DE69400404D1 - Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat - Google Patents

Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat

Info

Publication number
DE69400404D1
DE69400404D1 DE69400404T DE69400404T DE69400404D1 DE 69400404 D1 DE69400404 D1 DE 69400404D1 DE 69400404 T DE69400404 T DE 69400404T DE 69400404 T DE69400404 T DE 69400404T DE 69400404 D1 DE69400404 D1 DE 69400404D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
metal material
coating device
material onto
evaporating metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69400404T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69400404T2 (de
Inventor
Richard Pepi
Michel Garcia
Robert Meyer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pixtech SA
Original Assignee
Pixel International SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pixel International SA filed Critical Pixel International SA
Publication of DE69400404D1 publication Critical patent/DE69400404D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69400404T2 publication Critical patent/DE69400404T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
DE69400404T 1993-10-18 1994-10-17 Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat Expired - Fee Related DE69400404T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9312709A FR2711450B1 (fr) 1993-10-18 1993-10-18 Installation et procédé pour la fabrication d'écrans plats de visualisation.
PCT/FR1994/001195 WO1995011517A1 (fr) 1993-10-18 1994-10-17 Installation de depot d'un materiau metallique sur une plaque par evaporation
US08/491,446 US5605608A (en) 1993-10-18 1995-06-16 Device for sputtering a metallic material on a plate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69400404D1 true DE69400404D1 (de) 1996-09-26
DE69400404T2 DE69400404T2 (de) 1996-12-19

Family

ID=26230697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69400404T Expired - Fee Related DE69400404T2 (de) 1993-10-18 1994-10-17 Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5605608A (de)
EP (1) EP0674804B1 (de)
JP (1) JPH08511305A (de)
DE (1) DE69400404T2 (de)
FR (1) FR2711450B1 (de)
WO (1) WO1995011517A1 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH692000A5 (de) * 1995-11-13 2001-12-31 Unaxis Balzers Ag Beschichtungskammer, Substratträger hierfür, Verfahren zum Vakuumbedampfen sowie Beschichtungsverfahren.
CA2185640A1 (en) * 1995-11-30 1997-05-31 Russell J. Hill Electron beam evaporation apparatus and method
EP0837491A3 (de) * 1996-10-21 2000-11-15 Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha Vorrichtung zusammengesetzter Zerstäubungskathode und Zerstäubungsgerät mit solcher zusammengesetzten Kathode
AUPO712097A0 (en) * 1997-05-30 1997-06-26 Lintek Pty Ltd Vacuum deposition system
US20040250767A1 (en) * 2003-04-21 2004-12-16 Rohm And Haas Electronic Materials, L.L.C. Method and apparatus for coating a substrate using combustion chemical vapor deposition
US7837836B2 (en) * 2004-02-12 2010-11-23 Seagate Technology Llc Method and apparatus for multi-stage sputter deposition of uniform thickness layers
DE202016101274U1 (de) 2016-03-08 2016-03-14 Lo Laseroptik Gmbh Eine mit einer Ionenstrahlquelle ausgestattete Vorrichtung zur Beschichtung eines Substrates in einer Vakuumkammer

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4104418A (en) * 1975-09-23 1978-08-01 International Business Machines Corporation Glass layer fabrication
US4278528A (en) * 1979-10-09 1981-07-14 Coulter Systems Corporation Rectilinear sputtering apparatus and method
US4607593A (en) * 1983-12-23 1986-08-26 U.S. Philips Corporation Apparatus for processing articles in a controlled environment
JPS6171533A (ja) * 1984-09-12 1986-04-12 Futaba Corp 表示管の製造方法
US5084151A (en) * 1985-11-26 1992-01-28 Sorin Biomedica S.P.A. Method and apparatus for forming prosthetic device having a biocompatible carbon film thereon
FR2593953B1 (fr) * 1986-01-24 1988-04-29 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'un dispositif de visualisation par cathodoluminescence excitee par emission de champ
DE3925536A1 (de) * 1989-08-02 1991-02-07 Leybold Ag Anordnung zur dickenmessung von duennschichten
DE69033441T2 (de) * 1989-11-13 2000-05-18 Optical Coating Laboratory Inc., Santa Rosa Geometrie und Gestaltungen eines Geräts zum Magnetronzerstäuben
JP2936276B2 (ja) * 1990-02-27 1999-08-23 日本真空技術株式会社 透明導電膜の製造方法およびその製造装置
DE69232747T2 (de) * 1991-06-14 2003-01-02 Hughes Aircraft Co., Los Angeles Verfahren zum vertikalen Ausrichten von Flüssigkristallen

Also Published As

Publication number Publication date
FR2711450B1 (fr) 1996-01-05
EP0674804A1 (de) 1995-10-04
FR2711450A1 (fr) 1995-04-28
WO1995011517A1 (fr) 1995-04-27
DE69400404T2 (de) 1996-12-19
EP0674804B1 (de) 1996-08-21
JPH08511305A (ja) 1996-11-26
US5605608A (en) 1997-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE59408823D1 (de) Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
FR2641271B1 (fr) Substrat portant un revetement et procede de depot d'un tel revetement
DE59403364D1 (de) Metallbeschichtetes Substrat
DE69728063D1 (de) Verfahren zum beschichten mit mehreren flüssigen schichten auf einem substrat
DE69123802D1 (de) Verfahren zum Auftragen einer Dünnschicht auf ein Substrat durch Sputtern
FR2641272B1 (fr) Substrat portant un revetement multi-couches et procede de depot d'un tel revetement
DE3688385D1 (de) System und verfahren zum absetzen mehrerer duenner filmschichten auf ein substrat.
DE69619074D1 (de) Substratträgervorrichtung für eine Beschichtungskammer
FR2722202B1 (fr) Procede pour revetir un substrat et proteger un souflet de joint
DE59712557D1 (de) Düsenanordnung für eine Vorrichtung zum Auftragen von fliessfähigem Material auf ein Substrat
DE69635682D1 (de) Trocknungssystem für ein beschichtetes Substrat
DE59400133D1 (de) Handgerät zum Übertragen eines Films von einem Trägerband auf ein Substrat
DE69317985D1 (de) Methode zum Überwachen und/oder abgeben von Material auf ein Substrat
DE59707451D1 (de) Handgerät zum übertragen eines filmes von einem trägerband auf ein substrat
DE58908766D1 (de) Handgerät zum Übertragen eines Filmes von einer Trägerfolie auf ein Substrat.
DE59006671D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum elektrostatischen Aufsprühen einer Flüssigkeitsschicht auf ein Substrat und zum Trocknen der Flüssigkeitsschicht auf dem Substrat.
DE59007150D1 (de) Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten auf ein Substrat.
DE69107171D1 (de) Trocknungsverfahren und -vorrichtung für ein beschichtetes Substrat.
DE69107170D1 (de) Trocknungsverfahren und -vorrichtungen für ein beschichtetes Substrat.
DE59609093D1 (de) Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten auf ein Substrat
DE69726459D1 (de) Vorrichtung zum auftragen von proben auf ein substrat
NO964704D0 (no) Malingsbelegg for et lydabsorberende substrat
DE59703760D1 (de) Vakuumbehandelungsanlage zum Aufbringen von Schichten auf Substrate
FI920733A (fi) Laitteisto substraatin päällystämiseksi
DE69400404D1 (de) Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PIXTECH S.A., ROUSSET, FR

8339 Ceased/non-payment of the annual fee