DE60206022T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Verbindung eines Laser und einer integrierten Schaltung in einem laser-basierten Sender - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Verbindung eines Laser und einer integrierten Schaltung in einem laser-basierten Sender Download PDF

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Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Technisches Gebiet der Erfindung
  • Erfindungsgemäße Ausführungen betreffen im allgemeinen laserbasierte Sender bzw. Transmitter, und insbesondere verknüpfte, mittels Elektroabsorption modulierte Laser (electroabsorption modulated lasers (EML)) mit integriertem Treiberschaltkreis.
  • Beschreibung verwandten Stands der Technik
  • Mittels Elektroabsorption modulierte Laser (EML), die auf Sendern mit „grobem" Wellenlängen-Multiplexverfahren (Coarse Wavelength Division Multiplex (CWDM)) basieren, erreichen Datenraten von mehr als 10 Gb/sec. pro Kanal. Typischerweise umfaßt ein EML einen monolithisch integrierten Laser mit verteilter Rückkopplung (distributed feedback, DFB) und kontinuierlicher Welle (continuous wave) sowie einen Elektroabsorption-Modulator. Ein typisches EML-CWDM-Sendemodul umfaßt:
    • (1) ein EML-Feld (array), wobei jeder EML mit einer anderen Wellenlänge arbeitet;
    • (2) einen integrierten Multikanal-Treiberschaltkreis, um das EML-Feld mit einer bestimmten Datenrate anzusteuern;
    • (3) einen optischen Multiplexer, um die optischen Ausgaben des Felds zu kombinieren und
    • (4) eine Fokussierungsoptik, um den Ausgang des Multiplexers mit einer optischen Faser zu verbinden.
  • Es ist wünschenswert, das EML-CWDM-Sendemodul mit einer maximalen Datenrate vorzusehen, die so hoch wie möglich ist. Jedoch beschränken elektrische Verbindungen zwischen einem integriertem Multikanal-Treiberschaltkreis und einem EML-Feld die maximal erreichbare Datenrate des EML-CWDM-Sendemoduls. Die maximale Datenrate liegt oft wegen der durch die elektrischen Hochgeschwindigkeitssignale hervorgerufene Induktivität unterhalb einer erstrebenswerten Datenrate. Die Induktivität kann durch Verkürzen der Verbindungen zwischen dem integrierten Schaltkreis und dem EML-Feld verringert werden.
  • In einer typischen Anordnung ist das Ausbilden der Verbindungen zwischen dem integrierten Schaltkreis und dem EML-Feld mit einer ausreichend kurzen Länge oft schwierig. Der optische Multiplexer wird nahe einem vorderen Abschnitt des EML-Feldbereichs (Facet) ange ordnet, an dem Licht aus dem EML-Feld tritt. Der integrierte Treiberschaltkreis ist typischerweise neben einem hinteren Bereich (Facet) des EML-Felds angeordnet. In dieser Anordnung liegt der Hochgeschwindigkeits-Abschnitt des EML-Felds nahe am vorderen Bereich. Da der Hochgeschwindigkeits-Abschnitt des EML-Felds nahe am vorderen Bereich liegt, wird angenommen, daß eine Verbindung ausgehend von dem hinteren Bereich des EML-Feldes bis zu dem integrierten Treiberschaltkreis eine gewisse Länge aufweist. Eine solche Anordnung ist für Anwendungen mit hoher Datenrate nicht wünschenswert.
  • Wenn die Verbindungslänge verkürzt ist, ergeben sich Probleme hinsichtlich des Wärmemanagements. Die Datenrate zwischen einem EML und einem integrierten Treiberschaltkreis kann maximiert werden, indem das EML-Feld direkt auf den integrierten Treiber-IC mittels „Flip-Chip Bonding" angeordnet wird. Obwohl die Verbindungslänge, die durch direktes „Flip-Chip-Bonding" des EML-Felds auf den integrierten Treiberschaltkreis erreicht wird, ausreichend kurz ist, gestaltet sich das Wärmemanagement der Kombination schwierig, da die Treiber-IC/EML-Feld-Baugruppe, die derart mittels Flip-Chip-Bonding befestigt ist, auf die Betriebstemperatur des EML-Felds herunter gekühlt werden muß.
  • Es ergeben sich widerstrebende Anforderungen hinsichtlich der geringen durch Verbindungen hervorgerufenen Induktivitäten und dem hohen Wärmewiderstand, wodurch sich die Hochgeschwindigkeitsverbindung zwischen einem EML-Feld und einem integrierten Treiberschaltkreis schwierig gestaltet. Es wird daher eine Verbindung zwischen einem integrierten Treiberschaltkreis und dem EML-Feld benötigt, mit der sich geringe durch Verbindung hervorgerufene Induktivitäten, hohe thermische Widerstände und einen geringen Raumbedarf erzielen lassen.
  • Das Dokument US-A-4,359,773 offenbart ein Lasermodul, in dem ein Laserfeld und dessen integrierter Treiberschaltkreis auf der gleichen Seite eines Siliziumsubstrats befestigt sind.
  • Abriß der Erfindung
  • Eine typische Ausführung gemäß der Erfindung sieht Verfahren zum Herstellen einer laserbasierten Vorrichtung vor. Die laserbasierte Vorrichtung umfaßt ein thermisch isolierendes Substrat. Das thermisch isolierende Substrat hat zwei Seiten. Eine Seite weist einen elektrischen Leiter auf, der dieser zugeordnet ist. Die zweite Seite weist einen elektrischen Leiter auf, der dieser zugeordnet ist. Das Substrat umfaßt einen elektrisch leitenden Durchgang zwischen den zwei Seiten. Der elektrisch leitende Durchgang verbindet die elektrischen Leiter elektrisch. Mit den elektrischen Leitern können ein integrierter Schaltkreis und eine Laser elektrisch verbunden sein.
  • Eine weitere typische Ausführung gemäß der Erfindung sieht eine laserbasierte Vorrichtung vor. Die laserbasierte Vorrichtung umfaßt einen Laser, einen integrierten Schaltkreis, um den Laser anzusteuern, sowie ein thermisch isolierendes Substrat, das zwischen dem Laser und dem integrierten Schaltkreis liegt.
  • Ferner sieht die Erfindung Ausführungen mit anderen Merkmalen und Vorteilen vor, die zu den oben genannten hinzukommen oder an deren Stelle treten. Viele dieser Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der weiteren Beschreibung mit bezug auf die folgenden Zeichnungen.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die offenbarte Erfindung ist in bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, die wichtige beispielhafte Ausführungen der Erfindung darstellen, und die hier bezugnehmend in die Beschreibung aufgenommen werden.
  • 1 zeigt eine Querschnittsansicht einer Treiberschaltkreis-/EML-Feld-Gruppe; und
  • 2 zeigt ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zum Herstellen einer laserbasierten Vorrichtung wiedergibt.
  • Detaillierte Beschreibung der beispielhaften Ausführung gemäß der Erfindung
  • In der folgenden detaillierten Beschreibung der beispielhaften Ausführungen gemäß der Erfindung sind zum Zwecke der Erklärung und in nicht beschränkender Weise spezifische Details wiedergegeben, um ein vollständiges Verständnis der typischen Ausführungen gemäß der Erfindung zu ermöglichen. Dem Fachmann ist jedoch ersichtlich, daß die Ausführung gemäß der Erfindung in anderen Ausführungen ausgeführt werden können, welche von diesen spezifischen Details abweichen. In einigen Fällen wird die detaillierte Beschreibung bestens bekannter Verfahren, Vorrichtungen und ähnlichem weggelassen, um die Beschreibung und die Ausführungen gemäß der Erfindung nicht mit unwichtigen Details zu belasten. Insbeson dere wird auf Aspekte der EML bezug genommen, um spezifische Aspekte der typischen Ausführung gemäß der Erfindung zu beschreiben.
  • Ausführungen gemäß der Erfindung erlauben eine praktische Vorgehensweise, den integrierten Treiberschaltkreis und das EML-Feld bzw. EML-Array zu verbinden, wodurch eine ausreichend kurze Verbindungslänge sowie eine hochgradige thermische Isolierung und ein geringer Platzbedarf erreicht wird. Der integrierte Treiberschaltkreis kann mit höheren Temperaturen als das EML-Feld betrieben werden; daher kann ein TEC-Element verwendet werden, das geeignet ist, das EML-Feld und nicht den integrierten Treiberschaltkreis zu kühlen. In den meisten Ausführungen genügt eine geeignet ausgestaltete Wärmesenke, um den integrierten Treiberschaltkreis zu kühlen.
  • Ausführungen gemäß der Erfindung verwenden die Integration von EML-Feldern und des integrierten Treiberschaltkreises mittels eines thermisch isolierenden Zwischensubstrats. In einer typischen Ausführung ist das thermisch isolierende Zwischensubstrat eine doppelseitige flexible gedruckte Leiterplatte (printed circuit board, PCB). Die flexible Leiterplatte kann beispielsweise Kapton®-Band, ein Äquivalent hierzu, oder ähnliches umfassen. Das EML-Feld und der integrierten Treiberschaltkreis sind bei vielen Konfigurationen mittels Flip-Chip-Bonding an gegenüberliegenden Seiten der flexiblen Leiterplatte angeordnet, entweder direkt gegenseitig gegenüberliegend oder seitlich zueinander versetzt (das heißt, der integrierte Treiberschaltkreis und das EML-Feld sind derart angeordnet, daß sie sich zu beiden Seiten des Substrats nicht direkt gegenüber liegen). Das seitliche Versetzen des integrierten Treiberschaltkreises zu dem EML-Feld kann sowohl die elektrische als auch die thermische Leistungsfähigkeit der Anordnung weiter optimieren.
  • 1 zeigt eine Treiberschaltkreis/EML-Feld-Anordnung 100 gemäß der Lehre der Erfindung. Ein thermisch isolierendes Substrat 110, das in 1 als flexible Leiterplatte dargestellt ist, hat eine erste Seite 104, auf der eine Verbindungskontaktstelle (bond pad) 102 vorliegt, sowie eine zweite Seite 108, auf der ein Löthöcker bzw. eine erhobene Verbindungskontaktstelle vorgesehen ist. Der Löthöcker 106 kann mittels eines bekannten Höckerbildungsverfahrens hergestellt werden, durch das auf der oberen Seite einer Verbindungsstelle ein leitender Löthöcker erzeugt wird. Obwohl das thermisch isolierende Substrat 110 nicht notwendigerweise flexibel sein muß, ist das Substrat 110 in einer typischen Ausführung flexibel, um den durch Wärme hervorgerufenen Spannungen besser standhalten zu können.
  • Der integrierte Treiberschaltkreis 112 ist mit der Verbindungskontaktstelle 102 der flexiblen Leiterplatte 110 elektrisch verbunden. Zumindest eine erste mit der Verbindungskontaktstelle 102 elektrisch verbundene elektrisch leitende Bahn 114 ist auf der ersten Seite 104 vorgesehen und zumindest eine zweite mit dem Löthöcker 106 elektrisch verbundenen elektrisch leitenden Bahn 116 ist auf der zweiten Seite 108 der flexiblen Leiterplatte 110 vorgesehen.
  • Ein elektrisch leitender Durchgang 118 zwischen der Bahn 114 der ersten Seite 104 und der Bahn der zweiten Seite 108 wird verwendet, um zwischen dem EML-Feld 120 und dem integrierten Treiberschaltkreis 112 eine elektrische Hochgeschwindigkeitsverbindung herzustellen. Jeweilige zu dem integrierten Treiberschaltkreis 112 und dem EML-Feld benachbart vorgesehene Unterfüllungsschichten 115 und 117 sind vorgesehen, um eine mechanische Verbindung herzustellen, und um die Eigenschaften hinsichtlich Spannungen zu verbessern, die durch Wärme hervorgerufen werden. Die Verbindungskontaktstelle 102, die Bahnen 114 und 116 und der Löthöcker 106 bilden die elektrische Verbindung zwischen dem EML-Feld 120 und dem integrierten Treiberschaltkreis 112. Es können zahlreiche Kombinationen von Bahnen, Verbindungsstellen oder Durchgängen verwendet werden, die sich nach den Ausgestaltungskriterien ergeben.
  • Die flexible Leiterbahn 110 kann als thermischer Isolator dienen. Die flexible Leiterbahn 110, welche einen schlechten Wärmeleiter darstellt, dient als thermischer Isolator zwischen dem EML-Feld 120 und dem integrierten Treiberschaltkreis 112. Von dem integrierten Treiberschaltkreis 112 stammende Wärme wird dem EML-Feld 120 vornehmlich durch die elektrische Verbindung zwischen dem EML-Feld 120 und dem integrierten Treiberschaltkreis 112 zugeleitet. Der Wärmewiderstand der elektrischen Verbindung hängt von der Länge und dem Querschnitt zahlreicher Komponenten der elektrischen Verbindung ab. Die Bahnen 114 und 116 auf der flexiblen Leiterplatte 110 können mit einem relativ geringen Querschnitt hergestellt werden, wodurch die von dem integrierten Treiberschaltkreis 112 an das EML-Feld 120 übertragene Wärmemenge verringert wird, da die elektrische Verbindung zwischen diesen eine geringe Auswirkung auf die durch die Verbindung hervorgerufene Induktivität hat.
  • Wie oben bemerkt, wirkt sich die Länge der elektrischen Verbindung zwischen dem integrierten Treiberschaltkreis 112 und dem EML-Feld 120 auf die elektrische Leistungsfähigkeit und die Wärmeübertragung aus. Die Länge der elektrischen Verbindung zwischen dem integrier ten Treiberschaltkreis 112 und dem EML-Feld 120 kann bis zu einer elektrischen Leistungsfähigkeitsgrenze des EML-Felds 120 ausgedehnt werden, um die Wärmeübertragung von dem integrierten Treiberschaltkreis 112 an das EML-Feld so stark wie möglich zu verringern, ohne die Leistungsfähigkeit des EML-Felds 120 zu stark zu verschlechtern. Das Einrichten des Querschnitts und der Länge der elektrischen Verbindung erlaubt typischerweise, daß die thermische Isolierung zwischen dem integrierten Treiberschaltkreis 112 und dem EML-Feld 120 um eine Größenordnung verbessert werden kann, im Vergleich zu dem Fall, in dem das EML-Feld 120 mittels Flip-Chip-Bonding direkt auf dem integrierten Treiberschaltkreis 112 vorgesehen ist.
  • Eine Gleichstromverbindung ist auf der zweiten Seite 108 der flexiblen Leiterplatte 110 vorgesehen, wodurch die Komplexität des Designs des integrierten Treiberschaltkreises 112 verringert wird, wobei dies ferner dazu dient, die thermische Isolierung zwischen dem integrierten Treiberschaltkreis 112 und dem EML-Feld 120 zu erhöhen. Die Gleichstromverbindung mit einer Gleichstrom-Leistungsquelle 121, die beispielsweise mittels des Löthöckers vorgesehen ist 122, der mit der Bahn 116 und mit einem DFB-Laser (nicht dargestellt) des EML-Felds 120 verbunden ist, muß nicht notwendigerweise durch den integrierten Treiberschaltkreis 112 laufen. Der Löthöcker 122 kann wie der Löthöcker 106 mittels eines bekannten Stoßprozesses hergestellt werden, mit dem ein Löthöcker auf einer Verbindungsstelle erzeugt wird. Die elektrisch leitende Bahn 124 ist als elektrische Verbindung zu der dem Löthöcker 122 auf der zweiten Seite 108 dargestellt.
  • Die 2 ist ein Flußdiagramm, welches ein Verfahren zum Herstellen einer laserbasierten Vorrichtung gemäß der Lehre der Erfindung darstellt. Das Flußdiagramm 200 beginnt mit dem Schritt 202, wobei bei diesem Schritt ein thermisch isolierendes Substrat vorgesehen wird. Das thermisch isolierende Substrat, das beispielsweise eine flexible, semiflexible oder steife Leiterplatte sein kann, umfaßt eine erste Seite. Die erste Seite weist zumindest einen ersten elektrischen Leiter auf, der der ersten Seite zugeordnet ist. Das thermisch isolierende Substrat weist ferner eine zweite Seite auf. Die zweite Seite hat zumindest einen elektrischen Leiter, der der zweiten Seite zugeordnet ist. Zumindest ein elektrischer Durchgang verläuft zwischen der ersten und der zweiten Seite. Der elektrisch leitende Durchgang dient zur elektrischen Verbindung zwischen den elektrischen Leitern, die auf der ersten und der zweiten Seite vorgesehen sind.
  • In Schritt 204 wird ein integrierter Schaltkreis mit (einem) elektrischen Leiter(n) verbunden, der (die) mit der ersten Seite verbunden ist (sind). Mit dem Schritt 206 wird zumindest ein Laser mit dem (den) elektrischen Leiter(n) verbunden, der (die) der ersten Seite zugeordnet sind. Mit Schritt 208 wird der Querschnitt und die Länge des einen oder der mehreren elektrischen Leiter(n) eingerichtet. Im Schritt 210 wird eine elektrische Energiequelle mit dem (den) Laser(n) mittels eines weiteren elektrischen Leiters verbunden, welcher der zweiten Seite zugeordnet ist. Obwohl die in dem Flußdiagramm 200 dargestellten Schritte in einer bestimmten Reihenfolge angeordnet sind, müssen die Schritte nicht notwendigerweise in der genannten Reihenfolge ausgeführt werden.
  • Die momentan zur Verfügung stehende Technik der flexiblen Leiterplatten erlaubt ein Layout der elektrisch leitenden Bahnen auf beiden Seiten eines thermisch isolierenden Substrats mit einer Dicke von weniger als 50 Mikrometern. Ferner sind beschichtete oder gefüllte Durchgänge mit Durchmessern von weniger als 50 Mikrometern erreichbar. Elektrische Hochgeschwindigkeitsverbindungen gemäß den Ausführungen der Erfindung können praktischerweise in einer Herstellungsumgebung umgesetzt werden. Mit geeignet vorgesehenen Werkzeugen und Befestigungen können kommerziell erhältliche Flip-Chip-Verbinder (flip-chip-Bonders) verwendet werden.
  • Das oben genannt stellt die Art und Weise dar, in der ein beispielhaftes laserbasiertes Sendemodul gemäß den Prinzipien der erfindungsgemäßen Ausführungen hergestellt werden kann. Ausführungen gemäß der Erfindung erlauben es, daß laserbasierte Sendemodule elektrische Verbindungen zwischen einem integrierten Treiberschaltkreis und einem Laserfeld umfassen, ohne die Induktivitäten unnötigerweise zu vergrößern, welche durch Verbindungen verursacht werden, die andernfalls die mit laserbasierten Sendern erreichbare Datenrate verschlechtern würden. Ferner ermöglichen es Ausführungen gemäß der Erfindung, daß der integrierte Treiberschaltkreis und das Laserfeld wirksam thermisch voneinander isoliert sind, so daß der integrierte Treiberschaltkreis nicht unnötigerweise auf eine Betriebstemperatur herabgekühlt werden muß, die für das Laserfeld geeignet ist.
  • Ferner ermöglichen es Ausführungen gemäß der Erfindung, daß elektrische Verbindungen mit Teilen des Laserfelds mit Energie versorgt werden, ohne daß diese durch den integrierten Treiberschaltkreis hindurch verlaufen müssen, wodurch die Komplexität des Designs des integrierten Treiberschaltkreises verringert wird. Ferner können die Länge und der Querschnitt der elektrischen Verbindungen zwischen dem integrierten Treiberschaltkreis und dem Laserfeld derart eingerichtet werden, daß ein optimaler Kompromiß zwischen der thermischen Isolation zwischen dem integrierten Treiberschaltkreis und dem Laserfeld und der durch die elektrische Verbindung hervorgerufenen Induktivität erreicht werden kann.
  • Für den Fachmann ist ersichtlich, daß die in dieser Patentanmeldung beschriebenen innovativen Konzepte über einen breiten Bereich von Anwendungen modifiziert und abgeändert werden können. Der Umfang des geschützten Gegenstands sollte dementsprechend nicht auf eine der spezifischen hier dargelegten beispielhaften Erläuterungen beschränkt sein, sondern bestimmt sich statt dessen durch die folgenden Ansprüche.

Claims (10)

  1. Verfahren zum Herstellen einer laserbasierten Vorrichtung (100), wobei das Verfahren umfasst: Vorsehen eines thermisch isolierenden Substrats (110), wobei das thermisch isolierende Substrat (110) umfaßt: eine erste Seite (104) mit mindestens einem ersten elektrischen Leiter (114), der dieser zugeordnet ist; eine zweite Seite (108) mit mindestens einem zweiten elektrischen Leiter (116), der dieser zugeordnet ist; und zumindest einen elektrisch leitenden Durchgang (118), der zwischen der ersten Seite (104) und der zweiten Seite (108) verläuft, wobei der elektrisch leitende Durchgang (118) den ersten elektrischen Leiter (114) mit dem zweiten elektrischen Leiter (116) elektrisch verbindet; elektrisches Verbinden eines integrierten Schaltkreises (112) mit dem mindestens einen ersten elektrischen Leiter (114); und elektrisches Verbinden mindestens eines Lasers (120) mit dem mindestens einen zweiten elektrischen Leiter (116), so daß das thermisch isolierende Substrat (110) zwischen dem Laser (120) und dem integrierten Schaltkreis zu liegen kommt.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend: Einrichten zumindest des Querschnitts oder der Länge von zumindest dem ersten oder dem zweiten elektrischen Leiter (114).
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, das ferner das Verbinden einer elektrischen Energiequelle (121) mit mindestens einem Laser (120) mittels eines dritten elektrischen Leiters (114) umfaßt, welcher der zweiten Seite (116) zugeordnet ist.
  4. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei mindestens ein erster elektrischer Leiter (114) eine elektrische leitende Bahn umfaßt.
  5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei zumindest ein erster elektrischer Leiter (114) eine Verbindungskontaktfläche (102) umfaßt.
  6. Laserbasierte Vorrichtung (100) mit: einem Laser (120); einem integrierten Schaltkreis (112), der eingerichtet ist, den Laser (120) anzusteuern; gekennzeichnet durch folgende Merkmale: ein thermisch isolierendes Substrat (110), das zwischen dem Laser und dem integrierten Schaltkreis (112) liegt, wobei das thermisch isolierende Substrat (110) umfaßt: eine erste Seite (108) mit mindestens einem ersten elektrischen Leiter (116), der dieser zugeordnet ist und der mit dem Laser (120) elektrisch verbunden ist; eine zweite Seite (104) mit einem zweiten elektrischen Leiter (114), der dieser zugeordnet ist und mit dem integrierten Schaltkreis (112) elektrisch verbunden ist; und einen elektrisch leitenden Durchgang (118), der zwischen der ersten Seite (108) und der zweiten Seite (104) verläuft, wobei der elektrisch leitende Durchgang (118) mit dem ersten elektrischen Leiter (108) und mit dem zweiten elektrischen Leiter (104) elektrisch verbunden ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei der Laser (120) einen mittels Elektroabsorption modulierten Laser umfaßt.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, wobei das thermisch isolierende Substrat (110) eine flexible gedruckte Leiterplatte umfaßt.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, die ferner eine elektrische Energiequelle (121) umfaßt, die mittels eines dritten elektrischen Leiters (124), welcher der ersten Seite (108) zugeordnet ist, mit dem Laser (120) verbunden ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei der erste elektrische Leiter (116) eine elektrisch leitende Bahn umfaßt.
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