DE69218486T2

DE69218486T2 - Verfahren und Vorrichtung für die Herstellung eines Tintenstrahlkopfes

Info

Publication number: DE69218486T2
Application number: DE69218486T
Authority: DE
Inventors: Hitoshi Ito; Makoto Shibata
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-04-16
Filing date: 1992-04-15
Publication date: 1997-09-25
Anticipated expiration: 2012-04-16
Also published as: US5498306A; EP0509491A2; EP0509491A3; ATE150701T1; EP0509491B1; JP2833875B2; DE69218486D1; JPH04316855A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes zum Bilden von Flüssigkeitstropfen durch Auslassen einer Aufzeichnungsflüssigkeit unter Benutzung eines Tintenstrahlaufzeichnungsverfahrens und insbesondere bezieht sie sich auf ein Verfahren und ein Gerät zum Verbinden eines oberen Elementes mit einem Grundelement über Wandelemente, um Tintenkanäle zu definieren.

Zugehöriger Stand der Technik

Wie in Fig. 4 gezeigt ist, ist in einem von Tintenstrahlaufzeichnungssystemen (Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungssystemen) verwendeter Tintenstrahlkopf ein Grundelement durch Anordnen einer vorbestimmten Anzahl (in Fig. 4 drei) von Energieerzeugern (beispielsweise elektrothermische Umwandlungselemente) 32 zum Erzeugen von Energie, die zum Auslassen von Tinte verwendet wird, auf einer aus Silikon und dergleichen hergestellten Stützplatte 31 gebildet, und ein den Auslaßöffnungen 33, Tintenkanälen 34 und einer Gemeinschaftstintenkammer 35 entsprechendes Muster wird durch das lithographische Verfahren gebildet, um derartige Auslaßöffnungen, derartige Tintenkanäle und einer derartigen Tintenkammer zu erhalten, und das ausgebildete Muster wird mit einem oberen Element 36 abgedeckt, womit der Tintenstrahlkopf hergestellt ist. Um das obere Element 36 mit dem Grundelement zu verbinden, wurde herkömmlicherweise auf eine Oberfläche des oberen Elementes 36 mit einem Klebmittel beschichtet, das durch die Bestrahlung mit ultravioletter Strahlung (UV) weich gemacht werden kann, wobei das obere Element 36 bezüglich des Grundelementes positioniert wurde, auf dem das Muster ausgebildet war, das obere Element und das Grundelement aneinander mit einem geeigneten Druck in Anlage gebracht wurden, und dann das Klebmittel durch Bestrahlen der ultravioletten Strahlung darauf ausgehärtet wurde, womit beide Elemente aneinander geklebt waren. Der Druck zum Verbinden dieser Elemente aneinander kann durch Walzen (Fig. 5) oder eine Presse zum Aufbringen des Drucks auf die parallelen Elemente (Fig. 6) erhalten werden.
In dem Fall, daß der Druck durch die Walzen erhalten wird, wie in Fig. 5 gezeigt ist, werden das obere Element 36 und das Grundelement 43 mit dazwischengesetzten Wandelementen 42, die die mit den Auslaßöffnungen in Verbindung stehenden Tintenkanäle definieren, zwischen die sich in durch die Pfeile A gezeigten Richtungen drehenden Druckwalzen 41 und 41' eingeführt und durch sie gedrückt. Im übrigen ist mit 45 eine Klebmittelschicht zum Kleben der Wandelemente 42 an das obere Element 36 bezeichnet und mit 46 ist eine Arbeitsunterlage bezeichnet, auf der das Grundelement 43 und das obere Element 36 sitzen und die bei Bedarf verwendet werden kann.
Wenn derartige Walzen zum Beaufschlagen der Elemente gegen einander mit Druck verwendet werden, ist zu befürchten, daß sich die folgenden Probleme auftreten:
(1) Wenn das Grundelement und das obere Element (die ein "Werkstück" bilden), die bezüglich einander positioniert sind, zwischen die Walzen eingefügt werden, wird eine Ungenauigkeit in der Relativposition zwischen dem Grundelement und dem oberen Element auftreten, wenn eines der Elemente mit der Walze in Kontakt kommt.
(2) Wenn harte Walzen verwendet werden, wird die Eindringtiefe der Wandelemente in die Klebmittelschicht aufgrund der Streuung in der Dickengenauigkeit des Werkstücks und/oder der Arbeitsunterlage ungleichförmig oder ungleichmäßig werden, was zu einer vertikalen Streuung bei den Positionen der Auslaßöffnungen führt. Somit werden die Abmessungen der Auslaßöffnungen nicht konstant oder einheitlich. Wenn desweiteren irgendein harter Fremdstoff zwischen der Klebmittelschicht und den Wandelementen und/oder dem oberen Element vorhanden ist, wird die Streuung in den Abmessungen der Auslaßöffnungen weiter erhöht.
(3) Wenn mit einer weichen Gummischicht bedeckte Walzen verwendet werden, wird die (als X und Y in Fig. 7 gezeigte) Streuung der Eindringtiefe der Wandelemente 42 in die Klebmittelschicht 45 aufgrund der Verformung der Walzen auftreten, da die Oberflächen der Walzen weich sind, wie in Fig. 7 gezeigt ist, was dazu führt, daß die Abmessungen der Auslaßöffnungen nicht konstant oder einheitlich werden.
Wenn andererseits die Presse zum Beaufschlagen der Elemente mit Druck gegen einander durch Drücken des auf den Drucktisch 47 gesetzten Werkstücks durch ein Druckelement 48 verwendet wird, wie in Fig. 6 gezeigt ist, ist zu befürchten, daß sich die folgenden Probleme auftreten:
(4) Aufgrund der Streuung der Dickengenauigkeit des Werkstücks und/oder der Arbeitsunterlage 46, einer Unebenheit in der Pressenoberfläche und/oder einer Nichtparallelität zwischen der oberen und der unteren Oberfläche der Presse tritt das gleiche Problem auf, das bei dem vorstehenden Punkt (2) erwähnt ist.
(5) Wenn eine elastische flache Platte 49 zwischen das Druckelement 48 und das obere Element 36 gesetzt ist, wie in Fig. 8 gezeigt ist, wird die Streuung der Eindringtiefe in die Klebmittelschicht auftreten, da der Druckwert sich für eine Flächeneinheit zwischen Bereichen, in denen größere anzuklebende Abschnitte (Wandelemente und dergleichen) sind, und Bereichen unterscheidet, in denen wenigere anzuklebende Abschnitte sind, was dazu führt, daß die Abmessungen der Auslaßöffnungen nicht konstant oder einheitlich werden.
(6) Wenn die Parallelität der Presse unzureichend ist, da das Druckelement der Presse mit dem oberen Element anfänglich örtlich in Kontakt kommt, wird die Relativposition zwischen dem oberen Element und dem Grundelement während des Betriebs der Presse verändert.
Desweiteren wird nach dem Kleben das geklebte Werkstück von der Presse abmontiert und die Klebmittelschicht wird ausgehärtet. In diesem Fall ist zu befürchten, daß sich die Klebmittelschicht auftrennt, wenn die Temperatur des Klebmittels nicht auf ein Raumtemperaturniveau gesenkt wird, um die Viskosität des Klebmittels während des Abmontierens des Werkstücks zu erhöhen, und wenn die ultravioletten Strahlen auf die Klebmittelschicht nicht unmittelbar nach dem Abmontieren des Werkstücks gestrahlt werden, weil aufgrund des Umstandes, daß die Viskosität des Klebmittels zum Erleichtern des Klebens durch Erhöhen der Temperatur während des Klebprozesses verringert wird, die Krümmung während des Kühlens der Elemente auftreten wird, wenn der Wärmeausdehnungskoeffizient des (beispielsweise aus einem Silikonwafer hergestellten) Grundelementes von dem des (beispielsweise aus Glas hergestellten) oberen Elementes abweicht, was die Auftrennung der Klebmittelschicht verursacht.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, die vorstehend erwähnten herkömmlichen Nachteile zu beseitigen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und ein Gerät zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 23 gelöst. Gemäß einem vorteilhaften bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel werden die folgenden Merkmale geschaffen:
(a) Das obere Element wird vorübergehend an das Grundelement an mehreren seiner Umfangspunkte mit einem Zweiflüssigkeitskomponentensofortklebmittel geklebt, um die Ungenauigkeit in der Relativposition der oberen Elemente und der Grundelemente in nachfolgenden Vorgängen oder Schritten zu verhindern, nachdem sie miteinander verbunden sind.
(b) Eine Heiz-/Kühleinrichtung ist in einer Presse vorgesehen, so daß das Klebmittel während des Verbindens beheizt wird, um die Viskosität des Klebmittels zu vermindern, wodurch das Verbinden zwischen dem oberen Element und dem Grundelement erleichtert wird, und daß das Klebmittel nach dem Verbinden gekühlt wird, um die Viskosität des Klebmittels zu erhöhen, wodurch die Krümmung des Elementes (der Elemente) aufgrund des Unterschiedes der Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen den Elementen und ihrer daraus folgenden Auftrennung wirksam verhindert wird.
(c) Den die Tintenkanäle definierenden Wandelementen und den Gemeinschaftstintenkammern definierenden Wandabschnitten entsprechende vertiefte Abschnitte werden in einem Druckelement der Presse ausgebildet, so daß nur die Wandelemente und die Wandabschnitte durch die Presse während des Verbindens des oberen Elementes mit dem Grundelement mit Druck beaufschlagt werden. Das heißt, daß, wenn derartige vertiefte Abschnitte nicht vorhanden sind, den Tintenkammern direkt gegenüberliegende dünnere Wandabschnitte des oberen Elementes durch das Druckelement auch mit Druck beaufschlagt werden, was zu einer Verwerfung des oberen Elements führt, wie in Fig. 9 gezeigt ist. Die Verwerfung des oberen Elementes wird den Unterschied bei der Eindringtiefe der die Tintenkanäle definierenden Wandelemente und der die Tintenkammern definierenden Wandabschnitte in das Klebmittel verursachen. Durch ein Dazwischensetzen einer dünnen elastischen Schicht, wie beispielsweise einer Gummischicht, zwischen das Werkstück und das Druckelement der Presse kann desweiteren der aufgrund der Streuung der Dicke des Werkstückes und des Druckelementes und/oder der Parallelität zwischen dem Werkstück und dem Druckelement erzeugte und auf das Werkstück einwirkende ungleiche Druck ausgeglichen werden.
(d) Um das obere Element und das Grundelement zu schützen, nachdem sie miteinander verbunden sind, wird das Werkstück durch die vorstehend erwähnte Kühleinrichtung gekühlt, während es nach dem Kleben mit Druck beaufschlagt wird, womit die Spannung aufgrund der Wärmeausdehnung der Elemente gelöst wird. Danach wird die Klebmittelschicht durch Bestrahlen der ultravioletten Strahlen darauf ausgehärtet. Zu diesem Zweck werden das Druckelement und zumindest entweder das Grundelement oder das obere Element aus UV-durchlässigem Material hergestellt.
Insbesondere umfaßt die vorliegende Erfindung einen Druckbeaufschlagungsschritt zum Ausbilden der mit den Auslaßöffnungen zum Auslassen von Tinte in Verbindung stehenden Tintenkanäle durch Beaufschlagen mit Druck und Verbinden des oberen Elementes und des Grundelementes miteinander während des Verbindens zwischen dem Grundelement und dem oberen Element über die die Tintenkanäle definierenden Wandelemente im wesentlichen bis auf Bereiche, in denen die Tintenkanäle ausgebildet werden. Desweiteren hat die vorliegende Erfindung die folgenden Merkmale: nämlich den Bereichen, in denen die Tintenkanäle ausgebildet sind, entsprechende vertiefte Abschnitte in dem Druckelement zum Ausführen der Druckbeaufschlagung; die Druckbeaufschlagung wird über einen zwischen dem Druckelement und einen mit Druck zu beaufschlagenden Element liegendenen elastischen dünnen Film oder Schicht bewirkt; die elastische dünne Schicht hat eine Härte von 40 - 85 Grad, die durch einen A-Typ- Härtetester eines Federtyps K6301 nach dem japanischen Industriestandard (JIS) erhalten wird, und hat eine Dicke von 0,2 - 1 mm; das Verbinden wird durch die Klebmittelschicht bewirkt, die in der Lage ist, durch das Bestrahlen der ultravioletten Strahlen ausgehärtet zu werden, und die zwischen dem oberen Element und den Wandelementen angeordnet ist; eine derartige mit ultravioletter Strahlung ausgehärtete Klebmittelschicht hat eine Dicke von 1 - 5 µm; das Druckelement zum Ausführen der Druckbeaufschlagung ist für die ultraviolette Strahlung durchlässig; nach der Druckbeaufschlagung ist ein Aushärtungsschritt zum Aushärten der mit ultravioletter Strahlung auszuhärtenden Klebmittelschicht durch ein Bestrahlen der ultravioletten Strahlung darauf umfaßt; sowohl das Grundelement als auch das obere Element sind plattenförmig; die Druckbeaufschlagung wird während des Erhitzens bewirkt; das Erhitzen wird vor der Druckbeaufschlagung bewirkt; vor dem Schritt einer Druckbeaufschlagung ist ein vorübergehender Klebeschritt zum vorübergehenden Kleben des oberen Elementes an die die Tintenkanäle definierenden Wandelemente an mehreren Punkten um die Tintenkanäle herum umfaßt; das vorübergehende Kleben wird durch Verwenden eines elastischen Zweiflüssigkeitskomponentenklebmittels bewirkt; ein Kühlschritt zum Kühlen des mit Druck zu beaufschlagenden Elements ist umfaßt, während ein derartiges Element mit Druck beaufschlagt wird; die Tintenkanäle umfassen eine Vielzahl Tintenbahnen, die mit entsprechenden Auslaßöffnungen und mit Gemeinschaftstintenkammern in Verbindung stehen, und den Tintenkammern entsprechende Vertiefungen sind in einer Innenwand des oberen Elementes ausgebildet; in den Tintenkanälen sind Energieerzeuger zum Erzeugen von Energie angeordnet, die zum Auslassen der Tinte aus den Auslaßöffnungen verwendet wird; die Energieerzeuger weisen elektrothermische Wandelelemente zum Erzeugen von Wärmeenergie als die vorstehend erwähnte Energie auf; eine Vielzahl Auslaßöffnungen sind entlang einer gesamten Breite eines Aufzeichnungsblattes angeordnet, auf das durch die aus den Auslaßöffnungen ausgelassene Tinte ein Bild aufgezeichnet wird; und ein Trennschritt zum Trennen der hergestellten Tintenkopfbaugruppe in einzelne Tintenstrahlkopfeinheiten nach dem Schritt der Druckbeaufschlagung.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist ein Ausführungsbeispiel eines Gerätes zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes folgendes auf: ein Druckelement zum Ausbilden von Tintenkanälen, die mit Auslaßöffnungen zum Auslassen von Tinte durch Verbinden eines oberen Elementes mit einem Grundelement im wesentlichen bis auf die Bereiche, in denen die Tintenkanäle gebildet sind, über Wandelemente zum Definieren derartiger Tintenkanäle in Verbindung stehen. Das Gerät ist dadurch gekennzeichnet, daß den Bereichen, in denen die Tintenkanäle gebildet sind, entsprechende vertiefte Abschnitte in dem Druckelement gebildet sind, und daß es eine Temperatureinstelleinrichtung zum Einstellen der Temperaturen des oberen Elements und des Grundelements über das Druckelement umfaßt, und daß das Verbinden des oberen Elementes mit dem Grundelement unter Zwischenlage der mit ultravioletter Strahlung ausgehärteten Klebmittelschicht bewirkt wird, und das Druckelement für ultraviolette Strahlen durchlässig ist, und daß eine Ultraviolettstrahlungsbeleuchtungseinrichtung zum Bestrahlen der ultravioletten Strahlen auf das mit ultravioletter Strahlung aushärtbare Klebmittel über das Druckelement vorgesehen ist.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die Fig. 1A bis 1C zeigen erklärende Ansichten eines Beispiels von Herstellschritten eines erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopfherstellverfahrens;
Die Fig. 2A bis 2C zeigen eine Ausschnittsansicht eines Zustandes, bei dem ein nach dem erfindungsgemäßen Herstellverfahren verwendetes Werkzeug zur Druckbeaufschlagung bezüglich eines Werkstücks positioniert ist, wobei Fig. 28-A eine Ausschnittsdraufsicht auf das Werkzeug zur Druckbeaufschlagung ist, Fig. 28-B eine Schnittansicht entlang der Linie Z - Z in Fig. 28-A ist und Fig. 2C eine Ausschnittsdraufsicht einer Abwandlung eines nach dem erfindungsgemäßen Herstellverfahren verwendeten Werkzeugs zur Druckbeaufschlagung ist;
Die Fig. 3A und 3B zeigen Ausschnittsschnittansichten eines Zustandes, bei dem ein oberes Element und ein Seitenwandmuster miteinander verbunden sind;
Fig. 4 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Tintenstrahlkopfes;
Fig. 5 zeigt eine Seitenschnittansicht eines Beispiels eines herkömmlichen Verfahrens zum Verbinden eines oberen Elements mit einem Grundelement, das ein Seitenwandmuster umfaßt;
Fig. 6 zeigt eine Seitenschnittansicht eines Beispiels eines anderen herkömmlichen Verfahrens zum Verbinden eines oberen Elements mit einem Grundelement, das ein Seitenwandmuster umfaßt;
Fig. 7 zeigt eine Seitenschnittansicht eines Zustandes, bei dem ein oberes Element und ein Grundelement durch Verwenden von weichen Walzen miteinander verbunden werden;
Fig. 8 zeigt eine Seitenschnittansicht eines Zustandes, bei dem ein oberes Element und ein Grundelement durch Druckbaufschlagung unter Zwischenlage einer flachen Gummischicht miteinander verbunden werden;
Fig. 9 zeigt eine Ausschnittsseitenansicht eines Zustandes, bei dem ein oberes Element und ein Grundelement durch Druckbeaufschlagung mittels eines Werkzeugs zur Druckbeaufschlagung miteinander verbunden werden, das keine vertieften Abschnitte hat; und
Fig. 10 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungssystems, das einen erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopf darin vereinigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE

Die vorliegende Erfindung wird nun in Verbindung mit dessen Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert.
Die Fig. 1A bis 1C zeigen Schritte zum Verbinden eines oberen Elementes mit einem Grundelement, auf dem die Tintenkanäle definierenden Wandelemente gebildet sind, nach dem erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopfherstellverfahren.
Bezüglich der Positionierung zeigt Fig. 1A einen Positionierungsschritt zur Relativpositionierung eines Grundelementes 1 und eines oberen Elementes 2, bevor sie miteinander verbunden werden. Das heißt, das Grundelement 1 ist aus Silikon und dergleichen hergestellt. (Nicht gezeigte) Energieerzeuger und Wandelemente 3 zum Definieren von Tintenkanälen und Wandabschnitte 4 zum Definieren von Tintenkammern, die aus photosensitivem Harz hergestellt sind, sind auf dem Grundelement 1 ausgebildet. Die photosensitiven Harze können irgendeines der in US 4 417 251 offenbarten Harze sein. Das obere Element 2 ist aus einem Material hergestellt, das für ultraviolette Strahlen (UV) durchlässig ist, wie beispielsweise Glas, und ist entsprechend den Positionen der Tintenkammern mit Vertiefungen 6 versehen, damit eine Höhe der Tintenkammern höher als jene der Tintenkanäle 5 ist. Das obere Element 2 ist bis auf die Vertiefungen 6 mit einer durch UV aushärtbaren Klebmittelschicht (das heißt, eine Klebmittelschicht, die in der Lage ist, durch ultraviolette Strahlen ausgehärtet zu werden) 7 beschichtet. Beispielsweise kann durch Verwenden eines Walzenbeschichters die Klebmittelschicht 7 selektiv auf dem oberen Element außer auf den Vertiefungen 6 ausgebildet werden. Das zum Bilden der Klebmittelschicht 7 verwendete Klebmittel ist vorzugsweise ein durch UV aushärtbares Klebmittel, das innerhalb eines kurzen Zeitabschnitts durch Bestrahlen der ultravioletten Strahlen darauf nach dem Verbinden des oberen Elements mit dem Grundelement leicht aushärten kann. Vorzugsweise ist das Klebmittelmaterial ein von SANNOPCO Co., Ltd. hergestelltes NOPCOCURE CPA-4 oder NOPCOCURE CPA-5, das Urethanacrylester als Hauptbestandteil hat. Andere lichtaushärtbare Harze können als das Klebmittel zu diesem Zweck verwendet werden. Die Dicke der Klebmittelschicht 7 ist vorzugsweise in einem Bereich von 1 - 5 mm. Falls die Klebmittelschicht dünner als 1 µm ist, ist zu befürchten, daß nicht geklebte Bereiche nach dem Verbinden erzeugt werden, wenn die Dicke der Wandelemente ungleichmäßig ist. Falls im Gegensatz dazu die Klebmittelschicht dicker als 5 µm ist, ist zu befürchten, daß während des Verbindens ein Teil des aus den Wandelementen 3 herausgedrückten Klebmittels in die Tintenkanäle 5 eintritt (eindringt), womit die Querschnittsbereiche der Auslaßöffnungen und der Tintenkanäle 5 verringert werden. Die Streuung der derartigen Querschnittsbereiche hängt von einer Menge des aus den Wandelementen 3 herausgedrückten Klebmittels ab, was die Überprüfung der Querschnittsbereiche der Tintenkanäle und dergleichen schwierig macht. Daher ist die Dicke der Klebmitteischicht 7 vorzugsweiser in einem Bereich von 1.5 -3 µm.
Im übrigen werden mit 8 erste Flüssigkeitstropfen eines Zweiflüssigkeitskomponentensofortklebmittels bezeichnet, das durch Mischen einer ersten Flüssigkeit mit einer zweiten Flüssigkeit sofort aushärtet. Diese ersten Flüssigkeitstropfen sind entweder auf dem Grundelement 1 oder auf dem oberen Element 2, die miteinander zu verbinden sind, oder auf beiden an mehreren Punkten entlang einer Umfangszone des Elements aufgebracht. Ein derartiges Klebmittel ist vorzugsweise ein Zweiflüssigkeitskomponentensofortklebmittel, das nicht aushärtet, selbst wenn eine relativ lange Zeit benötigt wird, um das Grundelement und das obere Element relativ zueinander zu positionieren (was später beschrieben ist), und das bei Bedarf sofort ausgehärtet werden kann, um eine Wartezeit (Aushärtungszeit, Erhitzungszeit und dergleichen) auf einen nachfolgenden Vorgang oder Schritt zu minimieren. Da jedoch beim Verwenden von Klebmittel einer Gummigruppe zu befürchten ist, daß die Ungenauigkeit der Relativposition zwischen dem oberen Element und dem Grundelement auftritt, nachdem das Klebmittel ausgehärtet ist, ist, wenn Klebmittel nach dem Aushärten zu hart sind, zu befürchten, daß sogar aufgrund eines kleinen Stoßes oder dergleichen ein Klappern und/oder eine Auftrennung des Klebmittels auftritt. Somit sind derartige Klebmittel nicht akzeptabel. Es wurde herausgefunden, daß ein von CEMEDINE Co., Ltd. hergestelltes elastisches Sofortklebemittel "PEG-α " hinsichtlich Haftung und Härte hervorragend ist.
Bei diesem Vorgang überdecken sich das Grundelement 1 mit dem Wandelement 3 und dergleichen und das obere Element 2, wie in Fig. 1A gezeigt ist, so daß die Wandelemente 3 und die Vertiefungen 6 des oberen Elementes 2 einander gegenüberliegen, wodurch die Wandelemente 3, die Wandabschnitte 4 und die Vertiefungen 6 des oberen Elementes 2 positioniert sind. Das Positionieren dieser Abschnitte kann durch ein Blick des Bedieners oder durch irgendein Mikroskop nachgeprüft werden.

