DE69628131D1 - Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, damit hergestellter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und mit diesem Kopf montierte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung - Google Patents

Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, damit hergestellter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und mit diesem Kopf montierte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung

Info

Publication number
DE69628131D1
DE69628131D1 DE69628131T DE69628131T DE69628131D1 DE 69628131 D1 DE69628131 D1 DE 69628131D1 DE 69628131 T DE69628131 T DE 69628131T DE 69628131 T DE69628131 T DE 69628131T DE 69628131 D1 DE69628131 D1 DE 69628131D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
jet recording
liquid jet
head
recording head
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69628131T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69628131T2 (de
Inventor
Toshio Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE69628131D1 publication Critical patent/DE69628131D1/de
Publication of DE69628131T2 publication Critical patent/DE69628131T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1635—Manufacturing processes dividing the wafer into individual chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/19—Rotary cutting tool
    • Y10T407/1902—Gang
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/19—Rotary cutting tool
    • Y10T407/1952—Having peripherally spaced teeth
    • Y10T407/196—Varying in cutting edge profile
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00—Cutting
    • Y10T83/02—Other than completely through work thickness
    • Y10T83/0304—Grooving
DE1996628131 1995-12-26 1996-12-23 Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, damit hergestellter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und mit diesem Kopf montierte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung Expired - Fee Related DE69628131T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35153795 1995-12-26
JP35153795 1995-12-26
JP35184495 1995-12-27
JP35184495 1995-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69628131D1 true DE69628131D1 (de) 2003-06-18
DE69628131T2 DE69628131T2 (de) 2004-02-26

Family

ID=26579419

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1996628131 Expired - Fee Related DE69628131T2 (de) 1995-12-26 1996-12-23 Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, damit hergestellter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und mit diesem Kopf montierte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6055729A (de)
EP (1) EP0786347B1 (de)
DE (1) DE69628131T2 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4669138B2 (ja) * 2001-02-22 2011-04-13 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
DE602005022448D1 (de) * 2004-06-28 2010-09-02 Canon Kk Ekopfs und unter verwendung dieses verfahrens erhaltener flüssigkeitsausgabekopf
US20110126688A1 (en) * 2008-05-26 2011-06-02 Masanobu Soyama Scribing apparatus for thin film solar cell

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US543608A (en) * 1895-07-30 Island
CA1127227A (en) 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5936879B2 (ja) * 1977-10-14 1984-09-06 キヤノン株式会社 熱転写記録用媒体
US4330787A (en) 1978-10-31 1982-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4345262A (en) 1979-02-19 1982-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method
US4463359A (en) 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4334234A (en) * 1979-04-02 1982-06-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid droplet forming apparatus
US4313124A (en) 1979-05-18 1982-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording process and liquid jet recording head
US4558333A (en) 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS59123670A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc インクジエツトヘツド
JPS59138461A (ja) * 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
JPS6071260A (ja) * 1983-09-28 1985-04-23 Erumu:Kk 記録装置
JPH0645242B2 (ja) * 1984-12-28 1994-06-15 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツドの製造方法
JPS62117013U (de) * 1986-01-16 1987-07-25
US4844666A (en) * 1986-08-22 1989-07-04 Izumo Industrial Co., Ltd. Insert rotary cutting tool
JPH0248953A (ja) * 1988-05-13 1990-02-19 Canon Inc インクジェット記録ヘッドおよびその表面処理方法
US5581285A (en) * 1988-05-13 1996-12-03 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head with discharge opening surface treatment
US4878992A (en) * 1988-11-25 1989-11-07 Xerox Corporation Method of fabricating thermal ink jet printheads
JP3139511B2 (ja) * 1990-11-09 2001-03-05 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッド
DE69321764T2 (de) * 1992-06-04 1999-05-06 Canon Kk Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren, nach dem Verfahren hergestellter Tintenstrahlkopf und Tintenstrahlgerät damit versehen
EP0594110B1 (de) * 1992-10-20 2000-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Farbstrahldruckkopf, dessen Herstellungsverfahren und zugehöriges Farbstrahlgerät
EP0678387B1 (de) * 1994-04-20 1998-12-02 Seiko Epson Corporation Tintenstrahlaufzeichungsgerät und Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes

Also Published As

Publication number Publication date
EP0786347A2 (de) 1997-07-30
DE69628131T2 (de) 2004-02-26
EP0786347A3 (de) 1997-09-10
US6055729A (en) 2000-05-02
EP0786347B1 (de) 2003-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69617540T2 (de) Mikrogerät, damit ausgerüsteter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung mit diesem Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf
DE69731032D1 (de) Flüssigkeitsausstosskopf, Wiederherstellungsverfahren und Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsausstosskopf und diesen Kopf verwendende Flüssigkeitsausstossvorrichtung
DE69725067D1 (de) Flüssigkeitsausstosskopf, Kassette für einen Flüssigkeitsausstosskopf und Flüssigkeitsausstossapparat
DE68914897T2 (de) Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und Aufzeichnungsgerät, versehen mit diesem Kopf.
DE69424131T2 (de) Tintenstrahlaufzeichnungskopf, Tintenstrahleinheit und Tintenstrahlgerät mit diesem Aufzeichnungskopf
DE69224583D1 (de) Trägermaterial für Flüssigkeitsaufzeichnungskopf, Herstellungsverfahren dafür, Flüssigkeitsaufzeichnungskopf und Flüssigkeitsaufzeichnungsvorrichtung
DE69528444T2 (de) Tintenstrahlaufzeichnungskopf, sein Herstellungsverfahren und Aufzeichnungsvorrichtung
DE69533629D1 (de) Tintenbehälter, damit versehenerTintenstrahldruckkopf, Tintenstrahlgerät mit einem solchen Tintenbehälter und Herstellungsverfahren des Tintenbehälters
DE69530967D1 (de) Tintenbehälter, Tintenkartusche, Tintenstrahlgerät und Herstellungsverfahren dafür
DE69801147D1 (de) Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung mit Zwischenbehälter zwischen Tintenvorratsbehälter und Aufzeichnungskopf
DE69528094T2 (de) Farbstoff, diesen enthaltende Druckfarbe und Tintenstrahlaufzeichnungsverfahren und Gerät die Druckfarbe verwendend
DE69422949D1 (de) Aufzeichnungsgerät, Substrat für Aufzeichnungskopf und Herstellungsverfahren dafür
DE69525669T2 (de) Substrat für Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlschreiber und Tintenstrahlgerät
DE69815470T2 (de) Tintenstrahlaufzeichnungskopf, Verfahren zu dessen Herstellung und damit versehendem Aufzeichnungsgerät
DE69229767T2 (de) Tintenstrahlkopfherstellungsverfahren, Tintenstrahlkopf und Tintenstrahlgerät
DE69511348D1 (de) Substrat für einen Flüssigkeitsstrahlkopf, Flüssigkeitsstrahlkopf zur Verwendung desselben und diesen verwendender Flüssigkeitsstrahlapparat
DE69825000D1 (de) Tintenstrahlkopf, sein Herstellungsverfahren, und Tintenstrahlgerät damit versehen
DE69219770T2 (de) Polykristalline silicium enthaltende grundplatte für einen flussigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, sein herstellungsverfahren, flussigkeitsstrahlaufzeichnungskopf damit versehen, und flussigkeitsstrahlaufzeichnungsgerät
DE69423584D1 (de) Flüssigkeitsstrahlkopf, Flüssigkeitsstrahlkopfkassette und Flüssigkeitsstrahlvorrichtung
DE3885241T2 (de) Trägerschicht für Flüssigkeitsstrahlkopf und Flüssigkeitsstrahlvorrichtung, versehen mit solch einem Kopf.
DE69823461D1 (de) Flüssigkeitsausstosskopf, Herstellungsverfahren des Flüssigkeitsausstosskopfes, Kassette mit diesem Flüssigkeitsausstosskopf und Flüssigkeitsausstossvorrichtung
DE69607291T2 (de) Elektrostatischer Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Aufzeichnungsvorrichtung mit diesem Kopf
DE69628131D1 (de) Herstellungsverfahren für einen Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, damit hergestellter Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und mit diesem Kopf montierte Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsvorrichtung
DE69224897T2 (de) Polykristalline silicum enthaltende grundplatte für einen flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, sein herstellungsverfahren, flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf damit versehen und flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsgerät
EP0653305A3 (de) Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf, Verfahren seiner Herstellung und Aufzeichnungsgerät damit versehen.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee