DE69107776T2 - Monochromator mit speziell geformten Spalten. - Google Patents

Monochromator mit speziell geformten Spalten.

Info

Publication number
DE69107776T2
DE69107776T2 DE69107776T DE69107776T DE69107776T2 DE 69107776 T2 DE69107776 T2 DE 69107776T2 DE 69107776 T DE69107776 T DE 69107776T DE 69107776 T DE69107776 T DE 69107776T DE 69107776 T2 DE69107776 T2 DE 69107776T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
slit
monochromator
light
entrance
exit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69107776T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69107776D1 (de
Inventor
Tatsumi Sato
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Publication of DE69107776D1 publication Critical patent/DE69107776D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69107776T2 publication Critical patent/DE69107776T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/04Slit arrangements slit adjustment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf Monochromatoren und bezieht sich insbesondere (aber nicht ausschließlich) auf Monochromatoren, die in Spektrophotometern und anderen Meßgeräten verwendet werden können.
  • Ein Monochromator enthält eine Eintrittsspaltplatte mit einem Eintrittsspalt, einen Lichtseparator (wie etwa ein Beugungsgitter, ein Prisma usw.) und eine Austrittsspaltplatte mit einem Austrittsspalt. In einen Monochromator durch den Eintrittsspalt eintretendes Licht wird durch den Lichtseparator in eine Folge von monochromatischen Lichtkomponenten getrennt (oder zerlegt), und es wird ein Bild des Eintrittsspalts jeder monochromatischen Komponente auf die Austrittsspaltplatte projiziert. Es kommt also monochromatisch gemachtes Licht jeder Wellenlänge aus dem Austrittsspalt, wenn der Monochromator einen eingestellten Bereich von Wellenlängen überstreicht.
  • Bei bislang vorgeschlagenen Monochromatoren sind sowohl der Eintrittsspalt als auch der Austrittsspalt rechteckig, wobei sich ihre längeren Abmessungen in Richtung senkrecht zur Separationsrichtung des Lichts erstrecken (die Separationsrichtung des Lichts wird im folgenden als "seitliche Richtung" bezeichnet). Ein Spektrophotometer, das einen Monochromator verwendet, der mit Spalten einer solchen Form ausgestattet ist, hat folgendes Problem.
  • Wenn eine Probe in einem Spektrophotometer gemessen wird, wird ein aus dem Austrittsspalt des Monochromators austretendes Lichtbündel auf eine zu messende Probe fokussiert, wo ein Bild des Austrittsspalts, wie in Fig. 1B der beigefügten Zeichnungen gezeigt, ausgebildet wird. Das Lichtbündel 11) zur Messung der Probe (12) hat also rechteckige Form: es hat die Form des Austrittsspalts des Monochromators. Wenn eine gewöhnliche Kastenprobenzelle mit einer ausreichenden Menge an Probenmaterial verwendet wird, läßt es sich einrichten, daß das gesamte Meßlicht durch die Probe geht. Wenn jedoch eine Strömungsprobenzelle verwendet wird oder eine kleine Probe oder eine geringe Menge an Probe gemessen wird, kommt es vor, daß nur ein Teil des Meßlichts die Probe durchlaufen kann. Die Lichtausbeute bei der Messung wird damit niedrig, da, wie in Fig. 1B gezeigt, ein Teil 13 des Meßlichts 11 außerhalb der Probe 12 nicht für die Messung verwendet wird.
  • Eine andere Anordnung ist in JP-A-54 136 359 gezeigt. Diese Druckschrift offenbart die Verwendung kreisförmiger Eintritts- und Austrittsöffnungen anstelle herkömmlicher Spalte bei einem Monochromator, um das Bild dem Kerndurchmesser einer optischen Faser anzupassen.
  • Gemäß der Erfindung ist ein Monochromator so aufgebaut, daß langgestreckte Eintritts- und Austrittsspalte desselben jeweils so geformt sind, daß die Breite des Spalts zu beiden Enden seiner Höhe hin kleiner wird (wobei die Breite die Abmessung in seitlicher Richtung ist).
  • Ein Beispiel einer solchen Form ist in Fig. 1A der beigefügten Zeichnungen gezeigt, in welcher der Spalt 10 rhombische Form hat. Bei Vergleich mit der in Fig. 18 gezeigten bekannten Form wird deutlich, daß die Lichtausbeute im Falle der Fig. 1A größer ist, wo eine größere Lichtmenge auf eine kleine Probe 12 eingestrahlt und eine geringere Lichtmenge 13 vergeudet wird als bei dem von dem bekannten rechteckigen Spalt ausgehenden Licht. Dieser Vergleich erfolgt unter den Bedingungen, daß (a) die Helligkeit des Monochromators (d.h. die gesamte Menge des von dem Austrittsspalt ausgehenden Meßlichts) die gleiche ist, und (b) die Auflösung des Monochromators die gleiche ist. Das oben erwähnte Problem einer niedrigen Ausbeute läßt sich also mildern.
  • Die Erfindung wird nun anhand eines der Veranschaulichung dienenden nicht einschränkend zu verstehenden Beispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen weiter beschrieben, in welchen
  • Fig. 1A ein Diagramm ist, welches ein auf eine kleine Probe eingestrahltes Bild eines rhombischen Spalts eines die Erfindung verkörpernden Monochromators zeigt,
  • Fig. 1B ein Diagramm ist, welches ein auf eine kleine Probe eingestrahltes Bild eines früher vorgeschlagenen rechteckigen Spalts zeigt,
  • Fig. 2 ein Diagramm ist, welches das Bild eines einen rhombischen Austrittsspalt überlappenden rhombischen Eintrittsspalts zeigt,
  • Fig. 2B ein Diagramm ist, welches das Bild eines einen rechteckigen Austrittsspalt überlappenden rechteckigen Eintrittsspalts zeigt,
  • Fig. 3A ein Graph ist, welcher eine Spektrumspitze einer von dem rhombischen Spalt ausgehenden monochromatischen Lichtkomponente zeigt,
  • Fig. 3B ein Graph ist, welcher eine Spektrumspitze einer von dem rechteckigen Spalt ausgehenden monochromatischen Lichtkomponente zeigt,
  • Fig. 4 einen Spalt zeigt, der in einem weiteren die Erfindung verkörpernden Monochromator verwendet wird, und
  • Fig. 5 einen Spalt zeigt, der in einem weiteren die Erfindung verkörpernden Monochromator verwendet wird.
  • Ein erster die Erfindung verkörpernder Monochromator ist mit einem Eintrittsspalt und einem Austrittsspalt jeweils rhombischer Form, wie sie in Fig. 1A gezeigt ist, ausgestattet, wobei die kürzere Diagonale parallel zur Richtung der Trennung des zusammengesetzten Lichts verläuft. Bei Monochromatoren haben der Eintrittsspalt und der Austrittsspalt die gleiche Form, da das Bild des Eintrittsspalts vom Austrittsspalt emittiert wird. Die Wirkung der rhombischen Form der Spalte wird nun im Vergleich mit derjenigen bekannter Spalte rechteckiger Form, wie sie in Fig. 1B gezeigt ist, beschrieben.
  • Wenn monochromatisches Licht durch den Eintrittsspalt in den Monochromator eintritt und mit dem Monochromator eine Wellenlängenabtastung durchgeführt wird, bewegt sich ein Bild des Eintrittsspalts auf der Austrittsspaltplatte in seitlicher Richtung. Wenn das Bild des Eintrittsspalts sich in der seitlichen Richtung bewegt, streicht es über den Austrittsspalt, und ein Teil 22 (27) des Bildes 20 (25) des Eintrittsspalts, der sich mit dem Austrittsspalt 21 (26) überlappt, wird, wie in Fig. 2A (28) gezeigt, vom Monochromator ausgesandt. Die vom Monochromator ausgesandte Lichtmenge ist also proportional zur Fläche des Überlappabschnitts 22, 27. Die Fläche nimmt im Falle der rhombischen Spalte (Fig. 2A) parabolisch und im Falle der rechteckigen Spalte (Fig. 2B) linear zu, wenn sich der Abstand x zwischen dem Bild des Eintrittsspalts 20, 25 und dem Austrittsspalt 21, 26 auf null (wo das Bild 20, 25 und der Austrittsspalt 21, 26 zusammenfallen) abnimmt.
  • Die Änderung der vom Monochromator abgegebenen Lichtmenge in Abhängigkeit vom Abstand x ist in den Fig. 3A und 38 gezeigt. Da das Bild 20, 25 aus monochromatischem Licht besteht, zeigen diese Graphen eine Spektrumspitze von monochromatischem Licht, das von dem Austrittsspalt abgegeben wird. (In den Fig. 3A und 3B ist die Position der Spitze der Spektrumspitzenkurve aus Gründen der Einfachheit der Erläuterung auf Null gesetzt. Die tatsächliche Spitzenposition monochromatischen Lichts mit der Wellenlänge λ&sub0; liegt an der Wellenlänge λ&sub0;.)
  • Die Form der Spektrumspitze der Fig. 3A (bewirkt durch die rhombische Spalte) läßt sich folgendermaßen formulieren:
  • h(&lambda;) = (w - &lambda; )² H/(2.w) (-w < &lambda; < w) ......(1)
  • = 0 (&lambda; &le; -w, &lambda; &ge; w).
  • Die Form der Spektrumspitze der Fig. 38 (bewirkt durch die rechteckigen Spalte) läßt sich folgendermaßen formulieren:
  • h(&lambda;) = -b. &lambda; + a.b (-a < &lambda; a) ......(2)
  • = 0 (&lambda; &le; -a, &lambda; &ge; a).
  • Die Auflösung des Monochromators hängt von der Breite der Spalte ab. Da die Auflösung normalerweise durch die Halbwertsbreite der Spektrumspitze definiert wird, ist die Beziehung zwischen der Breite w des rhombischen Spalts (Fig. 1A) und der Breite a des rechteckigen Spalts (Fig. 18) zur Erzielung der gleichen Auflösung:
  • w = a/(2 - 2) = 1,7 a .....(3)
  • was aus den Gleichungen (1) und (2) durch Gleichsetzung der Halbwertsbreiten der Spektrumspitzen der Fig. 3A und 3B hergeleitet ist.
  • Zur Erzielung derselben Helligkeit (der vom Monochromator abgegebene Lichtmenge) unter Beibehaltung der Auflösung ist die Beziehung zwischen der Höhe H des rhombischen Spalts und der Höhe b des rechteckigen Spalts:
  • H = 3.(2 - 2)² b b ......(4)
  • was aus den Gleichungen (1) und (2) durch Gleichsetzen der Flächen der Spektrumspitzen der Fig. 3A und 3B hergeleitet ist.
  • Die Gleichungen (3) und (4) zeigen, daß die Breite des rhombischen Spalts 1,7-fach und die Höhe ungefähr gleich wie Breite und Höhe des rechteckigen Spalts zur Gewinnung der gleichen Auflösung und der gleichen Helligkeit sind. Durch Vergleich der Fig. 1A und 1B sieht man, daß das vom rhombischen Spalt 10 abgegebene Licht einen größeren Teil einer kleinen Probe 12 abdecken kann als das von dem bekannten rechteckigen Spalt 11 abgegebene. Das heißt, durch Verwendung von Meßlicht, das durch den Monochromator der vorliegenden Ausführungsform erzeugt wird, läßt sich eine größere Lichtausbeute bei der Messung einer Strömungsprobenzelle, oder wenn eine kleine Probe gemessen wird, erzielen.
  • Als nächstes wird das Streulicht betrachtet. Die Streulichtmenge in einem Monochromator ist proportional zu der in den Monochromator durch den Eintrittsspalt eintretenden Lichtmenge, d.h. Proportional zur Fläche des Eintrittspalts. Da das Streulicht gleichförmig innerhalb des Monochromators zerstreut wird, ist die vom Austrittsspalt abgegebene Streulichtmenge ferner proportional zur Fläche des Austrittsspalts. Die vom Monochromator abgegebene Streulichtmenge ist daher proportional zu dem Produkt der Flächen von Eintrittsspalt und Austrittsspalt. Das Wichtige am Streulicht ist nicht die absolute Menge, sondern die relative Menge (das Verhältnis) C in dem vom Monochromator abgegebenen Licht. Für den rhombischen Spalt 10 der Fig. 1A beträgt das Verhältnis CA:
  • CA = (a.b²/(a².b) = b,
  • wobei (a².b) die vom Monochromator abgegebene Lichtmenge ist, und für den rechteckigen Spalt 11 der Fig. 18 ist das Verhältnis CB:
  • CB = {(w².H²)/4}/{(w².H)/3} = (3/4).H.
  • Wenn die Menge des abgegebenen Lichts und die Auflösung gleich angenommen werden, haben die Verhältnisse CA und CB der beiden Arten von Spalten die Beziehung
  • CB/CA = 3/4 ......(5)
  • da H b, wie oben beschrieben. Gleichung (S) bedeutet, daß der Anteil an Streulicht in dem vom Monochromator abgegebene Licht auf 3/4 vermindert ist, wenn rhombische Spalte verwendet werden. Der Störabstand eines den Monochromator der vorliegenden Ausführungsform verwendenden Spektrophotometers ist also erhöht, und die Empfindlichkeit und Genauigkeit von mit dem Spektrophotometer vorgenommenen Messungen ist verbessert.
  • Bei der obigen Erläuterung des Vergleichs des Streulichts werden die beiden Arten von Spalten unter der Annahme gleicher Werte für Helligkeit und Auflösung verglichen. Wenn mit anderen Worten die gleiche Auflösung und das gleiche Streulichtniveau angenommen werden, kann die Helligkeit des Monochromators der vorliegenden Ausführungsform größer als diejenige bekannter Monochromatoren sein, oder es kann, wenn die gleiche Helligkeit und das gleiche Streulichtniveau angenommen werden, eine höhere Auflösung erreicht werden.
  • Die Art und Weise, mit der das Verschmälern der Breite von Spalten von Monochromatoren, die die Erfindung verkörpern, ausgeführt wird, beschränkt sich nicht auf das in Fig. 1A gezeigte Beispiel. Die Breite kann beispielsweise stufenweise von der Mitte zu den Enden hin, wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt, vermindert werden, und die gleichen Argumente wie oben gelten für alle Spalten von Monochromatoren, die die Erfindung verkörpern, solange nur die Breite zu den Enden hin enger wird. Speziell weisen in den Fällen der Fig. 4 und 5 die Spalte jeweils ein Rechteck auf, das seine längere Abmessung in Richtung senkrecht zur Richtung der Trennung des zusammengesetzten Lichts hat und das eine Ausbauchung in der Breite an seiner oder um seine Mitte herum hat. Die Ausbauchung ist von rechteckiger Form in Fig. 4 und von kreisförmiger Form in Fig. 5.

Claims (5)

1. Monochromator mit einem langgestreckten Eintrittsspalt zum Empfang von zusammengesetztem Licht, Mitteln zum Trennen des zusammengestzten Lichts in eine Reihe von monochromatischen Lichtkomponenten, und einem langgestreckten Austrittsspalt zur Abgabe von monochromatischem Licht, wobei der Eintritts- und Austrittsspalt so angeordnet sind, daß ihre kürzere Abmessung, d.h. die Breite, parallel zur Richtung der Trennung des zusammengestzten Lichts und ihre längere Abmessung, d.h. die Höhe, senkrecht dazu ist, dadurch gekennzeichenet, daß Eintritts- und Austrittsspalt beide so geformt sind, daß sich die Breite des Spaltes längs seine Höhe so ändert, daß sie kleiner zu beiden Enden seiner Höhe hin wird.
2. Monochromator nach Anspruch 1, wobei der Eintritts- und Austrittsspalt (10) rhombische Form mit der kürzeren Diagonale parallel zur Richtung der Trennung des zusammengesetzten Lichts haben.
3. Monochromator nach Anspruch 1, wobei der Eintritts- und Austrittsspalt jeweils ein Rechteck aufweisen, das sich mit seiner längeren Abmessung in der Richtung senkrecht zur Richtung der Trennung des zusammengesetzten Lichts erstreckt und eine Ausbauchung in Breitenrichtung an seiner Mitte oder um seine Mitte herum aufweist.
4. Monochromator nach Anspruch 3, wobei die Ausbauchung rechteckige Form hat.
5. Monochromator nach Anspruch 3, wobei die Ausbauchung Kreisform hat.
DE69107776T 1990-09-29 1991-09-25 Monochromator mit speziell geformten Spalten. Expired - Fee Related DE69107776T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2262580A JPH04140619A (ja) 1990-09-29 1990-09-29 分光器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69107776D1 DE69107776D1 (de) 1995-04-06
DE69107776T2 true DE69107776T2 (de) 1995-10-26

Family

ID=17377786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69107776T Expired - Fee Related DE69107776T2 (de) 1990-09-29 1991-09-25 Monochromator mit speziell geformten Spalten.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5170280A (de)
EP (1) EP0482765B1 (de)
JP (1) JPH04140619A (de)
CN (1) CN1026821C (de)
DE (1) DE69107776T2 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001084098A1 (en) * 2000-05-01 2001-11-08 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurweten-Schappelijk Onderzoek Tno Method and means of measuring wavelength change
DE10207742B4 (de) * 2002-02-22 2008-11-20 Berthold Gmbh & Co. Kg Atomabsorptionsspektroskopieverfahren und Atomabsorptionsspektrometer
ATE448472T1 (de) * 2003-07-14 2009-11-15 Tecan Trading Ag Schlitzblende in einem monochromator
JP2007232208A (ja) * 2006-01-31 2007-09-13 Mitsuboshi Belting Ltd 歯付ベルト及びそれに使用する歯布
JP6167985B2 (ja) * 2014-05-09 2017-07-26 株式会社島津製作所 分光センサ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3708227A (en) * 1971-04-19 1973-01-02 Optical Coating Laboratory Inc Spectral analysis instrument with programmed spectral slit width
GB1515860A (en) * 1975-11-28 1978-06-28 Perkin Elmer Ltd Spectrophotometers
US4902084A (en) * 1988-07-29 1990-02-20 Oren Aharon Optical scanning system
US5059013A (en) * 1988-08-29 1991-10-22 Kantilal Jain Illumination system to produce self-luminous light beam of selected cross-section, uniform intensity and selected numerical aperture

Also Published As

Publication number Publication date
EP0482765B1 (de) 1995-03-01
US5170280A (en) 1992-12-08
CN1060356A (zh) 1992-04-15
EP0482765A1 (de) 1992-04-29
DE69107776D1 (de) 1995-04-06
CN1026821C (zh) 1994-11-30
JPH04140619A (ja) 1992-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1754032B1 (de) Echelle-spektrometer mit verbesserter detektorausnutzung durch die verwendung zweier spektrometeranordnungen
DE69206641T2 (de) Hochempfindlicher Multiwellenlängenspektralanalysator
DE60129247T2 (de) Optische sensoreinrichtung und verfahren zur spektralanalyse
EP0098423B1 (de) Gitterspektrometer
EP2516975B1 (de) Spektrometeranordnung
DE69022803T2 (de) Verbessertes Gitterspektrometer.
EP0362562A2 (de) Spektrometer zur gleichzeitigen Intensitätsmessung in verschiedenen Spektralbereichen
EP0442596B1 (de) Echelle-Polychromator
DE3939148C2 (de)
DE2229541A1 (de) Spektrometer
DE4017317C2 (de) Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers
EP2158460B1 (de) Spektrometeranordnung
DE69107776T2 (de) Monochromator mit speziell geformten Spalten.
EP0587683B1 (de) Echelle-polychromator
DE4410036B4 (de) Zweistrahl-Polychromator
DE4223212C2 (de) Gitter-Polychromator
DE102017104872A1 (de) ATR Spektrometer und Verfahren zum Analysieren der chemischen Zusammensetzung einer Probe
DE10207742B4 (de) Atomabsorptionsspektroskopieverfahren und Atomabsorptionsspektrometer
DE1447246C3 (de) Spektrometer
DE10126581A1 (de) Monochromator und Spektrometrieverfahren
DE19814660C1 (de) Gitterspektrometer und Verfahren zur Messung spektraler Intensitäten von weißem Licht
DE19815080C1 (de) Anordnung zur Erhöhung der spektralen Ortsauflösung eines Spektrometers
CH665026A5 (de) Spektrometer.
DE4209672C1 (en) Wavelength measuring device for spectrometry - has sandwich structure of optical waveguides with diffraction gratings of differing constant giving spatial separation of components
DE10253058A1 (de) Hochempfindliche Spektrometeranordnung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee