DE60209563T2 - Laservorrichtung mit optischer Rückkopplung zu einer Kavität zur Detektion von Spurengasen - Google Patents

Laservorrichtung mit optischer Rückkopplung zu einer Kavität zur Detektion von Spurengasen Download PDF

Info

Publication number
DE60209563T2
DE60209563T2 DE60209563T DE60209563T DE60209563T2 DE 60209563 T2 DE60209563 T2 DE 60209563T2 DE 60209563 T DE60209563 T DE 60209563T DE 60209563 T DE60209563 T DE 60209563T DE 60209563 T2 DE60209563 T2 DE 60209563T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cavity
laser
optical
mirror
optical feedback
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60209563T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60209563D1 (de
Inventor
Jerôme MORVILLE
Daniele Romanini
Marc Chenevier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Universite Joseph Fourier Grenoble 1
Original Assignee
Universite Joseph Fourier Grenoble 1
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Universite Joseph Fourier Grenoble 1 filed Critical Universite Joseph Fourier Grenoble 1
Publication of DE60209563D1 publication Critical patent/DE60209563D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60209563T2 publication Critical patent/DE60209563T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0064Anti-reflection devices, e.g. optical isolaters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/10084Frequency control by seeding
    • H01S3/10092Coherent seed, e.g. injection locking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping

Description

  • Die Erfindung betrifft die Erfassung von Gasen in Spurenmengen. Spezieller betrifft sie eine Vorrichtung zur Erfassung von Gasen in Spurenmengen in einer Resonatorkavität gemäß Anspruch 1.
  • 1 zeigt das Grunddiagramm eines Verfahrens zur spektroskopischen Absorptionsmessung in einer Resonatorkavität. Licht wird von einem Laser 1 über ein optisches Kopplungssystem 3 in eine optische Resonatorkavität 2 gesandt. Das aus der Resonatorkavität kommende Licht wird von einem Photodetektor 4 erfaßt und zu einer Analyseeinrichtung 5 gesandt. Wenn sich die Laserfrequenz ändert, gibt es für jede Kavitätsmode ein Maximum des von dem Photodetektor empfangenen Signals. Wenn die Kavität eine chemische Spezies enthält, die eine Absorptionslinie bei der Wellenlänge der injizierten Photonen aufweist, wird die Transmission abhängig von der Absorption reduziert. Basierend auf dem Transmissionsspektrum wird das Absorptionsspektrum genauso wie bei einem herkömmlichen Absorptionsspektrum erhalten. Dann aber wird das Absorptionssignal mit der Feinheit der Kavität multipliziert, und es sollte normalerweise möglich sein, Absorptionsmessungen mit sehr hoher Empfindlichkeit durchzuführen. Eine Transmissionskurve, welche die transmittierte Intensität über der Frequenz darstellt, ist in 2A gezeigt, und die Absorption der in der Kavität enthaltenen chemischen Spezies, welche in 2B gezeigt wird, kann von dieser Kurve abgeleitet werden.
  • Unglücklicherweise sind solche Verfahren der direkten spektroskopischen Messung in einer Resonatorkavität in der Praxis unmöglich oder ihre Realisierung ist sehr komplex. Tatsächlich muß ausreichend Leistung in die Kavität injiziert werden, diese Leistung muß konstant sein oder einer bekannten Änderung folgen, und das erfaßte Signal darf nicht zu starkes Rauschen aufweisen.
  • Um diese Nachteile zu vermeiden, wurde Erfassungsverfahren durch Reduzierung der optischen Leistung in einer Resonatorkavität verwendet, welche nach dem englischen Begriff "cavity ring-down spectroscopy" mit dem Ausdruck CRDS bezeichnet werden. Gemäß diesem Verfahren wird der Laserstrahl in die Kavität gesandt und danach die Photoneninjektion abrupt gestoppt. Die Photonen bleiben dann in der Kavität gefangen, und ihre Intensität nimmt mit der Zeit exponentiell ab. Wenn die Kavität leer ist, oder bei einer Wellenlänge, die keiner Absorptionslinie des in der Kavität enthaltenen Gases entspricht, weist diese Abnahme eine gegebene Zeitkonstante auf, die im wesentlichen durch Spiegelverluste bei der betrachteten Wellenlänge bestimmt wird. Wenn die Kavität eine chemische Spezies enthält, die eine Absorptionslinie bei der Wellenlänge der injizierten Photonen hat, wird diese Zeitkonstante reduziert. Ein Vorteil dieses Verfahrens ist, daß es Rauschen aufgrund von Schwankungen der in die Kavität injizierten Intensität vermeidet.
  • Um eine ausreichende Menge Licht in die Resonatorkavität zu injizieren, wurde ein CRDS-Verfahren vorgesehen, bei dem die Frequenz eines kontinuierlichen oder Dauerstrich-Halbleiterlasers durch eine optische Rückkopplung von der Kavität gesteuert wird. Ein solches Verfahren ist in der PCT-Anmeldung WO 99/57542 beschrieben. Dieses Verfahren liefert zufriedenstellende Ergebnisse, die Zeit zur Bestimmung der Absorptionskurve ist jedoch relativ lang, weil für jede Messung ein einzelner Punkt der Absorptionskurve berechnet wird.
  • Die EP-A-1116948 offenbart eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein im wesentlichen flaches oder geringfügig ansteigendes Diffraktionsmuster zu erhalten. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung umfaßt die Vorrichtung eine Einrichtung zum Grobeinstellen der Wegstrecke von dem Laser zu der Kavität.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Einrichtung zum Feineinstellen der Phase der optischen Rückkopplung eine Einrichtung zum Festlegen der optischen Wegstrecke zwischen Laser und Kavität.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Einrichtung zum Feineinstellen ein Spiegel, der auf einer piezoelektrischen Keramik angeordnet ist, die in dem optischen Weg von dem Laser zu der Kavität angeordnet ist.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Einrichtung zum Einstellen der Kopplungsstärke zwischen Laser und Kavität ein optischer Dämpfer, der das Licht dämpft, das von der Kavität zu dem Laser zurückgesandt wird, zum Beispiel ein Faraday-Element.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist der Laser eine Laserdiode.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Kavität ein V-förmiger Typ und umfaßt einen ersten Spiegel, der gegenüber der Lasereinfallsrichtung geneigt ist, einen zweiten Spiegel, der orthogonal zu der Lasereinfallsrichtung ist, und einen dritten Spiegel, der eine Kavität mit den ersten zwei Spiegeln bildet.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Kavität eine herkömmliche Zwei-Spiegel-Kavität.
  • Die Erfindung ist auch gerichtet auf ein Verfahren zur Verwendung der obigen Vorrichtung, das darin besteht, den optischen Weg zwischen Laser und Kavität um einen Wert in der Größenordnung der Laserwellenlänge zu verändern.
  • Die obigen Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung sind in der folgenden Beschreibung bestimmter Ausführungen ohne Beschränkung hierauf in Verbindung mit den Zeichnungen in weiteren Einzelheiten beschrieben; wobei
  • 1 das grundsätzliche Diagramm einer Vorrichtung zum Umsetzen des Verfahrens der spektroskopischen Absorptionsmessung in einer Resonatorkavität zeigt;
  • 2A und 2B zeigen jeweils die Transmission einer Resonatorkavität, die eine chemische Spezies enthält, die modenweise mit konstanter Intensität angeregt wird, bzw. die Absorptionskurve der Spezies;
  • 3A bis 3C zeigen die frequenzabhängigen Kurven für eine Absorptionslinie bzw. einen Laserstrahl bzw. für Longitudinalmoden einer Kavität;
  • 4A und 4B zeigen Kurven, welche die Frequenzverriegelung zwischen einem Laser und einer Kavität bei Vorhandensein einer optischen Rückkopplung kennzeichnen;
  • 5 zeigt die Form der Kavitätstransmissionskurve, die für verschiedene Einstellungen der Kavitätslänge in bezug auf den Abstand zwischen Laser und Kavität erhalten wird;
  • 6 zeigt für eine gegebene Distanz zwischen Laser und Kavität den Einfluß einer kleinen Änderung (in der Größenordnung von λ/2) dieses Abstandes;
  • 7 zeigt eine spezifische Ausführung einer Gaserfassungsvorrichtung;
  • 8 zeigt eine andere spezifische Ausführung einer Gaserfassungsvorrichtung;
  • 9 zeigt ein Beispiel eines Spektrums, das erfindungsgemäß für einen eingestellten Abstand zwischen Laser und Kavität erhalten wird.
  • Bevor die Erfindung im einzelnen beschrieben wird, soll in Erinnerung gerufen werden, daß im Bereich der optischen Spektroskopie bestimmte Begriffe, wie dünne Linie, Monomoden-System etc. abhängig von den Autoren häufig eine andere Bedeutung haben. Das hier verwendete Vokabular wird somit in bezug auf die 3A bis 3C spezifiziert.
  • 3A zeigt die Intensität einer Absorptionsline einer Gasspezies abhängig von der Frequenz. Die Linie hat eine Mittenfrequenz f0 und eine Breite Δf0. In einem Beispiel hat die Absorptionslinie von Methan bei 1651 nm eine Absorptionslinienbreite Δf0 = 4,4 GHz (was einem Wellenlängenbereich von 0,04 nm entspricht).
  • Ein Dauerlaserstrahl, wie eine Laserdiode, oder ein anderer Halbleiterlaser mit einstellbarer Frequenz wird eine Linie f1 mit einer Breite Δf1 emittieren, wie in 3B gezeigt. Im allgemeinen wird Δf1 wesentlich kleiner sein als die Breite Δf0 der Absorptionslinie, wobei hier immer dieser Fall betrachtet wird.
  • Ferner kann, wie in 3C gezeigt, eine optische Resonatorkavität gegebener Länge bei der einen oder anderen von mehreren Frequenzen oder Longitudinalmoden, die eine vorgegebene FSR oder Free Spectral Range-Distanz voneinander entfernt sind, eine Resonanz haben. Um die Erörterung zu vereinfachen, wird die Frequenz einer Kavitätsmode f2 genannt, wobei von einer Frequenz f2 + kFSR gesprochen werden sollte, wenn k eine positive oder negative ganze Zahl oder Null ist. Für jede der Longitudinalmoden ist die mögliche Resonanzbreite Δf2 sehr klein, das heißt klein im Vergleich zur Breite Δf1 der Laserlinie, die selbst sehr schmal im Vergleich zur Breite Δf0 der Absorptionslinie ist. Der in der Praxis häufig auftretende Fall, daß Δf1 kleiner ist als die FSR-Distanz zwischen Kavitätsmoden, wird im folgenden betrachtet. FSR kann zum Beispiel gleich 300 MHz sein (ungefähr zehnmal geringer als die Breite der zu untersuchenden Absorptionslinie).
  • Wie in 3B gezeigt, wird die Leistung der Laserlinie im Zeitmittel über Frequenzen verteilt, die der Breite Δf1 entsprechen, und nur die zufallsbedingte Übereinstimmung der Frequenzen innerhalb der Breite der Kavitätsmode Δf2 ermöglicht eine Injektion in die Kavität. Man erkennt somit, daß die Menge der in die Kavität injizierten Photonen im Vergleich zu der Gesamtintensität der Laserlinie gering ist. Diese Menge schwankt ferner aufgrund von Schwankungen der Laserfrequenz, und die Messungen werden durch erhebliches Rauschen beeinflußt. Erfindungsgemäß wird die Resonatorkavität als die Quelle einer positiven optischen Rückkopplung bei den Frequenzen der Resonanzmoden zum Laser genutzt, weil dieser so gewählt wird, daß er auf eine optische Rückkopplung stark anspricht.
  • Man beachte, daß die Resonatorkavität hoch reflektierende Spiegel aufweisen muß, beispielsweise Spiegel mit einem Reflexionskoeffizienten nahe bei 99,998, was einer Feinheit (Finesse) in der Größenordnung von 150.000 entspricht, um in bezug auf die Absorptionserfassung effizient zu sein. Wenn also der Laser Licht auf den Eingangsspiegel 2-1 der Resonatorkavität sendet, wird dieses Licht überwiegend an den Laser zurückgeschickt. Dadurch kann der Laser gestört werden. Deshalb wird in herkömmlichen Anordnungen ein optischer Isolator zwischen dem Laser und der Kavität eingesetzt. Im Kontext der Erfindung wird eine Anordnung verwendet, die ein Wellenlängenband selektiv zu dem Laser zurücksenden kann, das eine Breite hat, welche der Breite einer Kavitätsmode für eine Resonanzfrequenz der Kavität entspricht. Wenn der Laser Energie um die Frequenz f1 (3B) herum aussendet und die Laserlinie Leistung bei einer Frequenz f2 aufweist, kommt die Kavität in die Resonanz, und nur die Wellen, die dieser Resonanzfrequenz entsprechen, werden zu dem Laser zurückgesandt. Wenn der Laser für eine optische Rückkopplung sensitiv ist, was beispielsweise bei Halbleiterlasern der Fall ist, wird die Laserlinie bei der reflektierten Bandbreite dünner und intensiver. Der Laser sendet somit anstelle eines Strahls der Breite Δf1, der um die Frequenz f1 zentriert ist, einen intensiven Strahl mit einer geringeren Breite Δf2, der um die Frequenz f2 einer Kavitätsmode zentriert ist, wie in 3 gestrichelt dargestellt. Der Laser sendet somit in die Kavität nur Photonen mit der gewünschten Frequenz (eine Resonanzfrequenz der Kavität), und die Injektion erreicht ihr Optimum. Man kann sagen, daß der Laser auf eine Kavitätsmode geregelt wird.
  • Man betrachte eine Laserdiode, wenn ein Rampenstrom angelegt wird, wie durch die gestrichelte Kurve 40 in 4A gestellt, wobei die emittierte Wellenlänge λ progressiv zunehmen kann. Wie gezeigt, wird aufgrund der Kopplung mit der Kavität die Laserfrequenz für jede der Eigenfrequenzen oder Frequenzen der Longitudinalmoden der Kavität, f20, f21, f22, f23, ..., die Laserfrequenz sich auf die betrachtete Frequenz verriegelt. Die Transmission der Kavität ist somit im wesentlichen so wie in 4B gezeigt, das heißt, die Kavität sendet für jede verriegelte Frequenz f20, f21, f22, f23.
  • Die obige Beschreibung bezieht sich auf den Idealfall, bei dem die optische Rückkopplung für alle Kavitätsmoden, welche durch die Laserabtastung abgedeckt werden, optimiert ist. In der Praxis tritt dieser Fall nicht auf: Die Intensität unterscheidet sich von einer Mode zur anderen und man beobachtet Instabilitäten.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, Anordnungen für die optische Einrichtung vorzusehen, die zufriedenstellende Messungen liefern.
  • Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Verbesserung der Kopplung zwischen Laser und Kavität vorgesehen. Tatsächlich macht die Wirkung einer optischen Rückkopplung auf einen Laser dessen Verriegelung auf eine Kavitätsmode extrem stark. Wenn daher der Laserstrom modifiziert wird, so daß er normalerweise eine Frequenzabtastung durchführt, anstatt durch eine optische Rückkopplung auf nur einem freien Spektral-Teilintervall festgelegt zu bleiben, wie in 4A gezeigt, kann der Laser während längerer Zeit verriegelt bleiben, momentan über einem Intervall, das größer ist als ein freies Spektralintervall, oder möglicherweise sogar über zwei oder mehr freie Spektralintervalle, und zwar von einer Mode zur anderen oder von einer Abtastung zur anderen unregelmäßig. Die erhaltene Messung ist dann nicht mehr signifikant, weil die Abtastung der Absorptionskurve nicht mehr regelmäßig ist. Um diesen Nachteil zu überwinden, sieht die Erfindung vor, in den Weg zwischen dem Laser und der Kavität ein einstellbares Dämpfungsglied einzufügen, das vorzugsweise nur zum Dämpfen der Welle aktiv ist, welche von der Kavität zu dem Laser zurückkehrt, oder allgemeiner der Kopplungsrate zwischen Laser und Kavität. Ein Faraday-Dämpfungsglied kann beispielsweise dafür gewählt werden. Dieses Dämpfungsglied wird so eingestellt, daß die Kopplungsrate einen Verriegelungsbereich vorsehen kann, der geringfügig kleiner ist als das Intervall zwischen den Kavitätsmoden oder ein ganzzahliges Vielfaches dieses Intervalls.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung haben die Erfinder auch gezeigt, daß ein weiterer signifikanter Parameter ein zufriedenstellender Abgleich zwischen der Phase der von dem Laser emittierten Welle und der Phase der von der Kavität zurückgesandten Welle ist.
  • 5 zeigt die Welle der Transmission, welche am Ausgang einer Kavität erhalten wird, wenn die Laserfrequenz über mehrere Moden dieser Kavität mit einer optischen Rückkopplung, wie zuvor beschrieben, abgetastet wird. Der Zustand der Laser-Kavität-Phase kann durch eine Einstellung der Distanz Lb zwischen dem Laser und der Kavität modifiziert werden. Wenn diese Distanz dieselbe Größenordnung hat wie die Länge L eines Arms der Kavität (unter der Annahme einer einzelnen Kavität oder einer Kavität mit zwei gleichen Armen), wird eine im wesentlichen flache Kurve erhalten. Wenn diese Distanz gleich 95 % der Länge der Kavität wird, wird eine Transmissionskurve erhalten, wie die in 5 bei A gezeigte. Bei 85 % wird eine Kurve erhalten, wie die bei B gezeigte, und für 70 % wird eine Kurve erhalten, wie die bei C gezeigte. Die anderen Kurven von 5 sind Zwischenkurven.
  • Erfindungsgemäß wird somit ein Fall betrachtet, bei dem der Abstand zwischen Laser und Kavität gleich der Länge der Kavität oder einem ganzzahligen Vielfachen dieser Länge ist, um eine im wesentlichen flache (oder geringfügig ansteigende) Transmissionskurve zu erhalten, so daß alle von dem Laser abgetasteten Kavitätsmoden ebenfalls bei dem Transmissionsmaximum angeregt werden. Für richtig gewählte Abstände zwischen Laser und Kavität ist es auch möglich, genau nur eine von zwei Moden anzuregen, oder eine von drei etc., wobei jede dieser Moden auch bei dem Transmissionsmaximum angeregt wird und wiederum eine flache Transmissionskurve erhalten wird; das heißt, der Abstand zwischen Laser und Kavität kann ein ganzzahliges Unter-Vielfaches der Kavitätslänge sein (wahrscheinlicher ein ganzzahliges Vielfaches der Kavitätslänge). Wie im folgenden ausgeführt, kann auch eine andere Konfiguration vorgesehen werden, um die Distanz zwischen Laser und Kavität zu modulieren.
  • 6 zeigt oben eine Kurve ähnlich der von 5C. Die Kavitäts-Transmissionskurve umfaßt Modengruppen, für welche die Intensität relativ stark ist, die von Modengruppen mit sehr geringer Intensität getrennt sind.
  • Wenn andererseits zwischen Laser und Kavität in der Größenordnung einer halben Wellenlänge variiert wird, erfolgt ein allmählicher Übergang von der auf der oberen Line von 6 gezeigten Kurve zu der auf der unteren Linie von 6 gezeigten Kurve. Wenn mehrere Messungen durchgeführt werden und der Abstand zwischen Laser und Kavität in einem Bereich größer als λ/2 moduliert wird, ergibt sich somit im Mittel eine flache Kurve, und es ist möglich, die Faktoren in bezug auf die Kavitätsabsorption zu ermitteln.
  • Beispiele von Gaserfassungseinrichtungen sind in den 7 und 8 gezeigt.
  • In 7 ist der Laser mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet. Die Kavität 2 ist eine V-förmige Kavität mit einem Eingangsspiegel 6 und Spiegeln 7 und 8, die im wesentlichen wie gezeigt angeordnet sind, um eine Resonatorkavität zu bilden. Der von dem Laser ausgesandte direkte Strahl wird von den Spiegeln 11 und 12 zur Rückseite des Spiegels 6 und zu dem zweiten Spiegel 7 reflektiert. Das von dem Spiegel 7 reflektierte Licht wird von der Vorderseite des Spiegels 6 zum Spiegel 8 reflektiert. Wenn die Kavität nicht abgestimmt ist, wird der von dem Laser gesandte und die Rückseite des Spiegels erreichende gesamte Strahl nicht in Richtung des Lasers zurückgesandt. Der bei dem Spiegel 7 ankommende direkte Strahl wird zu dem Spiegel 6 zurückgesandt. Seine Intensität am Ausgang des Spiegels 6 ist jedoch extrem gering, weil er die doppelte Transmissionsdämpfung des Spiegels 6 erfährt, und kann als vernachlässigbar betrachtet werden, solange die Kavität 2 nicht abgestimmt ist. Die zurückgesandte Intensität wird nur dann signifikant, wenn die Resonanzwellenlänge der Kavität (f2 in 3C) von dem Laser ausgesandt wird. Dann ergibt sich ein Rückkopplungsphänomen und eine Ausdünnung des Strahls. Dann wird eine maximale Injektion in der Kavität erzeugt. Ein Photodetektor 15, der zum Beispiel hinter einem der Spiegel 7 oder 8 angeordnet ist, ermöglicht eine Untersuchung der Transmissionskurve in bezug auf das Vorhandensein oder Fehlen einer Absorptionslinie einer Spezies, nach der in der Kavität gesucht wird, wie in 2A gezeigt.
  • Ein Faraday-Isolator 20 wird zwischen den Laser und die Kavität eingefügt. In Verbindung mit einer Laserdiode kann ein einstellbarer Faraday-Isolator geringer Qualität und Kosten eine Dämpfungsrate im Bereich zwischen 1/10 und 1/1000 verwendet werden. Der Laser wird auf einer Vorrichtung 21 montiert, der seine Einstellung durch Translation ermöglicht, und einer der reflektierenden Spiegel, beispielsweise der Spiegel 12, wird auf einer piezoelektrischen Keramik 22 montiert, um die Steuerung und auch schließlich die Modulation eines optischen Weges über einen Bereich in der Größenordnung einer Wellenlänge des Lasers zu ermöglichen. Im Gegensatz zu dem, was in der Zeichnung gezeigt ist, hat die Distanz Lb zwischen der Rückseite des Spiegels M1 und dem Laserausgang dieselbe Größenordnung wie die Länge L1 eines Kavitätsarms (unter der Annahme, daß die zwei Arme dieselbe Länge haben). Ferner können verschiedene herkömmliche Mittel bekannter Einrichtungen des Standes der Technik verwendet werden. Es können beispielsweise Teile eingesetzt werden, um Teile des Laserstrahls in Richtung anderer Photodetektoren oder Einrichtungen einer Bezugszelle abzulenken, die mit einem Detektor verbunden werden kann, um eine anfängliche Einstellung des Lasers zu ermöglichen.
  • 8 zeigt ein Beispiel einer alternativen Ausführung einer Gaserfassungseinrichtung, in der dieselben Elemente wie in 7 mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind. In dieser Ausführung ist die Resonatorkavität 2 eine herkömmliche Kavität, die aus zwei gegenüberliegenden Spiegeln 6' und 7' gebildet ist, und ein Polarisations-Isolator ist zwischen dem Laser und der Kavität angeordnet, um die Rückkehr einer direkten Reflexion auf der Rückseite des Eingangsspiegels zum Laser zu verhindern und um eine Strahlung zu dem Laser zu übertragen, die eine Resonanz in der Kavität erfahren hat, deren Polarisation im Laufe der mehrfachen Vor- oder Rückläufe modifiziert wurde.
  • Andere Elemente, wie eine Linse L, werden in der Vorrichtung vorzugsweise ebenfalls vorgesehen, um die Transversalmoden des Lasers und der Kavität einzustellen.
  • 9 zeigt ein Beispiel der Transmission einer Kavität gemäß der Erfindung, welche Wasserdampf enthält, für eine optimale Einstellung des Abstands zwischen Lasers und Kavität. Man sollte beachten, daß die Intensität der Moden im wesentlichen konstant ist (tatsächlich regelmäßig zunehmend), außer an den Stellen, an denen die Wasserdampf-Absorptionslinien auftreten.
  • Einfluß der transversalen Moden in der Kavität
  • In der obigen Beschreibung und spezieller in 3C wurde die Kavität mit Resonanzmoden bei Frequenzen f2 gezeigt, die voneinander durch ein Intervall getrennt sind, das gleich dem freien Spektralbereich FSR der Kavität ist. Dies war eine Vereinfachung. Tatsächlich wird die Kavität bei mehreren elektromagnetischen Transversalmoden (TEM) in die Resonanz kommen, die im allgemeinen mit TEMij bezeichnet sind.
  • Um den Einfluß dieser Lateralmoden zu vermeiden, kann man, wie dies in der Patentanmeldung PCT WO 99/47542 beschrieben ist, eine Kavität wählen, die so eingestellt ist, daß sie bei einer Mode in der Nähe einer degenerierten Mode arbeitet, wobei die sekundären Transversalmoden alle auf einer Seite einer entsprechenden Haupt-Transversalmode zusammengefaßt werden und der Laser eine Abtastung in Richtung der Seite ausführt, die der Seite gegenüberliegt, wo die sekundären Lateralmoden zusammengefaßt sind.
  • Selbstverständlich kann die Erfindung zahlreiche Abweichungen, Modifikationen und Verbesserungen erfahren, die sich dem Fachmann ergeben. Insbesondere können verschiedene Arten von Kavitäten und verschiedene Analysesysteme sowie verschiedene Arten der Steuerung der Intensität und der Rückkopplungsphase verwendet werden. Kavitäten mit zwei konfokalen Spiegel oder Kavitäten mit mehr als drei Spiegeln können beispielsweise verwendet werden. Die Beziehung zwischen dem Abstand von Laser und Kavität und der Länge der Kavitätsarme wird entsprechend gewählt. Temperaturregelsysteme können ebenfalls vorgesehen werden, insbesondere um die Kavität und die Faraday-Zelle zu stabilisieren.

Claims (9)

  1. Vorrichtung zum Detektieren von Gasen in Spurenmengen, die folgendes umfaßt: eine optische Resonatorkavität (2), welche eine zu analysierende chemische Spezies enthält; ein auf einer optischen Rückkopplung reagierender Laser (1), der über eine optische Rückkopplung mit der optischen Kavität gekoppelt ist und dessen Frequenz durchgefahren werden kann; eine Einrichtung zum Einstellen der Kopplungsstärke zwischen Laser und Kavität; eine Einrichtung zum Feineinstellen (22) der Phase der optischen Rückkopplung; und eine Einrichtung zum Messen (15) des Lichts, das von der Kavität transmittiert wird; dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis zwischen der Wegstrecke zwischen Laser und Kavität und der Länge von einem oder mehreren Armen der Kavität auf eine ganze Zahl, auf das Inverse einer ganzen Zahl oder auf ein Verhältnis ganzer Zahlen eingestellt ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Vorrichtung eine Einrichtung zum Grobeinstellen (21) der Wegstrecke von dem Laser zu der Kavität aufweist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Einrichtung zum Feineinstellen (22) der Phase der optischen Rückkopplung eine Einrichtung zum Festlegen der optischen Wegstrecke zwischen Laser und Kavität ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Einrichtung zum Feineinstellen ein Spiegel ist, der auf einer piezoelektrischen Keramik (22) angeordnet ist, die in dem optischen Weg von dem Laser zu der Kavität eingerichtet ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Einrichtung zum Einstellen der Kopplungsstärke zwischen Laser und Kavität ein optischer Dämpfer (20) ist, der das Licht dämpft, das von der Kavität zu dem Laser zurückgesendet wird, wie ein Faraday-Element.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Laser eine Laserdiode ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Kavität ein V-förmiger Typ ist und einen ersten Spiegel (6), der gegenüber der Lasereinfallsrichtung geneigt ist, einen zweiten Spiegel (7), der orthogonal zu der Lasereinfallsrichtung ist, und einen dritten Spiegel (8) aufweist, der eine Kavität mit den ersten zwei Spiegeln (6, 7) bildet.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Kavität eine herkömmliche Zwei-Spiegel-Kavität ist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 1, die eine Einrichtung zum Verändern des optischen Weges zwischen Laser und Kavität um einen Wert in der Größenordnung der Laserwellenlänge aufweist.
DE60209563T 2001-10-10 2002-10-09 Laservorrichtung mit optischer Rückkopplung zu einer Kavität zur Detektion von Spurengasen Expired - Lifetime DE60209563T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0113052 2001-10-10
FR0113052A FR2830617B1 (fr) 2001-10-10 2001-10-10 Dispositif a laser couple a une cavite par retroaction optique pour la detection de traces de gaz
PCT/FR2002/003438 WO2003031949A1 (fr) 2001-10-10 2002-10-09 Dispositif a laser couple a une cavite par retroaction optique pour la detection de traces de gaz

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60209563D1 DE60209563D1 (de) 2006-04-27
DE60209563T2 true DE60209563T2 (de) 2006-12-21

Family

ID=8868135

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60209563T Expired - Lifetime DE60209563T2 (de) 2001-10-10 2002-10-09 Laservorrichtung mit optischer Rückkopplung zu einer Kavität zur Detektion von Spurengasen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7450240B2 (de)
EP (1) EP1442282B1 (de)
DE (1) DE60209563T2 (de)
FR (1) FR2830617B1 (de)
WO (1) WO2003031949A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007042172A1 (de) 2007-09-05 2009-03-12 Fabiola Basan Verfahren und optische Anordnung zur breitbandigen Messung geringer optischer Verluste

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6984732B2 (en) 2003-03-31 2006-01-10 Mcneil-Ppc, Inc. High-intensity sweetener composition and delivery of same
US20050062972A1 (en) * 2003-09-22 2005-03-24 Krusen Calvin R. System and method for cavity ring-down spectroscopy using continuously varying continuous wave excitation
US9267880B1 (en) 2003-09-26 2016-02-23 Picarro, Inc. Ring-down binning in FSR hopping mode
US20110096332A1 (en) * 2008-04-03 2011-04-28 Renato Bugge Method and device for gas analysis using an interferometric laser
FR2938916B1 (fr) * 2008-11-24 2012-10-19 Ap2E Dispositif d'echantillonnage de gaz.
US8327686B2 (en) * 2010-03-02 2012-12-11 Li-Cor, Inc. Method and apparatus for the photo-acoustic identification and quantification of analyte species in a gaseous or liquid medium
US8665442B2 (en) 2011-08-18 2014-03-04 Li-Cor, Inc. Cavity enhanced laser based isotopic gas analyzer
US8659759B2 (en) * 2011-08-25 2014-02-25 Li-Cor, Inc. Laser based cavity enhanced optical absorption gas analyzer
US8659758B2 (en) 2011-10-04 2014-02-25 Li-Cor, Inc. Laser based cavity enhanced optical absorption gas analyzer with laser feedback optimization
FR2985026B1 (fr) * 2011-12-23 2014-02-07 Commissariat Energie Atomique Procede de quantification d'atomes de gaz rare, notamment de xenon, et dispositif pour la mise en oeuvre d'un tel procede
US8885167B2 (en) 2012-11-02 2014-11-11 Li-Cor, Inc. Cavity enhanced laser based gas analyzer systems and methods
US9194742B2 (en) 2012-11-02 2015-11-24 Li-Cor, Inc. Cavity enhanced laser based gas analyzer systems and methods
EP2914953B1 (de) * 2012-11-02 2020-03-25 Li-Cor, Inc. Resonanzverstärkte laserbasierte gasanalysatorsysteme und verfahren
US9116047B2 (en) 2013-10-11 2015-08-25 Li-Cor, Inc. Systems and methods for controlling the optical path length between a laser and an optical cavity
US10925515B2 (en) 2014-05-22 2021-02-23 Picomole Inc. Alveolar breath collection apparatus
FR3056837B1 (fr) * 2016-09-27 2018-11-23 Centre National De La Recherche Scientifique Systeme laser avec retroaction optique
US10666012B2 (en) 2017-03-13 2020-05-26 Picomole Inc. Apparatus and method of optimizing laser system
US10527492B2 (en) 2017-05-16 2020-01-07 Li-Cor, Inc. Mode matching method for absorption spectroscopy systems
GB201709922D0 (en) * 2017-06-21 2017-08-02 Redwave Labs Ltd Optical device
US10330592B2 (en) 2017-07-21 2019-06-25 Serguei Koulikov Laser absorption spectroscopy isotopic gas analyzer
US11022544B2 (en) 2017-09-19 2021-06-01 Sparrow Detect, Inc. Generating signatures based on sensing gas concentration conditions
US10724946B2 (en) 2017-09-19 2020-07-28 Sparrow Detect, Inc. Tunable light source cavity detection using a plurality of axial-plus-transverse modes
KR102455470B1 (ko) * 2017-12-15 2022-10-17 네오 모니터스 에이에스 대기압 및 상승된 압력 하에서 수소의 측정을 위한 수소 가스 센서 및 방법
FR3091925B1 (fr) 2019-01-18 2021-01-29 Ap2E Système de cavité optique résonnante a rétroaction optique, adaptée à la détection de traces de gaz par spectrométrie de Raman
US11035789B2 (en) 2019-04-03 2021-06-15 Picomole Inc. Cavity ring-down spectroscopy system and method of modulating a light beam therein
CN110160989B (zh) * 2019-05-29 2020-08-28 中国科学技术大学 一种痕量气体的探测方法及探测装置
US11957450B2 (en) 2020-02-28 2024-04-16 Picomole Inc. Apparatus and method for collecting a breath sample using an air circulation system
US11782049B2 (en) 2020-02-28 2023-10-10 Picomole Inc. Apparatus and method for collecting a breath sample using a container with controllable volume

