DE602004013124T2

DE602004013124T2 - Schleifverfahren

Info

Publication number: DE602004013124T2
Application number: DE602004013124T
Authority: DE
Inventors: Makoto Miyazawa
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-02-14
Filing date: 2004-02-13
Publication date: 2009-05-14
Anticipated expiration: 2024-02-14
Also published as: WO2004071707A1; DE602004013124D1; US20070087669A1; EP1593459B1; EP1593459A1; KR100586130B1; JP2004261954A; US20070087670A1; KR20040102084A; US20050107008A1; US7448942B2; EP1593459A4

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Polierverfahren gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Ein Beispiel eines solchen Verfahrens ist in der JP 2000-117604A offenbart.
Hintergrundtechnik
Eine konkave Oberfläche (auch als augapfelseitige oder innere Oberfläche bezeichnet) eines Brillenglases wird in eine Form gebracht, wie z. B. eine sphärische, eine rotationssymmetrische asphärische, eine torische, eine progressive Oberfläche oder eine gekrümmte Oberfläche, die aus einer Kombination daraus gebildet wird. Nachdem die Oberflächenform spanend bearbeitet worden ist, z. B. durch Fräsen, wird sie zu einer optischen Oberfläche spiegelpoliert. Zum Spiegelpolieren einer einfachen gekrümmten Oberfläche wie eine sphärische oder torische Oberfläche wird Schleifen mit der Oberseite nach oben (Face-up Grinding) unter Verwendung einer starren Schleifplatte, was als Oscar-Polieren bezeichnet wird, angewendet.
Das Spiegelpolierverfahren unter Verwendung der Schleifplatte ist ein Verfahren zur Übertragung der Oberflächenform der Schleifplatte auf das Polierziel. Deshalb sind z. B. tausende Typen von Bearbeitungsplatten entsprechend der Anzahl der Oberflächenformen gemäß den Verordnungen für Brillengläser erforderlich. Da die Schleifplatte zum Polieren komplexer Oberflächen, die von diesen verschieden sind, nicht verwendet werden kann, wird für solche komplexe Oberflächen, so genannte freie Oberflächen wie progressive Oberflächen, im Allgemeinen ein elastisches Schleifelement verwendet.
So schlug beispielsweise der Erfinder der vorliegenden Erfindung ein Polierverfahren vor, bei dem das Polieren dadurch erfolgt, dass ein Teil eines kuppelförmigen Abschnitts eines solchen elastischen Schleifelements im Wesentlichen mit der gesamten zu polierenden Oberfläche zur Anlage gebracht wird. Das elastische Schleifelement wird aus einer Mehrzahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten gewählt. Der kuppelförmige Abschnitt ist größer als die zu polierende konkave Oberfläche des Polierziels und hat verschiedene Krümmungen entsprechend der Oberflächenform der zu polierenden Oberfläche. Mit anderen Worten, die Krümmung des elastischen Schleifelements wird in Abhängigkeit von der Form des Werkstücks geeignet gewählt. Der Polierschritt enthält Polieren, während auf die innere Oberfläche der kuppelförmigen, hohlen, elastischen Folie mit Druckfluid ein Druck aufgebracht wird, um den kuppelförmigen Abschnitt mit einer Spannung zu beaufschlagen, und das Polierziel um seine eigene Achse geschwenkt und gedreht sowie das elastische Polierelement gedreht wird, bis der Krümmungsmittelpunkt des kuppelförmigen Abschnitts und der Mittelpunkt der Pendelbewegung des Polierziels im Wesentlichen zusammenfallen.
Das elastische Schleifelement wird z. B. durch die Schritte gewählt: Ermitteln von (R_max + R_min)/2 = R_mid aus dem größten Krümmungsradius R_max (inverse Krümmungszahl) und dem kleinsten Krümmungsradius R_min auf der inneren Oberfläche der Linse sowie Wählen eines elastischen Schleifelements mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmungsradius dem durchschnittlichen Krümmungsradius R_mid nahe kommt. Im Fall einer astigmatischen Oberfläche (torische Oberfläche) ist der Krümmungsradius des elastischen Schleifelements ein Zwischenwert zwischen der Basiskurve und der Kreuzkurve, und somit kann eine torische Oberfläche mit einer zylindrischen Fläche mit dem elastischen Schleifelement gleichmäßig poliert werden, das in innigen Kontakt mit ihr gebracht wird und eine gute Anpassungsfähigkeit mit einem minimalen Verformungsgrad hat. Im Fall eines Brillenglases, das z. B. zur Korrektur eines starken Astigmatismus vorgesehen ist, ist jedoch die Krümmungsdifferenz zwischen der Basiskurve und der Kreuzkurve erheblich.
Wenn die Additionsstärke, die die Differenz zwischen der Stärke eines Nahabschnitts und der eines Fernabschnitts einer progressiven Multifokallinse ist, erheblich ansteigt, nimmt die Krümmungsdifferenz zwischen dem Fernabschnitt und einem Nahpunkt erheblich zu. Obwohl das elastische Schleifelement hinsichtlich seiner Formanpassungsfähigkeit überragend ist, kann dann, wenn die zu polierende Oberfläche eine große Krümmungsdifferenz wie oben beschrieben hat, der Fall eintreten, dass einige Teile in starken Kontakt mit einer solchen Oberfläche und einige Teile in schwachen Kontakt mit ihr kommen. Da der Abschnitt mit schwachem Kontakt nicht leicht zu polieren ist, ist hier das Polieren sehr zeitaufwändig, während der Abschnitt mit starkem Kontakt in kurzer Zeit poliert werden kann. Wenn deshalb versucht wird, den Abschnitt mit schwachem Kontakt ausreichend zu polieren, ist dazu nicht nur eine lange Polierzeit erforderlich, sondern kann auch in einer so genannten Poliersenkung resultieren, da der Abschnitt mit starkem Kontakt übermäßig poliert wird. Beim Versuch, die Poliersenkung zu vermeiden, wird der Abschnitt mit schwachem Kontakt möglicherweise unzureichend poliert.
Sowohl die Poliersenkung als auch unzureichendes Polieren sind Polierfehler. Die geringere Produktion und die Erhöhung der Anzahl der Polierschritte, da zusätzliches Polieren notwendig wird, sind zu Problemen geworden. Angesichts dieser Gegebenheiten ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Polierverfahren bereitzustellen, mit dem eine zu polierende Oberfläche mit einer sehr großen Krümmungsdifferenz durch die Verwendung elastischer Schleifelemente gleichmäßig poliert werden kann.
Offenbarung der Erfindung
Ein Polierverfahren mit den Merkmalen von Anspruch 1 ist eine Verbesserung eines Polierverfahrens der verwandten Technik, bei dem eine zu polierende Oberfläche eines Polierziels mit Abschnitten stark unterschiedlicher Krümmungen durchgehend mit einem einzigen elastischen Schleifelement poliert wird, und wendet ein mehrstufiges Polierverfahren an, bei dem Polieren durch mindestens zwei elastische Schleifelemente unterschiedlicher Krümmung erfolgt. Mit anderen Worten, es handelt sich um ein Polierverfahren, das elastische Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten verwendet, bei dem eine Mehrzahl Typen elastischer Schleifelemente unterschiedlicher Krümmungen vorgesehen sind, und das die Schritte der Auswahl von mindestens zwei elastischen Schleifelementen entsprechend der Oberflächenform der zu polierenden Oberfläche sowie des Polierens der zu polierenden Oberfläche durch die Verwendung der ausgewählten elastischen Schleifelemente enthält.
Gemäß eines solchen mehrstufigen Polierverfahrens kann die Krümmungsdifferenz, die bisher durch ein einzelnes elastisches Schleifelement bewerkstelligt wurde, von einer Reihe ausgewählter elastischer Schleifelemente bearbeitet werden, so dass die Krümmungsdifferenz, die ein einzelnes elastisches Schleifelement zu bearbeiten hat, verkleinert werden kann. Deshalb kann ein gleichmäßigeres Polieren als im Fall des Polierens mit einem einzigen elastischen Schleifelement erzielt werden.
Jedem der Mehrzahl elastischer Schleifelemente wird eine Unterteilung entsprechend einer jeweils vorgegebenen Krümmung zugeordnet, so dass ein elastisches Schleifelement mit der zugeordneten Krümmung entsprechend der Krümmung der Unterteilung der zu polierenden Oberfläche ausgewählt werden kann.
Die Mehrzahl Unterteilungen wird bereitgestellt, indem die zu polierende Oberfläche mit einer Mehrzahl Krümmungen entsprechend der Krümmung von der größten zur kleinsten Krümmung unterteilt wird.
Die Anzahl der elastischen Schleifelemente wird so gewählt, dass die zu polierende Oberfläche in zwei oder drei Stufen oder mehrstufig in mehr als drei Stufen poliert wird. So wird z. B. der Bereich zwischen der kleinsten und der größten Krümmung der zu polierenden Oberfläche in eine Mehrzahl Unterteilungen geteilt, und das elastische Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt einer Krümmung nahe der durchschnittlichen Krümmung der spezifischen Unterteilung kann für jede Unterteilung gewählt werden.
Es ist auch möglich, ein elastisches Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt mit einer Krümmung nahe der größten Krümmung der zu polierenden Oberfläche, ein elastisches Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt mit einer Krümmung nahe der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche und ein elastisches Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt mit einer Krümmung nahe der durchschnittlichen Krümmung zwischen der größten und der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche zu wählen.
Zusätzlich zum üblichen elastischen Schleifelement kann ein elastisches Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt gewählt werden, dessen Krümmung der Krümmung im mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, der mit größter Wahrscheinlichkeit unzureichend poliert wird.
Vorzugsweise enthält der Polierschritt Polieren, während das Polierziel um seine eigene Achse, das elastische Schleifelement um seine eigene Achse gedreht wird, und das Polierziel sowie das elastische Schleifelement relativ zueinander pendeln, bis der Mittelpunkt der Krümmung des kuppelförmigen Abschnitts im Wesentlichen mit dem Mittelpunkt der Pendelbewegung des Polierziels zusammenfällt. Wenn die zu polierende Oberfläche relativ pendelt, kommen die zu polierende Oberfläche und die Oberfläche des elastischen Schleifelements miteinander in gleichmäßigen Kontakt, so dass gleichmäßiges Polieren erzielt wird, da der enge Kontakt zwischen der zu polierenden Oberfläche und der Oberfläche des elastischen Schleifelements konstant gehalten wird.
Vorzugsweise verwendet das Polierverfahren ein elastisches Schleifelement, dessen kuppelförmiger Abschnitt zu einer hohlen Kuppelform geformt ist, und enthält einen Schritt, in dem die Innenoberfläche der elastischen Folie mit Druck beaufschlagt wird, um den kuppelförmigen Abschnitt während des Polierens unter Spannung zu halten. Da die Einstellung des Innendrucks des elastischen Schleifelements im Vergleich zu dem Fall, in dem das gesamte elastische Schleifelement aus elastischem Material besteht, hinzukommt, kann einwandfreies Polieren problemlos ausgeführt werden.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 zeigt ein elastisches Schleifelement und eine Anbauvorrichtung für ein Schleifelement, die für ein Polierverfahren verwendet werden, sowie ein Poliergerät gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei (A) eine Schnittansicht ist, die jede Komponente im zerlegten Zustand zeigt, und (B) eine Draufsicht, die den Zustand darstellt, in dem das elastische Schleifelement an der Anbauvorrichtung für ein Schleifelement angebracht ist.
2 ist eine allgemeine Schnittansicht zur Verdeutlichung des Zustands, in dem eine zu polierende Oberfläche mit einer großen Krümmungsdifferenz durch die Verwendung dreier Typen elastischer Schleifelemente poliert wird.
3 ist eine Schnittansicht, die ein Polierverfahren gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, wobei (A) ein Beispiel des elastischen Schleifelements mit kleiner Krümmung und (B) ein Beispiel des elastischen Schleifelements mit großer Krümmung darstellt.
4 zeigt ein Poliergerät gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei (A) eine Vorderansicht und (B) eine Seitenansicht ist.
Beste Art zur Ausführung der Erfindung
Obwohl nachstehend Ausführungsformen eines Polierverfahrens gemäß der beanspruchten Erfindung beschrieben werden, versteht es sich, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die folgenden Ausführungsformen beschränkt ist.
Wie oben beschrieben wird das Polierverfahren gemäß den Ansprüchen durch Auswählen einer Mehrzahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten unterschiedlicher Krümmung entsprechend der Oberflächenform der zu polierenden konkaven Oberfläche aus einer Mehrzahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten unterschiedlicher Krümmung und Ausführen eines Polierschrittes mit der zu polierenden Oberfläche durch Verwendung der ausgewählten elastischen Schleifelemente durchgeführt.
Das Polierziel des Polierverfahrens der beanspruchten Erfindung unterliegt keiner speziellen Einschränkung, so lang es relativ kleinflächig ist und eine zu polierende konkave Oberfläche hat, die Spiegelpolieren erfordert. So kann es beispielsweise außer optischen Linsen wie typischerweise eine Kameralinse, eine Teleskoplinse, eine Mikroskoplinse, eine Kondensorlinse für einen Schrittmotor und ein Brillenglas eine Glasform für die Guss-Polymerisation einer Kunststofflinse oder optische Komponenten als Abdeckglas für tragbare Geräte sein. Nachstehend folgt als Beispiel die Beschreibung anhand eines Brillenglases aus Kunststoff.
Die konkave Oberfläche eines Brillenglases aus Kunststoff (auch als augapfelseitige oder innere Oberfläche bezeichnet) wird als eine sphärische, eine rotationssymmetrische asphärische, eine torische, eine progressive Oberfläche oder eine gekrümmte Oberfläche, die aus einer Kombination daraus gebildet wird, geformt. Dagegen wird eine konvexe Oberfläche als eine sphärische, eine rotationssymmetrische asphärische, eine progressive Oberfläche oder dgl. geformt. In zahlreichen Fällen wird die Form der konkaven Oberfläche durch numerisch gesteuertes Fräsen oder dgl. hergestellt. Nach dem Fräsen ist Spiegelpolieren zum Erzielen der gewünschten optischen Oberflächengüte erforderlich.
Ein elastisches Schleifelement, das bei der beanspruchten Erfindung verwendet wird, hat vorzugsweise einen kuppelförmigen Abschnitt, dessen Fläche größer ist als die zu polierende konkave Oberfläche. Polieren kann demzufolge ausgeführt werden, indem der kuppelförmige Abschnitt mit im Wesentlichen dem gesamten Oberflächenbereich der zu polierenden Oberfläche in Kontakt gehalten wird, wodurch die Poliergeschwindigkeit verbessert werden kann. Indem eine größere Oberfläche des kuppelförmigen Abschnitts des elastischen Schleifelements als die Fläche der zu polierenden Oberfläche vorgesehen wird, kann die Umfangsgeschwindigkeit der Rotation des elastischen Schleifelements um seine eigene Achse erhöht werden, um die Poliergeschwindigkeit zu verbessern, und die Formanpassungsfähigkeit des elastischen Schleifelements kann verbessert werden. Der Durchmesser des kuppelförmigen Abschnitts des elastischen Schleifelements beträgt vorzugsweise das 1,1- bis 10-Fache und mehr bevorzugt das 1,5- bis 5-Fache des Durchmessers der zu polierenden Linse.
Der kuppelförmige Abschnitt kann dadurch erhalten werden, dass die elastische Folie zu einer Kuppelform geformt wird, die durch einen Innendruck eines Druckfluids aufrechterhalten wird, durch Formen des elastischen Materials zu einem kuppelförmigen Block und durch Füllen des hohlen Abschnitts der kuppelförmigen elastischen Folie mit einem anderen elastischen Material. Die elastische Folie hat eine Dicke vorzugsweise im Bereich von 0,1 bis 10 mm und besser im Bereich von 0,2 bis 5 mm und hat vorzugsweise die Eigenschaften: JIS A-Härte 10–100 (Härtemesser Typ A) und Elastizitätsmodul 10²–10³ Ncm^–2. Die Sorte der elastischen Folie oder des elastischen Materials kann z. B. Naturkautschuk, Nitrilkautschuk, Chloroprenkautschuk, Styrolbutadienkautschuk (SBR), Acrylonitrilbutadienkautschuk (NBR), Siliconkautschuk, Fluorkautschuk, thermoplastisches Harz wie Polyethylen und Nylon und thermoplastisches Harzelastomer wie Styrol oder harzhaltiges Polyurethan sein.
1 zeigt eine Ausführungsform eines elastischen Schleifelements und eine Ausführungsform einer Anbauvorrichtung für ein Schleifelement zum Halten des elastischen Schleifelements, wobei (A) eine Explosionsschnittansicht und (B) eine Draufsicht ist, die den Zustand darstellt, in dem das elastische Schleifelement an der Anbauvorrichtung für ein Schleifelement angebracht ist.
Das elastische Schleifelement 10 dieser Ausführungsform besteht aus einer elastischen Folie, wie in 1A dargestellt ist, und enthält einen hohlen kuppelförmigen Abschnitt 11 in Form einer Kuppel und einen ringförmigen Flanschabschnitt 12, der integral mit dem kuppelförmigen Abschnitt 11 um dessen Umfangsrand so ausgebildet ist, dass er nach außen ragt. Ein Schleifkissen 13 aus einem Vliesstoff, das in Form von Blütenblättern zugeschnitten ist, wie beispielsweise in 1B dargestellt ist, ist mit einem Kleber oder dgl. auf der Außenoberfläche des kuppelförmigen Abschnitts 11 verklebt. Das Schleifkissen 13 fungiert in der Weise, dass es ein Schleiffluid aufnimmt, und Spalten 13a des Schleifkissens 13 dienen als Kanäle zur Zufuhr von Schleifkorn oder Wasser oder zur Abfuhr des Schleifabriebs. Die Form des Schleifkissens 13 ist nicht auf die Form von Blütenblättern beschränkt, sondern es können auch Schleifkissen in runder, ovaler oder vieleckiger Form zugeschnitten und dicht verklebt werden.
Die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement hält das elastische Schleifelement 10, bildet einen abgedichteten Raum an der Innenseite des elastischen Schleifelements 10 und dient als Strömungsweg zum Einleiten eines Druckfluids in das elastische Schleifelement 10. Außerdem hat sie die Aufgabe, an einem Poliergerät, das später beschrieben wird, angebracht und befestigt zu werden.
Die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement hat einen Anbauvorrichtungskörper 21 und ein ringförmiges Halteelement 22. Der Anbauvorrichtungskörper 21 enthält einen zylindrischen Abschnitt 211, der wie ein Kreiszylinder geformt ist, und einen flanschförmigen Anbauabschnitt 212 für das Schleifelement, der integral und koaxial mit dem zylindrischen Abschnitt 211 am Außenumfang von dessen oberen Ende ausgebildet ist, so dass er senkrecht zur Achse des zylindrischen Abschnitts 211 verläuft. Der Anbauabschnitt 212 für das Schleifelement ist am oberen Umfang mit einer ringförmigen flachen Vertiefung 2121 versehen, in der der Flanschabschnitt 12 des elastischen Schleifelements 10 aufgenommen wird. Die Vertiefung 2121 ist an drei Stellen in konstanten Winkelintervallen um den Mittelpunkt mit nicht dargestellten Kerben versehen. Schrauben 23 sind an der unteren Oberfläche des Anbauabschnitts 212 für das Schleifelement drehbar angebracht, so dass die Schrauben 23 in die bzw. aus den Kerben eingesetzt und entfernt werden können. Ein Scheibe 24 und eine Mutter 25 sind an der Schraube 23 angeordnet. An Positionen am Flanschabschnitt 12 des elastischen Schleifelements 10, die diesen Kerben entsprechen, sind ebenfalls Kerben (nicht dargestellt) vorgesehen. Das Halteelement 22 ist ringförmig und hat eine ebene untere Oberfläche, so dass es in der Vertiefung 2121 aufgenommen werden kann, die im Anbauabschnitt 212 für das Schleifelement ausgebildet ist, und hat Kerben (nicht dargestellt), die an den den Kerben des Anbauabschnitts 212 für das Schleifelement entsprechenden Positionen vorgesehen sind. Der zylindrische Abschnitt 211 ist an seinem unteren Ende mit einem konischen Anbauabschnitt 2111 ausgeführt, so dass er nach außen ragt und am Poliergerät angebracht und befestigt werden kann.
Um das elastische Schleifelement 10 an der Anbauvorrichtung 20 für das Schleifelement zu befestigen, wird der Flanschabschnitt 12 des elastischen Schleifelements 10 zwischen dem Anbauabschnitt 212 für das Schleifelement und dem Halteelement 22 angeordnet und befestigt, wie in 1B dargestellt ist, indem der Flanschabschnitt 12 des elastischen Schleifelements 10 in die Vertiefung 2121 des Anbauabschnitts 212 für das Schleifelement so eingesetzt wird, dass die Kerben relativ zueinander fluchten, das Halteelement 22 so am Flanschabschnitt 12 des elastischen Schleifelements 10 angebracht wird, dass die Kerben relativ zueinander fluchten, und die Schrauben 23 senkrecht durch die Kerben eingesetzt und mit den Muttern 25 angezogen werden. Folglich wird ein kuppelförmiger abgedichteter Raum zwischen der inneren Oberfläche des kuppelförmigen Abschnitts 11 und der oberen Oberfläche des Anbauabschnitts 212 für das Schleifelement definiert, und der abgedichtete Raum steht mit der Außenseite über einen Spalt im zylindrischen Abschnitt 211 in Verbindung.
Polieren wird durchgeführt, während auf die innere Oberfläche des kuppelförmigen Abschnitts 11 Druck mit einem Druckfluid aufgebracht wird, um den kuppelförmigen Abschnitt 11 unter Spannung zu halten, wodurch der kuppelförmige Abschnitt 11 mit einem vorgegebenen Polierdruck gegen die zu polierende Oberfläche gepresst wird, während das Polierziel pendelt und um seine eigene Achse rotiert und das elastische Schleifelement 10 rotiert, bis erreicht wird, dass der Mittelpunkt der Krümmung des kuppelförmigen Abschnitts 11 mit dem Mittelpunkt der Pendelbewegung des Polierziels im Wesentlichen zusammenfällt.
Für das Polierverfahren der beanspruchten Erfindung wird eine Mehrzahl elastischer Schleifelemente 10 mit kuppelförmigen Abschnitten 11 unterschiedlicher Krümmung im Voraus bereitgestellt. Wenn die Krümmungen der kuppelförmigen Abschnitte 11 unterschiedlich sind, sind auch die Durchmesser der kuppelförmigen Abschnitte 11 verschieden und somit sind auch die Durchmesser der Anbauabschnitte 212 für die Schleifelemente zum Befestigen des elastischen Schleifelements 10 verschieden. Da es wie später beschrieben wird, erforderlich ist, den Mittelpunkt der Pendelbewegung und den Krümmungsmittelpunkt des kuppelförmigen Abschnitts 11 im Wesentlichen aufeinander auszurichten, wird eine spezielle Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement in Kombination mit den jeweiligen elastischen Schleifelementen 10 mit den kuppelförmigen Abschnitten 11 unterschiedlicher Krümmung verwendet.
Beim Polieren der Innenoberfläche eines Brillenglases ist die Mehrzahl elastischer Schleifelemente 10 mit den kuppelförmigen Abschnitten 11 unterschiedlicher Krümmung den Unterteilungen innerhalb eines Bereichs des kuppelförmigen Abschnitts 11 zwischen 40 mm und 600 mm zugeord net, bei dem es sich um den Bereich des Krümmungsradius der Innenoberfläche des Brillenglases handelt. Genauer gesagt, sind vorzugsweise fünf bis zehn elastische Schleifelemente 10 mit kuppelförmigen Abschnitten 11 unterschiedlicher Krümmung für jeweils 10 bis 40 mm, mehr bevorzugt für jeweils 14 bis 30 mm im Bereich bis zu 200 mm und eine Mehrzahl elastischer Schleifelemente 10 für jeweils 100 bis 200 mm im Bereich zwischen 200 mm und 600 mm vorgesehen. Die oben beschriebenen Unterteilungen können so geteilt sein, dass sich ihre Krümmungsradien überlappen. Demzufolge können sie jede Form der inneren Oberfläche auf Basis nahezu jeder Verordnung bearbeiten.
2 ist eine Schnittansicht, die ein Beispiel einer Innenoberfläche einer progressiven Multifokallinse darstellt, die eine Kombination aus einer progressiven und einer torischen Oberfläche enthält. Die Innenoberfläche der progressiven Multifokallinse L1 ist ein Beispiel einer Linse zur Korrektur eines starken Astigmatismus und hat stark unterschiedliche Krümmungen, die in der Figur ähnlich einem tatsächlichen Brillenglas dargestellt sind. Der mittlere Bereich der konkaven Oberfläche weist die stärkste Krümmung (reziproker Wert des Krümmungsradius), der Außenumfangsbereich die schwächste Krümmung und der Zwischenabschnitt eine dazwischen liegende Krümmung auf.
Für das Polierverfahren der beanspruchten Erfindung wird eine Mehrzahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten unterschiedlicher Krümmung entsprechend der Oberflächenform der zu polierenden Oberfläche so gewählt, dass die zu polierende Oberfläche in zwei oder drei Stufen oder in mehr als drei Stufen poliert wird. Ein Verfahren zur Auswahl der elastischen Schleifelemente, die eingesetzt werden können, sieht die Auswahl von elastischen Schleifelementen für drei Stufen vor, das eines mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11a mit einer Krümmung nahe der durchschnittlichen Krümmung des Außenumfangsbereichs der Innenoberfläche der Linse L1, eines mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11b mit einer Krümmung nahe der durchschnittlichen Krümmung des Zwischenabschnitts der Linse und eines mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11c mit einer Krümmung nahe der durchschnittlichen Krümmung des mittleren Bereichs enthält.
Da der Krümmungsbereich der zu polierenden Oberfläche, der einem elastischen Schleifelement zugeordnet ist, etwa einem Drittel im Vergleich zu dem Fall, in dem ein einziges elastisches Schleifelement zum Polieren der gesamten zu polierenden Oberfläche verwendet wird, entspricht, kann demnach die Formanpassungsfähigkeit der elastischen Schleifelemente die zu polierende Oberfläche ausreichend erfassen, selbst wenn sie erheblich verschiedene Krümmungen hat, und deshalb wird gleichmäßiges Polieren erzielt. Da ein gleichmäßiges Polieren möglich ist, nimmt die Poliergeschwindigkeit zu, so dass die Gesamtzeit, die zum Polieren der gesamten Oberfläche erforderlich ist, selbst unter Einbeziehen der erforderlichen Zeit zum Austauschen der elastischen Schleifelemente, verkürzt werden kann.
Abgesehen von der oben beschriebenen Oberfläche mit der Kombination aus progressiver und torischer Oberfläche kann eine konkave Oberfläche mit Abschnitten erheblich unterschiedlicher Krümmung eine sehr hohe Additionsstärke haben, die die Differenz zwischen den Stärken der Nah- und Fernabschnitte einer progressiven mehrfokalen Linse ist. In einem solchen Fall ist die Differenz zwischen den Krümmungen des Fern- und des Nahabschnitts sehr groß.
Entsprechend der Form der zu polierenden Oberfläche kommen verschiedene Verfahren zur Auswahl des elastischen Schleifelements infrage. So gibt es z. B. das mehrstufige Polierverfahren, das die Schritte der Teilung der Krümmungsdifferenz zwischen der größten und der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche in eine Mehrzahl Unterteilungen und der Auswahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten nahe der durchschnittlichen Krümmungen der jeweiligen Unterteilungen enthält.
Ferner gibt es ein Verfahren zur Auswahl eines elastischen Schleifelements mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmung der größten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, eines elastischen Schleifelements mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmung der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, und eines elastischen Schleifelements mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmung der durchschnittlichen Krümmung zwischen der größten und der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt.
Wenn die zu polierende Oberfläche insgesamt eine große Krümmung hat, wird die Krümmung des kuppelförmigen Abschnitts des auszuwählenden elastischen Schleifelements größer. Deshalb wird der kuppelförmige Abschnitt klein, so dass in manchen Fällen kein ausreichend großer Ausschlag der Pendelbewegung sichergestellt werden kann. Wenn der Ausschlag der Pendelbewegung nicht ausreichend groß ist, bleibt der Bereich in der Nähe der Oberseite des kuppelförmigen Abschnitts in Kontakt mit dem mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche. Demzufolge nimmt die Poliergeschwindigkeit im mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche, die in Kontakt mit dem Bereich in der Nähe der Oberseite des kuppelförmigen Abschnitts gehalten wird, und deren Umfangsgeschwindigkeit gering ist, ab, was in ungenügendem Polieren im mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche resultieren kann.
Beim Polieren der konkaven Oberfläche der Linse, deren mittlerer Bereich kaum poliert werden kann, kann deshalb ein Verfahren gewählt werden, bei dem ein elastisches Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmung der durchschnittlichen Krümmung zwischen der größten und der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, kombiniert mit einem elastischen Schleifelement mit einem kuppelförmigen Abschnitt, der der Krümmung des mittleren Bereichs der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, angewendet werden.
3 ist eine Schnittansicht eines Polierverfahrens gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die ein mehrstufiges Polierverfahren zeigt, das die Schritte der Auswahl einer Mehrzahl elastischer Schleifelemente mit kuppelförmigen Abschnitten unterschiedlicher Krümmung und des sequentiellen Austauschs des elastischen Schleifelements zum Polieren zeigt, wobei (A) ein Beispiel eines elastischen Schleifelements mit kleiner Krümmung und (B) ein Beispiel eines elastischen Schleifelements mit großer Krümmung darstellt.
Unter Bezugnahme auf 3 wird der Fall beschrieben, bei dem eine konkave Oberfläche eines Brillenglases 12 mit einer Oberfläche mit kleiner Krümmung im Außenumfangsbereich und einer Oberfläche mit großer Krümmung im mittleren Bereich als die zu polierende Oberfläche poliert wird.
Wie z. B. in 3A dargestellt ist, wird ein elastisches Schleifelement 10a mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11a mit kleiner Krümmung (großer Krümmungsradius Ra), die der kleineren Krümmung im Außenumfangsbereich der zu polierenden Oberfläche des Brillenglases 12 nahe kommt, ausgewählt. Wie 3B zeigt wird ein elastisches Schleifelement 10b mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11c mit großer Krümmung (kleiner Krümmungsradius Rb), die der großen Krümmung im mittleren Bereich des Brillenglases 12 nahe kommt, ausgewählt.
Im ersten Schritt des Polierprozesses wird wie in 3A dargestellt das elastische Schleifelement 10a an einer speziellen Anbauvorrichtung 20a für ein Schleifelement angebracht, die an einem Drehtisch des Poliergeräts, das später beschrieben wird, angebaut wird. Druckluft mit einem vorgegebenen Druck wird in einen abgedichteten Raum 30 zwischen der inneren Oberfläche des kuppelförmigen Abschnitts 11a und dem Anbauabschnitt 212a für das Schleifelement geliefert. Im abgedichteten Raum 30 wird ein vorgegebener Druck aufrechterhalten, um den kuppelförmigen Abschnitt 11a mit einer Spannung zu beaufschlagen. Der Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11a liegt auf der Mittelachse des zylindrischen Abschnitts 211a. Das elastische Schleifelement 10a rotiert dann um die Mittelachse des zylindrischen Abschnitts 211a der Anbauvorrichtung 20a für das Schleifelement, mit anderen Worten, im Wesentlichen um eine Linie, die den Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11a und dessen Scheitel verbindet.
Ein Anbauabschnitt 52 für das Polierziel, der in einem Futter des Poliergeräts anzubringen und zu befestigen ist, wird mit der zu polierenden Oberfläche des Polierziels 12 an der der konkaven Oberfläche gegenüberliegenden Oberfläche mittels eines Verbindungsmaterials 51 wie Metall mit niedrigem Schmelzpunkt oder Wachs verbunden. Das Futter (nicht dargestellt) des Poliergeräts wird in Rotation versetzt, und das Polierziel 12 rotiert mit einer vorgegeben Drehzahl um seine eigene Achse. Das Futter kann so mit einem Luftdruck beaufschlagt werden, dass es das Polierziel 12 mit einem vorgegebenen Polierdruck gegen das elastische Schleifelement 10a pressen kann. Außerdem führt das Futter zum Einspannen des Polierziels 12 des Poliergeräts eine solche Pendelbewegung aus, dass sich die Rotationsachse des Polierziels 12 zwischen einem Abschnitt in der Nähe des Scheitels und dem Ende des kuppelförmigen Abschnitts 11a hin und her bewegt. Der Mittelpunkt 41 der Pendelbewegung fällt im Wesentlichen mit dem Krümmungsmittelpunkt 40 des elastischen Schleifelements 10a zusammen. Die Rotationsachse des das Polierziel 12 einspannenden Futters verläuft stets durch den Mittelpunkt 41 der Pendelbewegung.
Die Pendelbewegung kann so sein, dass sich die zu polierende Oberfläche und das elastische Schleifelement relativ zueinander bewegen, und ist nicht auf die Pendelbewegung des Futters beschränkt, sondern kann auch eine Pendelbewegung des elastischen Schleifelements sein.
Beim Polieren wird, wie in 3A dargestellt ist, auf das elastische Schleifelement 10a, auf dessen Oberfläche das Schleifkissen 13 (siehe 1) haftet, eine Spannung durch einen vorgegebenen Innendruck aufgebracht und es rotiert mit einer vorgegebenen Drehzahl um seine eigene Achse, während das Polierziel 12 mit einem vorgegebenen Polierdruck gegen das elastische Schleifelement 10a gepresst wird, während es sich mit einer vorgegebenen Drehzahl um eine durch den Krümmungsmittelpunkt (Rotationsmittelpunkt) 40 verlaufende Achse dreht. Gleichzeitig führt das Polierziel 12 eine Pendelbewegung aus, während Schleifschlamm 61, der Schleifmaterial enthält, aus einer Düse 60 auf die Oberfläche des elastischen Schleifelements 10a gebracht wird.
In diesem Fall kann Polieren unter folgenden Bedingungen ausgeführt werden: der interne Druck, mit dem die elastischen Schleifelemente 10a, 10b beaufschlagt werden, beträgt z. B. 0,2 bis 1,2 kp/cm² [0,02 bis 0,12 MPa], die Drehzahl der elastischen Schleifelemente 10a, 10b z. B. 50 bis 500 U/min, die Drehzahl des Polierziels 12 z. B. 1 bis 30 U/min, die Pendelgeschwindigkeit z. B. 1 bis 20 Pendelbewegungen pro Minute und der Polierdruck z. B. 3 bis 30 kp/cm² [0,029 bis 2,9 MPa].
In der ersten Stufe des Polierprozesses wird die Oberfläche mit einer kleinen Krümmung im Außenumfangsbereich der zu polierenden Oberfläche des Polierziels 12 hauptsächlich vom elastischen Schleifelement 10a poliert.
In der zweiten Stufe des Polierprozesses wird anschließend wie in 3B dargestellt das elastische Schleifelement 10b am Anbauabschnitt 212b für das Schleifelement der speziellen Anbauvorrichtung 20b für ein Schleifelement angebracht und Polieren erfolgt wie im ersten Schritt des Polierprozesses. Auch im zweiten Schritt des Polierprozesses fällt der Mittelpunkt 41 der Pendelbewegung des Polierziels 12 im Wesentlichen mit dem Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11c des elastischen Schleifelements 10b zusammen. Mit anderen Worten, die Längen der zylindrischen Abschnitte 211a, 211b der Anbauvorrichtungen 20a, 20b für Schleifelemente werden so bestimmt, dass der Krümmungsmittelpunkt 40 der kuppelförmigen Abschnitte 11a, 11c immer mit dem Mittelpunkt 41 der Pendelbewegung zusammenfällt, wenn die Anbauvorrichtungen 20a, 20b für Schleifelemente am Poliergerät angebracht werden, und die Höhen, auf denen die elastischen Schleifelemente 10a, 10b gehalten werden, in senkrechter Richtung geändert werden können (3). Da der Mittelpunkt 41 der Pendelbewegung mit dem Krümmungsmittelpunkt 40 der kuppelförmigen Abschnitte 11a, 11c der elastischen Schleifelemente 10a, 10b zusammenfällt und der relative Abstand zwischen der zu polierenden Oberfläche und den elastischen Schleifelementen 10a, 10b konstant gehalten wird, bleibt die zu polierende Oberfläche stets in gleichmäßigem Kontakt mit den Oberflächen der elastischen Schleifelemente 10a, 10b, so dass gleichmäßiges Polieren erzielt wird.
In der zweiten Stufe des Polierprozesses wird die Krümmung im mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche des Polierziels 12 hauptsächlich vom elastischen Schleifelement 10b mit großer Krümmung poliert.
Bei einem solchen mehrstufigen Polierverfahren wird selbst dann, wenn die zu polierende Oberfläche des Polierziels 12 Abschnitte mit erheblich unterschiedlicher Krümmung hat, gleichmäßigeres und schnelleres Polieren im Vergleich zu dem Fall erzielt, in dem Polieren mit einem einzigen Typ eines elastischen Schleifelements erfolgt, indem die Oberfläche mit großer Krümmung im mittleren Bereich mit dem elastischen Schleifelement 10b mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11c annähernd gleicher Krümmung und die Oberfläche mit kleiner Krümmung im Außenumfangsbereich mit dem elastischen Schleifelement 10a mit einem kuppelförmigen Abschnitt 11a annähernd gleicher Krüm mung poliert wird. Es ist auch möglich, das elastische Schleifelement beim Wechsel von der ersten Stufe des Polierprozesses zur zweiten Stufe des Polierprozesses zuwechseln und den mittleren Bereich der zu polierenden Oberfläche in der ersten Stufe und Außenumfangsbereich der zu polierenden Oberfläche in der zweiten Stufe des Polierprozesses zu polieren. Die Reihenfolge der Polierschritte im mehrstufigen Polierverfahren der vorliegenden Erfindung ist nicht beschränkt.
Nunmehr sei auf 4 verwiesen, anhand der ein Poliergerät, mit dem das Polierverfahren der vorliegenden Erfindung ausgeführt werden kann, beschrieben wird. 4A ist eine Vorderansicht und 4B eine Seitenansicht des Poliergeräts.
Das Poliergerät 100 enthält einen Antrieb 110 für den Halter des elastischen Schleifelements, die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement und einen Antrieb 120 für den Halter des Polierziels. Der Antrieb 110 für den Halter des elastischen Schleifelements enthält einen Drehtisch 111, der von einem nicht dargestellten Motor um die senkrechte Achse gedreht wird, so dass der Anbauabschnitt 2111 (siehe 1) am unteren Ende des zylindrischen Abschnitts 211 der Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement abnehmbar am Drehtisch 111 angebracht ist. Die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement kann mit einer vorgegebenen Drehzahl im Wesentlichen um die Mittelachse des zylindrischen Abschnitts 211 rotieren, d. h. um eine Linie, die den Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11 des elastischen Schleifelements und den Scheitel des kuppelförmigen Abschnitts 11 verbindet, wenn die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement am Drehtisch 111 angebracht ist. Außerdem ist eine Verrohrung (nicht dargestellt) für die Druckluft am Drehtisch 111 bereitgestellt, so dass sie mit dem hohlen Abschnitt des zylindrischen Abschnitts 211 verbunden werden kann.
Ferner sind eine Pendeleinheit 121 und eine Halteeinheit 122 für das Polierziel, die von der Pendeleinheit 121 in eine Pendelbewegung versetzt wird, als der Antrieb 120, der das Polierziel lagert, bereitgestellt. Die Pendeleinheit 121 treibt eine Kurbel 1212, die von einem Motor 1211 über einen Riementrieb gedreht wird und versetzt die Halteeinheit 122 für das Polierziel, die mit der Kurbel 1212 über eine Pleuelstange 1213 verbunden ist, in eine Pendelbewegung. Die Halteeinheit 122 für das Polierziel ist so ausgeführt, dass sie zwischen der senkrechten Richtung und einem schiefen Winkel an der Rückseite um die Pendelachse 1221 vor und zurück pendeln kann. Die Halteeinheit 122 für das Polierziel ist mit einem Pneumatikzylinder 1222 versehen, der auf ihrer Oberseite senkrecht nach unten weist, und ein Futter 1224, an der Anbauabschnitt 52 (siehe 3) für das Polierziel angebracht und befestigt ist, ist am äußersten Ende einer Kolbenstange 1223 des Pneumatikzylinders bereitgestellt. Das Futter 1224 rotiert mittels eines Motors 1225 um die Achse, die durch den Schnittpunkt zwischen der Pendelachse 1221 und der Mittelachse des zylindrischen Abschnitts 211 der Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement verläuft. Das Polierziel 12 kann an der Halteeinheit 122 für das Polierziel durch Anbau des Anbauabschnitts 52 für das Polierziel, das integral mit dem Polierziel 12 über das Verbindungsmaterial 51 ausgebildet ist, am Futter 1224 angebracht werden. Das angebrachte Polierziel 12 kann durch den Pneumatikzylinder 1222 zum elastischen Schleifelement 10 bzw. von diesem weg bewegt werden und ist so eingerichtet, dass es mit einem vorgegebenen Polierdruck gegen das elastischen Schleifelement 10 gepresst wird.
Das Poliergerät 100 ist auf eine solche Weise konfiguriert, dass dann, wenn die Anbauvorrichtung 20 für ein Schleifelement mit dem spezifischen zylindrischen Abschnitt 211, dessen Länge der Krümmung des kuppelförmigen Abschnitts 11 des elastischen Schleifelements 10 entspricht, am Drehtisch 111 angebracht ist, die Haltepositionen des elastischen Schleifelements 10 für die jeweiligen Anbauvorrichtungen 20 für Schleifelemente verschieden sind, und der Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11 des elastischen Schleifelements im Wesentlichen mit dem Mittelpunkt der Pendelachse 1221 zusammenfällt.
Wenn in einem solchen Poliergerät 100 z. B. die konkave Oberfläche einer Linse als das Polierziel L2 poliert wird, wird das elastische Schleifelement 10 mit dem auf seiner Oberfläche haftenden Polierkissen 13 auf dem Drehtisch 111 mit einer vorgegebenen Drehzahl um seine eigene Achse gedreht, während es mit Spannung durch einen vorgegebenen Innendruck durch Einstellen des Drucks der Druckluft beaufschlagt wird, und gleichzeitig wird des Polierziel 12 mit einem vorgegebenen Polierdruck des Pneumatikzylinders 1222 gegen das elastische Schleifelement 10 gepresst, während das Polierziel 12 mit einer vorgegeben Drehzahl um seine eigene Achse rotiert. Das Polierziel 12 führt dabei durch die Pendeleinheit 121 eine Pendelbewegung aus, während Schleifmaterial enthaltender Schleifschlamm durch eine Düse (nicht dargestellt) auf die Oberfläche des elastischen Schleifelements 10 gebracht wird.
Das oben beschriebene Poliergerät 100 ist so konfiguriert, dass der Krümmungsmittelpunkt 40 des kuppelförmigen Abschnitts 11 selbst dann im Wesentlichen mit dem Mittelpunkt 1221 der Pendelbewegung der Polierziele zusammenfällt, wenn ein elastisches Schleifelement 10 gegen ein anderes ausgetauscht wird, das einen kuppelförmigen Abschnitt 11 mit einer anderen Krümmung hat. Deshalb wird gleichmäßiges und schnelles Polieren durch die Pendelbewegung des Polierziels 12 erzielt, was eine effektive Nutzung der Oberflächen der elastischen Schleifelemente 10 ermöglicht.

Claims

Polierverfahren, das elastische Schleifelemente (10) verwendet, von denen ein jedes einen kuppelförmigen Abschnitt (11) hat, wobei es sich bei den elastischen Schleifelementen um eine Mehrzahl Typen mit kuppelförmigen Abschnitten unterschiedlicher Krümmungen handelt, gekennzeichnet durch: Auswählen von mehr als zwei der elastischen Schleifelemente entsprechend der Oberflächenform der zu polierenden Oberfläche; und Polieren der zu polierenden Oberfläche unter Verwendung der ausgewählten elastischen Schleifelemente.
Polierverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass aus der Mehrzahl der elastischen Schleifelemente (10) ein jedes einer Unterteilung einer Mehrzahl Unterteilungen der zu polierenden Oberfläche entsprechend den vorgegebenen Krümmungen zugeordnet ist, und der Auswahlschritt die Wahl eines elastischen Schleifelements enthält, das eine Krümmung hat, die der Krümmung der zugeordneten Unterteilung vor dem Schritt des Polierens einer Krümmung der zu polierenden Oberfläche entspricht.
Polierverfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrzahl der Unterteilungen bereitgestellt wird, indem die zu polierende Oberfläche mit einer Mehrzahl Krümmungen der Krümmung entsprechend von der größten zur kleinsten Krümmung unterteilt wird.
Polierverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auswahlschritt die Wahl elastischer Schleifelemente (10) mit kuppelförmigen Abschnitten (11) aufweist, deren Krümmungen der durchschnittlichen Krümmung der jeweiligen Unterteilungen der zu polierenden Oberfläche mit einer Mehrzahl Krümmungen nahe kommt, die der Krümmung entsprechend von der größten zur kleinsten Krümmung unterteilt sind.
Polierverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auswahlschritt die Wahl eines elastischen Schleifelements (10) mit einem kuppelförmigen Abschnitt (11), dessen Krümmung der größten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, eines elastischen Schleifelements (10) mit einem kuppelförmigen Abschnitt (11), dessen Krümmung der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, und eines elastischen Schleifelements mit einem kuppelförmigen Abschnitt, dessen Krümmung der durchschnittlichen Krümmung zwischen der größten und der kleinsten Krümmung der zu polierenden Oberfläche nahe kommt, aufweist.
Polierverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auswahlschritt die Wahl eines elastischen Schleifelements (10) mit einem kuppelförmigen Abschnitt (11) aufweist, dessen Krümmung der Krümmung des zentralen Bereichs der zu polierenden Oberfläche nahe kommt.
Polierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Polierschritt Polieren aufweist, während ein zu polierender Gegenstand und das elastische Schleifelement (10) um ihre eigenen Achsen rotieren, wobei der zu polierende Gegenstand und das elastische Schleifelement relativ zueinander pendeln, bis der Mittelpunkt der Krümmung (40) des kuppelförmigen Abschnitts (11) im Wesentlichen mit dem Mittelpunkt der Pendelbewegung (41, 122) des zu polierender Gegenstands (L2) zusammenfällt.
Polierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der kuppelförmige Abschnitt (11) des elastischen Schleifelements (10) aus einer elastischen Folie zu einer hohlen Kuppelform geformt ist, und der Polierschritt Polieren aufweist, während die Innenoberfläche der elastischen Folie durch ein unter Druck stehendes Fluid mit Druck beaufschlagt wird, das in den hohlen Abschnitt eingespritzt wird, um den kuppelförmigen Abschnitt unter Spannung zu halten.