DE60324639D1 - Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Wellenlängenänderung in hochauflösenden Messsystemen - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Wellenlängenänderung in hochauflösenden Messsystemen

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Michael Nahum
Joseph D Tobiason
Kim W Atherton
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    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
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