DE69105383T2 - Werkzeugeinsatz. - Google Patents
Werkzeugeinsatz.Info
- Publication number
- DE69105383T2 DE69105383T2 DE69105383T DE69105383T DE69105383T2 DE 69105383 T2 DE69105383 T2 DE 69105383T2 DE 69105383 T DE69105383 T DE 69105383T DE 69105383 T DE69105383 T DE 69105383T DE 69105383 T2 DE69105383 T2 DE 69105383T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- tool insert
- layer
- insert according
- polymer
- diamond layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 claims description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 claims description 2
- 229920006260 polyaryletherketone Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 claims description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004963 Torlon Substances 0.000 description 1
- 229920003997 Torlon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007737 ion beam deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/01—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
- C23C16/27—Diamond only
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Processing Of Terminals (AREA)
- Gripping On Spindles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
- Diese Erfindung bezieht sich auf einen Werkzeugeinsatz und insbesondere auf einen solchen Einsatz, der eine verschleißfeste Oberfläche aufweist.
- Es werden viele Werkzeugeinsätze kommerziell verwendet, die eine verschleißfeste Oberfläche aufweisen. Beispiele für solche Einsätze sind Düsen und vager. Im Falle von Düsen können verschleißfeste Oberflächen durch Sintercarbid oder durch ein Metall bereitgestellt werden. Solche Oberflächen neigen zu kurzen Nutzungsdauern, wenn sie widrigen und korrosiven Umgebungen ausgesetzt sind.
- GB-A-1 012 529 offenbart ein Verfahren zur Beschichtung eines Kunststoffmaterials mit einem stark haftenden nichtmetallischen anorganischen Film wie einem Titandioxidfilm, umfassend das Beschichten eines erwärmten festen chemisch inerten Trägermaterials wie Gold mit einem nichtmetallischen anorganischen Film durch eine Dampfphasentechnik, die eine chemische Reaktion, z.B. die Hydrolyse von TiCl&sub4;-Dampf, beinhaltet, das Binden des Films an das Kunststoffmaterial und das Trennen des Trägers von dem Film.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Werkzeugeinsatz bereitgestellt, der eine Diamantschicht umfaßt, die auf zwei einander gegenüberliegenden Seiten Hauptflächen darbietet, wobei die eine Hauptfläche der Diamantschicht eine verschleißfeste Oberfläche für den Werkzeugeinsatz bereitstellt und die andere Hauptfläche der Diamantschicht an einen Träger auf Polymerbasis gebunden ist, der eine ausreichende Festigkeit besitzt, um die Kräfte auszuhalten, denen der Werkzeugeinsatz bei der Verwendung ausgesetzt ist.
- Weiterhin beinhaltet die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugeinsatzes, wie er oben beschrieben ist, umfassend die Schritte des Bereitstellens einer geeigneten Form, der Abscheidung einer Diamantschicht auf wenigstens einem Teil einer Fläche der Form, der Bindung eines Trägers auf Polymerbasis, wie er oben beschrieben ist, an eine Fläche der Diamantschicht und des Entfernens der Form, um auf der Schicht eine verschleißfeste Diamantoberfläche bloßzulegen.
- Die Zeichnungen veranschaulichen schematisch die verschiedenen Schritte der Ausführung der Erfindung.
- Die verschleißfeste Oberfläche der Diamantschicht ist vorzugsweise so geformt, daß sie einen Kanal definiert, dessen Querschnitt typischerweise eine geschlossene Gestalt hat. Beispiele für geeignete Kanäle sind zylindrische und konische Kanäle. Beispiele für solche Werkzeugeinsätze sind Düsen.
- Der Werkzeugeinsatz kann auch ein Lager sein.
- Das Polymer soll hinreichend fest sein, um die Kräfte auszuhalten, denen der Werkzeugeinsatz während der Verwendung ausgesetzt ist. Es wird daher gemäß der Natur des Einsatzes variieren. Das Polymer kann ein Thermoplast oder ein Duroplast sein. Im allgemeinen werden Thermoplaste bevorzugt.
- Das Polymer kann zum Beispiel die folgenden Merkmale aufweisen:
- Dichte: 0,90-1,23 g/cm³
- Wärmekapazität: 1,916-2,100 kJ/Kg/K
- Zugfestigkeit: 12-200 N/mm²
- Erweichungstemperatur: 88 bis 155ºC
- Rockwell-Härte: 44-60 C-Skala
- thermischer Ausdehnungskoeffizient: 5 - 710 ppm
- Beispiele für Polymere mit diesen Merkmalen sind Polyethylen, Polypropylen, Polycarbonate, Neopren und Polybutadien. Solche Polymere sind besonders geeignet für Werkzeugeinsätze, die Düsen sind.
- Weitere Beispiele für geeignete Thermoplaste sind Polyetheretherketon, Polyetherketon, Polyaryletherketon, Poly(amid-imid) und Polyphenylensulfid.
- Das Polymer kann verstärkt werden, indem man Fasern oder Pulver mit einbezieht oder darin einbettet. Diese Pulver können metallischer oder keramischer Natur sein, und ein besonders geeignetes Beispiel ist Graphitpulver oder -faser. Ein Beispiel für geeignete Metallteilchen sind Kupferteilchen. Typischerweise wird das Pulver oder die Faser in einer Menge von bis zu 40 Massenprozent des Polymers bereitgestellt.
- Ein Beispiel für ein geeignetes Polymer ist ein hochstrapazierfähiges Poly(amid-imid)harz wie das unter dem Handelsnamen Torlon verkaufte. Ein besonders geeignetes Harz dieses Typs ist das mit der Nummer 7130, das 30 Massenprozent Graphitfasern und 1 Massenprozent Fluorkohlenstoff enthält.
- Die Diamantschicht kann durch Methoden erzeugt oder auf der Form abgeschieden werden, die in der Technik bekannt sind, wie Chemical Vapour Deposition (CVD; chemische Abscheidung aus dem Dampf) und Ionenimplantation (auch bekannt als Ionenstrahlabscheidung) Die bevorzugte Methode ist CVD, mit der auf der Form eine CVD- Diamantschicht entsteht.
- CVD beinhaltet die Synthese von Diamant aus der Gasphase. Der Vorgang umfaßt im allgemeinen das Bereitstellen eines Gemischs aus Wasserstoff- oder Sauerstoffgas und einer geeigneten gasförmigen Kohlenstoffverbindung wie einem Kohlenwasserstoff, die Anwendung von genügend Energie auf das Gas, um den Wasserstoff oder Sauerstoff zu atomarem Wasserstoff oder Sauerstoff und das Gas zu aktiven Kohlenstoff-Ionen, -atomen oder CH-Radikalen zu dissoziieren und um die Abscheidung solcher aktiven Spezies auf einem Substrat unter Bildung von Diamant zu ermöglichen. Die Dissoziation der Gase kann durch eine Vielzahl von Methoden erfolgen.
- Eine solche Methode ist die Verwendung eines Glühdrahtes. Bei dieser Methode beträgt die Gastemperatur am Glühdraht etwa 2000ºC, und das Substrat, auf dem das Wachstum von Diamant erfolgt, ist bei 800 bis 1100ºC.
- Eine zweite häufig verwendete Methode ist eine plasmaunterstützte Methode. Der Wasserstoff oder Sauerstoff und die gasförmige Kohlenstoffverbindung werden in einem Plasmabereich in einen Reaktionszustand angeregt. Die Anregungsenergie kann Mikrowelle, RF- oder DC-Plasma oder UV-Licht oder Wärme sein. Das Substrat wird durch das Plasma aufgeheizt.
- Die Form wird aus einem Material bestehen, das sich eignet, unter Verwendung der bestimmten gewählten Methode eine Diamantschicht darauf entstehen zu lassen. Beispiele für geeignete Materialien, insbesondere für CVD, sind Silicium, Titan, Hafnium, Tantal, Molybdän sowie Carbide und Nitride davon.
- Die Form kann durch Methoden wie Ätzen, Spanen und Fräsen von der Diamantschicht entfernt werden.
- Unter Bezugnahme auf die Begleitzeichnungen wird nun eine Ausführung der Erfindung beschrieben. Unter Bezugnahme auf diese Zeichnungen wird in einem ersten Schritt I eine Siliciumform in Form eines Kegels 10 bereitgestellt. In Schritt II erhält der Kegel 10 eine Diamantschicht 12, die unter Verwendung irgendeiner bekannten CVD-Methode über die gesamte schräge Mantelfläche 14 abgeschieden wird. Die Diamantschicht 12 hat eine rauhe Außenfläche 16. Der diamantbeschichtete Kegel aus Schritt II wird dann in eine geeignete Form gegeben, und ein polymerer Träger 18 um den Kegel herum erzeugt (Schritt III). Der geformte polymere Träger 18 besitzt einen Teil 20 mit einem Gewinde. Im letzten Schritt IV wird der Siliciumkegel 10 entfernt, zum Beispiel durch Ätzen, und der obere Abschnitt 22 der in Schritt III erzeugten Einheit entfernt, zum Beispiel durch Fräsen, wobei eine Düse auf Polymerbasis mit vorgefertigtem Gewinde mit einer Diamantauskleidung entsteht. Die Innenfläche 24 stellt eine hoch abriebfeste Fläche für den Kanal 26 der Düse dar. Die Fläche 24 besitzt eine feine Oberflächenbeschaffenheit, die die des Kegels 10 wiedergibt und keine rauhe Oberflächenbeschaffenheit wie ein Film oder eine Schicht aus normalem CVD-Diamant.
Claims (11)
1. Gegenstand, umfassend eine Schicht (12), die Hauptflächen
(24,16) auf einander gegenüberliegenden Seiten darbietet,
wobei die eine Hauptfläche (24) der Schicht eine
verschleißfeste Oberfläche für den Gegenstand bereitstellt und
die andere Hauptfläche (16) der Schicht an einen Träger auf
Polymerbasis (18) gebunden ist, der eine ausreichende
Festigkeit besitzt, um die Kräfte auszuhalten, denen der
Gegenstand bei der Verwendung ausgesetzt ist, dadurch
gekennzeichnet, daß der Gegenstand ein Werkzeugeinsatz und
die Schicht (12) eine Diamantschicht ist.
2. Werkzeugeinsatz gemäß Anspruch 1, wobei die verschleißfeste
Oberfläche (24) der Diamantschicht (12) so geformt ist, daß
sie einen Durchgang definiert.
3. Werkzeugeinsatz gemäß Anspruch 2, wobei die verschleißfeste
Oberfläche (24) der Diamantschicht (12) so geformt ist, daß
sie einen Durchgang (26) mit einem Querschnitt mit
geschlossener Form definiert.
4. Werkzeugeinsatz gemäß Anspruch 3, wobei der Durchgang (26)
ein zylindrischer oder ein konischer Durchgang ist.
5. Werkzeugeinsatz gemäß einem der vorangehenden Ansprüche,
wobei die Diamantschicht (12) eine CVD-Diamantschicht ist.
6. Werkzeugeinsatz gemäß einem der vorangehenden Ansprüche,
wobei das Polymer die folgenden Merkmale aufweist:
Dichte: 0,90-1,23 g/cm³
Wärmekapazität: 1,916-2,100 kJ/Kg/K
Zugfestigkeit: 12-200 N/mm²
Erweichungstemperatur: 88 bis 155ºC
Rockwell-Härte: 44-60 C-Skala
thermischer Ausdehnungskoeffizient: 5 - 710 ppm
7. Werkzeugeinsatz gemäß Anspruch 6, wobei das Polymer aus
Polyethylen und Polypropylen ausgewählt ist.
8. Werkzeugeinsatz gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei
das Polymer aus Polyetheretherketon, Polyetherketon,
Polyaryletherketon, Poly(amid-imid) und Polyphenylensulfid
ausgewählt ist.
9. Werkzeugeinsatz gemäß einem der vorangehenden Ansprüche,
bei dem es sich um eine Düse handelt.
10. Verfahren zur Herstellung eines Gegenstands gemäß einem der
vorangehenden Ansprüche, umfassend die Schritte des
Bereitstellens einer geeigneten Form (10), der Abscheidung
einer Schicht (12) auf wenigstens einem Teil einer Fläche
(14) der Form (10), der Bindung eines Trägers auf
Polymerbasis (18) an eine Fläche (16) der Schicht (12) und des
Entfernens der Form (10), um eine verschleißfeste
Oberfläche (24) bloßzulegen, dadurch gekennzeichnet, daß der
Gegenstand ein Werkzeugeinsatz und die Schicht (12) eine
Diamantschicht ist.
11. Verfahren gemäß Anspruch 10, wobei die Form (10) aus einem
Material besteht, das aus Silicium, Titan, Hafnium, Tantal,
Molybdän sowie Carbiden und Nitriden davon ausgewählt ist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB909015609A GB9015609D0 (en) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | Tool insert |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE69105383D1 DE69105383D1 (de) | 1995-01-12 |
| DE69105383T2 true DE69105383T2 (de) | 1995-04-06 |
Family
ID=10679166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE69105383T Expired - Fee Related DE69105383T2 (de) | 1990-07-16 | 1991-07-15 | Werkzeugeinsatz. |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5167673A (de) |
| EP (1) | EP0467634B1 (de) |
| JP (1) | JP2693286B2 (de) |
| KR (1) | KR920002264A (de) |
| AT (1) | ATE114511T1 (de) |
| AU (1) | AU643802B2 (de) |
| CA (1) | CA2047140C (de) |
| DE (1) | DE69105383T2 (de) |
| GB (1) | GB9015609D0 (de) |
| IE (1) | IE912465A1 (de) |
| ZA (1) | ZA915149B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009007174A1 (de) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Rösler Holding GmbH & Co. KG | Bauteil |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2087765A1 (en) * | 1992-02-07 | 1993-08-08 | David E. Slutz | Method for producing uniform cylindrical tubes of cvd diamond |
| US5175929A (en) * | 1992-03-04 | 1993-01-05 | General Electric Company | Method for producing articles by chemical vapor deposition |
| CA2090371A1 (en) * | 1992-03-27 | 1993-09-28 | William Frank Banholzer | Water jet mixing tubes used in water jet cutting devices and method of preparation thereof |
| US5337844A (en) * | 1992-07-16 | 1994-08-16 | Baker Hughes, Incorporated | Drill bit having diamond film cutting elements |
| GB9223826D0 (en) * | 1992-11-13 | 1993-01-06 | De Beers Ind Diamond | Abrasive device |
| US5618295A (en) * | 1993-10-16 | 1997-04-08 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Apparatus for preparing skin in advance |
| CA2149836C (en) * | 1994-05-23 | 1999-07-06 | Sang Bae Choi | Perforating device for dermal administration |
| KR0134151B1 (ko) * | 1994-05-23 | 1998-04-14 | 이형도 | 인슐린 패치 |
| US5611806A (en) * | 1994-05-23 | 1997-03-18 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Skin perforating device for transdermal medication |
| US5551277A (en) * | 1994-09-23 | 1996-09-03 | General Electric Company | Annular diamond bodies |
| DE19640920C1 (de) * | 1996-10-04 | 1998-01-22 | Saechsische Werkzeug Und Sonde | Fokussierdüse für das Abrasivwasserstrahlschneiden |
| US6328224B1 (en) * | 1997-02-05 | 2001-12-11 | Illinois Tool Works Inc. | Replaceable liner for powder coating apparatus |
| EP1411143B1 (de) * | 2002-10-14 | 2007-07-18 | Adamant Technologies SA | Verfahren zum Herstellung von rohrförmigen Hohlkörpern mit innenseitiger Diamantbeschichtung |
| FR2984766B1 (fr) * | 2011-12-23 | 2014-02-14 | Commissariat Energie Atomique | Buse d'injection en materiau composite pour la production de poudres par pyrolyse laser. |
| US20170136428A1 (en) * | 2015-11-12 | 2017-05-18 | Vaughan Company, Inc. | Externally mounted adjustable nozzle assembly |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1361008A (fr) * | 1962-06-22 | 1964-05-15 | Andre De Rudnay | Procédé pour rapporter sur des objets en matière plastique des couches de matériaux inorganiques non métalliques et produits obtenus |
| US3529988A (en) * | 1966-09-23 | 1970-09-22 | Teeg Research Inc | Method for making hyperstoichiometric carbide compositions |
| US4240806A (en) * | 1978-08-16 | 1980-12-23 | Minnesota Micro Metal, Inc. | Abrading material |
| IE48798B1 (en) * | 1978-08-18 | 1985-05-15 | De Beers Ind Diamond | Method of making tool inserts,wire-drawing die blank and drill bit comprising such inserts |
| US4332751A (en) * | 1980-03-13 | 1982-06-01 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for fabricating thin films of pyrolytic carbon |
| US4682987A (en) * | 1981-04-16 | 1987-07-28 | Brady William J | Method and composition for producing hard surface carbide insert tools |
| US4544517A (en) * | 1981-12-16 | 1985-10-01 | General Electric Co. | Automatic composite press technique for producing cutting inserts |
| US4681600A (en) * | 1984-09-05 | 1987-07-21 | Extrude Hone Corporation | Cutting tool fabrication process |
| EP0276035A1 (de) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | Persluchtcentrale Nederland B.V. | Einrichtung zur Flächenreinigung |
| JPS63267166A (ja) * | 1987-04-21 | 1988-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜構造体 |
| US5130111A (en) * | 1989-08-25 | 1992-07-14 | Wayne State University, Board Of Governors | Synthetic diamond articles and their method of manufacture |
-
1990
- 1990-07-16 GB GB909015609A patent/GB9015609D0/en active Pending
-
1991
- 1991-07-03 ZA ZA915149A patent/ZA915149B/xx unknown
- 1991-07-10 AU AU80312/91A patent/AU643802B2/en not_active Ceased
- 1991-07-15 KR KR1019910012048A patent/KR920002264A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-07-15 EP EP91306424A patent/EP0467634B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-15 IE IE246591A patent/IE912465A1/en unknown
- 1991-07-15 AT AT91306424T patent/ATE114511T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-07-15 DE DE69105383T patent/DE69105383T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-16 JP JP3175441A patent/JP2693286B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-16 CA CA002047140A patent/CA2047140C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-07-16 US US07/731,708 patent/US5167673A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102009007174A1 (de) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Rösler Holding GmbH & Co. KG | Bauteil |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU8031291A (en) | 1992-01-16 |
| EP0467634A2 (de) | 1992-01-22 |
| KR920002264A (ko) | 1992-02-28 |
| CA2047140A1 (en) | 1992-01-17 |
| EP0467634B1 (de) | 1994-11-30 |
| JP2693286B2 (ja) | 1997-12-24 |
| ATE114511T1 (de) | 1994-12-15 |
| AU643802B2 (en) | 1993-11-25 |
| GB9015609D0 (en) | 1990-09-05 |
| US5167673A (en) | 1992-12-01 |
| ZA915149B (en) | 1992-05-27 |
| CA2047140C (en) | 1995-05-02 |
| IE912465A1 (en) | 1992-01-29 |
| DE69105383D1 (de) | 1995-01-12 |
| JPH05169369A (ja) | 1993-07-09 |
| EP0467634A3 (en) | 1992-04-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69105383T2 (de) | Werkzeugeinsatz. | |
| DE69333176T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von einer synthetischer Diamantschicht | |
| DE60133705T3 (de) | Werkzeug aus einem gesinterten Bornitrid Körper mit beschichteter Oberfläche | |
| DE102011086901A1 (de) | Beschichtungsschichtstruktur eines Grundmaterials einer Form | |
| DE19513614C1 (de) | Verfahren zur Abscheidung von Kohlenstoffschichten, Kohlenstoffschichten auf Substraten und deren Verwendung | |
| DE69330052T2 (de) | Ultrahartes folienbeschichtetes material und dessen herstellung | |
| DE69124881T2 (de) | Diamantartige Kohlenstoffbeschichtungen | |
| EP1120473A2 (de) | Zerspanungswerkzeug mit Carbonitrid-Beschichtung | |
| WO2006024386A2 (de) | Schichtverbund mit kubischen bornitrid | |
| DE3810237A1 (de) | Mit kubischem bornitrid beschichteter koerper und verfahren zu seiner herstellung | |
| DE69838006T2 (de) | Beschichtungsvorrichtung | |
| EP0931178B1 (de) | Verbundkörper, verfahren zu seiner herstellung und verwendung des verbundkörpers | |
| DE68920246T2 (de) | Mit einem keramischen Film überzogener Gegenstand. | |
| EP0229282B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Formkörpers | |
| DE102007040655B4 (de) | Funktionsschichtübertragungsanordnung, Verfahren zu deren Herstellung, Übertragungsverfahren für eine Funktionsschicht und Verwendung einer plasmapolymeren Schicht oder einer Funktionsschichtübertragungsanordnung zum Übertragen einer Funktionsschicht auf ein Substrat | |
| EP1417090B1 (de) | Verfahren zur bearbeitung und herstellung einer oberfläche mit einem glanzgrad | |
| DE19756588A1 (de) | Schichtsystem, Verfahren zu seiner Herstellung sowie seine Verwendung | |
| EP3463871B1 (de) | Verfahren zur herstellung einer trägerplatte und trägerplatte | |
| DE69029729T2 (de) | Verfahren zur Abscheidung aus der Gasphase eines Diamantfilmes | |
| EP0413853A1 (de) | Beschichtetes Werkstück mit einer Mischkristallbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| EP1038044B1 (de) | Verfahren zum herstellen einer bc(n):h schicht | |
| Galuska | Adhesion enhancement of Ni films on polyimide using ion processing. I. 28Si+ implantation | |
| DE10155598A1 (de) | Beschichtungsverfahren | |
| EP2065258B1 (de) | Dekorbauteil und Verfahren zur Herstellung eines Dekorbauteils | |
| DE3532733A1 (de) | Verschleissfester ueberzug aus einem metallcarbid, -nitrid oder -carbonitrid |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |