metall, welches
sowohl von der ersten Gruppe von Anoden 60 als auch von
der zweiten Gruppe von Anoden 60 abgeschieden ist, die
Kathodenaufnahmerolle 114. Das von der ersten Gruppe von
Anoden 60 und der zweiten Gruppe von Anoden 60 abgeschiedene
Metall sorgt für
eine ausreichende Dicke, um eine dritte Gruppe von Anoden 60 auf
einem höheren
Stromversorgungsniveau mit Energie zu versorgen als das der zwei
ersten Anodengruppen 60. Wiederum erreicht der hinzugefügte Aufbau, welcher
von dieser dritten Gruppe von Anoden 60 erzeugt ist, die
Metall auf das Metall abscheidet, welches von der ersten und der
zweiten Gruppe von Anoden 60 aufgebracht ist, eventuell
die Aufnahmekathode, wodurch eine vierte Gruppe von Anoden 60 in
die Lage versetzt wird, mit einem höheren Niveau mit Energie versorgt
zu werden als die ersten drei Gruppen. Diesbezüglich baut jede Gruppe von
Anoden 60 grundsätzlich die
Strombelastbarkeit des Substrats 12 auf, um einen nachfolgende
Gruppe von Anoden 60 in die Lage zu versetzen, höhere Stromversorgungsniveaus
auf die nachfolgenden Anoden 60 aufzubringen und somit
höhere
galvanische Abscheidungsgeschwindigkeiten zu erzeugen, die in den
nachfolgenden Gruppen auftreten. Durch die vorhergehende, nacheinanderfolgende
Versorgung mit Energie kann eventuell jede Gruppe von Anoden 60 der
Vorrichtung 10 auf ihrem gewünschten Betriebsniveau mit
Energie versorgt werden.
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Der zuvor benutzte Begriff „Gruppe
von Anoden 60" oder „Anodengruppe 60" soll bedeuten, daß jede Gruppe
von einer Anode 60 oder von Anoden 60 aus einer
oder mehreren Anoden 60 bestehen kann. Diesbezüglich erlaubt
die Ausgestaltung der Vorrichtung 10, daß jede Anode 60 mit
ihrer eigenen getrennten Kraftquelle, d. h. Gleichrichter, verbunden
wird.
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Spezielle Ausführungsformen der Erfindung
werden jetzt durch die folgenden Beispiele veranschaulicht, die
nur beispielhaft sind, wobei nicht eine diesbezügliche Beschränkung der
Erfindung vorgesehen ist. Verschiedene Modifikationen der Prozeßparameter,
der Materialien, der Technik und des Betriebes ergeben sich für den Fachmann
aus dem Stand der Technik. Alle Teile und angegebenen Prozentsätze in den
Beispielen sind auf das Gewicht bezogen, es sei denn, sie sind anderweitig
bezeichnet.
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Obwohl die vorliegende Erfindung
eine vorteilhafte Anwendung für
das galvanische Abscheiden vieler Metalle finden kann, einschließlich, nicht
aber beschränkt
auf Kupfer, Gold, Silber, Nickel, Zinn, Zink, Messing, Chrom, Platin
und Wolfram, ist Kupfer das in typischer Weise für elektronische Anwendung benutzte
Metall. Die hohe elektrische Leitfähigkeit des Kupfers, seine
Lötfähigkeit
und das leichte galvanische Abscheiden machen Kupfer zu dem am meisten
bevorzugten Metall.
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Damit die galvanische Kupferabscheidung
effektiv auftritt, müssen
ausreichende Mengen an Kupfer (im allgemeinen als Kupfersulfatsalze),
Chloride und Schwefelsäure
in dem galvanischen Abscheidebad vorhanden sein. Gemäß der vorliegenden
Erfindung weist die elektrolytische Lösung Kupfersulfat im Bereich
von etwa 50 bis etwa 80 g/l auf, Chloridionen im Bereich von etwa
9o bis etwa 30 ppm und Schwefelsäure
im Bereich von etwa 50 bis etwa 70 g/l. Die Temperatur des Bades
ist auch ein Parameter, welcher die Leistung des galvanischen Abscheidungsprozesses
beeinflussen kann. Diesbezüglich
beläuft
sich ein typisches Temperaturbetriebsfenster von etwa 20°C bis eta
95°C. Gemäß der vorliegenden
Erfindung erstreckt sich der bevorzugte Temperaturbereich von etwa
35°C zu
etwa 80°C,
und der am meisten bevorzugte Bereich erstreckt sich von etwa 50°C zu etwa
70°C.
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Die folgenden Beispiele basieren
auf der Verwendung einer Vorrichtung, wie sie oben beschrieben und in
den Zeichnungen gezeigt ist. Wie in 1 gezeigt
ist, sind achtundzwanzig (28) Anoden 60 in dem Tank 20 vorgesehen.
Die Anoden 60 wurden in Reihen angeordnet oder zusammen
in Gruppen von sieben (7) Anoden 60 gruppiert, wobei jede
Anodengruppe mit ihrer eigenen separaten Energiequelle verbunden
ist. Speziell sind die sieben Anoden 60 jeder Gruppe mit
einem Gleichrichter verbunden, wodurch derselbe Strom zu jeder Anode
einer besonderen Gruppe geschickt wird. Die vier Anodengruppen bilden „Behandlungszonen", die in den Zeichnungen
mit „A", „B", „C" und „D" bezeichnet sind.
In den folgenden Beispielen war die Trommel 50 aus Gummi
hergestellt und sechsundzwanzig (26) Zoll (65 cm) lang und hatte
einen Durchmesser von dreißig
(30) Zoll (75 cm). Eine 3 mil dicke (0,075 mm) Kapton®-Polymerplatte,
die mit etwa 2000 Angstrom Kupfer sputterbeschichtet war, wurde
verwendet. Die Polymerplatte war vierzehn (14) Zoll (35 cm) breit.
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Das wäßrige galvanische Abscheidungsbad
bestand aus:
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Die Temperatur des Bades wurde zwischen
etwa 55°C
bis etwa 65°C
gehalten.
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Es versteht sich für den Fachmann,
daß die äußerste Dicke
von galvanisch abgeschiedenem Kupfer von der Liniengeschwindigkeit
der Vorrichtung abhängt,
d. h. der Geschwindigkeit des Substrates durch die Zonen A–D, sowie
von der Stromdichte, welche durch die Anoden 60 dem Elektrolysebad
zugeführt
wird.
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Die folgenden Beispiele zeigen die
oben beschriebene Vorrichtung in ihrem Betrieb mit unterschiedlichen „Liniengeschwindigkeiten" und bei unterschiedlichen
Stromversorgungsniveaus zu den Anoden 60
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BEISPIEL
1
(Substratgeschwindigkeit 3,15 Fuß/Min (0,015 m/Sek.))
-
BEISPIEL
2
(Substratgeschwindigkeit 2,6 Fuß/Min (0,013 m/Sek.))
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BEISPIEL
3
Substratgeschwindigkeit 1,6 Fuß/Min. (8 × 10
–3 m/Sek.))
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In den oben angegebenen Tabellen
beschreibt „Ampere/Zone" den Gesamtstrom,
der auf eine besondere Zone aufgebracht ist. „Zeit/Zone" benennt die Zeit (in Sekunden), welche
das Substrat einer besonderen Zone frei ausgesetzt ist. „Zonestromdichte" benennt die gemessene
Stromdichte an den aktiven, Anodenoberflächen einer besonderen Zone. „Kupfergewicht" benennt das kumulative
Kupfergewicht in Gramm, welches nach einer speziellen Zone auf dem
Substrat 12 abgeschieden ist. „Kupferdicke" benennt die kumulative
bzw. akkumulierte Dichte von Kupfer in mil, welche nach einer speziellen
Zone auf dem Substrat 12 neidergeschlagen ist. „Bahnstromdichte" beschreibt die Stromdichte,
die in der Bahn fließt,
d. h. durch das Metall auf dem Substrat 12 fließt.
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Ein Vergleich der Tabellen zeigt
die Wirkung der „Liniengeschwindigkeit" und „Stromdichte" auf die letztliche
Dicke des galvanisch abgeschiedenen Kupfers und zeigt die Vorteile
der vorliegenden Erfindung.
