DE69714408D1 - Magnetischer Mikroschalter und Herstellungsverfahren - Google Patents

Magnetischer Mikroschalter und Herstellungsverfahren

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1235244B1 (de) * 1999-11-18 2006-03-01 NEC Corporation Mikromechanischer schalter
DE10043549C1 (de) * 2000-09-01 2002-06-20 Little Things Factory Gmbh Mikroschalter und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10048880C2 (de) * 2000-09-29 2003-04-24 Little Things Factory Gmbh Mikroschalter und Verfahren zu dessen Herstellung
KR20040092228A (ko) * 2003-04-25 2004-11-03 엘지전자 주식회사 저전압 마이크로 스위치
EP1533270A1 (de) * 2003-11-21 2005-05-25 Asulab S.A. Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung einer hermetisch versiegelten MEMS Packung
FR2897349B1 (fr) * 2006-02-13 2008-06-13 Schneider Electric Ind Sas Microsysteme incluant un dispositif d'arret
FR2970111B1 (fr) 2011-01-03 2013-01-11 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'un micro-contacteur actionnable par un champ magnetique

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4357585A (en) * 1979-12-10 1982-11-02 W. H. Brady Co. Laminated magnetic switch
US4570139A (en) * 1984-12-14 1986-02-11 Eaton Corporation Thin-film magnetically operated micromechanical electric switching device
DE3809597A1 (de) * 1988-03-22 1989-10-05 Fraunhofer Ges Forschung Mikromechanisches stellelement
EP0602538B1 (de) * 1992-12-15 1997-06-04 Asulab S.A. Schutzrohrschalter und Herstellungsverfahren für aufgehängte dreidimensionale metallische Mikrostrukturen
US5463233A (en) * 1993-06-23 1995-10-31 Alliedsignal Inc. Micromachined thermal switch
FR2721435B1 (fr) * 1994-06-17 1996-08-02 Asulab Sa Microcontacteur magnétique et son procédé de fabrication.

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