DE605902C - Turbohochvakuumpumpe - Google Patents

Turbohochvakuumpumpe

Info

Publication number
DE605902C
DE605902C DES102689D DES0102689D DE605902C DE 605902 C DE605902 C DE 605902C DE S102689 D DES102689 D DE S102689D DE S0102689 D DES0102689 D DE S0102689D DE 605902 C DE605902 C DE 605902C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rotor
housing
high vacuum
grooves
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES102689D
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HUGO SEEMANN DR
Original Assignee
HUGO SEEMANN DR
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HUGO SEEMANN DR filed Critical HUGO SEEMANN DR
Priority to DES102689D priority Critical patent/DE605902C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE605902C publication Critical patent/DE605902C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044Holweck-type pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08Centrifugal pumps
    • F04D17/16Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168Pumps specially adapted to produce a vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

  • Turbohochvakuumpumpe Während die alten Gaedeschen Molekularluftpumpen für Hochvakuum mit glatten Reibungsflächen des Rotors und Stators arbeiteten, werden bei den neueren Ausführungsformen auch Spiralnutensysteme zur Erhöhung der Pumpleistung herangezogen, die entweder auf der Außenwand des Rotors zur Ausnutzung der Schaufelwirkung oder nur auf der Innenwand des Gehäuses als Führungskanäle angebracht sind.
  • Die Erfindung -erhöht die Fördergeschwindigkeit und die Förderwirkung dadurch, daß sie sowohl auf den umlaufenden als auch auf den feststehenden Förderflächen scharfkantige Spiralnuten benutzt, die gegenläufige Steigung aufweisen, so daß sich die gegeneinander bewegenden Nuten kreuzen und die Kreuzungsstellen in der Förderrichtung verlaufen.
  • Die molekulare Gasreibung an mechanisch glatten Reibungsflächen, die G a e d e mit seiner Erfindung ausschließlich benutzt hatte, oder die Schaufelwirkung der neuen Pumpen wird demnach nicht mehr allein zur Förderung benutzt, sondern g leichzeitig eine Scher-und Schaufelwirkung der sich vorzugsweise senkrecht kreuzenden Nuten auf dem Rotor und Gehäuse.
  • Die Leistung der Pumpe kommt bekanntlich erst dann voll zur Geltung, wenn die Förderrichtung in den Fördernuten von der Drehachse fortgerichtet ist, da dann die Fliehkraftwirkung der Gasmoleküle mit zur Förderung herangezogen wird. Diese Arb,eitsweise ist nur bei den Spiralnuten mög-]ich, die auf den ebenen oder kegelförmigen Förderflächen des Rotors und Gehäuses angebracht sind, also ebene bzw. kegelförmige Spiralen bilden. Bei den auf Zylindermäntelü des Rotors und Gehäuses liegenden Schraubennuten kann keine Zentrifugalbeschleuni,-gung der Förderung stattfinden. Die Scher-und Schaufelwirkung ist aber auch hier vorhanden, und außerdem ist die Umfangsgeschwindigkeit der Nuten auf dem Zylinderumfang des Rotors am größten und überall gleich groß, was technische Vorteile bietet.
  • In Fig. i ist die einfachste Form der Pumpe mit deiner rotierenden Zylinderscheibe s im Achsenschnitt dargestellt, die auf einer ehernen Stirnseite und auf der gegeriüberl,i;egen:-den Wand b des Gehäuses a Spiralnuten besitzt. Durch den zum Rezipienten führenden Saugstutzen c dringt die verdünnte Luft ein und wird unter erhöhtem Druck aus dem Rotord ausgestoßen in das Vorvakuum.
  • Fig. a zeigt den Rotor in der Aufsicht auf die Nuten, die etwa q.5° gegen die Radien geneigt sind und sowohl spiralförmig gekrümmt als auch geradlinig sein können. Die gestrichelten Kurven deuten die Gehäusenuten an. Die Drehrichtung des Rotors ist die des Pfeiles.
  • Da die Wirkung der Pumpe auf der Schaufel- und Scherwirkung .der Nuten und ihrer Kanten beruht, so ist die Wirkung der Erfindung um so größer, je mehr Raum auf den Förderflächen von den Nuten eingenommen wird, je weniger Zwischenraum also zwischen den Nuten bleibt. Die Scher-und Schaufelwirkung kann nur voll wirksam sein, wenn die Nutenwände annähernd senkrecht auf der Förderfläche stehen und scharfkantig sind. Schon geringe Abrundungen der Nutenkanten setzt die Leistung stark herab. Insbesondere gilt das für die Notenform des Rotors, der die eigentliche Förderung bewirkt, wähnend die Nuten des Gehäuses mehr der Leitung dienen, also als Führungskanäle aufzufassen sind.
  • Fig. g zeigt die Erfindung bei einer Pumpe mit zylindrischem Rotor und Fig. q. bei einem kegelförmigen Rotor. Letzterer kann als Mittelding zwischen Zylinder- und Scheibenform des Rotors aufgefaßt werden. Er nutzt noch die Fliehkraftwirkung aus und ist stabiler als ein Scheibenrotor, desgleichen das Gehäuse, das unter Atmosphärendruck steht und .dünnwandiger ausgeführt werden kann, wenn es Kegelform besitzt. Sämtliche Ausführungsformen lassen sich in gleicher Weise -wie die bisher bekannten Rotationspumpen durch Vervielfachung der Zylinder, Scheiben oder Kegel in gemeinsamem Gehäuse in ihrer Wirkung steigern.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Turhohochvakuumpumpe mit feststehendem Gehäuse und in genauer Anpassung an die Innenform des Gehäuses fast unberührt mit den Innenflächen umlaufendem Rotor, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die Innenflächen des Gehäuses, als auch die Außenflächen des Rotors mit scharfkantigen Schrauben- oder Spiralnuten versehen sind, die sich in entg(ergengesetzten Windungen derart kreuzen, daß die Kreuzungsstellen der Notenpaare beim Umlauf dies Rotors in der Förderrichtung fortgeführt werden.
DES102689D 1932-01-08 1932-01-08 Turbohochvakuumpumpe Expired DE605902C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES102689D DE605902C (de) 1932-01-08 1932-01-08 Turbohochvakuumpumpe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES102689D DE605902C (de) 1932-01-08 1932-01-08 Turbohochvakuumpumpe

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE605902C true DE605902C (de) 1934-11-20

Family

ID=7524610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES102689D Expired DE605902C (de) 1932-01-08 1932-01-08 Turbohochvakuumpumpe

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE605902C (de)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2730297A (en) * 1950-04-12 1956-01-10 Hartford Nat Bank & Trust Co High-vacuum molecular pump
US3490851A (en) * 1967-09-29 1970-01-20 Edward Krzyszczuk Circular flow air compressor or diffusion motor
DE2753461A1 (de) * 1976-11-30 1978-06-01 Le Proizu Elmash Str Ob Elektr Elektrische maschine mit kryogenkuehlung
DE3526517A1 (de) * 1984-07-25 1986-02-06 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Turbomolekularpumpe
US4645413A (en) * 1983-05-17 1987-02-24 Leybold-Heraeus Gmbh Friction pump
DE3613344A1 (de) * 1986-04-19 1987-10-22 Pfeiffer Vakuumtechnik Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck
US4797062A (en) * 1984-03-24 1989-01-10 Leybold-Heraeus Gmbh Device for moving gas at subatmospheric pressure
US5213474A (en) * 1992-04-06 1993-05-25 Lcd, Inc. Pump unit
WO1996013667A1 (de) * 1994-10-31 1996-05-09 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit kühlung
DE10004271A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
EP2960519A1 (de) * 2014-06-26 2015-12-30 Pfeiffer Vacuum Gmbh Siegbahnstufe
WO2021013979A1 (en) * 2019-07-25 2021-01-28 Edwards Limited Drag pump
DE102010019940B4 (de) 2010-05-08 2021-09-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpstufe
EP4118339A4 (de) * 2020-04-15 2023-10-11 Kin-Chung Ray Chiu Nicht abgedichtete vakuumpumpe mit überschall-drehschaufelloser gasprallfläche

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2730297A (en) * 1950-04-12 1956-01-10 Hartford Nat Bank & Trust Co High-vacuum molecular pump
US3490851A (en) * 1967-09-29 1970-01-20 Edward Krzyszczuk Circular flow air compressor or diffusion motor
DE2753461A1 (de) * 1976-11-30 1978-06-01 Le Proizu Elmash Str Ob Elektr Elektrische maschine mit kryogenkuehlung
US4645413A (en) * 1983-05-17 1987-02-24 Leybold-Heraeus Gmbh Friction pump
US4797062A (en) * 1984-03-24 1989-01-10 Leybold-Heraeus Gmbh Device for moving gas at subatmospheric pressure
DE3526517A1 (de) * 1984-07-25 1986-02-06 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Turbomolekularpumpe
DE3613344A1 (de) * 1986-04-19 1987-10-22 Pfeiffer Vakuumtechnik Turbomolekular-vakuumpumpe fuer hoeheren druck
US5213474A (en) * 1992-04-06 1993-05-25 Lcd, Inc. Pump unit
WO1996013667A1 (de) * 1994-10-31 1996-05-09 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit kühlung
DE10004271A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
US7011491B2 (en) 2000-02-01 2006-03-14 Leybold Vakuum Gmbh Friction vacuum pump
DE102010019940B4 (de) 2010-05-08 2021-09-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpstufe
EP2960519A1 (de) * 2014-06-26 2015-12-30 Pfeiffer Vacuum Gmbh Siegbahnstufe
WO2021013979A1 (en) * 2019-07-25 2021-01-28 Edwards Limited Drag pump
CN114127423A (zh) * 2019-07-25 2022-03-01 爱德华兹有限公司 拖曳泵
US11971041B2 (en) 2019-07-25 2024-04-30 Edwards Limited Drag pump
EP4118339A4 (de) * 2020-04-15 2023-10-11 Kin-Chung Ray Chiu Nicht abgedichtete vakuumpumpe mit überschall-drehschaufelloser gasprallfläche

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE605902C (de) Turbohochvakuumpumpe
DE3919529C2 (de) Vakuumpumpe
DE2534528A1 (de) Vakuumpumpe
CH674552A5 (de)
DE102012003680A1 (de) Vakuumpumpe
DE3507274A1 (de) Scheiben mit schaufeln hoher stabilitaet fuer turbomolekularpumpen
EP3088743B1 (de) Seitenkanal-vakuumpumpstufe mit einem unterbrecher, der auf der saugseite abgeschrägt ist
DE102009021620A1 (de) Vakuumpumpe
DE1010235B (de) Molekularpumpe
DE10008691B4 (de) Gasreibungspumpe
DE102007057813A1 (de) Anordnung eines Einflügel-Wälzkolbenverdichters und Verfahren zur Verdichtung von förderbaren und kompressiblen Medien
DE102010019940B4 (de) Vakuumpumpstufe
DE102013112185B4 (de) Vakuumpumpe sowie Vakuumpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe
GB705774A (en) Rotary pump adapted for use as a pump or motor for the delivery of liquids, plastic masses and the like
DE319422C (de) Abdichtungsvorrichtung fuer den Kolben von Pumpen mit umlaufendem, in der Kolbentrommel diametral verschiebbarem, Dichtungsleisten tragendem Kolben
DE2034285A1 (de) Molekularpumpe
DE523165C (de) Rotationspumpe
DE102013022539B3 (de) Vakuumpumpe
DE2229532C3 (de) Drehkolbenmaschine
DE844632C (de) Vielstufiger Axialverdichter, dessen Reaktionsgrad sich stufenweise aendert
DE102013114290A1 (de) Vakuumpumpe
DE1601336A1 (de) Rotationskolbenbrennkraftmaschine
DE3027161A1 (de) Universalmotor fuer verschiedene materien
CH223833A (de) Umlaufende Maschine mit Leitschaufel- und Arbeitsschaufelkränzen zur Förderung bezw. Verdichtung von Arbeitsmitteln.
DE466833C (de) Umlaufender hydraulischer Verdichter