DE68910111T2 - Numerisch gesteuerte laservorrichtung. - Google Patents

Numerisch gesteuerte laservorrichtung.

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DE68910111T2 DE89908874T DE68910111T DE68910111T2 DE 68910111 T2 DE68910111 T2 DE 68910111T2 DE 89908874 T DE89908874 T DE 89908874T DE 68910111 T DE68910111 T DE 68910111T DE 68910111 T2 DE68910111 T2 DE 68910111T2
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Nobuaki Fanuc Mansion H Iehisa
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine NC (numerisch gesteuerte) Laservorrichtung mit einer Einrichtung zur Zwangskühlung des Lasergases durch ein Gebläse und eine Kühleinheit, und insbesondere eine NC Laservorrichtung, mit der Unregelmäßigkeiten in der Kühleinrichtung erfaßt werden können. JP-A-611 54 188 offenbart einen Gaslaser, bei dem das Lasergas zur Konstanthaltung gekühlt wird.
  • Gaslaser-Oszillatoren, wie CO&sub2; Gaslaser, sind hochwirksam und besitzen eine hohe Ausgangsleistung und ausgezeichnete Strahleigenschaften und demgemäß werden sie oft zusammen mit einer numerisch gesteuerten Einrichtung benutzt, um so als NC Laservorrichtung zum Bearbeiten von Metallen usw. verwendet zu werden. Zur Verbesserung der Schwingungsleistung werden solche Gaslaser-Oszillatoren mit einer Kühleinrichtung versehen, um das durch die Laserschwingung erhitzte Hochtemperaturgas extern zu kühlen und das abgekühl te Gas als Lasergas in das Entladungsrohr zurückzuführen. Die Kühleinrichtung enthält eine Kühleinheit, ein Gebläse und eine Rohrverbindung zum Anschluß dieser Elemente an das Entladungsrohr. Das Gebläse liefert eine konstante Zirkulation des Lasergases im Entladungsrohr.
  • Bei dieser Kühleinrichtung wird das Gebläse unmittelbar von dem Hochtemperaturgas durchströmt, falls die Kühleinheit ausfällt, so dar die Gebläserotoren auf zu hohe Werte überhitzt werden. Sogar dann, wenn die Kühleinheit normal arbeitet, können die Rotoren durch einen anormalen Anstieg der Gebläsedrehzahlen überhitzt werden. Wird beispielsweise ein Gebläse für die Nennfrequenz von 50 Hz fälschlicherweise bei 60 Hz betrieben, so steigt die Drehzahl und damit erhöht sich das Druckverhältnis des Gases in der Nachbarschaft der Rotoren, so daß diese überhitzt werden. So gibt es verschiedene Ursachen für eine zu starke Erwärmung der Gebläserotoren und wenn tatsächlich ein zu starkes Erwärmen dieser Bauteile erfolgt, so dehnen sich die Rotoren thermisch aus und streifen das Gehäuse, so daß sich die Drehzahl verringert und schließlich ein Zustand erreicht wird, in dem die Rotoren nicht mehr drehfähig sind.
  • Auch wenn die Zahl der Umdrehungen des Gebläses überwacht wird, werden die Rotoren das Gehäuse streifen, bevor eine Verringerung der Anzahl der Umdrehungen beobachtet werden kann, was die Folge hat, daß Werkstoffe, die diese Elemente bilden, in das Gebläsesystem gelangen und damit eine unvermeidbare Verunreinigung des Laseroszillators zur Folge haben. Der Spalt zwischen dem Rotor und dem Gehäuse ist bei einem Rootsgebläse etwa 100 bis 300 u und sogar nur 30 bis 50 u bei einem Turbogebläse. Die Rotoren und das Gehäuse bestehen aus Eisen mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 10 x 10&supmin;&sup6;/ºC, so daß ein Anstreifen der Rotoren am Gehäuse unvermeidbar ist, wenn der Temperaturunterschied zwischen den Rotoren und dem Gehäuse mehrere zig ºC beträgt.
  • Die Erfindung entstand mit Rücksicht auf diese Verhältnisse und eine Aufgabe liegt darin, eine NC Laservorrichtung zu schaffen, bei der eine Anormalität in der Kühleinrichtung früh erkannt wird, indem man eine Einlaßgastemperatur und eine Gehäusetemperatur eines Gebläses überwacht, um sekundäre Schäden am Gebläse usw. zu vermeiden.
  • Um die vorgenannten Probleme zu lösen, ist erfindungsgemäß eine NC Laservorrichtung vorgesehen, die aus einer Kombination eines Gaslaseroszillators mit einer Kühleinrichtung zur Zwangskühlung des Lasergaßes mit einem Gebläse und einer Kühleinheit sowie mit einer numerischen Steuerung versehen ist, und die Gastemperatur Meßmittel zum Messen der Gastemperatur am Einlaß des Gebläses aufweist, Gehäusetemperatur-Meßmittel zum Messen der Temperatur des Gebläsegehäuses und Anormalitätserkennungsmittel in der numerischen Lasersteuerung zum Erfassen eines anormalen Zustandes der Kühleinrichtung und zum Anhalten des Betriebes des Gaslaseroszillators, wenn die Einlaßgastemperatur höher wird als ein vorbestimmter Gastemperatur-Bezugswert oder wenn die Gehäusetemperatur höher wird als ein vorbestimmter Gehäusetemperatur-Bezugswert.
  • Die Einlaßgas- und die Gehäusetemperatur des Gebläses werden gemessen und mit ihren jeweiligen Bezugswerten verglichen, und wenn eine der gemessenen Temperaturen höher wird als der zugehörige Bezugswert, so wird der Laseroszillator sofort abgeschaltet und gleichzeitig Alarm angezeigt.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung erläutert.
  • Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer NC Laservorrichtung gemäß der Erfindung.
  • In Fig. 1 sind ein Entladungsrohr 1, eine Leistungsversorgung 2 für den Laser und Metallelektroden 3a und 3b dargestellt. HF-Leistung wird aus der Stromversorgung 2 dem Lasergas 4 zugeführt, das mit hoher Geschwindigkeit durch das Entladungsrohr strömt, nämlich über die Metallelektroden 3a und 3b, so daß dementsprechend in dem Lasergasstrom 4 eine elektrische Entladung auftritt und das Lasergas gepumpt wird, so daß durch die induzierte Emission ein Laserstrahl am Ausgang vorhanden ist. Der Laserstrahl wird an einem Spiegel 5 vollständig reflektiert und 6 bezeichnet einen Auskoppelspiegel. Der Laserstrahl wird zwischen dem Spiegel 5 mit totaler Reflexion und dem Auskoppelspiegel 6 hin- und hergeschickt und verstärkt und ein Teil 7 des Strahls gelangt als Ausgang über den Auskoppelspiegel 6 nach außen.
  • Das durch die Laserschwingung erhitzte Lasergas 4 strömt durch ein Gebläserohr 8 zu einer Kühleinheit 9 und wird gekühlt. Das Gebläse 10 ist in dieser Ausführungsform ein Rootsgebläse mit Rotoren 11a und 11b und einem Gehäuse 12. Das Lasergas 4 wird im Gebläse 10 komprimiert, wie durch die Pfeile dargestellt ist und in die Kühleinheit 13 gedrückt, in der die durch die Verdichtung hervorgerufene Wärme abgeführt wird, und strömt dann zurück in das Entladungsrohr 1 über ein Gebläserohr 14. Thermoelemente 15 und 16 messen die Gastemperatur am Einlaß des Gebläses 10 und die Gehäusetemperatur 12 des Gebläses 10. Die Meßwerte werden in Spannungen umgewandelt und zu einer numerischen Steuerung geführt. Die numerische Steuerung 20 wird als numerische Steuereinrichtung (CNC) zum Steuern des Lasergases benutzt. A/D-Wandler 21a und 21b konvertieren die analogen Spannungen der Thermoelemente 15 und 16 in digitale Werte. 22a bezeichnet einen Bezugswert A, der einen Digitalwert darstellt, und einem oberen Grenzwert von 40ºC für die Einlaßgastemperatur des Gebläses 10 im normalen Betrieb entspricht, wie noch erläutert wird. 22b bezeichnet einen Bezugswert B, ebenfalls einen digitalen Wert entsprechend einem oberen Grenzwert von 70ºC für die Gehäusetemperatur 12 im normalen Betrieb. Eine Vergleichsstufe 23a vergleicht den Ausgang des A/D-Wandlers 21a mit dem Bezugswert A 22a und wenn der erstere größer als der letztere ist, liefert sie einen Signal zu Anormalitätserkennungsmitteln. In entsprechender Weise vergleicht die Vergleichsstufe 23b den Ausgang des A/D-Wandlers 21b mit dem Bezugswert B 22b und wenn der erstere größer als der letztere ist, liefert sie ein Signal für die Anormalitätserkennungsmittel. Diese sind mit 24 bezeichnet und dienen zum Abschalten des Laseroszillators, wenn ein Signal von den Vergleichstufen 23a und 23b zugeführt wird sowie zur Anzeige einer Anormalitätsnachrichtung entsprechend dem Zustand des Eingangssignals an einer Anzeigeeinrichtung 25. Die numerische Steuerung 20 enthält ferner eine Positionssteuerung zum Einstellen der Position eines Werkstückes und einen Speicher zum Speichern eines Bearbeitungsprogramms und für Parameter usw., doch sind diese Elemente in der Zeichnung weggelassen.
  • Die Gastemperatur im Entladungsrohr 1 ist etwa 250ºC und die Einlaßgastemperatur am Gebläse 10 überschreitet im normalen Betrieb nicht 40ºC. Auch die Gehäusetemperatur 12 steigt bei normaler Betriebsweise über 70ºC. Die Gastemperatur am Auslaß des Gebläses 10 ist etwa 60ºC und das Gas ist am Einlaß des Entladungsrohres 1 auf etwa Raumtemperatur abgekühlt.
  • Wenn jedoch die Kühleinheit 9 oder 13 Schaden erleidet, oder die Drehzahl der Rotoren 11a und 11b geringer wird, so steigt die Einlaßgastemperatur des Gebläses 10 und damit wird das Ausgangssignal des A/D-Wandlers 21a größer als der Bezugswert A 22a. Somit liefert die Vergleichsstufe 23a ein Signal zu den Anormalitätserkennungsmittel 24. Diese liefern einen Befehl, um den Laseroszillator sofort anzuhalten, ungeachtet dessen, ob die andere Vergleichsstufe 23b ein Ausgangssignal hat oder nicht, und gleichzeitig wird eine Nachricht an der Einrichtung 25 angezeigt, daß die Kühlung anormal ist.
  • Erhöht sich die Drehzahl der Rotoren 11a und 11b anormal, so steigt die Temperatur des Gehäuses 12 infolge der bei der Verdichtung erfolgenden Erwärmung auch dann, wenn die Einlaßgastemperatur des Gebläses 10 normal ist. In diesem Fall bleibt das Ausgangssignal des A/D-Wandlers 21a unter dem Bezugswert A 22a und nur der Ausgang des A/D-Wandlers 21b übersteigt den Bezugswert B 22b, so daß demgemäß die Vergleichsstufe 23b allein ein Signal an die Anormalitätserkennungsmittel 24 liefert. Diese erzeugen einen Befehl, um den Laseroszillator sofort anzuhalten und gibt eine Anzeige an der Einrichtung 25, daß das Gebläse 10 anormal arbeitet.
  • So kann durch Überwachung der Einlaßgastemperatur des Gebläses 10 und der Temperatur des Gehäusegebläses 12 eine Unregelmäßigkeit in der Kühleinrichtung in einem frühen Zustand erkannt und die Laserschwingung gestoppt werden, bevor sich der Schaden verstärkt. Ferner erhält die Bedienung einen Hinweis auf den Teil der Anlage, in dem die Unregelmäßigkeit auftritt.
  • Bei dem vorgenannten Beispiel wird ein anormaler Anstieg der Gebläsedrehzahl durch Messen der Gehäusetemperatur erfaßt, doch kann dies auch dadurch erfolgen, daß die Temperatur am Einlaß der Kühleinheit 13 gemessen wird. Wenn vorstehend Thermoelemente zum Messen der Temperatur genannt wurden, so können statt dessen auch einfache Meßinstrumente wie Thermostaten Verwendung finden.
  • Wie vorstehend beschrieben, kann erfindungsgemäß ein anormaler Zustand der Kühleinrichtung sowie ein anormaler Anstieg der Gebläsedrehzahl in einem frühen Zustand erkannt werden, so daß von der Anormalität der Kühleinrichtung herrührender sekundärer Schaden, nämlich ein Anstreifen der Rotoren am Gebläsegehäuse usw. vermieden werden kann. Auch dann, wenn ein fehlerhafter Zustand auftritt, ist die erforderliche Reparatur minimal, um die NC Laservorrichtung wiederum in Gebrauchszustand zu versetzen, so daß die Zuverlässigkeit erhöht ist.
  • Ferner ist die Bedienung in der Lage, die Ursache des Abschaltens der Laserschwingung rasch zu erkennen, so daß die Wartung erleichtert wird.

Claims (5)

1. Numerisch gesteuerte Laservorrichtung, die aus einer Kombination eines Gaslaseroszillators mit einer Kühleinrichtung zur Zwangskühlung des Lasergases mit einem Gebläse und einer Kühleinheit sowie mit einer numerischen Steuerung versehen ist, und die Gastemperatur Menmittel zum Messen der Gastemperatur am Einlaß des Gebläses aufweist, Gehäusetemperatur-Meßmittel zum Messen der Temperatur des Gebläsegehäuses und Anormalitätserkennungsmittel in der numerischen Lasersteuerung zum Erfassen eines anormalen Zustandes der Kühleinrichtung und zum Anhalten des Betriebs des Gaslaseroszillators, wenn die Einlaßgastemperatur höher wird als ein vorbestimmter Gastemperatur-Bezugswert.
2. NC-Laservorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Anormalitätserkennungsmittel eine Nachricht über einen anormalen Zustand der Kühleinrichtung auf einer Anzeigevorrichtung anzeigen, wenn die Einlaßgastemperatur höher wird als der Gastemperatur-Bezugswert.
3. NC-Laservorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Anormalitätserkennungsmittel eine Nachricht über einen anormalen Zustand des Gebläses auf einer Anzeigevorrichtung anzeigen, wenn die Einlaßgastemperatur kleiner ist als der Gastemperatur-Bezugswert und die Gehäusetemperatur höher ist als der Gehäusetemperatur-Bezugswert.
4. NC-Laservorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Gastemperatur-Meßmittel und die Gehäusetemperatur-Meßmittel jeweils ein Thermoelement aufweisen.
5. NC-Laservorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Gastemperatur-Meßmittel und die Gehäusetemperatur-Meßmittel jeweils einen Thermostat aufweisen.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5117435A (en) * 1990-10-25 1992-05-26 Coherent, Inc. Pressure regulation system for gas laser based on temperature of anode stem
US5748656A (en) 1996-01-05 1998-05-05 Cymer, Inc. Laser having improved beam quality and reduced operating cost
US6414828B1 (en) * 1999-03-17 2002-07-02 Lambda Physik Ag Laser ventilation system
US7046705B2 (en) * 2001-09-28 2006-05-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Gas laser transmitter

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5943584A (ja) * 1982-09-03 1984-03-10 Fuji Photo Film Co Ltd レ−ザ装置
JPH0235288Y2 (de) * 1984-10-06 1990-09-25
JPS61154188A (ja) * 1984-12-27 1986-07-12 Toshiba Corp ガスレ−ザ装置
JPS63229793A (ja) * 1987-03-19 1988-09-26 Fanuc Ltd レ−ザ発振器配管系の異常検出装置
JPH0696198B2 (ja) * 1987-04-30 1994-11-30 ファナック株式会社 レ−ザ用数値制御装置
JPH06255979A (ja) * 1993-02-28 1994-09-13 Shuji Fukahori 異型ブロック掴み機

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JPH0810775B2 (ja) 1996-01-31
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DE68910111D1 (de) 1993-11-25
EP0393200B1 (de) 1993-10-20
EP0393200A4 (en) 1991-01-23

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