DE602004011830T2

DE602004011830T2 - Elektrode zum erzeugen eines dielektrische-barriere-entladungsplasmas

Info

Publication number: DE602004011830T2
Application number: DE602004011830T
Authority: DE
Inventors: Cecile Ayrault; Jean-Michel Tatibouet; Stephane Pasquiers; Cyrille Bertrand; Emmanuel Philibert; Jean-Paul Chevrier
Original assignee: Brandt Industries SAS
Current assignee: Brandt Industries SAS
Priority date: 2003-12-29
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2009-02-12
Anticipated expiration: 2024-12-23
Also published as: WO2005069702A3; ATE386417T1; WO2005069702A2; EP1700515B1; FR2864746B1; DE602004011830D1; EP1700515A2; FR2864746A1; ES2302073T3

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Elektrode zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre.
Sie betrifft auch einen Generator zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre, der die erfindungsgemäßen Elektroden einsetzt, sowie eine Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses, die einen solchen Generator zur Erzeugung von Plasma einsetzt
Im Allgemeinen betrifft die vorliegende Erfindung das Aufbereiten eines Gasflusses mittels eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Sperre (DBD oder Dielectric Barrier Discharge).
In einem solchen System zum Erzeugen eines Plasmas sind die Elektroden im Allgemeinen durch parallel angeordnete Metallplatten ausgebildet, zwischen welchen ein Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre erzeugt wird.
Zur Bildung der dielektrischen Sperre ist ein nichtleitendes Material zwischen den Elektroden eingefügt.
In manchen Anwendungen ist es von Interesse, dass der Gasfluss, der durch den Plasma hindurchfließen soll, ebenfalls durch die Elektrode fließen kann. Die Elektroden sind dann quer zum Gasfluss angeordnet.
Es sind somit perforierte Platten bekannt, die Elektroden bilden und einander gegenüber angeordnet sind, so dass das Plasma zwischen diesen Elektroden erzeugt wird und der Gasfluss durch dieselben Elektroden dank der Perforierungen hindurchfließen kann.
Ein perforiertes dielektrisches Material wird auch quer zum Gasfluss hinzugefügt, um das Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre erhalten zu können.
In dieser Art der Ausführung gibt es privilegierte Verläufe zwischen den beiden Elektroden quer über die Öffnungen des dielektrischen Materials. Diese Bereiche begünstigen die Erzeugung von Lichtbögen von einer Elektrode zur anderen, wobei dann diese Elektroden zerstört werden.
Elektroden diese Art sind beispielsweise im Dokument US-2002/0153241 A1 offenbart.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, eine Lösung für die vorgenannten Nachteile zu finden und eine neue Art von Elektrode anzubieten, die eine vollständige Isolierung der Elektrode ermöglicht und somit jegliches Risiko der Lichtbogenbildung beseitigt.
Zu diesem Zweck betrifft die vorliegende Erfindung nach einem ersten Aspekt eine Elektrode zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre, die einen Teil eines mit einer Hülle aus dielektrischem Material bedeckten elektrischen Leitungsdrahts umfasst, der auf einem Träger befestigt ist.
Der Träger weist eine Öffnung auf, wobei sich der Teil des umhüllten Leitungsdrahts über die Öffnung erstreckt.
Durch die Verwendung eines mit einer isolierenden Hülle bedeckten elektrischen Drahts ist die Elektrode von einem dielektrischen Material vollständig ummantelt. Unabhängig von der verwendeten Geometrie kann es somit kein bevorzugter Verlauf zwischen den Elektroden geben.
Wenn man zwei erfindungsgemäße Elektroden verwendet und die Teile des elektrischen Leitungsdrahts parallel anordnet, erhält man somit zwei einander gegenüberliegende metallische Teile, die durch zwei Schichten eines dielektrischen Materials getrennt sind, welche durch die den elektrischen Leitungsdraht bedeckenden Hüllen gebildet sind.
Man verfügt zudem über leicht handhabbare Elektroden, die in einer Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma befestigt werden können, wobei die Träger der Elektroden einander gegenüberliegend angeordnet sind, um zwischen sich Bereiche zur Erzeugung von Plasma zu bilden.
Eine solche Elektrode kann aufgrund ihrer Öffnung durch einen Gasfluss durchflossen werden, der durch Plasma aufzubereiten ist, wobei der Teil des umhüllten Leitungsdrahts, der sich über die Öffnung erstreckt, es ermöglicht, einen Plasmabereich senkrecht zu dieser Öffnung zu erzeugen.
Nach einem weiteren bevorzugten Merkmal der Erfindung umfasst die Elektrode einen Träger, der sich im wesentlichen in einer Ebene erstreckt, wobei der Träger eine Öffnung umfasst und der Teil des umhüllten Leitungsdrahts sich in der Ebene des Trägers über die Öffnung erstreckt.
Diese Ausführungsform ist besonders einfach auszuführen. Die Elektrode stellt sich somit in der Form eines im Wesentlichen ebenen Teils dar.
Um die Erzeugung eines homogenen Plasmas senkrecht zur Öffnung der Elektrode zu erhalten, bildet der Teil des umhüllten Leitungsdrahts mehrere Segmente des umhüllten Leitungsdrahts, die sich über die Öffnung erstrecken.
Die Homogenität des Plasmas ist auch gesichert, wenn die Segmente des umhüllten Leitungsdrahts, die die Öffnung queren, in regelmäßigem Abstand zueinander sind.
Damit der Abstand konstant bleibt, weist die Elektrode vorzugsweise Spannungsmittel auf, die geeignet sind, eine Zugkraft auf zwei Enden des Teils des umhüllten Leitungsdrahts auszuüben.
Nach einem zweiten Aspekt der Erfindung betrifft diese einen Generator zur Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Sperre, der mindestens zwei erfindungsgemäße Elektroden aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Dadurch erhält man einen Generator zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre, in welchem die Elektrode vollständig mit einem dielektrischen Material bedeckt ist, so dass somit jegliches Risiko einer Bildung eines Lichtbogens von einer Elektrode zur anderen vermieden wird.
Vorzugsweise weisen diese Elektroden Öffnungen auf, die jeweils einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Man erhält somit einen Generator zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre, in welchem ein durch das Plasma aufzubereitender Gasfluss durch die Elektroden fließen kann.
Die vorliegende Erfindung zielt schließlich auch auf eine Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses ab, die einen erfindungsgemäßen Generator zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre umfasst, wobei ein katalytischer Träger, der Mittel zum Durchlassen eines Gasflusses umfasst, zwischen den Elektroden angeordnet ist.
Weitere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung gehen noch aus der folgenden Beschreibung hervor, wobei die Erfindung durch die beigefügten Ansprüche definiert ist.
In den beispielhaft und nicht einschränkend angegebenen beigefügten Zeichnungen ist veranschaulicht:
1A in einer Draufsicht eine Elektrode nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
1B ein Querschnitt durch einen umhüllten Leitungsdraht;
2 in einer Draufsicht eine Elektrode nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
3 perspektivisch ein Generator zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre nach einer Ausführungsform der Erfindung; und
4 in einer perspektivischen aufgebrochenen Ansicht eine Vorrichtung zum Aufbereiten von Gas nach einer Ausführungsform der Erfindung.
Zunächst wird in Bezug auf die 1 eine Elektrode zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre nach einer ersten Ausführungsform beschrieben.
In ihrem Grundaufbau weist diese Elektrode einen Teil 10 eines elektrischen Leitungsdrahts auf, der mit einer Hülle aus dielektrischem Material bedeckt ist.
Wenn zwei Teile 10 eines solchen Leitungsdrahts parallel zueinander angeordnet werden, erhält man nämlich zwei metallische Teile, die einander gegenüberliegen und durch zwei Schichten eines dielektrischen Materials getrennt sind, das jeweils der den elektrischen Leitungsdraht umgebenden Hülle entspricht.
Ein solcher umhüllter Leitungsdraht wurde im Querschnitt veranschaulicht.
Dieser umhüllter Leitungsdraht weist eine Ader auf, die einen elektrischen Leitungsdraht 11 bildet, der mit einer Hülle 12 aus dielektrischem Material umgeben ist.
Vorzugsweise ist der elektrische Leitungsdraht 11 einadrig. Durch die Verwendung eines vieladrigen Drahts, der aus einem Litzenleiter besteht, würden nämlich Änderungen des Abstands zwischen zwei Elektroden, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, entstehen. Diese Abstandsänderungen würden die Homogenität der Plasmabereiche beeinflussen.
Die Hülle 12 aus dielektrischem Material kann aus einem beliebigen dielektrischen Material bestehen, das mit den im erzeugten Plasma vorhandenen Elementen zusammengebracht werden kann.
Für die Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Sperre, das für das Aufbereiten eines Gasflusses geeignet ist, sind die Bestandteile dieses Plasmas insbesondere ultraviolette Strahlen und Ozon. Dielektrische Materialien, die für diesen Typ Plasma geeignet sind, können fluorkohlenstoffhaltige Beschichtungen wie Polytetrafluoräthylen (PTFE), das unter der Marke Teflon in den Handel gebracht wird, oder auch Silikon oder eventuell eine Beschichtung aus Teflon sein, die wiederum mit einer Schicht Silikon bedeckt ist.
