DE68909894T3

DE68909894T3 - Druckmessfühler mit flexibler gedruckter Schaltung.

Info

Publication number: DE68909894T3
Application number: DE68909894T
Authority: DE
Inventors: Robert P. Carver Ma 02330 Bishop; Thomas Plainville Ma 02762 Charboneau; Anthony J. Greenville Ri 02828 Sabetti
Original assignee: Texas Instruments Inc
Current assignee: Sensata Technologies Inc
Priority date: 1988-12-02
Filing date: 1989-11-27
Publication date: 1998-12-17
Anticipated expiration: 2009-11-28
Also published as: DE68909894D1; EP0372773B2; EP0372773A2; EP0372773B1; EP0372773A3; US4875135A; JP2854896B2; JPH02189435A; DE68909894T2

Description

Das Gebiet der Erfindung ist das der Druckmeßfühler mit kapazitiven Druckwandlern, und die Erfindung bezieht sich insbesondere auf einen Druckmeßfühler, der einen an einem Gehäuse angebrachten druckempfindlichen kapazitiven Druckwandler aufweist, mit einer elektrischen Signalaufbereitungsschaltung, die relativ zu dem Wandler nach dem Anbringen am Gehäuse geeicht werden kann.
Ein bekannter Druckwandler, wie er in dem US-patent Nr. 4 716 492 gezeigt ist, enthält einen kapazitiven Druckwandler mit einer dünnen Keramikmembran, die in engem Abstand abgedichtet über einem Keramiksockel angebracht ist, wobei auf sich jeweils gegenüberliegenden Flächen der Membran und des Sockels Metallbeschichtungen angebracht sind, die als Kondensatorbeläge wirken und zur Bildung eines Kondensators in einem vorbestimmten engen Abstand in bezug zueinander angeordnet sind. An einer gegenüberliegenden Fläche des Wandlersockeis sind mit den Kondensatorbelägen verbundene Wandleranschlüsse angebracht, und eine mit den Wandleranschlüssen verbundene elektrische Signalaufbereitungsschaltung ist auf dem Wandler befestigt. Ein schalenförmiger Verbinder-Körper aus elektrisch isolierendem Material ist über der elektrischen Schaltung angebracht und am Wandler mittels einer aus Metall bestehenden Gehäusebüchse befestigt, die einen Durchgang aufweist, durch den die Wandlermembran einem angelegten Druck ausgesetzt werden kann, und die einen gegen den Verbinderkörper verformten Rand aufweist. In dieser Anordnung kann sich die Membran als Reaktion auf eine Änderung des an sie angelegten Drucks bewegen, damit die Kapazität des Kondensators entsprechend den Änderungen des angelegten Drucks verändert wird, und die elektrische Schaltung liefert ein elektrisches Ausgangssignal, das dem angelegten Druck entspricht. Die elektrische Schaltung kann bezüglich des kapazitiven Druckwandlers nach dem Einbau in das Fühlergehäuse geeicht werden, so daß der Fühler für ein breites Anwendungsgebiet angepaßt ist und sich für eine kostengünstige Massenproduktion eignet. In gewisser Weise ist es schwierig, den Fühler wirtschaftlich herzustellen, richtig zu eichen und nach der Eichung abzudichten und zu gewährleisten, daß er kompatibel mit einer Anwendung im Automobilbereich oder dergleichen ist, wo beträchtliche elektromagnetische Störungen auftreten.
Es ist ein Ziel der Erfindung, neuartige und verbesserte Druckmeßfühler zu schaffen, einen Fühler zu schaffen, der einen verbesserten kapazitiven Druckwandler aufweist, einen Fühler zu schaffen, der eine Struktur aufweist, die für eine wirtschaftlichere und zuverlässige kostengünstige Herstellung geeignet ist, einen Fühler zu schaffen, der mit einem kapazitiven Druckwandler und einer Signalaufbereitungsschaltung in einem gemeinsamen Gehäuse versehen ist, wobei diese relativ zueinander nach dem Anbringen im Gehäuse in zweckmäßiger Weise geeicht werden können, einen Fühler zu schaffen, der nach einer solchen Eichung leicht abgedichtet werden kann, und einen Fühler zu schaffen, der eine verbesserte elektromagnetische Kompatibilität für die Verwendung im Automobilbereich oder dergleichen hat.
Die Erfindung schafft Druckmeßfühler gemäß den Ansprüchen 1 und 7.
Bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Weitere Ziele, Vorteile und Einzelheiten des neuartigen und verbesserten Druckmeßfühlers nach der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden genauen Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung, wobei die genaue Beschreibung auf die Zeichnungen Bezug nimmt, in denen:
Fig. 1 eine Draufsicht auf den Sensor nach der Erfindung zeigt;
Fig. 2 ein Schnitt längs der Linie 2-2 von Fig. 1 ist;
Fig. 3 eine vergrößerte Draufsicht auf das flexible Schaltungssubstrat zeigt, das im Sensor von Fig. 1 verwendet wird;
Fig. 4 eine schematische Darstellung der Schaltung von Fig. 3 zeigt;
Fig. 5 einen Schnitt ähnlich wie Fig. 2 längs der Linie 5-5 von Fig. 1 zeigt;
Fig. 6 einen Teilschnitt längs der Linie 6-6 von Fig. 1 zeigt; und
Fig. 7 einen Teilschnitt längs der Linie 7-7 von Fig. 2 in vergrößertem Maßstab zeigt.
In den Zeichnungen gibt in den Figuren 1 bis 2 und 5 bis 6 das Bezugszeichen 10 einen Druckmeßfühler an, der einen druckempfindlichen kapazitiven Druckwandler 12 vorzugsweise in Form einer flachen Scheibe enthält, die gemäß der Darstellung eine einem angewendeten Fluiddruck oder dergleichen ausgesetzte Fläche 12.1 und eine entgegengesetzte Fläche 12.2 mit darauf angebrachten Wandleranschlüssen aufweist. Vorzugsweise enthält der Wandler eine dünne Membran 14 aus keramischem Material wie Aluminiumoxid oder dergleichen, die in engem Abstand abgedichtet über einem keramischen Sockel 16 aus ähnlichem Material mittels eines Abdichtmaterials 18 aus Glas oder dergleichen (siehe Fig. 7) befestigt ist, damit sie relativ zu dem Sockel als Reaktion auf Änderungen des angelegten Drucks beweglich ist. Auf den gegenüberliegenden Flächen 14.1, 16.1 der Membran und des Sockels sind Metallüberzüge 20 und 22 angebracht, die als Kondensatorbeläge wirken, die zur Bildung eines Kondensators mit einer sich mit dem angelegten Druck ändernden Kapazität in engem Abstand angeordnet sind. Von den Kondensatorbelägen erstrekken sich abgedichtet durch den Keramiksockel hindurch Anschlüsse 24, 26, so daß sie sich auf den entgegengesetzten Flächen des Wandlers befinden. Die bisher beschriebene Struktur des Wandlers ist durch die Bezugnahme auf das oben erwähnte US-Patent bekannt. Die überzüge haben eine sehr geringe und gleichmäßige Dicke, so daß der Abstand t zwischen den Metallüberzügen sehr genau vorherbestimmt ist. Falls es erwünscht ist, umgibt ein aus Metall bestehender Schutzring 16.2 den Kondensatorbelag 16.1 und ist mit einem entsprechenden Anschluß 34 versehen.
Nach der Erfindung enthält der Fühler ferner einen Verbinder-Körper 36 aus einem elektrisch isolierenden Material wie glasfaserverstärktem modifizierten Polyethylenteraphthalat, der in Übereinanderlage bezüglich der gegenüberliegenden Fläche 12.2 des Wandlers angeordnet ist, so daß dazwischen eine Kammer 38 gebildet wird. Vorzugsweise ist der Verbinder-Körper schalenförmig mit einem Boden 36.1, einer Seitenwand 36.2, einem Rand 36.3 und einem sich um den Rand erstreckenden Flansch 36.4, und er weist mehrere Verbindungsanschlüsse 40, 42, 44 auf, die sich von der Kammer aus, vorzugsweise durch den Boden des Körpers hindurch, zu einer Stelle außerhalb des Fühlers erstrecken. Der Verbinder-Körper ist innerhalb des Randes 36.1 zur gegenüberliegenden Fläche 12.2 des Wandlers hin gerichtet angebracht, um die Kammer 38 zu bilden. Ein Gehäuse 46 ist mit einem Durchlaß 46.1 versehen, damit die Wandlerfläche 12.1 einem angelegten Druck ausgesetzt wird, es weist einen O-Dichtring 48 oder dergleichen auf, der zwischen der Wandlerfläche 12.1 und dem Durchlaß angebracht ist, und es ist ferner mit einer Metallbüchse 46.2 versehen, die den Wandler und zumindest einen Teil des Verbinder-Körpers aufnimmt, wobei die Büchse einen Randabschnitt 46.3 aufweist, der durch Stauchen oder dergleichen über wenigstens einen Teil des Verbinder-Körpers, beispielsweise den Flansch 36.4, so verformt ist, daß der Verbinder-Körper und der Wandler zur Bildung der Kammer 38 aneinandergeklemmt werden.
Der Fühler 10 enthält ferner eine elektrische Schaltung, die in der Kammer 38 angeordnet ist, wie allgemein bei 50 in Fig. 2 bis Fig. 6 angezeigt ist, die elektrisch mit dem Wandler und den Verbindungsanschlüssen verbunden ist, um ein dem an den kapazitiven Wandler angelegten Druck entsprechendes elektrisches Signal zu liefern. Vorzugsweise kann die Schaltung bezüglich des Wandlers nach dem Anbringen im Gehäuse 46 geeicht werden. Eine solche elektrische Schaltung ist aus dem oben angegebenen US-Patent bekannt, wobei hier nicht alle Einzelheiten der Schaltung beschrieben werden; es ist zu erkennen, daß die Schaltung Schaltungselemente wie eine integrierte Schaltungseinheit, Widerstände und Kondensatoren oder dergleichen enthält. Gemäß der Erfindung enthält die elektrische Schaltung 50 ferner ein flexibles Substrat 52 aus einem festen, biegsamen, temperaturbeständigen, elektrisch isolierenden Material wie einem Polyirnidmaterial, das unter der Warenbezeichnung Kapton verkauft wird. Ein Endabschnitt 52.1 des flexiblen Substrats ist über der gegenüberliegenden Fläche 12.2 des Wandlers angeordnet und trägt elektrische Schaltungselemente, die miteinander und mit den Wandleranschlüssen elektrisch verbunden sind, und ein entgegengesetzter Endabschnitt 52.2 des flexiblen Substrats ist gemäß Fig. 2 und Fig. 5 so über den ersten Abschnitt 52.1 gefaltet, daß er unter dem Boden des Verbinder- Körpers innerhalb der Kammer 38 liegt, wobei auf diesem entgegengesetzten Endabschnitt Leiterbahnen gebildet sind, die elektrisch mit den Anschlußverbindungen verbunden sind. Falls es erwünscht ist, trägt der entgegengesetzte Endabschnitt des flexiblen Substrats auch Schaltungselemente.
Gemäß Fig. 3 können auf dem im Endabschnitt 52.1 des flexiblen Substrats vorzugsweise eine integrierte Schaltung 53 mit Kondensatoren 58, 60, 62 und 86 sowie einem Widerstand 64 angebracht sein, und es weist eine Öffnung 52.3 auf, die über jeweiligen Wandleranschlüssen 24, 26 und 34 sitzen. Das entgegengesetzte Ende 52c2 des flexiblen Substrats ist mit dem ersten Abschnitt 52.1 über einen dazwischenliegenden, leicht faltbaren Gelenkabschnitt 52.4 mit reduzierter Breite verbunden; auf ihm sind Kondensatoren 54, 56 und 82 sowie ein Widerstand 66 angebracht, und es weist eine Öffnung 52.5 auf, die über den jeweiligen Verbindungsanschlüssen 40, 42 und 44 liegen. Auf dem flexiblen Substrat sind Leiterbahnen aufgebracht, die die Schaltungselemente jeweils miteinander und mit dem Wandler sowie mit den Verbindungsanschlüssen in gewünschter Weise elektrisch verbinden. In dieser Anordnung dient der Verbindungsanschluß 40 dem Anschließen des Fühlers an eine Gleichspannungsversorgung von + 5 V, der Verbindungsanschluß 42 bildet eine Masseverbindung für den Fühler, der Verbindungsanschluß 44 bildet einen Signalausgang für den Fühler entsprechend dem angelegten Druck, der Wandleranschluß 24 bildet den Versorgungseingang für den Wandler, der Wandleranschluß 26 liefert ein Druckerfassungssignal aus dem Wandler zur integrierten Schaltung, und der Wandleranschluß 34 ist mit einem Schutzring 16.2 im Wandler verbunden; die Leiterbahn-Anschlußflächen 70 ermöglichen die Eingabe in die integrierte Schaltung zum Eichen der elektrischen Schaltung 50 bezüglich des Wandlers 12 in bekannter Weise; die Leiterbahn 72 bildet einen Masseanschluß für die elektrische Schaltung 50, die Leiterbahn 74, die an den Schutzring 16.2 angeschlossen ist, erstreckt sich um die Detektoranschluß-Leiterbahn 76 zum elektrischen Abschirmen des Detektorsignals, und weitere Leiterbahnen 78 bewirken die elektrische Verbindung der Schaltungselemente miteinander und mit den Anschlüssen zur Bildung der Schaltungsverbindungen, die schematisch in Fig. 3 dargestellt sind.
Nach der Erfindung sind die Leiterbahnabschnitte in der elektrischen Schaltung 50, die elektrische Masseverbindungen für die Schaltung bilden, vorzugsweise kapazitiv mit dem Metallgehäuse 46 des Fühlers gekoppelt, damit ein Fühler mit verbesserter elektromagnetischer Kompatibilität zur Anwendung im Kraftfahrzeugbereich geschaffen wird, wo der Fühler beträchtlichen elektromagnetischen Störungen ausgesetzt ist. Ein angeformter Laschenabschnitt 52.6 des flexiblen Substrats erstreckt sich z. B. vorzugsweise vom Endabschnitt 52.2 des flexiblen Substrats aus, und eine Schaltungsanschlußfläche 80 ist auf ihm gebildet. Auf dem flexiblen Substrat ist ein Kondensator 82 angebracht, der zwischen der Schaltungsanschlußfläche und der Leiterbahn 72 angeschlossen ist und einen Masseanschluß für die Schaltung bildet. Ein zweiter Laschenabschnitt 52.7 des flexiblen Substrats geht vom ersten Endabschnitt 52.1 des flexiblen Substrats aus, und auf dieser Lasche ist ebenfalls eine Schaltungsanschlußfläche 84 angebracht. Auf dem ersten Endabschnitt des flexiblen Substrats ist ein zweiter Kondensator 86 angebracht, der elektrisch zwischen der Schaltungsanschlußfläche 84 und der Leiterbahn 72 angeschlossen ist und einen Masseanschluß für die Schaltung 50 bildet. Die Laschen sind so positioniert, daß dann, wenn die Endabschnitte des flexiblen Substrats in bezug zueinander so gefaltet werden, wie in Fig. 6 dargestellt ist, die Laschen übereinander zwischen dem Rand 36.3 des Verbinder-Körpers und der gegenüberliegenden Fläche 12.2 des Wandlers liegen, um in elektrischer Verbindung miteinander zusammengeklemmt werden, wobei sich wenigstens eine der Laschen 52.6 zwischen dem verformten Rand 46.3 des Gehäuses und dem Verbinder-Körper erstreckt, damit die darauf befindliche Schaltungskontaktfläche 80 elektrisch mit dem Metallgehäuse in Kontakt gebracht wird, um mehrere Abschnitte der Masseanschluß-Leiterbahnen der Schaltung 50 mit dem Fühlergehäuse kapazitiv zu koppeln.
Nach der Erfindung weist der Fühler eine Öffnung auf, die einen Zugang zu den Leiterbahn-Anschlußflächen 70 ermöglichen, damit ein Eichen der elektrischen Schaltung 50 bezüglich des Wandlers 12 nach dem Anbringen am Fühlergehäuse 46 ermöglicht wird. Vorzugsweise ist der Verbinder-Körper mit einem einstückigen Rohrabschnitt 36.5 versehen, der an einem Ende 36.6 außerhalb des Gehäuses offen ist und sich in die Kammer 38 erstreckt, wobei er an seinem entgegengesetzten Ende 36.7 angrenzend an die Leiterbahn-Anschlußflächen 70 offen ist. Der rohrfzrmige Abschnitt 36.5 ist in Fig. 3 durch eine gestrichelte Linie 36.5a angegeben. In dieser Anordnung können (nicht dargestellte) elektrische Kontaktsonden durch den rohrförmigen Abschnitt 36.5 eingeführt werden, um auf die Anschlußflächen 70 zum Eichen der Schaltung 50 in bekannter Weise einzuwirken. Der rohrförmige Abschnitt stellt dabei sicher, daß die Sonden auf keine anderen Abschnitte der Schaltung 50 einwirken. Die Sonden werden dann zurückgezogen, und ein Einkapselungsmaterial 88 wie beispielsweise ein herkömmliches, bei Zimmertemperatur vulkanisierendes Gummimaterial oder dergleichen wird zum Abdichten der Kammer gemäß Fig. 2 in den rohrförmigen Abschnitt eingeführt, wobei der rohrförmige Abschnitt gewährleistet, daß das Einkapselungsmaterial auf den Bereich der Eich-Anschlußflächen 70 in der Schaltung 50 beschränkt wird, damit nachteilige Auswirkungen auf die Schaltung vermieden werden. Falls es erwünscht ist, kann das Einkapselungsmaterial zum weiteren Abdichten der Kammer 38 auch um den verformten Rand der Gehäusebüchse und um die Verbindungsanschlüsse angebracht werden, wie bei 90 gezeigt ist.
Bei dieser Konstruktion wird der Wandler 12 durch den neuartigen und verbesserten Druckmeßfühler nach der Erfindung mit einer verbesserten Zuverlässigkeit und Beständigkeit der Wandlerkenngrößen in wirtschaftlicher Weise ausgestattet. Die elektrische Schaltung 50 kann einfach und zuverlässig in wirtschaftlicher Weise außerhalb des Fühlers zusammengebaut und fest mit dem Wandler und den Verbindungsanschlüssen in zuverlässiger Weise verbunden werden. Das flexible Schaltungssubstrat hat eine ausreichende Länge, damit Endabschnitte des flexiblen Substrats in zweckmäßiger Weise übereinander gefaltet werden können, wie oben beschrieben wurde, um innerhalb der Büchse 46.2 des Metallgehäuses aufgenommen zu werden. Der Rand der Gehäusebüchse wird dann einfach und zuverlässig verformt, damit der Verbinder-Körper und der Wandler in gewünschten zusammengebauten Zustand aneinander befestigt werden. Zum kapazitiven Koppeln mehrerer Abschnitte von Masseanschluß-Leiterbahnen der Schaltung mit dem Fühlergehäuse zur Erzielung einer beträchtlich verbesserten elektromagnetischen Kompatibilität im Fühler werden Kondensatoren angebracht, wodurch der Fühler ein verbessertes Verhalten zeigt, wenn er im Kraftfahrzeugbereich und dergleichen eingesetzt wird, wo er beträchtlichen elektromagnetischen Störungen ausgesetzt ist. Die Schaltung kann in zweckmäßiger und wirtschaftlicher Weise geeicht werden, und sie wird in einfacher Weise abgedichtet, ohne daß das Risiko einer Beschädigung der Schaltung durch das Abdichtmaterial nach der Eichung besteht.
Es ist zu erkennen, daß zwar bestimmte Ausführungsformen der Erfindung bei der Erläuterung der Erfindung beschrieben worden sind, jedoch enthält die Erfindung alle Abwandlungen und Äquivalente, die innerhalb der Begriffe der beigefügten Ansprüche liegen.

Claims

1. Druckmeßfühler mit einem scheibenförmigen kapazitiven Druckwandler (12), der eine einem angelegten Druck auszusetzende Fläche (12.1) aufweist, um eine Kapazität zu bilden, die sich mit dem angelegten Druck ändert, und der an einer entgegengesetzten Fläche Wandleranschlußklemmen (24, 26, 34) aufweist, einem schalenförmigen Verbinder-Körper (36) aus elektrisch isolierendem Material mit einem Boden, Seitenwänden und einem Rand, bei welchem die Verbinder-Anschlußklemmen durch den Körper verlaufen und der Verbinder-Körper so angeordnet ist, daß sein Rand zu der entgegengesetzten Wandlerfläche gerichtet ist, einem den Verbinder-Körper an dem Wandler über der entgegengesetzten Wandlerfläche liegend befestigenden Gehäuse (46) zur Bildung einer dazwischenliegenden Kammer (38), und einer elektrischen Schaltung, die in der Kammer angeordnet ist und elektrisch an die Wandler- und Verbinder-Anschlußklemmen angeschlossen ist, um ein dem angelegten Druck entsprechendes elektrisches Signal zu liefern, wobei die elektrische Schaltung ein flexibles Substrat (52) enthält, von dem ein Endabschnitt (52.1) über der entgegengesetzten Wandlerfläche liegend angeordnet ist und elektrische Schaltungselemente trägt, die elektrisch an die Wandleranschlußklemmen angeschlossen sind, und von dem ein entgegengesetzter Endabschnitt (52.2) über den einen Endabschnitt gefaltet ist und Leiterbahnen trägt, die elektrisch an die Verbinder-Anschlußklemmen angeschlossen sind, wobei die elektrische Schaltung so angeordnet ist, daß sie in bezug auf den kapazitiven Druckwandler nach dem Befestigen am Gehäuse geeicht wird, wobei der Verbinder-Körper einen einstückig angeformten Rohrabschnitt aufweist, der sich an einem Ende am Sensor nach außen hin öffnet und in die Kammer ragt, damit sein entgegengesetztes Ende dicht in die Nähe der elektrischen Schaltung gebracht wird, um einen Zugang zu einem Eichabschnitt der elektrischen Schaltung zu deren Eichen zu ermöglichen, und wobei ein Einkapselungsmaterial den rohrförmigen Abschnitt des Verbinder-Körpers zum Abdichten der Kammer ausfüllt, wobei der rohrförmige Abschnitt des Gehäuses das Einkapselungsmaterial auf den Eichabschnitt der elektrischen Schaltung begrenzt.

2. Druckmeßfühler nach Anspruch 1, bei welchem das Gehäuse eine Metallbüchse enthält, die den Wandler und einen Teil des Verbinder-Körpers aufnimmt, wobei das Gehäuse mit einer Öffnung versehen ist, damit die eine Wandlerfläche einem angelegten Druck ausgesetzt wird, und wobei das Gehäuse einen Rand aufweist, der über den Verbinder-Körper verformt ist, damit der Verbinder-Körper und der Wandler zur Bildung der Kammer aneinander befestigt werden.

3. Druckmeßfühler nach Anspruch 2, bei welchem die Leiterbahnen auf dem flexiblen Substrat fest mit den Wandler- und den Verbinder-Anschlußklemmen verbunden sind, damit die elektrische Schaltung am Wandler und am Verbinder-Körper befestigt wird, wobei das flexible Substrat ausreichend lang ist, damit die Substratendabschnitte in eine gefaltete Lage zueinander gebracht werden können, nachdem die Leiterbahnen fest an den Anschlußklemmen befestigt worden sind und damit der Wandler und der Verbinder-Körper mit der befestigten elektrischen Schaltung in die aus Metall bestehende Gehäusebüchse eingeschoben werden können und durch Verformen des Gehäuserandes zur Bildung der Kammer mit der darin angebrachten elektrischen Schaltung zusammengeklemmt werden können.

4. Druckmeßfühler nach Anspruch 1, bei welchem die elektrische Schaltung Leiterbahnen aufweist, die elektrische Masseanschlüsse für die elektrische Schaltung bilden, wobei das flexible Substrat eine von ihm abstehende Lasche aufweist, auf der eine Schaltungskontaktfläche gebildet ist, wobei auf dem flexiblen Substrat ein Kondensator in elektrischer Verbindung zwischen einer Masseanschluß-Leiterbahn der elektrischen Schaltung und der Schaltungskontaktfläche angebracht ist, und wobei sich die Lasche von der Kammer aus zwischen dem Verbinder-Körper und dem Wandler zum elektrischen Verbinden der Schaltungskontaktfläche mit dem Metallgehäuse zum kapazitiven Koppeln der Masseanschluß-Leiterbahn mit dem Metallgehäuse zur Erzielung einer elektromagnetischen Kompatibilität des Meßfühlers erstreckt.

5. Druckmeßfühler nach Anspruch 1, bei welchem die elektrische Schaltung Leiterbahnen zur Bildung elektrischer Masseanschlüsse für die elektrische Schaltung aufweist, wobei das flexible Substrat eine Lasche aufweist, die sich von jedem der Endabschnitte des flexiblen Substrats aus erstreckt, wobei auf jeder Lasche eine Schaltungskontaktfläche gebildet ist, wobei auf dem flexiblen Substrat entsprechende Kondensatoren zwischen den Masseanschluß-Leiterbahnen der elektrischen Schaltung auf jedem Endabschnitt des flexiblen Substrats und der auf dem Endabschnitt befindlichen Schaltungskontaktfläche angeschlossen sind, wobei das flexible Substrat so umgefaltet ist, daß die Schaltungskontaktflächen miteinander elektrisch in Verbindung stehen und wenigstens eine der Schaltungskontaktflächen elektrisch mit dem Metallgehäuse verbunden ist, damit die Masseanschluß-Leiterbahnen zur Erzielung einer elektromagnetischen Kompatibilität des Meßfühlers kapazitiv mit dem Metallgehäuse gekoppelt werden.

6. Druckmeßfühler nach Anspruch 1, bei welchem das Gehäuse eine Metallbüchse enthält, die den Wandler und einen Teil des Verbinder-Körpers aufnimmt, wobei das Gehäuse mit einer Öffnung versehen ist, damit die eine Wandlerfläche einem angelegten Druck ausgesetzt wird, und einen Rand an der Büchse aufweist, der über den Verbinder-Körper verformt ist, damit der Rand des Verbinder-Körpers und der Wandler zur Bildung der Kammer aneinander befestigt werden, wobei die elektrische Schaltung Leiterbahnen auf dem flexiblen Substrat zur Bildung elektrischer Masseanschlüsse für die elektrische Schaltung aufweist, wobei das flexible Substrat einen Laschenabschnitt aufweist, der sich von jedem der Endabschnitte des flexiblen Substrats aus erstreckt, wobei auf jedem Laschenabschnitt eine Schaltungskontaktfläche gebildet ist, wobei zwischen den Masseanschluß-Leiterbahnen der elektrischen Schaltung auf jedem Endabschnitt des flexiblen Substrats und der auf der Lasche an demjenigen Endabschnitt befindlichen Schaltungskontaktfläche ein Kondensator elektrisch angeschlossen ist, wobei das flexible Substrat so umgefaltet ist, daß die Laschen aus der Kammer zwischen den Rand des Verbinder-Körpers und den Wandler ragen und die darauf befindlichen Schaltungskontaktflächen in elektrischer Verbindung miteinander dazwischen eingeklemmt werden, während wenigstens eine der Schaltungskontaktflächen in elektrischer Verbindung mit der aus Metall bestehenden Gehäusebüchse durch den verformten Rand der Büchse eingeklemmt wird, damit die elektrische Schaltung kapazitiv mit dem Metallgehäuse gekoppelt wird, um den Meßfühler mit einer verbesserten elektromagnetischen Kompatibilität zu versehen.

7. Druckmeßfühler mit einem scheibenförmigen kapazitiven Druckwandler (12), der eine einem angelegten Druck auszusetzende Fläche (12.1) aufweist, um eine Kapazität zu bilden, die sich mit dem angelegten Druck ändert, und der an einer entgegengesetzten Fläche Wandleranschlußklemmen (24, 26, 34) aufweist, einem schalenförmigen Verbinder-Körper (36) aus elektrisch isolierendem Material mit einem Boden, Seitenwänden und einem Rand, bei welchem die Verbinder-Anschlußklemmen durch den Körper verlaufen und der Verbinder-Körper so angeordnet ist, daß sein Rand zu der entgegengesetzten Wandlerfläche gerichtet ist, einem den Verbinder-Körper an dem Wandler Uber der entgegengesetzten Wandlerfläche liegend befestigenden Metallgehäuse (46) zur Bildung einer dazwischenliegenden Kammer (38), und einer elektrischen Schaltung, die in der Kammer angeordnet ist und elektrisch an die Wandler- und Verbinder-Anschlußklemmen angeschlossen ist, um ein dem angelegten Druck entsprechendes elektrisches Signal zu liefern, wobei die elektrische Schaltung ein flexibles Substrat (52) enthält, von dem ein Endabschnitt (52.1) über der entgegengesetzten Wandlerfläche liegend angeordnet ist und elektrische Schaltungselemente trägt, die elektrisch an die Wandleranschlußklemmen angeschlossen sind, und von dem ein entgegengesetzter Endabschnitt (52.2) über den einen Endabschnitt gefaltet ist und Leiterbahnen trägt, die elektrisch an die Verbinder-Anschlußklemmen angeschlossen sind, wobei die elektrische Schaltung Leiterbahnen aufweist, die elektrische Masseanschlüsse für die elektrische Schaltung bilden, wobei das flexible Substrat eine von ihm abstehende Lasche aufweist, auf der eine Schaltungskontaktfläche gebildet ist, wobei auf dem flexiblen Substrat ein Kondensator in elektrischer Verbindung zwischen einer Masseanschluß- Leiterbahn der elektrischen Schaltung und der Schaltungskontaktfläche angebracht ist, und wobei sich die Lasche von der Kammer aus zwischen dem Verbinder-Körper und dem Wandler zum elektrischen Verbinden der Schaltungskontaktfläche mit dem Metallgehäuse zum kapazitiven Koppeln der Masseanschluß- Leiterbahn mit dem Metallgehäuse zur Erzielung einer elektromagnetischen Kompatibilität des Neßfühlers erstreckt.

8. Druckmeßfühler nach Anspruch 7, bei welchem das Gehäuse eine Metallbüchse enthält, die den Wandler und einen Teil des Verbinder-Körpers aufnimmt, wobei das Gehäuse mit einer öffnung versehen ist, damit die eine Wandlerfläche einem angelegten Druck ausgesetzt wird, und wobei das Gehäuse einen Rand aufweist, der über den Verbinder-Körper verformt ist, damit der Verbinder-Körper und der Wandler zur Bildung der Kammer aneinander befestigt werden.

9. Druckmeßfühler nach Anspruch 8, bei welchem die Leiterbahnen auf dem flexiblen Substrat fest mit den Wandler- und den Verbinder-Anschlußklemmen verbunden sind, damit die elektrische Schaltung am Wandler und am Verbinder-Körper befestigt wird, wobei das flexible Substrat ausreichend lang ist, damit die Substratendabschnitte in eine gefaltete Lage zueinander gebracht werden können, nachdem die Leiterbahnen fest an den Anschlußklemmen befestigt worden sind und damit der Wandler und der Verbinder-Körper mit der befestigten elektrischen Schaltung in die aus Metall bestehende Gehäusebüchse eingeschoben werden können und durch Verformen des Gehäuserandes zur Bildung der Kammer mit der darin angebrachten elektrischen Schaltung zusammengeklemmt werden können.

10. Druckmeßfühler nach Anspruch 7, bei welchem das flexible Substrat eine Lasche aufweist, die sich von jedem der Endabschnitte des flexiblen Substrats aus erstreckt, und auf jeder Lasche eine Schaltungskontaktfläche aufweist, wobei auf dem flexiblen Substrat entsprechende Kondensatoren zwischen den Masseanschluß-Leiterbahnen der elektrischen Schaltung auf jedem Endabschnitt des flexiblen Substrats und der auf dem Endabschnitt befindlichen Schaltungskontaktfläche angeschlossen sind, wobei das flexible Substrat so umgefaltet ist, daß die Schaltungskontaktflächen miteinander elektrisch in Verbindung stehen und wenigstens eine der Schaltungskontaktflächen elektrisch mit dem Metallgehäuse verbunden ist, damit die Masseanschluß-Leiterbahnen zur Erzielung einer elektromagnetischen Kompatibilität des Meß fühlers kapazitiv mit dem Metallgehäuse gekoppelt werden.

11. Druckmeßfühler nach Anspruch 10, bei welchem die wenigstens eine der Schaltungskontaktflächen durch den verformten Rand der Büchse in elektrischer Verbindung mit der aus Metall bestehenden Gehäusebüchse eingeklemmt wird.

12. Druckmeßfühler nach Anspruch 7, bei welchem die elektrische Schaltung so angeordnet ist, daß sie in bezug auf den kapazitiven Druckvandler nach dem Befestigen am Gehäuse geeicht wird, wobei der Verbinder-Körper einen einstückig angeformten Rohrabschnitt aufweist, der sich an einem Ende am Sensor nach außen hin öffnet und in die Kammer ragt, damit sein entgegengesetztes Ende dicht in die Nähe der elektrischen Schaltung gebracht wird, um einen Zugang zu einem Eichabschnitt der elektrischen Schaltung zu deren Eichen zu ermöglichen, und wobei ein Einkapselungsmaterial den rohrförmigen Abschnitt des Verbinder-Körpers zum Abdichten der Kammer ausfüllt, wobei der rohrförmige Abschnitt des Gehäuses das Einkapselungsmaterial auf den Eichabschnitt der elektrischen Schaltung begrenzt.