DE69308298T2

DE69308298T2 - Messgerät-herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE69308298T2
Application number: DE69308298T
Authority: DE
Inventors: Olof S-430 63 Hindas Engstroem; Hans S-433 63 Partille Richert
Original assignee: Volvo AB
Current assignee: Samba Sensors Goeteborg/gotenburg Se AB
Priority date: 1992-05-05
Filing date: 1993-05-05
Publication date: 1997-09-11
Anticipated expiration: 2013-05-06
Also published as: ES2102073T3; ATE149248T1; EP0639266A1; US5619046A; EP0639266B1; SE9201439D0; SE9201439L; SE515191C2; JPH08504032A; WO1993022644A1; JP3409853B2; AU4031393A; DE69308298D1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Meßvorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 festgelegten Art. Außerdem betrifft die Erfindung eine Meß vorrichtung, die in Ubereinstimmung mit dem Verfahren hergestellt ist.
Die hauptsächliche Anwendung einer Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung besteht darin, den Druck in Verbrennungsmotorzylindern zu messen. Um den Wirkungsgrad des Motors zu optimieren, ist es erwünscht, in der Lage zu sein, den Druck der Abgase innerhalb des Zylinderkompressionsraums verzögerungsfrei zu messen. Es wäre vorteilhaft, eine zu diesem Zweck ausgelegte Vorrichtung in das vorhandene Zünd- und Kraftstoffeinspritzsystem des Fahrzeugs einzubauen, was mit Hilfe elektronischer Mittel geeigneter Konfiguration zu sorgfältig gesteuerten Kraftstoffeinspritzbedingungen und zu einem vorteilhafteren Verbrennungsprozeß führen könnte. Infolge davon wäre es möglich, einen stärker optimierten Zündpunkt zu erzielen und eine vollständigere Kraftstoffverbrennung und infolge davon eine Verbesserung des Motorwirkungsgrads.
Höhere Drücke und Temperaturen sowie ernsthafte elektrische Störungen sind charakteristisch für die speziell extremen Umgebungsbedingungen, denen ein Drucksensor ausgesetzt ist, der im Zylinder angeordnet ist. Außerdem müssen Drucksensoren dieses Typs in Verbindung mit dem Herstellungsprozeß in einer großen Anzahl von Fahrzeugen eingebaut werden, die in Großserie hergestellt werden, weshalb sie als Bestandteil des elektrischen Systems des Fahrzeugs eingebaut werden müssen. Ein Drucksensor dieser Art muß deshalb mehrere hohe Anforderungen in bezug auf die Genauigkeit, Zuverlässigkeit, und nicht zuletzt niedrige Herstellungskosten und eine zufriedenstellende Reproduzierbarkeit des Herstellungsprozesses erfüllen.
Angesichts der umgebungsbedingungen im Zylinder ist es schwierig, Druckmessungen auf Grundlage einer direkten Wandlung in elektrische Größen zu bewirken. Eine Lösung auf Grundlage einer Faseroptik, gemäß welcher der Sensorkörper hauptsächlich aus Silizium besteht und die Wandlung des Signals vom Druck in eine mechanische Größe, die ihrerseits in eine optische Größe gewandelt wird, die durch eine optische Faser übertragen wird, würde die erforderlichen Vorteile bereitstellen, um das Meßproblem zu lösen. Bislang existieren jedoch keine Sensoren, die in der Lage sind, den Umweltbedingungen zu Kosten zu widerstehen, die aus dem produktionswirtschaftlichen Gesichtspunkt akzeptabel sind.
Relevante Vorrichtungen in diesem Hinblick sind Drucksensoren auf Grundlage des Prinzips, demnach der Umgebungsdruck die Dicke eines Hohlraums beeinflußt, der im Sensor gebildet ist, und wobei eine optische Interferenz innerhalb des Hohlraums erzeugt wird, wenn einfallendes Licht den Hohlraum über eine optische Faser trifft. Das Verfahren basiert auf der Verwendung eines Resonators, der als Fabry-Perot-Resonator bekannten Art. Eine faseroptische Vorrichtung dieser Art für Druckmessungen ist bereits aus der deutschen Patentschrift DE- 3 611 852 bekannt. Diese Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik weist einen Fabry-Pérot-Resonator auf, der an einem Ende einer optischen Faser angeordnet ist. Ein optisches Signal, das der Faser zugeführt wird, wird durch den Fabry- Pérot-Resonatar mit einer Intensität reflektiert, die vom Druck abhängt, der den Resonator beeinflußt.
Die Vorrichtung gemäß dieser deutschen Veröffentlichung zielt jedoch primär darauf ab, den Blutdruck im menschlichen Körper zu messen, und deshalb ist sie für vergleichsweise niedrige Drücke im Bereich von 1 bar ausgelegt, und für Temperaturen im Bereich von 20 bis 40ºC, d.h. nahe an Raumtemperaturen. Der zu messende Druck innerhalb eines Verbrennungsmotorzylinders kann andererseits bei normalen Betriebstemperaturen von 250ºC bis hin zu 200 bar betragen. Zusätzlich zu den Anforderungen an die Produktionsausbeute, wie vorstehend erläutert, muß ein Sensor dieser Art deshalb auch die hohen Anforderungen hinsichtlich Material, Herstellungstechnik und Zuverlässigkeit erfüllen, und der in der DE-3 611 852 offenbarte Sensor ist hierzu nicht geeignet.
Ein der vorstehend genannten Vorrichtung innewohnender weiterer Nachteil betrifft die Art und Weise der Befestigung der optischen Faser, die in ihr vorgesehen ist, am Sensorkorper. Der Sensorkörper soll mit der Faser mittels Klemmen verbunden werden. Dieses Befestigungsverfahren, ebenso wie dauerhaftere Anbringungsverfahren, wie etwa Kleben, sind jedoch nicht ausreichend stark oder widerstandsfähig gegenüber Druck und Hitze, um die Anforderungen dieser Vorrichtungen zu erfüllen, die für Anwendungen der in Betracht stehenden Art, auf die die vorliegende Erfindung gerichtet ist, bestimmt sind. Außerdem stört die Klebeschicht, die vom Kleben einer optischen Faser an den Sensorkörper herrührt, den Pfad der Lichtstrahlen in den Sensorkörper hinein und aus diesem heraus.
Eine weitere Vorrichtung zum Messen von Druck mit einem Hohlraum vom Fabry-Perot-Resonator-Typ ist in der US-A-4 825 262 offenbart. Diese Druckschrift beschreibt ein Fabry-Perot-Interferometer mit einem Einkristall-Siliziumsubstrat mit einem integral gebildeten Diaphragma, das zwischen Wänden getragen ist. Ein Glassubstrat ist benachbart zum Substrat mit einem dazwischen eingebetteten Abstandhalter angebracht. Die Abstandhalterschicht ist um den Umkreis des Substrats herum aufgewachsen, und das Glassubstrat ist mit der Abstandhalterschicht verbunden bzw. gebondet. Dieser Sensor ist dazu ausgelegt, in Mikrophonen und Hydrophonen Anwendung zu finden, und als solcher ist er für vergleichsweise niedrige Drücke ausgelegt.
Die vorliegende Erfindung ist deshalb mit einem Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Messen der Drücke in einer Umgebung befaßt, in welcher hohe Drücke und Temperaturen ebenso vorherrschen wie ernsthafte elektrische Störungen, welche Vorrichtung außerdem unter niedrigen Kosten hergestellt und eingebaut werden kann. Diese Ziele werden mittels eines Verfahrens und einer Vorrichtung erreicht, deren spezielle Merkmale in den Kennzeichnungsteilen der Ansprüche 1 und 4 festgelegt sind.
Das Anbringungs- oder Befestigungsproblem wird in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das als "Siliziumdirektbondieren" bekannt ist, auf das im folgenden als SDB bezug genommen wird. Dieses Verfahren, das seit 1986 bekannt ist (Lasky, Applied Physics Letters, Band 48, 5. 78, 1986) ermöglicht es, Silizium auf Silizium, Silizium auf Siliziumdioxid und Siliziumdioxid auf Siliziumdioxid zu bondieren. Der diesbezügliche Bondierprozeß wird durch Kontaktieren von zwei polierten Oberflächen von einer der vorstehend genannten Materialkombinationen bei einer Temperatur von 700 bis 1000ºC bewirkt (Bengtsson und Engström, Journal of Applied Physics, Band. 66, S. 1231, 1989, und Journal of Electrochemical Society, 137, 5. 2297, 1990). Die derart hergestellte Bondierung hat eine Zugfestigkeit entsprechend der Festigkeit der Bondiermaterialien als solche, und sie sind äußerst temperaturbeständig.
Die Erfindung erlaubt es, daß der faseroptische Drucksensor in einem mechanischen Herstellungsprozeß hergestellt wird. Da der Sensorkörper aus Silizium besteht, steht die hochentwickelte Siliziumtechnik, die zur Herstellung gedruckter Schaltungen eingesetzt wird, für eine effiziente Chargen-Produktion von Sensorkörpern zur Verfügung.
Weitere Eigenschaften und spezielle Merkmale erschließen sich aus den abhängigen Ansprüchen und der folgenden detaillierten Beschreibung verschiedener Ausführungsformen in bezug auf die beiliegenden Zeichnungen; es zeigen:
Fig. 1 den Aufbau eines Fabry-Perot-Resonators,
Fig. 2 einen Drucksensor gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 3 Beispiele von Ergebnissen, die aus Messungen erhalten wurden, die mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeführt wurden,
Fig. 4 und 5 alternative Ausführungsformen der Erfindung, während
Fig. 6 ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Gegenstands zeigt,
Fig. 7 schematisch ein Druckmeßsystem zeigt, und
Fig. 8 ein mögliches Montageverfahren einer Meßvorrichtung in einem Motorzylinder zeigt.
Fig. 1 zeigt das an sich bekannte Arbeitsprinzip eines Fabry- Perot-Resonators. Licht, das in den Hohlraum 1 einfällt, wird durch beide Innenflächen desselben reflektiert. Resonanz wird erzeugt, wenn die Breite d des Hohlraums gleich einer Anzahl von Halbwellenlängen des Einfallslichts ist (d = (λ/2) x n, wobei n = 0, 1, 2 ...). In diesem Fall wird aus dem Hohlraum 1 kein Licht rückflektiert. Durch Variieren von d läuft die Intensität des reflektierten Lichts derart durch eine Anzahl von Maximal- und Minimalwerten, abhängig von der Beziehung zwischen der Breite d und der Wellenlänge des Lichts. Dieses Prinzip kann zu Druckmeßzwecken eingesetzt werden, weil davon ausgegangen werden kann, daß d vom Druck p um den Hohlraum 1 abhängt.
Fig. 2 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Zwei unterschiedliche Siliziumteile 2 und 3 sind mittels einer Schicht 4 aus Siliziumdioxid, die strukturiert ist, verbunden bzw. bondiert. Das derart hergestellte Sensorelement wird seinerseits mit dem Ende einer optischen Faser 5 unter Verwendung des SDB-Verfahrens verbunden. Da eines, 2, der Siliziumteile mit dem Silizium lediglich über einen begrenzten Abschnitt seiner Fläche beschichtet ist, ist ein Hohlraum 6 zwischen den Siliziumteilen 2 und 3 nach dem Bondieren gebildet, dessen Breite d durch die Dicke der Siliziumdioxid-Beschichtung 4 bestimmt ist. Es besteht keine Möglichkeit, das Anbringen der Siliziumdioxid-Beschichtung 4 an dem anderen Siliziumteil 3 ebenfalls zu verhindern, oder das Anbringen von strukturiertem Siliziumdioxid an beiden Siliziumteilen 2, 3. Die Vorrichtung ist in Fig. 2a vor dem Miteinanderverbinden gezeigt, während Fig. 2b das Endergebnis nach dem Verbindungsprozeß zeigt. Die Breite d des Hohlraums ist kritisch und muß mit einer Genauigkeit von Bruchteilen der Lichtwellenlänge λ des Interferenzlichts hergestellt werden, wenn reproduzierbare Sensorkörper in einem Herstellungsprozeß erhalten werden sollen. Aus diesem Grund wird die Siliziumdioxid-Schicht 4 bevorzugt durch thermische Oxidation erhalten. Dieser Prozeß ist in der Halbleitertechnik gut bekannt und führt seinerseits zu einer ausreichend präzisen Vorhersage der Dicke der Siliziumdioxid-Schicht 4. Auch bei dem Verfahren zum Anordnen von Oxid in einem Muster oder einer Struktur auf einer Siliziumoberfläche ist eine Routinepraxis in der Halbleitertechnik und kann mit äußerster Genauigkeit im Hinblick auf die Musterabmessungen ausgeführt werden. Bondieren unter Verwendung der SDB-Technik wird in einem Ofen bei einer Temperatur von etwa 1000ºC bewirkt. Die Druckempfindlichkeit wird durch die Dicke b von einem, 2, der Siliziumteile bestimmt. Diese Dicke b kann durch gut bekannte Ätzverfahren sorgfältig ermittelt werden, die in der Halbleitertechnik eingesetzt werden.
Fig. 3 zeigt ein Meßergebnis, das mit einem Sensor erhalten wird, der in Ubereinstimmung mit Fig. 2 hergestellt ist. In diesem Fall betrug die Wellenlänge λ des Lichts ungefähr 1,4 µm und die Breite des Hohlraums 6 lag in derselben Größenordnung. Ein Druck von p = 0 ergibt deshalb einen Minimalwert für das innerhalb der Faser reflektierte Lichtsignal. Ein Druck von ungefähr p = 4,5 bar ergibt einen Maximalwert und die Resonanz tritt erneut bei 9 bar auf, wenn die Breite des Hohlraums 6 um die Hälfte verringert ist. Ein Sensor dieser Art ist zum Gebrauch innerhalb eines Druckbereichs von 0 bis 4 bar wohl am geeignetsten. Der Druckbereich kann leicht geändert werden, indem die Dicke b des Siliziumteils 2 geändert wird.
Der Drucksensor gemäß Fig. 2 hat den Nachteil, daß es möglich sein muß, das Licht durch das Siliziumteil 3 hindurch zu übertragen, das innerhalb des Resonators verwendet wird, der durch den Hohlraum 6 gebildet ist. Dies legt eine Beschränkung im Hinblick auf den nutzbaren Wellenlängenbereich des Lichts auf. Seine Photoenergie muß kleiner sein als die Bandlücke von Silizium, um den Durchtritt des Lichts zu erlauben. Mit anderen Worten, können nur solche Wellenlängen verwendet werden, die 1,1 µm übersteigen. Kommerziell verfügbare Lichtquellen und -detektoren für diese Wellenlängenbereiche sind jedoch vergleichsweise teuer. Eine Möglichkeit, dieses Problem zu vermeiden, besteht in der Verwendung eines Siliziumteils 3 mit einer Dicke mit denselben Abmessungen wie die Eindringtiefe des Lichts, das verwendet wird. Für eine Wellenlänge von 0,9 µm des Lichts, die derjenigen Wellenlänge von kommerziellen lichtemittierenden Dioden aus Galliumarsenid entspricht, beträgt die Eindringtiefe etwa 10 µm. Um einen Siliziumkörper 3 mit einer Dicke dieser Größenordnung herzustellen, kann eine verfügbare Ätztechnik mit gutem Ergebnis verwendet werden.
In Übereinstimmung mit einer weiteren Ausführungsform wird das Problem dadurch gelöst, daß das Siliziumteil 3 durch ein Material ersetzt wird, das für Licht kürzerer Wellenlängen durchlässig ist, und das selbst das Bondieren mit Siliziumdioxid unter Verwenden der SDB-Technik zuläßt. Beispiele von Materialien dieser Art sind Quarz oder Saphir.
Noch eine weitere Lösung ist in Fig. 4 gezeigt, gemäß welcher der Siliziumkörper 2 mit der Siliziumdioxid-Schicht 4, die darauf angebracht ist, direkt mit der optischen Faser 5 mittels der SDB-Bondiertechnik verbunden wird. In diesem Fall ist der Hohlraum 6 zwischen der Oberfläche der optischen Faser 5 und der Innenseite des Siliziumteils 2 gebildet, und infolge davon ist er für Licht willkürlicher Wellenlänge zugänglich.
Weitere Ausführungsformen sind möglich, entsprechend welchen andere Materialien als thermisches Siliziumdioxid als die Schicht eingesetzt wird, welche die Breite d bestimmt. Siliziumdioxid, das durch ein chemisches Verfahren (dasjenige Verfahren, das als chemische Dampfabscheidung, CVD, bekannt ist) aufgebracht wird, Siliziumnitrid, polykristallines oder amorphes Silizium sind weitere Beispiele. Sämtliche dieser Materialien sind aus der Halbleitertechnik gut bekannt.
Wie in Fig. 5 gezeigt, ist es möglich, in Übereinstimmung mit einer weiteren Ausführungsform eine kontrollierte Breite a des Hohlraums 6 durch Bilden eines Hohlraums direkt in der Masse des Siliziumteils 7 zu erhalten. In diesem Fall wird das Siliziumteil 7 direkt mit der optischen Faser 5 ohne irgendeine Zwischenschicht (siehe Schicht 4 in Fig. 2 und 4) verbunden. In Übereinstimmung mit dieser Ausführungsform wird der Hohlraum 6 in der in Fig. 6 gezeigten Weise hergestellt. Eine Siliziumscheibe 8 wird oxidiert, um eine vergleichsweise dicke Siliziumdioxid-Schicht über der gesamten Scheibenoberfläche herzustellen. Eine Öffnung 10 wird in das Siliziumdioxid unter Verwendung der Standard-Halbleitertechnik geätzt, wie in Fig. 6a gezeigt. Die Scheibe wird daraufhin einer zusätzlichen thermischen Oxidation unterworfen. Eine neue Siliziumdioxid-Schicht 11 wächst daraufhin innerhalb der öffnung (Fig. 6b) 9 Bei der thermischen Oxidation des Siliziums wird die Grenzfläche zwischen dem Siliziumdioxid und dem Silizium unter einem Abstand von der ursprünglichen Siliziumoberfläche gebildet, die ungefähr der Hälfte der Dicke der Siliziumdioxid-Schicht 11 entspricht. Da die Siliziumdioxid- Schicht 9 als Maske wirkt, die eine Oxidation des Rests der Siliziumoberfläche verhindert, wird die Siliziumdioxid/Siliziumgrenzfläche auf einer niedrigeren Höhe in der öffnung 10 angeordnet, als die Siliziumdioxid/Siliziumgrenzfläche im Rest der Scheibe. Durch darauffolgendes Ätzen der Scheibe mit einem Ätzmittel, das selektiv wirkt und lediglich Oxide ätzt (wie etwa HF), wird eine reine Siliziumoberfläche erhalten, die ein Pit 12 derjenigen Tiefe enthält, die durch die Dicke des Oxids bestimmt ist, das in der Öffnung 11 gewachsen ist (Fig. 6c). Auf diese Weise wird ein erhöhter Abschnitt 13 um das Pit 12 herum gebildet. Die Tiefe des Pit 12 kann durch sehr präzises Ermitteln im voraus bestimmt werden, weil es möglich ist, die Dicke der Siliziumdioxid-Schicht mit großer Genauigkeit vorherzusagen, und sie wird in derselben Weise verwendet wie der Hohlraum 6 in der Ausführungsform gemäß Fig. 5.
In Übereinstimmung mit noch einer weiteren Ausführungsform kann ein Siliziumteil 7 (gemäß Fig. 5) an ein Siliziumteil 3 gebondet werden, woraufhin der derart hergestellte Sensorkörper mit dem Ende der optischen Faser 5 verbunden wird.
Fig. 7 zeigt schematisch ein Druckmeßsystem, das eines der Sensorelemente 18 enthzlt, die vorstehend erläutert sind. Das System weist eine Lichtquelle in Form einer lichtemittierenden Diode 14 auf, die mit einer Stromquelle 15 verbunden ist. Die lichtemittierende Diode ist mit einem Zweig 16 einer verzweigten optischen Faser 17 verbunden. Das Licht von der Diode 14 wird durch die Faser zu dem Sensorelement 18 in der vorstehend erläuterten Weise gesendet und durch die Faser 17 zurückgesendet. Ein Abschnitt des rückgeführten Lichts tritt in den Faserzweig 19 ein, der mit einem photoempfindlichen Element 20 verbunden ist, welches Element eine Photodiode oder ein Phototransistor sein kann. Das Element 20 ermittelt das modulierte Lichtsignal und wandelt es in ein elektrisches Signal, das durch einen Verstärker 21 verstärkt wird, und es stellt ein elektrisches Signal Uout am Verstärkerausgang bereit. Da die Intensität des Rückführlichts innerhalb der Faser vom Druck p abhängt, der an das Sensorelement 18 angelegt wird, stellt das elektrische Signal Uout von dem Verstärker ein Maß für den Druck p dar. Ein Teil des Lichts wird nicht reflektiert, sondern durch das Sensorelernent 18 moduliert. Wie aus Fig. 3 hervorgeht, beträgt der modulierte Teil der Lichtintensität zumindest etwa 40% des gesamten Lichts, aus welchem Grund die Ermittlung einer beliebigen Veränderung des Drucks p bequem vorgenommen werden kann.
In dem Druckmeßsystern 13 ist keine Einrichtung enthalten, um die Schwankungen der Intensität zu kompensieren, die als Ergebnis von Biegungen der Faser 17 auftreten. Wann immer erforderlich, kann eine derartige Kompensationsmaßnahme jedoch unter Verwenden eines beliebigen Verfahrens gemäß dem Stand der Technik bewirkt werden, wie beispielsweise desjenigen, das in der schwedischen Patentschrift SE-431 259 offenbart ist, und es kann in das Meßsystem 13 installiert werden.
Offensichtlich kann der Meßverstärker mit den vorhandenen Zünd- und/oder Kraftstoffsystemen des Fahrzeugs verbunden oder alternativ in diese integriert sein, wodurch es möglich wird, das Drucksignal von der erfindungsgemäßen Vorrichtung als einer der Parameter dieser Systeme zu verwenden.
Fig. 8 zeigt den oberen Teil eines Verbrennungsmotors 23, der in herkömmlicher Weise einen Kolben 24, Zündkerzen 25 und Ventile 26, 27 aufweist. Der Motor 23 kann mit einem elektronischen Kraftstoffeinspritzsystem ausgerüstet sein. Das Sensorelement 18 ist benachbart zur Verbrennungskammer 28 des Motors 23 derart angeordnet, daß der Außenrand des Sensorelements 18 im wesentlichen mit der Wand 29 der Verbrennungskammer 28 fruchtet. Zu diesem Zweck sind das Sensorelernent 18 und die ihm zugeordnete optische Faser 5 in einem Durchgangsloch mittels eines Nippelbolzens 30 angeordnet, der in der Zylinderwand 29 angebracht ist. Das Sensorelement 18 kann mit sehr geringen Abmessungen aufgebaut werden, die es ermöglichen, ihn innerhalb der Kanäle in oder benachbart zu anderen Zylinderzuleitelementen, wie etwa Zündkerzen und Ventilen, anzubringen.
Das Sensorelement gemäß der vorliegenden Erfindung kann mehr als einen Hohlraum aufweisen, beispielsweise dann, wenn ein Bedarf besteht, mehr als einen Bereich in der Vorrichtung zu messen.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Messen eines Drucks mit einem Hohlraum (6) vom Typ eines Fabry- Pérot-Resonators und einem ersten Teil (2) sowie einem zweiten Teil (3), wobei die Teile (2,3) den Hohlraum (6) zwischen sich einbetten, wobei zumindest der erste Teil (2) aus Silizium besteht und ein Abstandshalterabschnitt (4) zwischen den Teilen (2, 3) angeordnet ist, und wobei der Druck (P) um den Hohlraum (6) durch Richten von Licht auf den Hohlraum (6) gemessen wird uyld das Licht, das von dem Hohlraum (6) zurückkehrt, danach erfaßt wird,

dadurch gekennzeichnet, daß

der Hohlraum durch Anordnen des Abstandshalterabschnitts (4) auf zümindest den ersten Teil (2) unter Benutzung eines Verfahrens zum Aufbauen molekularer Schichten und Entfernens eines Teils des Abstandshalterabschnitts (4) durch ein Ätzverfahren gebildet ist, und daß der Abstandshalterabschnitt (4) mit dem zweiten Teil (3) unter Benutzung des als "Direktbondieren", Siliziumdirektbondieren, SDB, bekannten Verfahrens verbunden ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teil (2) einer thermischen Oxidation unterworfen wird, daß die Siliziumdioxidschicht, die dann gebildet wird, durch Ätzen teilweise entfernt wird, und daß das Direktbondieren, SDB, zwischen den restlichen Siliziumdioxidabschnitten (4) und dem zweiten Teil (3) vollzogen wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teil (8) einer thermischen Oxidation unterworfen wird, daß danach ein Abschnitt (10) der Siliziumdioxidschicht (9), die so gebildet wird, durch Ätzen entfernt wird, daß der erste Teil (8), der mit der Siliziumdioxidschicht (9) versehen ist, einen zweiten thermischen Oxidationsverfahren unterworfen wird, in dem zumindest ein erhöhter Abschnitt (13) im ersten Teil (8) gebildet wird, und daß die Siliziumdioxidschichten (9, 11), die so gebildet werden, durch Ätzen entfernt werden und daß das Direktbondieren, SDB, zwischen dem erhöhten Abschnitt (13) und dem zweiten Teil (3) vollzogen wird.

4. Vorrichtung zum Messen eines Drucks, die mittels des Verfahrens nach Anspruch 1 hergestellt ist, mit einem Hohlraum (6) des Typs eines Fabry-Perot-Resonators und einem ersten Teil (2) sowie einem zweiten Teil (3), wobei die Teile (2, 3) den Hohlraum (6) zwischen sich einbetten, wobei zumindest der erste Teil (2) aus Silizium besteht, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teil (2) mit einem Abstandshalterabschnitt (4) ausgebildet ist, der mittels eines Verfahrens zum Aufbauen molekularer Schichten und eines Ätzverfahrens erzeugt ist, wobei der Abstandshalterabschnitt mit dem zweiten Teil (3) unter Benutzung des als "Direktbondieren", Siliziumdirektbondieren, SDB, bekannten Verfahrens verbunden ist.

5. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil (5) der Endabschnitt einer optischen Faser ist.

6. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil aus einer Substanz besteht, die gegenüber sichtbarem Licht transparent ist.

7. Meßvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil aus Quarz, Saphir oder einem anderen transparenten Material besteht.

8. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil aus einem Stück Silizium (3) besteht, daß mit einer optischen Faser (5) mittels des Direktbondierens, SDB, verbunden ist.

9. Meßvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil ein Stück ist, das gegenüber sichtbarem Licht transparent ist und das mit einer optischen Faser (5) mittels des Direktbondierens, SDB, verbunden ist.

10. Meßvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Teil aus Quarz oder Saphir besteht.