DE69633575D1 - Vorrichtung zur bestimmung der richtung und geschwindigkeit einer luftströmung - Google Patents

Vorrichtung zur bestimmung der richtung und geschwindigkeit einer luftströmung

Info

Publication number
DE69633575D1
DE69633575D1 DE69633575T DE69633575T DE69633575D1 DE 69633575 D1 DE69633575 D1 DE 69633575D1 DE 69633575 T DE69633575 T DE 69633575T DE 69633575 T DE69633575 T DE 69633575T DE 69633575 D1 DE69633575 D1 DE 69633575D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chip
pct
measuring
sec
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69633575T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69633575T2 (de
Inventor
Jan Verhoeven
Hendrik Huijsing
Arend Hagedoorn
Oudheusden Willem Van
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mierij Meteo BV
Original Assignee
Mierij Meteo BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mierij Meteo BV filed Critical Mierij Meteo BV
Application granted granted Critical
Publication of DE69633575D1 publication Critical patent/DE69633575D1/de
Publication of DE69633575T2 publication Critical patent/DE69633575T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Regulation And Control Of Combustion (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Looms (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)
DE69633575T 1995-05-30 1996-05-29 Vorrichtung zur bestimmung der richtung und geschwindigkeit einer luftströmung Expired - Fee Related DE69633575T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1000454A NL1000454C2 (nl) 1995-05-30 1995-05-30 Inrichting voor het bepalen van de richting en snelheid van een luchtstroom.
NL1000454 1995-05-30
PCT/NL1996/000212 WO1996038731A1 (en) 1995-05-30 1996-05-29 Device for determining the direction and speed of an air flow

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69633575D1 true DE69633575D1 (de) 2004-11-11
DE69633575T2 DE69633575T2 (de) 2006-02-09

Family

ID=19761086

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69633575T Expired - Fee Related DE69633575T2 (de) 1995-05-30 1996-05-29 Vorrichtung zur bestimmung der richtung und geschwindigkeit einer luftströmung

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6035711A (de)
EP (1) EP0888556B1 (de)
JP (1) JPH11505929A (de)
AT (1) ATE278968T1 (de)
AU (1) AU5846296A (de)
DE (1) DE69633575T2 (de)
DK (1) DK0888556T3 (de)
ES (1) ES2225885T3 (de)
NL (1) NL1000454C2 (de)
WO (1) WO1996038731A1 (de)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002019085A1 (fr) * 2000-08-29 2002-03-07 Omron Corporation Dispositif de pointage
US6502459B1 (en) * 2000-09-01 2003-01-07 Honeywell International Inc. Microsensor for measuring velocity and angular direction of an incoming air stream
JP3825242B2 (ja) 2000-10-17 2006-09-27 株式会社山武 フローセンサ
EP1223411A1 (de) * 2001-01-12 2002-07-17 Lidact GmbH Universeller Messaufnehmer zur Messung der Scherspannung, des Massendurchflusses oder der Geschwindigkeit eines Fluids oder Gases, zur Bestimmung der Tropfenzahl sowie zur Tropf- oder Leckdetektion
CH694974A5 (de) * 2001-04-23 2005-10-14 Sensirion Ag Flusssensor mit Substrat.
DE602006019548D1 (de) * 2006-03-31 2011-02-24 Sensirion Holding Ag Durchflusssensor mit Thermoelementen
EP1965179B1 (de) * 2007-02-28 2017-04-12 Sensirion Holding AG Strömungsdetektorvorrichtung mit Eigenüberprüfung
DE202007003027U1 (de) * 2007-03-01 2007-06-21 Sensirion Ag Vorrichtung zur Handhabung von Fluiden mit einem Flußsensor
EP2187182B1 (de) * 2008-11-12 2015-08-05 Sensirion AG Verfahren zum Betrieb eines Durchflusssensors, der wiederholt einem thermischen und/oder chemischen Reinigungsprozess ausgesetzt ist, und Durchflussmessgerät
CN105527454B (zh) * 2016-01-19 2018-11-16 东南大学 一种高灵敏热式风速传感器及其封装方法
JP7383875B2 (ja) * 2019-01-23 2023-11-21 ミネベアミツミ株式会社 流向流速測定装置
US10775217B1 (en) 2019-04-19 2020-09-15 Honeywell International Inc. Thermophile-based flow sensing device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE391036B (sv) * 1973-12-03 1977-01-31 Elektronik Konstruktions Ab Anordning for metning och/eller overvakning av ett strommande mediums stromningshastighet
DE2900220A1 (de) * 1979-01-04 1980-07-17 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums
NL177629C (nl) * 1979-07-09 1985-10-16 Brooks Instr Bv Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter.
JPS60247170A (ja) * 1984-05-22 1985-12-06 Toshiba Corp 半導体流速検出器
NL8702229A (nl) * 1987-09-18 1989-04-17 Bronkhorst High Tech Bv Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter.
NL8901500A (nl) * 1989-06-13 1991-01-02 Bronkhorst High Tech Bv Inrichting voor het bepalen van de snelheid en richting van een stromend medium.
DE9006967U1 (de) * 1990-06-22 1991-10-24 Sensycon Gesellschaft für industrielle Sensorsysteme und Prozessleittechnik mbH, 30179 Hannover Widerstandselement

Also Published As

Publication number Publication date
US6035711A (en) 2000-03-14
EP0888556B1 (de) 2004-10-06
ES2225885T3 (es) 2005-03-16
EP0888556A1 (de) 1999-01-07
ATE278968T1 (de) 2004-10-15
DE69633575T2 (de) 2006-02-09
DK0888556T3 (da) 2005-01-31
AU5846296A (en) 1996-12-18
WO1996038731A1 (en) 1996-12-05
JPH11505929A (ja) 1999-05-25
NL1000454C2 (nl) 1996-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69633575D1 (de) Vorrichtung zur bestimmung der richtung und geschwindigkeit einer luftströmung
DE69636183D1 (de) Vorrichtung zur Prüfung von Halbleitersubstraten
DE3382139D1 (de) Vorrichtung zur thermischen entwicklung und uebertragung.
DE69025036D1 (de) Verbessertes Gerät zur Kühlung von elektronischen Bausteinen
DE69123508D1 (de) Vorrichtung zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben
DE69122651D1 (de) Sonde mit Drallfederkontakt zur Prüfung von gedruckten Schaltkreisen
DE69110437D1 (de) Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von länglichen Elementen mit annähernd konstantem Querschnitt.
DE68907300D1 (de) Vorrichtung zur temperaturdetektion in einer anordnung von integrierten schaltkreisen.
DE69113537D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Musterprüfung gedrukter Schaltungsplatten.
DE3567102D1 (en) An apparatus for measuring the quantity of airflow passing through an intake passage of an engine
ES513838A0 (es) "dispositivo para montar e interconectar componentes electronicos".
DE58906862D1 (de) Vorrichtung zur ultraschallkontaktierenden Drahtverbindung an elektronischen Komponenten.
DE69009531D1 (de) Vorrichtung zur optischen Feststellung der Montageposition von elektronischen Schaltungsbauteilen.
TW245879B (de)
DE69809473D1 (de) Temperaturmessvorrichtung für Leiterplatte und Lufgeschwindigkeitsmessvorrichtung
FR2525852B1 (fr) Appareil de montage de broches de section carree sur des plaquettes de circuit imprime
DE69201314D1 (de) Vorrichtung zur Bearbeitung von Halbleitersubstraten.
IT8847714A0 (it) Dispositivo e procedimento per misurazioni altamente accurate su tessuti coesionati o feltri fibrosi
DE19580944T1 (de) Vorrichtung zur Positionierung eines ICs
DE59503466D1 (de) Vorrichtung zur lageerkennung der anschlüsse von bauelementen
DE69627931D1 (de) Schaltungsleiterplatte zur Halbleiterchipmontage und Vorbereitungsverfahren dafür
FR2592490B1 (fr) Procede et dispositif de mesure de la resistance thermique d'un echantillon tel que notamment un composant de circuit electronique.
FI970358A (fi) Menetelmä ja järjestelmä mittausvälineen siirtämiseen testauskohteen yllä
SE9404083D0 (sv) Förfarande, anordning och kretskort för test av elektroniska komponenter
KR970002349A (ko) 인쇄회로기판의 칩부품 장착 상태 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee