DE69610287D1 - Korpuskularoptisches gerät mit einer festen blende für den monochromatorfilter - Google Patents

Korpuskularoptisches gerät mit einer festen blende für den monochromatorfilter

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6288401B1 (en) * 1999-07-30 2001-09-11 Etec Systems, Inc. Electrostatic alignment of a charged particle beam
US6410924B1 (en) * 1999-11-16 2002-06-25 Schlumberger Technologies, Inc. Energy filtered focused ion beam column
US6495826B2 (en) * 2000-04-10 2002-12-17 Jeol, Ltd. Monochrometer for electron beam
GB0320187D0 (en) * 2003-08-28 2003-10-01 Shimadzu Res Lab Europe Ltd Particle optical apparatus
CN100470216C (zh) * 2007-10-30 2009-03-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 不同类型光谱仪的对比方法
EP2128885A1 (de) 2008-05-26 2009-12-02 FEI Company Quelle für geladene Teilchen mit integriertem Energiefilter
DE102010030372B4 (de) * 2010-06-22 2012-02-16 Dreebit Gmbh Vorrichtung zur Strukturierung von Festkörperflächen mit Ionenstrahlen aus einem Ionenstrahlspektrum
EP2453461A1 (de) 2010-11-10 2012-05-16 FEI Company Quelle für geladene Teilchen mit integriertem elektrostatischen Energiefilter
US8183526B1 (en) 2011-02-11 2012-05-22 Electron Optica Mirror monochromator for charged particle beam apparatus
US8592761B2 (en) 2011-05-19 2013-11-26 Hermes Microvision Inc. Monochromator for charged particle beam apparatus
US8274046B1 (en) 2011-05-19 2012-09-25 Hermes Microvision Inc. Monochromator for charged particle beam apparatus
US9111715B2 (en) 2011-11-08 2015-08-18 Fei Company Charged particle energy filter
US8436317B1 (en) 2011-11-09 2013-05-07 Hermes-Microvision, Inc. Wien filter
US9767984B2 (en) 2014-09-30 2017-09-19 Fei Company Chicane blanker assemblies for charged particle beam systems and methods of using the same
JP7029933B2 (ja) * 2017-11-02 2022-03-04 日本電子株式会社 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法
EP3489989B1 (de) 2017-11-27 2020-07-08 FEI Company Ladungsträgerteilchenmikroskop mit einstellbarer strahlenergiespreizung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1074625A (en) * 1963-04-24 1967-07-05 Ass Elect Ind Improvements relating to magnetic spectrometers
NL7404363A (nl) * 1974-04-01 1975-10-03 Philips Nv Elektronenmikroskoop met energieanalysator.
JPH06101318B2 (ja) * 1985-10-16 1994-12-12 株式会社日立製作所 イオンマイクロビ−ム装置
US4743756A (en) * 1987-08-10 1988-05-10 Gatan Inc. Parallel-detection electron energy-loss spectrometer
EP0555911B1 (de) * 1992-02-12 1999-01-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung
EP0647960B1 (de) * 1993-05-21 1997-03-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Energiefilter mit Korrektur von chromatischen Aberrationen zweiter ordnung
US5386115A (en) * 1993-09-22 1995-01-31 Westinghouse Electric Corporation Solid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor

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EP0795196A1 (de) 1997-09-17

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