Im in 1A veranschaulichten Beispiel weist die Elektrode einen Träger 13 auf, wobei der Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts an diesem Träger befestigt ist.
Dieser Träger 13 kann aus Harz mit Glasfaseranteil bestehen, um seine mechanische Steifigkeit zu gewährleisten.
Da diese Elektrode dazu bestimmt ist, quer zu einem aufzubereitenden Gasfluss angeordnet zu werden, weist der Träger 13 eine Öffnung 14 auf, wobei der Teil 10 des umhüllten Leistungsdrahts sich über diese Öffnung 14 erstreckt.
Bei dieser Ausführungsform hat der Träger eine im Wesentlichen quadratische Form und weist eine kreisförmige Öffnung 14 auf, deren Durchmesser geringfügig kleiner als die Abmessungen des quadratischen Trägers ist.
Der Teil 10 des umhüllten Leistungsdrahts erstreckt sich somit in der Ebene des Trägers über die Öffnung 14.
Um eine im Wesentlichen homogene Elektrodenfläche in der Ebene des Trägers 13 aufzuweisen, verläuft der umhüllte Leitungsdraht auf dem Träger und mehrmals quer über die Öffnung 14, um die hier scheibenförmige Fläche dieser Öffnung 14 soviel wie möglich zu karieren.
Dieser Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts bildet somit mehrere Segmente des umhüllten Leitungsdrahts, die sich über die Öffnung 14 erstrecken.
Bei dieser Ausführungsform schlängelt sich der umhüllte Leitungsdraht entlang eines Hin- und Herverlaufs zwischen einem Rand 13a und einem gegenüberliegenden Rand 13b des Trägers 13.
Die sich über die Öffnung 14 erstreckenden Segmente des umhüllten Leitungsdrahts sind somit parallel und in regelmäßigem Abstand zueinander.
Es ist schließlich wichtig, dass die beiden Enden 10a, 10b des Teils 10 des umhüllten Leitungsdrahts im Wesentlichen aneinander angrenzend auf dem Träger 13 befestigt sind
Bei der Ausführungsform, die in der 1A veranschaulicht ist, verläuft hierzu der Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts doppelt auf dem Träger 13.
Wie in 3 veranschaulicht, weist der Träger 13 Führungskehlen 15 für den umhüllten Leitungsdraht auf.
Diese Führungskehlen 15 sind auf der Oberfläche des vollen Teils des Trägers 13 ausgebildet. Diese Führungskehlen 15 münden somit einander gegenüber in die Öffnung 14 ein, so dass der Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts in diesen Führungskehlen 15 auf der einen und anderen Seite der Öffnung 14, die er quert, aufgenommen ist.
Um den umhüllten Leitungsdraht in Position und insbesondere gespannt zu halten, können diese Führungskehlen 15 Nasen 16 unterschiedlicher Formen aufweisen, die insbesondere dazu bestimmt sind, den Draht in den gebogenen Teilen der Führungskehlen 15 zu halten.
Um zwischen den Drähten von zwei gegenüberliegend angeordneten Elektroden ein homogenes Plasma zu erhalten, müssen diese Drähte einwandfrei gespannt sein, damit der Abstand zwischen diesen Drähten konstant bleibt. Es ist also vorteilhaft, ein Spannungseinrichtung 17 vorzusehen, wie in der 3 veranschaulicht, die dazu geeignet ist, eine Zugkraft an beiden Enden 10a, 10b des Teils 10 des umhüllten Leitungsdrahts auszuüben.
Diese Spannungseinrichtung 17 kann aus Klauen bestehen, wobei das Einstellen deren auf den Draht ausgeübten Zugkraft beispielsweise mit Hilfe einer Schraube erfolgen kann. Sie kann zudem eine Ausgleichseinrichtung wie eine Feder aufweisen, die auch im Fall einer eventuellen Dehnung des Drahts eine ausreichende Zugkraft gewährleistet.
Wenn diese Spannungseinrichtung 17 metallische Teile aufweist, werden diese vorzugsweise mit der Ader des elektrischen Leitungsdrahts 11 verbunden, den sie in Spannung halten.
Eine der Klauen der Spannungseinrichtung 17 durchbohrt somit die Hülle 12, um die metallische Baugruppe der Spannungseinrichtung 17 an das Potential des elektrischen Leitungsdrahts 11 anzulegen.
Der Verlauf des Teils 10 des umhüllten Leitungsdrahts ermöglicht es, seine beiden Enden 10a, 10b auf die Höhe der Spannungseinrichtung 17 wieder zu bringen, wobei jede Spitzenwirkung am Ende des Drahts, das nicht mehr isoliert ist, vermieden wird.
