DE69501533D1 - Partikel-optisches instrument mit einer ablenkeinheit für sekundärelektronen - Google Patents

Partikel-optisches instrument mit einer ablenkeinheit für sekundärelektronen

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DE69501533D1
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deflecting
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Alexander Henstra
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EP0699341B1 (de) 1998-01-28
JPH08510596A (ja) 1996-11-05
US5510617A (en) 1996-04-23
EP0699341A1 (de) 1996-03-06
WO1995026041A1 (en) 1995-09-28

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