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4455089A (en) * 1982-08-25 1984-06-19 Iowa State University Research Foundation, Inc. Refractive index and absorption detector for liquid chromatography based on Fabry-Perot interferometry
US4907237A (en) * 1988-10-18 1990-03-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Optical feedback locking of semiconductor lasers
US5432610A (en) * 1994-04-15 1995-07-11 Hewlett-Packard Company Diode-pumped power build-up cavity for chemical sensing
US5835522A (en) * 1996-11-19 1998-11-10 Hewlett-Packard Co. Robust passively-locked optical cavity system
US6064488A (en) * 1997-06-06 2000-05-16 Monitor Labs, Inc. Method and apparatus for in situ gas concentration measurement
US5903358A (en) * 1997-06-20 1999-05-11 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Spectroscopy using active diode laser stabilization by optical feedback
US6084682A (en) * 1998-04-15 2000-07-04 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Cavity-locked ring down spectroscopy
FR2778244B1 (fr) * 1998-04-30 2000-07-13 Univ Joseph Fourier Procede d'excitation d'une cavite optique pour la detection de gaz a l'etat de traces
US6466322B1 (en) * 1998-12-31 2002-10-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Swept continuous wave cavity ring-down spectroscopy
US6377350B1 (en) * 2000-02-03 2002-04-23 Informal Diagnostics, Inc Frequency sequencing using CRDS
US7012696B2 (en) * 2000-07-12 2006-03-14 Macquarie Research Ltd. Optical heterodyne detection in optical cavity ringdown spectroscopy
US6611546B1 (en) * 2001-08-15 2003-08-26 Blueleaf, Inc. Optical transmitter comprising a stepwise tunable laser
US6711203B1 (en) * 2000-09-22 2004-03-23 Blueleaf, Inc. Optical transmitter comprising a stepwise tunable laser
US7154595B2 (en) * 2003-12-17 2006-12-26 Picarro, Inc. Cavity enhanced optical detector
US20060056465A1 (en) * 2004-09-10 2006-03-16 Jinchun Xie Laser with reflective etalon tuning element
US20060084180A1 (en) * 2004-10-14 2006-04-20 Barbara Paldus Method for increasing the dynamic range of a cavity enhanced optical spectrometer
US7265842B2 (en) * 2004-10-14 2007-09-04 Picarro, Inc. Method for detecting a gaseous analyte present as a minor constituent in an admixture
US20060132766A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Bruce Richman Continuously tunable external cavity diode laser

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007042172A1 (de) 2007-09-05 2009-03-12 Fabiola Basan Verfahren und optische Anordnung zur breitbandigen Messung geringer optischer Verluste

Also Published As

Publication number Publication date
DE60209563D1 (de) 2006-04-27
US20050073687A1 (en) 2005-04-07
WO2003031949A1 (fr) 2003-04-17
FR2830617B1 (fr) 2004-01-30
EP1442282A1 (de) 2004-08-04
US7450240B2 (en) 2008-11-11
FR2830617A1 (fr) 2003-04-11
EP1442282B1 (de) 2006-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60209563T2 (de) Laservorrichtung mit optischer Rückkopplung zu einer Kavität zur Detektion von Spurengasen
DE69531322T2 (de) Nachweis von Chemikalien in einer Probe
DE69918546T2 (de) Verfahren zur anregung eines optischen resonators zum nachweis von gasspuren
DE4314189C1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung von Lichtleitfasern aus Glas mittels Heterodyn-Brillouin-Spektroskopie
DE102006058395B4 (de) Anordnung zur elektrischen Ansteuerung und schnellen Modulation von THz-Sendern und THz-Messsystemen
EP0826254B1 (de) Optischer frequenzgenerator
DE60020069T2 (de) Verstimmbare Laserquelle
DE10063977A1 (de) Optischer resonanter Frequenzwandler
EP2324389A1 (de) Terahertzstrahlungsquelle und verfahren zur erzeugung von terahertzstrahlung
DE102016221292A1 (de) Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes
DE102010042469A1 (de) Terahertzwellen-Vorrichtung
DE202010008426U1 (de) Optoelektronischer Entfernungsmesser
DE112017008083B4 (de) Ferninfrarotlichtquelle und ferninfrarotspektrometer
DE19634161C2 (de) Verfahren zum Einstellen und Quelle schmalbandiger kohärenter Strahlung
DE1805656A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der elektronischen Dichte eines Plasmas
DE69937237T2 (de) Verfahren und gerät für ultraschall-laseruntersuchungen
EP2462416A1 (de) Thz-spektroskop und verfahren zur bestimmung der spektralen frequenz- und / oder phasenantwort einer probe
DE69736103T2 (de) Akustooptischer abstimmbarer Filter
EP2548004B1 (de) Leuchteinheit
DE3140086A1 (de) "optische trenneinrichtung mit einem fizeau'schen-keil in reflexion"
DE19642409A1 (de) Passiv verriegelter externer optischer Hohlraum
DE60100877T2 (de) Optische Anordnung zum Auskoppeln von Licht
DE102017209748B4 (de) Verfahren zur Bereitstellung eines Detektionssignals für zu detektierende Objekte
DE102019112857A1 (de) Koaxiales optisches System für LIDAR-Messungen (Light Detection and Ranging)
DE60118352T2 (de) Terahertz-sendeempfänger und diesen verwendende verfahren zur emission und detektion von terahertz-pulsen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition