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Die
Erfindung betrifft einen optischen Koppler, umfassend mindestens
einen Eingangswellenleiter, eine Kopplungsregion und eine Vielzahl
von Ausgangswellenleitern.
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US-Patent
5,136,671 richtet sich auf eine NxN integrierte optische Zwischenverbindungsvorrichtung, umfassend
zwei sogenannte Sternkoppler. In der Beschreibung von
US 5,136,671 wird erläutert, dass "optisches Umschalten,
Multiplexen und Demultiplexen in der Vergangenheit durch Verwenden
einer Zwischenverbindungsvorrichtung mit einer Vielzahl von eng
beabstandeten Eingangswellenleitern bewerkstelligt wurde, die mit
dem Eingang eines Sternkopplers kommunizieren. Der Ausgang des Sternkopplers
kommuniziert mit einem optischen Gitter, bestehend aus einer Serie
von optischen Wellenleitern, wobei sich jeder der Wellenleiter in
der Länge
in Bezug auf seinen nächsten
Nachbar um einen vorbestimmten fixierten Betrag unterscheidet. Das
Gitter ist mit dem Eingang eines zweiten Sternkopplers verbunden,
dessen Ausgänge
die Ausgänge
der Vorrichtung zum Umschalten, Multiplexen und Demultiplexen bilden".
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In
US 5,136,671 wird erkannt,
dass "um einen Energietransfer
hoher Effizienz zwischen einer relativ großen Zahl von Eingangsports
und einer relativ großen
Zahl von Ausgangsports zu erreichen, die Eingangs- und Ausgangswellenleiter,
die mit den Sternkopplern verbunden sind, in der Nähe der Sternkoppler
eng beabstandet sein müssen.
Dies verursacht einen signifikanten Grad gegenseitiger Koppelung
zwischen jenen benachbarten Eingangs- und Ausgangswellenleitern,
wobei erhöhtes unerwünschtes
Nebensprechen zwischen den Kanälen
der Einrichtung und verringerte Effizienz beim Transfer optischer
Energie von den ausgewählten Eingangsports
zu ausgewählten
Ausgangsports der Vorrichtung erzeugt wird".
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Die
in
US 5,136,671 beschriebenen
Sternkoppler umfassen eine dielektrische Platte, die eine freie Raumregion
mit zwei gekrümmten,
vorzugsweise kreisförmigen,
Grenzen bildet. Die Eingangswellenleiter und die Ausgangswellenleiter
in dem Gitter sind mit der freien Raumregion auf eine im wesentlichen
gleichförmige Weise
entlang der Grenzen verbunden.
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US-Patent
4,786,131 richtet sich auf einen MxN (Stern) Koppler, umfassend
einen planaren Wellenleiter mit einem Paar von entgegengesetzten
Kanten, die als Eintritts- und Austrittsfacetten "zum Einführen und Extrahieren
elektromagnetischer Strahlung von dem Wellenleiter" dienen. Der planare
Wellenleiter ist strukturiert, die Strahlung zu beschränken, die
sich darin in einem einzelnen Modus in seinen Tiefen ausbreitet,
ohne sie in ihrer Breite zu beschränken, sodass sich die Strahlung
in ihrer Breite als eine expandierende Wellenfront ausbreitet.
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Obwohl
die Phasenverteilung in der Ausgangsebene der Sternkoppler gemäß diesen
Literaturstellen des Standes der Technik adäquat an die Ausgangswellenleiter
angepasst werden kann, kann es die Amplitudenverteilung nicht. Als
ein Ergebnis einer derartigen Amplitudenfehlanpassung wird ein beträchtlicher
Betrag der elektromagnetischen Strahlung in den Bereichen zwischen
den Ausgangswellenleitern gekoppelt, was wiederum zu Einfügungsverlusten
und zusätzlichem
Nebensprechen führt,
besonders wenn in angeordneten Wellenleitergittern angewendet.
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Es
ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen verbesserten optischen
Koppler vorzusehen, worin die Amplitudenverteilung genauer an die
Ausgangswellenleiter angepasst werden kann.
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Zu
diesem Zweck ist der Koppler gemäß dem ersten
Absatz in Übereinstimmung
mit Anspruch 1 gekennzeichnet.
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Es
wird bevorzugt, dass sich auch die Breite der Wellenleiter in mindestens
einen Teil ihrer Längen
in der Kopplungsregion erhöht,
vorzugsweise allmählich,
und/oder dass die Breite der Lücken
zwischen den Wellenleitern in der Kopplungsregion mindestens im
wesentlichen konstant ist.
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In
einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
folgen die Mittellinien von mindestens einigen der Lücken zwischen
den Wellenleitern in der Kopplungsregion den Linien eines Gausschen
Diffraktionsmusters in Übereinstimmung
mit der folgenden Menge von Gleichungen (E1) oder einer linearisierten
Version davon:
wobei z die Längsausbreitungsposition
ist; w(z) die z-abhängige
seitliche Position der Mittellinie der k
ten Lücke ist;
w
k die Position der Mitte der k
ten Lücke bei
z = 0 ist; w
0 der Strahlenmittelteil bei
z = 0 ist; λ die
Wellenlänge im
Vakuum ist; n
eff der effektive Index ist
und R der Radius einer Krümmung
der Phasenfront ist.
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In
einem Koppler, der unter Verwendung von Gleichungen E1 ausgeführt ist,
erhöht
sich die Summe der Breitem der Wellenleiter und Lücken allmählich in
der Ausbreitungsrichtung und Einfügungsverlust und Nebensprechen
werden weiter reduziert.
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Die
Amplitudenausbreitung, und daher die Verteilung von Energie, über den
Ausgangswellenleitern können
weiter so modifiziert werden, z.B. ausgeglichen, um einen sehr effektiven
Energiekoppler zu erhalten, durch Abstimmen der Positionen, in der
Ausbreitungsrichtung, wobei Mittellinien der Lücken zwischen den Wellenleitern
in der Koppelungsregion beginnen, den Linien eines Diffraktionsmusters
zu folgen. Dies geschieht vorzugsweise mittels der folgenden Menge
von Gleichungen (E2) oder einer linearisierten Version davon:
wobei
z
k die Längsposition
der k
ten Lücke ist.
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Somit
wird eine starke Kopplung zwischen benachbarten Wellenleitern in
dem inneren Teil der Kopplungsregion sichergestellt. Die äußeren Wellenleiter
weiten sich allmählich
aus, wobei dadurch das Licht gesammelt wird, das von dem inneren
Teil der Kopplungsregion eintritt.
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In
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
generiert der Koppler, wenn elektromagnetische Strahlung einer Wellenlänge, in
der der Koppler ausgelegt ist zu arbeiten, in einem der Eingänge gestartet
wird, eine Amplitudenverteilung, die in einer seitlichen Richtung
eine Vielzahl von Spitzen aufweist und wobei die Ausgangswellenleiter
in den seitlichen Positionen dieser Spitzen positioniert sind. Somit
werden der Betrag von Strahlungskopplung in die Lücken zwischen
den Wellenleitern ebenso wie Nebensprechen weiter reduziert.
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Im
allgemeinen wird bevorzugt, dass alle oben erwähnten Wellenleiter in dem Koppler
gemäß der vorliegenden
Erfindung planare Wellenleiter sind.
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Die
Erfindung betrifft auch ein angeordnetes Wellenleitergitter (AWG,
Arrayed Waveguide Grating), unter anderem auch als Phasar, Phaseur
und Wellenleiter-Gitter-Router bekannt, umfassend den vorliegenden Koppler.
Die Vorteile des Kopplers sind insbesondere in AWGs zu bemerken,
da sogar kleine Abweichungen von den Amplituden- und Phasenverteilungen,
für die
eine derartige Einrichtung ausgelegt wurde, zu beträchtlichen
Verlusten führen
können
oder sie insgesamt betriebsunfähig
machen.
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Der
Vollständigkeit
halber wird vermerkt, dass die europäische Patentanmeldung 0 717
295 eine MxO Multiplex-/Demultiplex-Einrichtung offenbart, umfassend
zwei infinitesimale Wellenkoppler, jeder umfassend ein Feld von
geschmolzenen Fasern. Die Phasenverteilung in dem Ausgang derartiger
Koppler beschreibt nicht eine kreisförmigen oder elliptische Phasenfront,
die deshalb für
eine Verwendung in AWGs weniger geeignet sind. Dies trifft insbesondere
für Wellenlängen-Demultiplexer
zu, die ausgelegt sind, in einem breiten Wellenlängenbereich zu arbeiten.
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EP 598 622 bezieht sich auf "eine optische Schaltung,
in der eine Vielzahl von verzweigten optischen Wellenleitern mit
der lichtempfangenden Seite und der lichtausstoßenden Seite eines Hauptoptikwellenleiters verbunden
sind, der das eintretende Licht mischt". E. Okuda et al bezieht sich auf Glaswellenleiter-1xN-Verzweigungseinrichtungen
für faser-optische
Netze. Ichiro Tanaka et al bezieht sich auf 1xN-Verzweigungseinrichtungen,
umfassend eine Baumkonfiguration von Y-Form-Zweigen, um eingehende
optische Energie gleich auf N Ausgangsports zu splitten.
US 5,461,684 bezieht sich
auf einen digitalen Switch, umfassend einen Eingangswellenleiter
und zwei divergierende Ausgangswellenleiter.
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Die
Erfindung wird nun detaillierter mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert, in
denen mehrere bevorzugte Ausführungsformen
schematisch gezeigt werden.
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1A und 1B zeigen
einen Querschnitt einer typischen Wellenleiterstruktur bzw. eines
Modus, der sich darin ausbreitet.
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2A bis 2C veranschaulichen
die Wirkungen der Breite eines Wellenleiters auf die effektive Breite
eines Modus, der sich darin ausbreitet.
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3 zeigt
eine Draufsicht und einen entsprechenden Querschnitt einer ersten
Ausführungsform
des Kopplers gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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4 zeigt
eine Draufsicht und entsprechende Querschnitte einer Kopplungsregion,
die für
eine Verwendung in dem Koppler gemäß 3 geeignet
ist.
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5A und 5B zeigen
eine Amplitudenverteilung, die durch einen Koppler vom Stand der
Technik bzw. einen Koppler gemäß der vorliegenden
Erfindung generiert wird.
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6 zeigt
einen Querschnitt und eine Grundrissansicht einer zweiten Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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7 zeigt
eine Grundrissansicht und entsprechende Querschnitte einer dritten
Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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7A zeigt
eine Variation der Ausführungsform
gemäß 7.
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8A bis 8E zeigen
eine Grundrissansicht und entsprechende Querschnitte einer vierten
Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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Ein
Beispiel einer typischen Wellenleiterstruktur 1 wird in 1A gezeigt
und umfasst ein Substrat 2 und eine obere Schicht 3 aus
InP (mit einer Brechzahl von n = 3,17), die eine Kernschicht 4 aus
InGaAsP (mit einer Brechzahl von n = 3,39) einlegen. Andere Typen
von Materialien, z.B. Quarz auf Silizium (SiO2/Si), Siliconoxintrid
(SiON), Silizium auf Isolator (SOI) und Polymere sind gleichermaßen geeignet.
Die obere Fläche der
oberen Schicht 2 weist einen Kamm 5 auf, der eine
Region eines geringeren Energiezustands verursacht und somit einen
Quantenschacht definiert, d.h. in diesem Fall einen optischen Wellenleiter.
Start elektromagnetischer Strahlung mit einer Wellenlänge von
z.B. 1,5 μm
in dem Wellenleiter führt
zu einem Modus mit einer Feldverteilung, wie in 1B gezeigt.
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Ferner
veranschaulichen 2A bis 2C eine
Erscheinung, die in den bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung vorteilhaft eingesetzt wird. In einem sehr breiten Wellenleiter
(2A) entspricht die effektive Feldbreite, weff, eines Modus, der sich in dem Wellenleiter
ausbreitet, im wesentlichen der Breite, w, des Wellenleiters. Die
effektive Feldbreite verringert sich mit einer Verringerung der
Breite des Wellenleiters (2B) herab
zu der und inkludierend die kritische Breite des Wellenleiters. Über die
kritische Breite hinaus (2C) erhöht sich
die effektive Feldbreite des Modus beträchtlich, was im Fall einer
Vielzahl von eng beabstandeten Wellenleitern zu einer starken Kopplung
der Wellenleiter führt.
Das Feldprofil der gesamten Struktur kann nicht länger durch
die Summe der einzelnen modalen Feldprofile beschrieben werden,
sondern muss als die Summe von Feldern der sogenannten Supermodi
der gesamten Wellenleiterstruktur aufgebaut werden.
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Es
wird vermerkt, dass innerhalb des Rahmens der Erfindung die effektive
Feldbreite definiert ist, gleich dem Doppelten des Abstands von
der Mitte des Modus zu der seitlichen Position zu sein, wo die Amplitude
des Modus auf einen Wert gleich der Amplitude in der Mitte des Modus
geteilt durch e (=2,7183) abgefallen ist. Die oben erwähnte kritische
Breite eines Wellenleiters hängt
von dem Indexkontrast des Wellenleiters in der Wellenlänge oder
dem Wellenlängenbereich
ab, in dem er ausgelegt war zu arbeiten, und ist als die Breite
definiert, wo die Breite des Modus, der sich darin ausbreitet, minimal
ist.
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3 zeigt
eine erste bevorzugte Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung, umfassend eine Vielzahl von Einzelmodus- (SM) oder Multimodus-
(MM) Eingangswellenleitern 6, eine Multimodus- (MM) Kopplungsregion 7,
wovon ein Beispiel in 4 detaillierter gezeigt wird,
und eine Vielzahl von Einzelmodus- oder Multimodus-Ausgangswellenleitern 8.
Die Eingangswellenleiter 6 (in Region A) sind entkoppelt
und konvergieren zu einer Eingangsebene 9 der Kopplungsregion
(B). Die Kopplungsregion gemäß 4 umfasst Wellenleiter 10,
jeder mit einem ersten Abschnitt 11, der von der Eingangsebene 9 zu
einem Übergang
(Teilregion D) konvergiert, und einem zweiten Abschnitt 12,
der zu einer kreisförmigen
Ausgangsebene 13 divergiert (gestrichelte Linie in 3).
In dieser Ausgangsebene 13 sind die zweiten Abschnitte 12 mit
den Ausgangswellenleitern 8 verbunden.
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Ferner
haben die ersten Abschnitte 11 alle eine konstante Breite
('w2' auf der rechten
Seite von 4), die kleiner als die kritische
Breite in der Wellenlänge
ist, in der der Koppler gestaltet ist zu arbeiten, in diesem Fall
1,5 μm.
In dem Übergang
ist die Breite von jedem der ersten Abschnitte 11 der Wellenleiter 10 im
wesentlichen gleich der Breite (w1) der
Lücken,
was zu der oben erwähnten
Summe von Supermodi führt.
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Die
Lücken
zwischen den zweiten Abschnitten 12 sind von konstanter
Breite (w1) und folgen Mittellinien, die
durch eine oben erwähnte
linearisierte Version von Gleichungen E1 kalkuliert werden. Entsprechend erhöht sich
die Breite (w2) von jedem der zweiten Abschnitte 12 der
Wellenleiter 10 allmählich,
anfangs zu einer Breite, die größer als
die kritische Breite ist, und danach zu einer Breite, die gleich
der seines jeweiligen Ausgangswellenleiters 8 ist. Als
ein Ergebnis werden die Wellenleiter 10 allmählich entkoppelt.
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Da
die Breiten w1, w2 nicht
höher als
z.B. 1 μm
sein müssen,
erfordert die Herstellung des betrachteten Kopplers keine extreme
lithografische Auflösungen,
und kann somit mittels eines konventionellen und relativ direkten
lithografischen Prozesses hergestellt werden.
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Es
wurde eine Simulation unter Verwendung des Strahlenausbreitungsverfahrens
(BPM, Beam Propagation Method) für
einen Sternkoppler vom Stand der Technik und für den Koppler gemäß 3 und 4 ausgeführt, die
oben erörtert
werden. 5A (Stand der Technik) und 5B (Erfindung)
stellen die jeweiligen Amplitudenverteilungen in den Ausgangsebenen
der Koppler dar. 5A zeigt eine glatte Verteilung,
wohingegen 5B eine Verteilung mit mehreren
Spitzen zeigt. Diese Spitzen sind in Einrastung mit den Ausgangswellenleitern 8,
d.h. die Amplitude ist hoch, wo die Kopplungsregion mit den Ausgangswellenleitern
verbunden ist, und tief in den Stellen der Lücken zwischen den Ausgangswellenleiter 8,
wo es wahrscheinlich ist, dass Verluste auftreten.
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6 zeigt
einen Teil einer Alternative zu der Kopplungsregion, die in 4 gezeigt
wird. Die konvergierenden ersten Abschnitte (nicht gezeigt) der
Wellenleiter in der Kopplungsregion sind im wesentlichen jenen in
dem Koppler gemäß 4 identisch.
Die Mittellinien der divergierenden zweiten Sektionen wurden jedoch mittels
Gleichungen E2 kalkuliert, die oben angeführt werden. Als ein Ergebnis
laufen die Wellenleiter anfangs gerade über einen Abstand, der für den mittleren
Wellenleiter am größten ist
und zu den Kanten der Kopplungsregion kleiner wird, und die Amplitudenverteilung
in der Ausgangsebene flacht wiederum ab und Energie wird über die
Ausgänge
gleichmäßiger verteilt.
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7 zeigt
eine dritte bevorzugte Einrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung,
die Eingangs- und Ausgangswellenleiter mit hohem Kontrast umfasst.
Die Eingänge
mit hohem Kontrast (A) sind direkt in die Kopplungsregion (B) gekoppelt,
die selbst ähnlich
zu der in 3 gezeigten ist. Für die Ausgangswellenleiter mit
hohem Kontrast (E) wird bevorzugt, dass Übergangssektionen vorgesehen
werden, die jede eine (relative breite) Sektion geringer Beschränkung (C)
und eine angepasste Verjüngungssektion
hoher Beschränkung
(D) umfasst, die mit einem jeweiligen Ausgangswellenleiter gekoppelt
ist.
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Abhängig von
der Konfiguration einer bestimmten Einrichtung kann es wünschenswert
sein, Verjüngungssektionen
hoher Beschränkung
(D) einzusetzen, die, in ihrem relativ breiten Ende, beträchtlich
breiter als die Sektionen geringer Beschränkung (C) sind. Dies ist ein
Ergebnis der Tatsache, dass der optische Modus in den Sektionen
geringer Beschränkung
(C) größer als
die physische Wellenleiterbreite dieser Sektion (C) sein wird, wohingegen
in den Verjüngungssektionen
hoher Beschränkung
(D) der optische Modus vollständig innerhalb
des physischen Wellenleiters beschränkt ist.
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In
derartigen Konfigurationen kann es notwendig sein, die Sektionen
geringer Beschränkung
(C) so weiter auszudehnen, um ausreichenden seitlichen Raum für die Verjüngungssektionen
hoher Beschränkung (D)
vorzusehen. 7A zeigt eine weitere bevorzugte
Variante der Einrichtung gemäß 7,
worin der Übergang
zwischen den Sektionen geringer Beschränkung (C) und den Ausgangswellenleitern
mit hohem Kontrast (F) eine Zwischenregion (E) mit mittlerer Beschränkung inkludiert.
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Die
Verjüngungssektionen
(D) in der Zwischenregion (E) mittlerer Beschränkung können, in dem Übergang
mit den Sektionen geringer Beschränkung (C), entweder breiter
als die Sektionen geringer Beschränkung (C), obwohl noch enger
als in Einrichtungen, wo keine Zwischenregion (E) mittlerer Beschränkung eingesetzt wird,
oder enger, in einer Breite kleiner als die kritische Breite konfiguriert
sein, wobei somit eine Aufweitung der Modusausbreitung bewirkt wird,
wie oben erläutert.
In der letzteren Ausführungsform
bedeutet eine engere Wellenleiterbreite, dass die Längen der
Sektionen geringer Beschränkung
(C) beträchtlich
reduziert werden können,
was zu kleineren Gesamtabmessungen des optischen Kopplers gemäß der vorliegenden
Erfindung führt.
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8A ist
ein schematisches Diagramm, das eine vierte bevorzugte Ausführungsform
veranschaulicht, die eine Vielzahl von Einzelmodus- (SM) oder Multimodus-
(MM) Eingangswellenleitern 6 inkludiert, die mit einer
Vielzahl von divergierenden Einzelmodus- oder Multimodus-Wellenleitern 12 in
einem Eingang (B-B) optisch gekoppelt oder verbunden sind. In einer
Ausgangsebene (nicht gezeigt) sind die divergierenden Wellenleiter 12 mit
Ausgangswellenleitern optisch verbunden. Die Breite w2 von jedem
der divergierenden Wellenleiter 12 ist anfangs kleiner
als die kritische Breite und erhöht
sich dann allmählich
zu einer Breite, die größer als
die kritische Breite ist, und danach zu einer Breite gleich der
seines je weiligen Ausgangswellenleiters. Zu diesen Zweck folgen
die Lücken
zwischen den Wellenleitern 12 einem Muster in Übereinstimmung
mit Gleichungen E1.
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Die
verwendeten Werte sind w0 = 1,0 μm; n = 3; λ = 1,545 μm; Wg = 0,5 μm; und Lücke = 0,5 μm.
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8B und 8C zeigen
jeweils eine Querschnittsansicht der Wellenleiter entlang B-B und
C-C, wie durch ein entsprechendes Paar von Pfeilen angezeigt wird.
Wie in 8B gezeigt, zeigt eine Querschnittsansicht
in der Schnittstelle B-B, dass eine Zwischen-Wellenleiterlückenbreite
w1 und eine Wellenleiterbreite w2 im wesentlichen
gleich sind. Andererseits zeigt eine Querschnittsansicht in dem
divergierenden Abschnitt C-C, dass eine Zwischen-Wellenleiterlückenbreite
w1 kleiner als eine Wellenleiterbreite w2 ist.
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8D und 8E zeigen
jeweils eine Querschnittsansicht der Wellenleiter entlang gestrichelten
Linien A-A und A'-A', wie durch ein entsprechendes
Paar von Pfeilen angezeigt. Wie in 8D gezeigt,
zeigt eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A, dass sich
eine Zwischen-Wellenleiterlücke
allmählich
vertieft, während
die Wellenleiter 12 divergieren. Andererseits zeigt eine
Querschnittsansicht entlang der Linie A'-A', dass die Wellenleiterfläche der
Wellenleiter 6 und 12 die im wesentlichen horizontale
Ebene beibehalten.
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Aus
den obigen Erläuterungen
wird klar, dass in den optischen Kopplern gemäß der vorliegenden Erfindung
sowohl die Amplitudenverteilung als auch eine Phasenverteilung,
mindestens in der Ausgangsebene, abgestimmt werden können, genau
zu den Ausgangswellenleitern zu passen und somit bei relativ geringem Verlust
und Nebensprechen zu arbeiten.
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Die
Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen
beschränkt,
die auf eine Reihe von Wegen innerhalb des Bereichs der Ansprüche variiert
werden können.