Vorübergehendes Kleben

Bei diesem Vorgang wird das in der vorstehend erwähnten Weise positionierte Werkstück vorübergehend geklebt (vorübergehend verbunden), um zu verhindern, daß die positionierten Elemente bei den nachfolgenden Vorgängen versetzt werden.
Das bedeutet, daß, wie in Fig. lB gezeigt ist, zweite Flüssigkeitstropfen 9 der zweiten Flüssigkeit des vorstehend erwähnten Zweiflüssigkeitskomponentensofortklebmittels auf die auf dem so positionierten Werkstück abgelagerten ersten Flüssigkeitstropfen 8 aufgebracht werden, daß folglich das Klebmittel durch ein Vermischen dieser Flüssigkeitstropfen ausgehärtet wird, womit das Grundelement 1 und das obere Element 2 vorübergehend miteinander verbunden sind. Die zweite Flüssigkeit kann durch Verwenden eines Mikrozylinders aufgebracht oder getropft werden. Da die Höhe der Wandelemente 3 in dem Bereich von 20 - 40 µm ist, kann die zweite Flüssigkeit aufgrund des Kapillarphänomens schnell auf die erste Flüssigkeit fließen, was das Klebmittel schnell aushärtet. Im übrigen kann das Verbinden an zwei oder mehr Punkten bewirkt werden, um die Verbindungswirkung sicherzustellen.

Positionieren vor dem Verbinden

Wie in Fig. 1C gezeigt ist, liegt das vorübergehend verbundene Werkstück auf einem Pressentisch 11 einer Verbindungsmaschine zusammen mit einer Arbeitsunterlage 10 oder ohne diese. Danach wird ein aus halbdurchlässigem Silikongummi oder dergleichen hergestellter dünner elastischer Film oder eine Schicht 12 auf das Werkstück gesetzt, und desweiteren wird ein aus UV-durchlässigem Material, wie Quarz, Glas oder dergleichen, hergestelltes Druckelement 13 über die elastische Schicht 12 in Überdeckungslage gebracht. Vorzugsweise hat die dünne elastische Schicht die Härte von 40 - 85 Grad, die durch einen A-Typ-Härtetester eines Federtyps K6301 erreicht wird, und eine Dicke von 0,2 - 1 mm. Wie in Fig. 28 gezeigt ist, sind in einer unteren Fläche des Druckelementes 13 Vertiefungen 14 ausgebildet, so daß nur die Wandelemente 3 und die die Tintenkammern definierenden Wandabschnitte 4 des Werkstücks im wesentlichen einheitlich mit der Hilfe des dünnen elastischen Filmes während des Druckbeaufschlagungsvorgangs mit Druck beaufschlagt werden können. Fig. 2A zeigt eine Draufsicht eines Zustandes, bei dem die Vertiefungen 14 des Druckelementes 13 und die Wandelemente 3 und die die Tintenkammern definierenden Wandabschnitte 4 des Grundelementes 1 relativ zu einander positioniert sind. Im übrigen sind mit 15 Verdrahtungsverbandanschlußabschnittebezeichnet; und mit 16 sind Trennlinien bezeichnet, entlang denen die Äuslaßeinheit geteilt wird.
Wenn keine Vertiefungen 14 vorhanden sind, wie in Fig. 8 gezeigt ist, wird das ungleiche Verbinden aufgrund der Verformung des oberen Elementes 36 häufig auftreten. Das Positionieren kann während des Nachprüfens der Positionen der Elemente durch den Blick des Bedieners bewirkt werden, da das obere Element transparent ist. Wenn es jedoch wegen der Zwischenlage der dünnen elastischen Schicht aus Silikongummi schwierig ist, die Elemente genau zu positionieren, kann das Positionieren durch ein Anlegen des Werkstücks und des Druckelements an eine Abschlußwand der Presse bewirkt werden.
Im übrigen kann das Druckelement 13 alternativ so zusammengesetzt sein, wie es in Fig. 2C gezeigt ist. In Fig. 2C ist das Druckelement 13 sowohl mit Vertiefungen 14a, die Bereichen entsprechen, in denen die Tintenkanäle ausgebildet sind, als auch mit den vorstehend erwähnten Vertiefungen 14 versehen, die Bereichen entsprechen, in denen die Tintenkammern ausgebildet sind.

Verbinden

Nachdem das Werkstück und das Druckelement 13 in Lage gebracht sind, wird das Werkstück beheizt. Das Werkstück kann durch ein in der Presse eingebautes Heizgerät oder durch einen Infrarotstrahlungsheizgerät von oben beheizt werden.
Das obere Heizgerät ist nicht zwingend erforderlich, jedoch kann das Werkstück von unten beheizt werden. Die Heiztemperatur für das Klebmittel der Schicht 7 ist vorzugsweise 50 - 150 ºC und bestenfalls 80 - 120ºC. Nach dem Erhitzen werden das obere Element und das Grundelement durch Beaufschlagen des Werkstücks mit Druck in einer in Fig. 1C durch den Pfeil P gezeigten Richtung miteinander verbunden. Im übrigen kann das Erhitzen gleichzeitig mit dem Druckbeaufschlagen bewirkt werden. Obwohl der Druck gemäß der Heiztemperatur in dem vorstehend genannten Temperaturbereich geändert wird, ist desweiteren herausgefunden worden, daß gute Verbindungsbedingungen (Fig. 3A) mit einem Druck von 0,5 - 10 kg/cm.. erreicht werden können. Wenn die Temperatur der Klebmittelschicht 7 hoch ist, kann der Druck qualitativ relativ gering sein; wohingegen ein hoher Druck erforderlich ist, wenn die Temperatur der Klebmittelschicht gering ist.
Wenn die Temperatur der Klebmittelschicht zu gering ist, wird die Haftfestigkeit an der Verbindungsstelle zwischen der Klebmittelschicht und den Wandelementen 3 geringer, womit das Auftrennen nach dem Aushärten des Klebmittels verursacht wird. Wenn andererseits die Temperatur des Klebmittels zu hoch ist, wird das Klebmittel zwischen dem oberen Element 2 und den Wandelementen 3 aus den dazwischenliegenden Verbindungsstellen völlig herausgedrückt werden, selbst wenn das Werkstück mit geringem Druck beaufschlagt wird, woraus folgt, daß kein Klebmittel zwischen dem oberen Element 2 und den Wandelementen 3 vorhanden ist und somit das Verbinden mitunter nur zwischen dem oberen Element und den Seitenflächen der Wandelemente bewirkt wird. In einem derartigen Fall ist die Haftfestigkeit verhältnismäßig gering und, wie in Fig. 3B gezeigt ist, der größere Teil des Klebmittelmaterials dringt in die Tintenkanäle ein, womit die Auslaßöffnungen kleiner und/oder ungleichmäßiger werden.
Ein Druckbeaufschlagungsmechanismus zum Ausführen der Druckbeaufschlagung kann so gestaltet sein, daß das Werkstück von unten mit Druck beaufschlagt wird, da eine UV-Lampe zum Bestrahlen der ultravioletten Strahlen von oben über der Presse angeordnet sein muß, wie nachstehend beschrieben ist. Wenn desweiteren die beweglichen Teile unter dem Werkstück angeordnet sind, da verhindert werden kann, daß letzteres durch Schmutz und dergleichen verschmiert wird, ist es vorteilhaft, den Druckbeaufschlagungsmechanismus in dieser Hinsicht unter dem Werkstück anzuordnen.

UV-Aushärten

Nach dem Verbinden wird das Werkstück gekühlt. Ein derartiges Kühlen kann durch ein Verwenden von (nicht gezeigten) Wasserkühlrohren bewirkt werden, die in dem in Fig. 1C gezeigten Pressentisch 11 eingebettet sind. Da das Grundelement und das obere Element miteinander unter hoher Temperatur verbunden werden, steigt die Spannung zwischen diesen Elementen aufgrund des Unterschiedes der Wärmeausdehnungskoeffizienten (beispielsweise zwischen dem aus einer Silikonscheibe hergestellten Grundelement und dem aus Glas hergestellten oberen Element), wenn die Temperatur des Werkstückes auf die Raumtemperatur zurückfällt. Um eine derartige Spannung zu minimieren, wird das Werkstück auf oder annähernd auf Raumtemperatur gekühlt, bevor die Klebmittelschicht 7 ausgehärtet wird, womit die Spannung beseitigt wird, die aufgrund der Temperaturänderung vorhanden ist. Danach wird die Klebmittelschicht 7 durch Bestrahlen der ultravioletten Strahlen darauf ausgehärtet. Die UV-Lampe ist über dem Werkstück angeordnet, so daß die ultravioletten Strahlen durch das Druckelement 13, durch die dünne elastische Schicht (Silikongummi) 12 und durch das obere Element 2 hindurchtreten können, um die Klebmittelschicht 7 auszuhärten. Da jedoch der Energieverlust der ultravioletten Strahlen während des Durchtretens durch den Silikongummi groß ist und es somit eine große UV-Lampe zum vollständigen Aushärten des Klebmittels erforderlich ist, ist es wünschenswert, das Klebmittel in einem derartigen Maß zu verfestigen, daß das Klebmittel nicht fließen kann. Nachdem das Klebmittel ausgehärtet ist, wird die Druckbeaufschlagung gelöst. Da auf diese Weise das Klebmittel ausgehärtet wird, während es mit Druck beaufschlagt wird, ist es möglich, das Auftrennen zwischen den verbundenen Teilen zu verhindern und den stabilen Verbindungszustand zu erreichen.
Nachdem schließlich das Werkstück (mit dem Klebmittel darin) durch Wärme und ultraviolette Strahlen ausgehärtet ist, wird das fertige Werkstück (Baugruppe) entlang der Trennlinien 16 geschnitten, um einzelne Auslaßelemente zu erhalten. Auf diese Weise ist es möglich, einen Tintenstrahlkopf zu schaffen, wie er in Fig. 4 gezeigt ist.
Die vorliegende Erfindung ist insbesondere für einen Aufzeichnungskopf und ein Aufzeichnungsgerät zum Auslassen von Tinte unter Ausnutzung von Wärmeenergie bei Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungssystemen (Tintenstrahlaufzeichnungssystemen) wirkungsvoll.
Vorzugsweise werden der typische Aufbau und die beispielsweise in U.S.P. No. 4 723 129 und U.S.P. No. 4 740 796 offenbarten Aufbauprinzipien angewendet. Dieses System kann bei einem sogenannten "bedarfsabhängigen" Typenaufbau und einem "kontinuierlichen" Typenaufbau eingesetzt werden. Bei diesem System wird ein elektrothermisches Wandelelement, das zu einem Blatt oder einem Flüssigkeitskanal ausgerichtet angebracht ist, in dem Flüssigkeit (Tinte) gehalten wird, mit zumindest einem Antriebssignal versorgt, das einer aufzuzeichnenden Information entspricht und das ermöglicht, daß die Temperatur des elektrothermischen Wandelelements einen Filmsiedepunkt übersteigt, so daß in dem elektrothermischen Wandelelement Wärmeenergie erzeugt wird und ein Stattfinden eines Filmsiedens auf der Oberfläche des beheizten Aufzeichnungskopfes verursacht wird. Folglich können in der Flüssigkeit (Tinte) auf die Antriebssignale ansprechend jeweils Blasen gebildet werden. Aufgrund der Ausdehnung und des Zusammenfalls der Blase wird durch die Auslaßöffnung Flüssigkeit (Tinte) ausgelassen, so daß zumindest ein Tropfen gebildet wird. In einem Fall, bei dem das vorstehend genannte Antriebssignal als ein Impulssignal erstellt ist, kann eine weitere zufriedenstellende Wirkung erhalten werden, indem sich die Blase sofort und passend ausdehnen/zusammenfallen kann und Flüssigkeit (Tinte) ausgelassen werden kann, während einausgezeichnetee Ansprechverhalten erreicht wird. Vorzugsweise wird ein Antriebssignal des in U.S.P. 4 463 359 und in U.S.P. 4 345 262 offenbarten Impulssignaltyps angewendet. Desweiteren kann in einem Fall, bei dem in U.S.P. Nr. 4 313 124 offenbarte Zustände zum Bestimmen des Temperaturanstiegsverhältnisses auf der vorstehend genannten beheizten Oberfläche angenommen werden, ein ausgezeichneter Aufzeichnungsbetrieb weiter ausgeführt werden.
Zusätzlich zu dem Aufbau (eines geradlinigen Flüssigkeitskanals oder eines rechtwinkligen Flüssigkeitskanals) des durch Kombinieren der Auslaßöffnungen, des Flüssigkeitskanals und des elektrothermischen Wandelelements gebildeten in den vorstehend genannten Beschreibungen offenbarten Aufzeichnungskopfes ist ein in U.S.P. 4 558 333 und in U.S.P. 4 459 600 offenbarter Aufbau, bei dem der beheizte Abschnitt in einem gebogenen Abschnitt angeordnet ist, durch den Bereich der vorliegenden Erfindung umfaßt. Desweiteren kann die vorliegende Erfindung wirkungsvoll bei einem Aufbau, bei dem ein gemeinsamer Schlitz hergestellt ist, der der Auslaßabschnitt einer Vielzahl elektrothermischer Wandelelemente sein soll und der in der japanischen Patentoffenlegungsschrift 59-123670 offenbart ist, und bei einem Aufbau ausgeführt werden, bei dem eine Öffnung zum Aufnehmen einer thermischen Energiedruckwelle zum Ausrichten an der Auslaßöffnung ausgebildet ist und der in der japanischen Patentoffenlegungsschrift 59-138461 offenbart ist.
Ein Ganzzeilenaufzeichnungskopf mit einer Länge, die der Breite des größten Aufzeichnungsmediums entspricht, auf das durch das Aufzeichnungsgerät aufgezeichnet werden kann, kann einen Aufbau haben, der in der Lage ist, die vorstehend genannte Länge zu verwirklichen und durch ein in den vorstehend genannten Beschreibungen offenbartes Kombinieren einer Vielzahl Aufzeichnungsköpfe gebildet zu werden, oder einen durch einen einstückig gebildeten Aufzeichnungskopf gebildeten Aufbau haben. Die vorliegende Erfindung wird ermöglichen, daß sich die vorstehend genannten Wirkungen wirkungsvoll weiter entfalten.
Zusätzlich kann die vorliegende Erfindung auch an einen Aufbau angepaßt werden, der einen austauschbaren Chipaufzeichnungskopf hat, der mit dem Körper des Gerätes elektrisch verbunden werden kann oder an den die Tinte von dem Körper des Gerätes zugeführt werden kann, wenn er auf dem Körper des Gerätes montiert ist, oder der einen einstückig als Aufzeichnungskopf gebildeten Kartuschenaufzeichnungskopf hat.
Vorzugsweise wird zusätzlich die Aufzeichnungskopfwiederherstelleinrichtung und eine Hilfseinrichtung des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsgerätes vorgesehen, da die Wirkung der vorliegenden Erfindung weiter stabilisiert werden kann. Insbesondere kann eine Wirkung erzielt werden, indem der Aufzeichnungsbetrieb durch Vorsehen einer Aufzeichnungskopfabdeckungseinrichtung, einer Reinigungseinrichtung, einer Druckbeaufschlagungs- oder Saugeinrichtung, eines elektrothermischen Wandelelements einer weiteren Heizvorrichtung oder einer die vorstehend genannten Elemente kombinierenden Hilfsheizeinrichtung und durch Ausführen eines vorangehenden Auslassmodus stabil ausgeführt werden kann, bei dem ein Auslassen von dem Aufzeichnungsbetrieb getrennt ausgeführt wird.
Desweiteren kann der Aufzeichnungsmodus des Aufzeichnungsgeräts ein Aufzeichnungsmodus zum Aufzeichnen mit nur einer Hauptfarbe sein, wie beispielsweise schwarz, und ein Aufbau kann durch einstückiges Bilden von Aufzeichnungsköpfen gebildet werden oder durch Kombinieren einer Vielzahl Aufzeichnungsköpfe gebildet werden. Die vorliegende Erfindung kann sehr wirkungsvoll an ein Gerät angepaßt werden, das einen Aufzeichnungskopf mit einer Vielzahl Farben oder zumindest einen Vollfarbkopf hat, der angeordnet ist, um Farben zu mischen.
Obwohl die vorstehend genannten Ausführungsbeispiele flüssige Tinte verwenden, kann Tinte verwendet werden, die bei Raumtemperatur fest ist oder die bei Raumtemperatur weich gemacht wird. Bei dem vorstehend genannten Tintenstrahlgerät wird für gewöhnlich die Temperatur der Tinte in einem Bereich von 30ºC bis 70 ºC geregelt, damit die Viskosität der Tinte in einem stabilen Auslaßbereich ist, und dadurch kann Tinte verwendet werden, die auf ein zugeführtes Aufzeichnungssignal ansprechend verflüssigt wird. Desweiteren kann Tinte verwendet werden, deren Temperaturanstieg durch ein sicheres Verwenden des Temperaturanstiegs verhindert wird, der von der Wärmeenergie als Energie einer Zustandsänderung vom festen Zustand in den flüssigen Zustand der Tinte herrührt, oder Tinte, die beim Ermöglichen eines Stillstands verfestigt wird, um das Verdampfen der Tinte zu verhindern. Das heißt, daß durch Wärmeenergie verflüssigte Tinte, wie beispielsweise auf das Aufzeichnungssignal ansprechend durch Wärmeenergie verflüssigte und als Tintentropfen ausgelassene Tinte, oder beim Erreichen des Aufzeichnungsmediums verfestigte Tinte bei der vorliegenden Erfindung angewendet werden kann. In diesem Fall kann die Tinte in flüssiger oder fester Form durch eine Vertiefung eines porösen Blattes oder ein Durchgangsloch gehalten werden, wie es in der japanischen Patentoffenlegungsschrift 54-56847 oder in der japanischen Patentoffenlegungsschrift 60-71260 offenbart ist, und in Gegenlage zu dem elektrothermischen Wandelelement angeordnet ist. Vorzugsweise wird die Tinte durch das vorstehend genannte Filmsiedeverfahren ausgestoßen.
Fig. 10 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Beispiels eines Tintenstrahlaufzeichnungsgeräts (IJRA), in dem ein Aufzeichnungskopf eingebaut ist, der durch die vorliegende Erfindung als eine Tintenstrahlkopfkartusche (IJC) erhalten wird.
In Fig. 10 ist mit 20 eine Tintenstrahlkopfkartusche (IJC) bezeichnet, die eine Gruppe von Düsen zum Auslassen von Tintentropfen auf eine Aufzeichnungsfläche eines auf einer Papierwalze 24 zugeführten Aufzeichnungsblattes hat. Mit 27 ist ein Schlitten zum Befördern der Tintenstrahlkopfkartusche 20 bezeichnet. Der Schlitten 27 ist mit einem Antriebsriemen 18 zum Übertragen einer Antriebskraft von einem Antriebsmotor 28 an den Schlitten verbunden und kann über die gesamte Breite der Tintenstrahlkopfkartusche 20 entlang zweier paralleler Führungswellen 19A und 19B hin- und hergeschoben werden.
Mit 26 ist eine Kopfwiederherstellvorrichtung bezeichnet, die in der Nähe eines Endes der Bewegungsbahn der Tintenstrahlkopfkartusche 20 (beispielsweise eine Ausgangsposition) angeordnet ist. Die Kopfwiederherstellvorrichtung 26 wird durch eine Antriebskraft eines Motors 22 über einen Übertragungsmechanismus 23 angetrieben, so daß die Tintenstrahlkopfkartusche 20 durch einen Abdeckungsabschnitt 26A der Kopfwiederherstellvorrichtung 26 abgedeckt wird. Auf das Abdecken der Tintenstrahlkopfkartusche 20 mittels des Abdeckungsabschnitts ansprechend wird die Tinte durch einem der Kopfwiederherstellvorrichtung 26 vorgesehene geeignete Saugeinrichtung gesaugt oder die Tinte wird zwangsweise durch eine geeignete auf einer Tintenzuführbahn vorgesehene Druckeinrichtung zugeführt, so daß die Tinte zwangsweise aus den Auslaßöffnungen ausgelassen wird, womit die viskose Tinte aus den Düsen entfernt wird (Auslasswiederherstellvorgang). Desweiteren kann nach dem Aufzeichnungsbetrieb durch Abdecken der Tintenstrahlkopfkartusche 20 letztere geschützt werden.
Mit 30 ist ein Wischer als ein aus Silikongummi hergestelltes Wischelement bezeichnet und an einer Seite der Kopfwiederherstellvorrichtung 26 angeordnet. Der Wischer 30 wird durch einen Wischerhalter 30A in einer einseitig eingespannten Weise gehalten und wird wie bei dem Fall der Kopfwiederherstellvorrichtung 26 durch den Motor 22 und den Übertragungsmechanismus 23 angetrieben, so daß der Wischer durch die Auslaßoberfläche der Tintenstrahlkopfkartusche 20 im Eingriff sein kann. Somit erstreckt sich bei einer geeigneten Zeitabstimmung während des Aufzeichnungsbetriebs der Tintenstrahlkopfkartusche 20 oder nach dem Auslasswiederherstellvorgang der Kopfwiederherstellvorrichtung 26 der Wischer 30 in der Bewegungsbahn der Tintenstrahlkopfkartusche 20, so daß die Tintentropfen, die Tintenflüssigkeit und/oder der auf der Auslaßoberfläche der Tintenstrahlkopfkartusche 20 abgelagerte Schmutz durch den Wischer auf die Bewegung der Tintenstrahlkopfkartusche 20 ansprechend entfernt wird.
Wie vorstehend erwähnt ist, ist es durch Ausführen des sich auf das erfindungsgemäße Verbinden beziehenden Herstellverfahrens möglich, eine Vielzahl gemeinsamer Köpfe zu erhalten und das Werkstück bei hohem Produktionstempo ohne Positionsungenauigkeit und ohne schlechte Verbindung stabil zu verbinden.

Claims

1. Tintenstrahlkopfherstellverfahren mit einem Druckbeaufschlagungsschritt, wobei ein Grundelement (1) und ein oberes Element (2) gedrückt und miteinander über Wandelemente (3, 4) verbunden werden, die Flüssigkeitskanäle (5) definieren, die mit Auslaßöffnungen zum Auslassen von Tinte in Verbindung stehen, wobei der Druck auf das Grundelement (1) und auf das obere Element (2) im wesentlichen bis auf die Bereiche aufgebracht wird, in denen die Flüssigkeitskanäle (5) ausgebildet sind, so daß nur die Wandelemente (3) mit Druck beaufschlagt werden.

2. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei vertiefte Abschnitte (14) in einem Druckelement (13) zum Ausführen der Druckbeaufschlagung in Übereinstimmung mit den Bereichen ausgebildet sind, in denen die Flüssigkeitskanäle (5) ausgebildet sind.

3. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei die Druckbeaufschlagung in einem Zustand bewirkt wird, bei dem ein dünner elastischer Film (12) zwischen das Druckelement (13) und ein mit Druck zu beaufschlagenden Element zwischengesetzt ist.

4. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 3, wobei der dünne elastische Film (12) eine durch einen A-Typ- Härtetester eines Federtyps K6301 nach dem japanischen Industriestandard gemessene Härte von 40 - 85 Grad und eine Dicke von 0,2 bis 1 mm hat.

5. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei das Verbinden in einem Zustand bewirkt wird, bei dem eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare Klebmittelschicht zwischen das obere Element (2) und das Grundelement (1) zwischengesetzt ist.

6. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 5, wobei die durch ultraviolette Strahlung aushärtbare Klebmittelschicht eine Dicke von 1 - 5 µm hat.

7. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 5, wobei das Druckelement (13) zum Ausführen der Druckbeaufschlagung für ultraviolette Strahlen durchlässig ist.

8. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 5, das desweiteren einen Aushärteschritt zum Aushärten des durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren Klebmittels durch Bestrahlen der ultravioletten Strahlen darauf nach dem Druckbeaufschlagungsschritt umfaßt.

9. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei sowohl das Grundelement (1) als auch das obere Element (2) plattenförmig sind.

10. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei die Druckbeaufschlagung während eines Erhitzens bewirkt wird.

11. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei das Erhitzen vor dem Druckbeaufschlagungsschritt bewirkt wird.

12. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, das desweiteren einen vorübergehenden Klebeschritt zum vorübergehenden Kleben des oberen Elementes (2) an das Grundelement (1) an einer Vielzahl Punkte um die Bereiche umfaßt, in denen die Flüssigkeitskanäle (5) ausgebildet sind.

13. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 12, wobei das vorübergehende Kleben durch Verwenden eines elastischen Zweiflüssigkeitskomponentenklebmittels bewirkt wird.

14. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, das desweiteren einen Kühlschritt zum Kühlen des mit Druck zu beaufschlagenden Elements umfaßt, während die vorstehend genannte Druckbeaufschlagung erhalten bleibt.

15. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei die Flüssigkeitskanäle (5) eine Vielzahl Tintenbahnen, die mit der entsprechenden Vielzahl der Auslaßöffnungen in Verbindung stehen, und Tintenkammern umfassen, die mit der Vielzahl der Tintenbahnen gemeinsam in Verbindung stehen, und wobei vertiefte Abschnitte (14) in einer Innenfläche des oberen Elementes (2) in Übereinstimmung mit den Tintenkammern ausgebildet sind.

16. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei Energieerzeuger zum Erzeugen von Energie, die zum Auslassen von Tinte aus den Auslaßöffnungen verwendet wird, in den jeweiligen Flüssigkeitskanälen angeordnet sind.

17. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 16, wobei die Energieerzeuger elektrothermische Wandelelemente zum Erzeugen von Wärmeenergie als die vorstehend genannte Energie aufweisen.

18. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei eine Vielzahl der Auslaßöffnungen entlang einer gesamten Breite eines Aufzeichnungsträgers angeordnet sind, auf dem ein Bild durch die aus den Auslaßöffnungen ausgelassene Tinte gebildet wird.

19. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, das desweiteren einen Trennschritt zum Teilen des Tintenstrahlkopfes in einzelne Elemente umfaßt.

20. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 1, wobei die Wandelemente (3, 4) aus photosensitivem Harz ausgebildet sind.

21. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 15, wobei das Grundelement (1) und das obere Element (2) mit Druck beaufschlagt und miteinander bis auf Bereiche verbunden werden, in denen die Tintenkammern ausgebildet sind.

22. Tintenstrahlkopfherstellverfahren nach Anspruch 15, wobei das Grundelement (1) und das obere Element (2) mit Druck beaufschlagt und miteinander bis auf Bereiche verbunden werden, in denen die mehreren Tintenbahnen und Tintenkammern ausgebildet sind.

23. Tintenstrahlkopfherstellgerät zum Ausführen des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 22, das ein Druckelement (13) zum Beaufschlagen eines Grundelementes (1) und eines oberen Elementes (2) miteinander über Wandelemente (3, 4) mit Druck umfaßt, die die Flüssigkeitskanäle (5) definieren, die mt Auslaßöffnungen zum Auslassen von Tinte in Verbindung stehen, wobei das Druckelement (13) im wesentlichen auf Bereiche, in denen die Wandelemente (3) ausgebildet sind, und nicht auf Bereiche Druck aufbringt, in denen die Flüssigkeitskanäle (5) ausgebildet sind.

24. Tintenstrahlkopfherstellgerät nach Anspruch 23, wobei vertiefte Abschnitte (14) in dem Druckelement (13) in Übereinstimmung zu den Bereichen ausgebildet werden, in denen die Flüssigkeitskanäle (5) ausgebildet sind.

25. Tintenstrahlkopfherstellgerät nach Anspruch 23, das desweiteren eine Temperatureinstelleinrichtung zum Einstellen von Temperaturen des Grundelementes (1) und des oberen Elementes (2) über die Wandelemente (3, 4) umfaßt.

26. Tintenstrahlkopfherstellgerät nach Anspruch 23, wobei das Verbinden in einem Zustand bewirkt wird, bei dem eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare Klebmittelschicht (7) zwischen das obere Element (2) und das Grundelement (1) zwischengesetzt ist, und das Druckelement (13) für ultraviolette Strahlen durchlässig ist, und wobei desweiteren eine ultraviolette Belichtungseinheit zum Ausstrahlen der ultravioletten Strahlen auf die durch ultraviolette Strahlung aushärtbare Klebmittelschicht (7) umfaßt ist.