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Im Beispiel 12 wurde das Substrat
mit einer Geschwindigkeit von 3,15 Fuß/Min (0,015 m/Sek.) durch die
Vorrichtung 10 bewegt. Bei dieser Geschwindigkeit war das
Substrat 12 jeder Zone etwa 16,7 Sekunden lang frei ausgesetzt.
Im Beispiel 1 wurden 150 Ampere jeder Zone zugeführt. Diesbezüglich wurde
jede Anode in jeder Zone mit etwa 21 bis 22 Ampere elektrischen
Stroms versorgt. Die Stromdichte pro Zone betrug etwa 149,9 Ampere.
Diesbezüglich
ist der Unterschied zwischen dem Strom, welcher auf jede Zone aufgebracht wird,
und dem tatsächlich
an der Anodenoberflächen
vorhandenen sehr klein. Mit anderen Worten wurde wenig Energie abgegeben
oder ging als Wärme
verloren. Unter diesen Betriebsbedingungen war der Aufbau von Kupfer
fast proportional. Mit anderen Worten fügte jede Zone etwa 0,825 Gramm
Kupfer dem Substrat 12 hinzu und erhöhte die Dicke um 0,039 mil
(9,75 × 10–4 mm).
Die tatsächliche
Stromdichte durch den Metallaufbau auf dem Substrat 12,
wie sie von dem Kathodenelement 114 abgefühlt wurde,
betrug etwa 274.793 Ampere/Fuß2 (4,3 × 108 Ampere/m2). Erwartungsgemäß war bei
identischem Strom zu jeder Zone der Aufbau von Kupfer auf dem Substrat 12 für jede Zone
gleichmäßig und ähnlich.
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Beispiel 2 veranschaulicht die Betriebsbedingungen,
bei denen die Geschwindigkeit des Substrates 12 etwa 2,6
Fuß/Min
(0,013 m/Sek.) betrug und der auf jede Zone aufgebrachte Strom erhöhte sich
in nachfolgenden Zonen. Diesbezüglich
wurden 150 Ampere der Zone A zugeführt, 400 Ampere wurden der
Zone B zugeführt,
660 Ampere wurden der Zone C zugeführt, und 840 Ampere wurden
der Zone D zugeführt.
Mit der angegebenen Betriebsgeschwindigkeit wurde das Substrat 12 etwa
20,2 Sekunden lang jeder Zone frei exponiert. Unter diesen Bedingungen
wird der Aufbau von Kupfer auf dem Substrat 12 dramatisch
erhöht.
Wie in Beispiel 2 gezeigt ist, werden 0,99 Gramm Kupfer in der Zone
A auf dem Substrat 12 niedergeschlagen. Am Ende der Zone
B ist das Gewicht des Kupfers auf 3,664 Gramm angewachsen. Am Ende
der Zone C wuchs das Gewicht des Kupfers auf 8,061 Gramm mit einer
Dicke von 0,381 mil (9,5 × 10–3 mm).
Zu der Zeit, als das Substrat aus der Zone D austrat, waren 13,657
Gramm Kupfer niedergeschlagen, um eine Kupferdicke von 0,646 mil
(0,016 mm) zu erzeugen.
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Im Beispiel 3 wurde die Liniengeschwindigkeit
auf 1,6 Fuß/Min.
(0,008 m/Sek.) reduziert. Bei dieser Geschwindigkeit war das Substrat 12 32,813
Sekunden lang für
jede Zone frei exponiert. In diesem Beispiel wurden 270 Ampere der
Zone A zugeführt,
500 Ampere wurden der Zone B zugeführt, und 900 Ampere wurden
den Zonen C und D zugeführt.
Selbst bei diesen hohen Niveaus der Stromzuteilung war die tatsächliche Stromdichte
an den aktiven Anodenoberflächen
relativ dicht an der, welche jeder Zone zugeführt wurde. Diesbezüglich gehen
weniger als 2% der auf die Anoden 60 aufgebrachten Energie
als Wärme
infolge der Aufbau- und Betriebseigenschaften der vorliegenden Erfindung
verloren. Bei dem Beispiel 3 wurden 2,557 Gramm Kupfer in der Zone
A galvanisch auf dem Substrat 12 abgeschieden, um das Substrat 12 mit
0,121 mil (3 × 10–3 mm)
Kupfer aufzubauen. Nach der Zone B waren 7,970 Gramm Kupfer auf
dem Substrat 12 galvanisch abgeschieden, wobei das Kupfer
dann eine Dicke von 0,377 mil (9,4 × 10–3 mm)
hatte. Am Ende der Zone C waren 17,713 Gramm Kupfer auf dem Substrat 12 niedergeschlagen,
um eine Dicke von 0,873 mil (0,02 mm) zu erzeugen. Zu der Zeit,
als das Substrat 12 aus der Zone D austrat, waren 27,456
Gramm Kupfer auf dem Substrat abgeschieden mit einer Enddicke von
etwa 1,3 mil (0,03 mm).
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Wie in Beispiel 3 gezeigt ist, steigt
bei einer niedrigeren Liniengeschwindigkeit der Aufbau von Kupfer auf
dem Substrat 12 pro Zone dramatisch an, und bei diesem
Kupferanstieg kann ein erheblich höherer Strom auf das Substrat 12 aufgebracht
werden, um den galvanischen Abscheideprozeß weiter zu erhöhen.
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Die vorliegende Erfindung führt zum
Beispiel zu einem Kupferüberzug,
der kleine oder keine Kanteneffekte hat, d. h. der Kupferüberzug ist
dickenmäßig über den
Körper
des Überzuges
und entlang seinen Kanten gleichmäßig. Weitere Vorteile des durch
das hier beschriebene Verfahren galvanisch abgeschiedenen Kupfers
sind die Verbesserungen der physikalischen Eigenschaften. Überschüssige Kupferfoliendehnungen für eine Unze
von 15% stellen eine solche Verbesserung dar. Diese Verbesserung
bedeutet etwa eine um einen Faktor drei größere Dehnung bzw. Verlängerung
im Vergleich zu einer konventionell galvanisch abgeschiedenen Unze
Kupferfolie auf flexiblen Polymersubstraten. Zusätzlich zeigt das galvanisch
abgeschiedene Kupfer gemäß der vorliegenden
Erfindung eine verbesserte Verformbarkeit, wodurch die Neigung des
Kupfers minimal wird, während
der Verarbeitung oder Benutzung sich zu spalten oder zu versagen.
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Unter anderen aus dieser Erfindung
realisierten Vorteilen sind die überlegenen
Eigenschaften des erzeugten Endproduktes. Ein Vorteil besteht darin,
daß die
von dem Verfahren und der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung
erzeugte, galvanisch abgeschiedene Kupferfolie eine wesentlich größere Verformbarkeit zeigt
als die der herkömmlich
galvanisch abgeschiedenen Kupferfolien. Prozentuale Dehnungen, zum
Beispiel von etwa 28%, wurden für
eine Unze (28 g) Kupferfolien gemessen. Wie früher erwähnt, zeigt das galvanisch abgeschiedene
Kupfermetall auch keine Kanteneffekte, und die Dicke des galvanisch
abgeschiedenen Kupfers ist ihrerseits über die gesamte Fläche des
plattierten Kupfers im wesentlichen gleichmäßig.
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Man nimmt an, daß die verbesserte Dehnung und
größere Verformbarkeit
der mit Metall überzogenen Polymerfilme
der vorliegenden Erfindung sich aus dem gleichmäßigen Aufbau des galvanisch
abgeschiedenen Metalls ergeben. Im Gegensatz zu herkömmlichen
Verfahren, bei denen in typischer Weise einige Durchgänge durch
eine Vielzahl von Elektrolytbädern
erforderlich ist, legt das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung nicht
jede metallische Schicht frei an die Luft. Die Schicht des galvanisch
abgeschiedenen Metalls ist gleichmäßig, kontinuierlich und hat
keine Bereiche mit Riefenbildung, d. h. eine identifizierbare Metallschicht.
Deshalb gibt es keine Bereiche des galvanisch abgeschiedenen Metalls
der vorliegenden Erfindung, die metallische Oxide oder in der Luft
schwebende Verunreinigungen enthalten, deren jede zu versprödeten Schichten oder
Bereichen hoher Beanspruchungskonzentrationen führen könnte. Deshalb tritt das Einleiten
von Spalten in dem galvanisch abgeschiedenen Metall der vorliegenden
Erfindung mit geringerer Wahrscheinlichkeit auf als bei herkömmlich hergestellten,
galvanisch abgeschiedenen, mit Metallüberzug versehenen Polymerfilmen.
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9 zeigt
eine Seitenansicht eines optischen Mikrobildes einer galvanisch
abgeschiedenen Kupferfolie auf Kapton®, welches
gemäß dem Verfahren
der 1 hergestellt ist.
Dieses Mikrobild zeigt eine einzige, gleichmäßige, kontinuierliche Schicht
von Kupfermetall auf dem Substrat 12. Dies steht im Gegensatz
zu dem Mikrobild der 10. 10 ist eine Seitenansicht
eines optischen Mikrobildes eines herkömmlichen Produktes, welches
durch einen typischen kommerziellen galvanischen Abscheideprozeß hergestellt
ist. 10 zeigt klar die
unterschiedlichen Schichten des auf dem Substrat abgeschiedenen
Kupfermetalls. Jede Riefenbildung entspricht dem Ende eines galvanischen
Abscheidezyklus und dem Beginn des nächsten galvanischen Abscheidezyklus
in einer Vorrichtung mit mehreren Bädern. Diese Bereiche mit Riefenbildung
sind höchstwahrscheinlich
Bereiche mit hohen Beanspruchungskonzentrationen.
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Die Endung wurde zuvor mit Bezug
auf galvanisches Abscheiden von Metall auf einer nichtleitenden Polymerbahn
beschrieben, wobei die Bahn später
bei der Bildung flexibler elektronischer Schaltkreise benutzt wird.
Gemäß einem
anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Vorrichtung 10 verwendet
werden, um gedruckte Schaltungsmuster direkt auf die sich bewegende
Bahn zu plattieren bzw. zu beschichten, wie in den 11 bis 13 gezeigt
ist, wobei die Bahn mit „W" bezeichnet ist.
Gemäß diesem
Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht die Bahn W im allgemeinen
aus einem dünnen,
flexiblen Streifen, einem Band oder einem Film 200 aus
einem nichtleitenden Material, welches auf einer Seite mit einer
dünnen
Schicht 202 aus Metall überzogen
oder eingehüllt
ist, wie man am besten in den 11–12b sieht. Die Metallhüllseite
des Filmes 200 ist mit einem abdeckungsfesten Verdeckungsmaterial 204 durch
herkömmliche
bekannte Techniken bedeckt, um eine Vielzahl von Schaltungsmustern 206 zu
bilden. Die Muster 206 werden durch of fengelegte, nicht
bedeckte Bereiche der Basismetallschicht 202 bestimmt.
Bei dem in 11 gezeigten
Ausführungsbeispiel
ist der Mittelabschnitt der Bahn W derart abgedeckt, daß sich ein
kontinuierliches Band 208 von freiem, nicht-bedecktem Basismetall 202 längs jeder
Kante der Bahn W erstreckt. Die freigelegten, unbedeckten Bereiche
der Basismetallschicht 202, welche hier das Muster 206 bilden,
stehen mit den freigelegten, nicht bedeckten Bereichen von Basismetall 202,
welches die Bänder 208 bildet,
in Verbindung. Bei der in 1 gezeigten
Ausführungsform
ist die Ausrichtung der benachbarten Muster 206 derart
umgekehrt, daß sich
benachbarte Muster 206 zu einer gegenüberliegenden Kante der Bahn
W erstrecken.
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Der Streifen 200 kann aus
irgendeinem flexiblen, nicht-leitenden Material gebildet sein, und
die darauf befindliche Schicht 202 kann irgendein plattierbares
bzw. abdeckbares Metall sein. Ein Kunststoff- oder Polymerfilm mit
wenigen mil Dicke mit etwa siebzehnhundert (1700) Angstrom (Å) von Metall,
welches auf diesem aufgebracht ist, hat zufriedenstellende Ergebnisse
beim Plattieren oder Abdecken von Mustern gemäß der vorliegenden Erfindung
zur Verfügung
gestellt. Während
irgendein plattierbares bzw. abdeckfähiges oder galvanisch metallisierbares
Metall verwendet werden kann, ist die Metallschicht 202 vorzugsweise
Kupfer. Es ist wichtig, daß die
Schaltungsmuster 206 im allgemeinen derart gebildet sind,
daß jeder
Zweig 206a oder Abschnitt derselben mit einem Band 208 kommuniziert.
Wie in größerer Einzelheit
nachfolgend beschrieben wird, können
kleine Abschnitte des Schaltungsmusters 208 ganz von den
kontinuierlichen Zweigen oder Schenkeln der Muster 206 isoliert
sein. 12A zeigt im allgemeine
eine Querschnittsansicht der Bahn W der 11 unter Darstellung eines nicht-leitenden
Polymerfilmes oder -streifens 200, der Schicht 202 aus
Metall und des metallisierfesten Abdeckungsmaterials 204,
welches die Zweige 206a der Muster 206 bestimmt.
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Mit Bezug auf das Verfahren zum Bilden
von Schaltungsmustern 206 wird die Bahn W in einer Art
und Weise in die Vorrichtung 10 eingeführt, wie in den 1A und 1B allgemein veranschaulicht ist. Speziell
läuft die
Bahn W über
die Führungsrolle 112 und
auf die Trommel 50 und wird auf der Trommel 50 durch
die elektrolytische Lösung
in dem Tank 20 vorbewegt. Diesbezüglich läuft das Band bzw. die Materialbahn
W durch den Spalt 90, welcher zwischen der Trommel 50 und
den Anoden 60 mit den Schaltungsmustern 206 bestimmt wird
(d. h. die freien, nicht verdeckten Bereiche der Basismetallschicht 202),
welche den aktiven Anodenoberflächen 80 der
Anoden 60 zugewandt sind. Die Materialbahn W tritt aus
der elektrolytischen Lösung über die Kathodenaufnahmerolle 114 aus,
wobei die freiliegenden Abschnitte der Metallschicht 202 mit
der Rolle 114 derart in Kontakt sind, daß das freiliegende
Metall der Schicht 202 während des galvanischen Abscheidungsprozesses
als Kathode wirkt, wenn Strom den Anoden 60 zugeführt wird.
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In der oben beschriebenen Weise werden
die Anoden 60 in Gruppen, welche eine oder mehrere Anode(n) 60 enthalten,
mit Strom versorgt, wobei jede aufeinanderfolgende Gruppe von Anoden 60 in
der Laufrichtung der Materialbahn W ein höheres Stromversorgungsniveau
hat als die vorherge hende Gruppe. Wenn Metall auf den freiliegenden
Abschnitten der Metallschicht 202, welche die Muster 206 und
Bänder 208 bilden, galvanisch
abgeschieden wird, wird, wie man versteht, die erhöhte Strombelastbarkeit
dieses dickeren Metalls benutzt, um für nachfolgende Gruppen von
Anoden die Möglichkeit
vorzusehen, höhere
Stromversorgungsniveaus zu haben. Weil die Muster 206 kontinuierliche
Zweige 206a, die mit den Bändern 208 in Verbindung
stehen, haben, besteht diesbezüglich
eine Kontinuität
längs der
Materialbahn, wodurch die Möglichkeit
geschaffen wird, daß ein
größerer Strom
durch die Schaltungszweige 206a und durch die Bänder 208 zu
der Kathodenaufnahmerolle 114 geleitet wird. Wegen der
Kontinuität
des Metalls in den Schaltungsmustern 206 und Bändern 208 können die
Stromniveaus zu nachfolgenden Zonen auf höhere Niveaus angehoben werden,
wodurch das Galvanisierabdecken von Metall zur Bildung von Schaltungsmustern 206 erhöht wird.
Wie oben erwähnt,
können
die Muster 206 kleine isolierte Bereiche einschließen, die
in den Zeichnungen mit 206b gezeigt sind und sich nicht
in direkter Verbindung mit den Zweigen 206a der Schaltungsmuster 206 oder
Bänder 208 befinden.
Bezüglich
dieser Bereiche nimmt man an, daß die darunterliegende Schicht 202 aus
Metall, d. h. die Bereiche der Schicht 202 unter der Plattierungsabdeckung 204 eine
ausreichende Strombelastbarkeit zur Verfügung stellen, um die erhöhten Stromniveaus
zu den Zweigen 206a und den Bändern 208 so zu leiten,
daß der
Metallaufbau auf diesen kleinen Bereichen ohne Brennen oder Zerstören der
Materialbahn W ermöglicht wird.
Da der meiste, von den Anoden 60 auf die Materialbahn W
aufgebrachte Strom durch die Zeige 206a des Musters 206 und
durch die Bänder 208 zur
Kathode 114 geleitet wird, kann diesbezüglich der große Bereich der
Basismetallschicht 202 unter dem Abdeckmaterial 204 ausreichen,
um den Strom zu den aufgebauten Bereichen der Musterzweige 206a und
Bänder 208 abzuleiten
und die Möglichkeit
vorzusehen, daß der
Bereich 206b höheren
Stromniveaus widersteht. Wie man versteht, erlauben jedoch die Kontinuität und die
erhöhte Strombelastbarkeit
des Metalls, welches auf den Zweigen 206a und den Bändern 208 aufgebaut
ist, höhere Stromversorgungsniveaus
für ein
Aufbringen auf nachfolgende Zonen der Vorrichtung, und diese Bereiche 206b können nur
einen relativ kleinen Bereich der gesamten, freigelegten Metallschicht 202 ausmachen.
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12 veranschaulicht
schematisch, wie Metall in den freigelegten, unbedeckten Abschnitten
der Basismetallschicht 202 aufgebaut wird. In 12B ist das aufgebaute Metall
mit 214 bezeichnet. Nachdem die Schaltungen 206 auf
eine gewünschte
Dicke aufgebaut wurden, kann das Abdeckungsmaterial 204 durch
herkömmlich
bekannte Verfahren entfernt werden, um das aufgebaute Kupfermuster
freizulegen, welches sich von der Basismetallschicht 202 erstreckt.
Die Basisschicht 202 wird dann durch einen Ätzprozeß entfernt,
wobei das erwünschte
Muster 206 des auf dem Film 200 aufgebauten Kupfers
belassen wird. Die Kupferbänder 208 können dann
von den Mustern 206 entfernt werden (d. h. separiert werden),
um freigelegte Muster 206 auf dem Film 200 zu
belassen.
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13 zeigt
eine alternative Ausführungsform
der Materialbahn W, bei der eine Vielzahl von ähnlichen Mustern 216 mittig
auf der Materialbahn W angeordnet wird, um zur Bildung eines kontinuierlichen
Bandes von Mustern 216 miteinander in Verbindung zu sein.
Jedes Muster 216 weist einen zentralen Abschnitt 216a auf mit
einer Vielzahl von Schenkeln oder Zweigen 216b, die sich
von diesem erstrecken. Das Muster 216 ist im allgemeinen
symmetrisch, und benachbarte Muster 216 sind so angeordnet,
daß die
Schenkel 216 benachbarter Muster 216 miteinander
kommunizieren bzw. in Verbindung stehen. In 13 bezeichnet und identifiziert eine
mit „P" bezeichnete Trennlinie
separate Muster 216. Diese Anordnung von Mustern 216 erzeugt
einen kontinuierlichen Weg von freigelegtem Metall 206 entlang
der Materialbahn W. Diese Kontinuität von freigelegtem Metall wird
in der oben beschriebenen Art und Weise ausgenutzt, um das Aufbringen
von erhöhtem Strom
auf die Materialbahn W zu ermöglichen.
Speziell versorgt das Metall, welches durch eine anfängliche Gruppe
von Anoden 60 auf die Muster 216 abgeschieden
wurde, die Materialbahn mit zusätzlicher
Strombelastbarkeit und schafft für
nachfolgende Gruppen von Anoden 60 die Möglichkeit,
auf höhere
Stromversorgungsniveaus zu kommen. Wie sich aus der vorstehenden
Beschreibung versteht, ist es notwendig, daß eine Kontinuität von freigelegtem
Metall längs
der Materialbahn W existiert, um den von den Anoden 60 durch
die Materialbahn W zu der Kathodenaufnahmerolle 114 aufgebrachten
Strom zu leiten.
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Nachdem die Muster 216 gemäß der vorliegenden
Erfindung aufgebaut worden sind, werden das Abdeckungsmaterial 204 und
die Basismetallschicht 202 durch herkömmlich bekannte Verfahren entfernt,
um Kupfermuster freizulegen, welche durch das abgeschiedene Metall
gebildet wurden. Die Muster 216 werden dann entlang der
Trennlinie „P" voneinander getrennt,
um separate einzelne Schaltungen zu bilden.
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Durch die vorliegende Erfindung wird
somit ein Verfahren zum Bilden von Schaltungsmustern auf einem flexiblen,
nicht-leitenden Polymerstreifen zur Verfügung gestellt, wobei dieses
Verfahren zusätzlich
zu der Verringerung der Bildungszeit eine Schaltung vorsieht, die
eine verbesserte Dehnung und Flexibilität hat.
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Die vorliegende Erfindung ist unter
Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen
beschrieben worden. Andere Modifikationen und Änderungen ergeben sich für den Fachmann
nach Studium und Verständnis
der Beschreibung. Es ist beabsichtigt, daß alle Modifikationen und Änderungen
insofern eingeschlossen sind, als sie im Umfang der anliegenden
Ansprüche
oder ihrer Äquivalente
liegen.
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Weitere Aspekte der vorliegenden
Erfindung sind unten aufgelistet: Eine Elektrolysezelle mit:
einem
Tank zum Halten von Elektrolyselösung;
einer Trommel, die in dem Tank drehbar um eine horizontale Achse
angeordnet ist und eine nicht-leitende zylindrische äußere Oberfläche hat;
einer
Vielzahl von länglichen, ähnlichen
Anoden gleichmäßigen Querschnittes,
welche um die äußere Oberfläche der
Trommel angeordnet sind und zusammen eine im allgemeinen kontinuierliche
zylindrische Oberfläche bilden,
die sich von der äußeren Oberfläche der
Trommel im Abstand befindet und in Übereinstimmung steht bzw. ähnliche
Form hat, wobei jede Anode mindestens ein Ende hat, welches durch
den Tank ragt;
einer Vielzahl von Energiequellen; und Verbindungsmitteln
zum Verbinden von Gruppen einer oder mehrerer der herausragenden
Enden benachbarter Anoden mit jeder Kraftquelle;
einer Elektrolysezelle,
wie vorstehend bestimmt, wobei die Anoden Stangen sind mit einem
gleichmäßigen, prismatischen
Querschnitt;
einer Elektrolysezelle, wie oben bestimmt, wobei
die Anoden nebeneinander angeordnet sind und jede Anordnung symmetrisch
um eine Achse ist, die sich zur Trommelachse parallel erstreckt;
einer
Elektrolysezelle gemäß obiger
Definition, wobei jede Anode einen rechteckigen Querschnitt hat
und zwei entgegengerichtete aktive Anodenoberflächen hat;
einer Elektrolysezelle,
wie oben definiert, wobei jede Anode relativ zu der Trommel in zwei
Ausrichtungen anbringbar ist, wobei eine der zwei entgegengesetzt
gerichteten aktiven Anodenoberflächen
in jeder der zwei Ausrichtungen auf die Trommel zu gerichtet ist;
eine
Elektrolysezelle, wie oben definiert, wobei die Anoden einen inneren
Kern einschließen,
der aus einem hoch leitenden, ersten Metallmaterial gebildet ist,
und eine äußere Hülle einschließen, die
aus einem leitenden zweiten Metallmaterial gebildet ist, welches
gegenüber
der Elektrolyselösung
inert ist;
einer Elektrolysezelle, wie oben definiert, wobei
die Anoden durch eine Koextrusion von Titan und Kupfer gebildet
sind, das Kupfer den inneren Kern bildet und das Titan die äußere Hülle bildet;
einer
Elektrolysezelle, wie oben definiert, wobei der Abstand zwischen
den Anoden und der Trommel kleiner ist als ein Zoll (2,5 cm);
einer
Elektrolysezelle, wie oben definiert, wobei der Tank aus einem nicht-leitenden
Material gebildet ist.