Die Ausführung als doppelte Schlange, wie in der 1A veranschaulicht, ist selbstverständlich nur eine Ausführungsform unter weiteren.
In 2 wurde eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Elektrode veranschaulicht.
In diesem Beispiel weist der Träger 13 zwei Öffnungsabschnitte 14a, 14b auf, die durch einen Steg 18 getrennt sind, auf welchem die Segmente des umhüllten Leitungsdrahts befestigt sein können.
Damit die beiden Enden 10a, 10b des Teils 10 des umhüllten Leitungsdrahts nebeneinander auf dem Träger 13 auf der Höhe des Stegs 18 befestigt sein können, ist in diesem Beispiel der umhüllte Leitungsdraht so befestigt, dass er auf der einen und anderen Seite des Stegs 18 zwei sinusförmige Kurven bildet, die auf der Seite eines Rands 13c des Trägers 13, der dem Rand 13d gegenüber liegt, der die beiden Enden 10a, 10b des umhüllten Leitungsdrahts trägt, vereinigt sind.
Wie zuvor können die Führungskehlen in den vollen Abschnitten des Trägers 13 ausgebildet sein, und eine Spannungseinrichtung kann an den Enden 10a, 10b des umhüllten Leitungsdrahts befestigt sein, um einen Zug auszuüben und diesen umhüllten Leitungsdraht gespannt zu halten.
Nun wird mit Bezug auf die 3 ein Beispiel eines Generators zur Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Barriere nach einer Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
In diesem Beispiel werden vom Generator zur Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Barriere zwei Elektroden eingesetzt, wie sie zuvor mit Bezug auf die 1A und 1B beschrieben worden sind.
Diese Elektroden 1, 1' sind so gegeneinander befestigt, dass die Seiten jedes Trägers 13, 13', die den Seiten gegenüberliegen, die den Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts tragen, gegeneinander in Kontakt stehen.
Ein Plasmabereich kann somit an den Öffnungen 14, die einander gegenüberliegen, zwischen den Teilen 10, 10' des umhüllten Leitungsdrahts erzeugt werden, welche einander gegenüber angebracht sind.
Um zu vermeiden, dass die Elektrodenausgänge zu nah aneinander stehen, sind die Enden 10a, 10b und 10'a, 10'b der Teile 10, 10' des umhüllten Leitungsdrahts jeder Elektrode 1, 1' im Aufbau des Generators einander entgegengesetzt angeordnet.
Diese Elektroden 1, 1' sind identisch und passen ineinander, wobei die Träger 13, 13' unter einem Winkel von 180° zueinander angeordnet sind.
Diese Art von Generator ist besonders für die Aufbereitung eines Gasflusses geeignet, der durch ein Plasma hindurchfließt, welches durch die quer zu diesem Fluss angeordneten Elektroden erzeugt wird.
Die Verwendung eines umhüllten Leitungsdrahts weist den Vorteil auf, die Spannungsverluste beim Transfer des Gasflusses durch diese Elektroden zu begrenzen. Der Nutzquerschnitt der Öffnungen 14 für den Durchlass des Gasflusses wird nämlich bis auf die Dicke des umhüllten Leitungsdrahts beibehalten.
Zudem gibt es zwischen diesen mit einem dielektrischen Material 12 bedeckten Elektroden keinen bevorzugten Verlauf, so dass die Bildung von Lichtbögen, die die Elektroden zerstören können, somit sorgfältig vermieden ist.
Ein solcher Generator zur Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Barriere ist besonders gut geeignet, um in einer Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses angebracht zu werden, wie in 4 veranschaulicht.
Diese Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses ermöglicht es insbesondere, die Kochwrasen in einer Haushaltsdunstabzugshaube aufzubereiten. Eine solche Vorrichtung ist insbesondere in der französischen Patentanmeldung Nr. 0216778 beschrieben, deren Inhalt durch Bezugnahme in der vorliegenden Beschreibung eingefügt ist.
Somit ist ein katalytischer Träger 20, der Mittel zum Durchlassen eines Gasflusses umfasst, zwischen zwei erfindungsgemäßen Elektroden 1, 1' angeordnet.
Der katalytische Träger 20 kann (nicht dargestellte) Kanäle aufweisen, die sich in der Richtung F erstrecken, in der der Gasfluss zirkuliert.
Insbesondere kann diese Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses dazu geeignet sein, eine üblicherweise zylindrische Gaszirkulierungsleitung 21 auszustatten. In diesem Fall weist die Öffnung 14, 14' der jeweiligen Elektrode 1, 1' eine Durchlassfläche auf, die der Querfläche der Leitung 21 entspricht.
Bei dieser Montage der Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses ist die Fläche jeder Öffnung 14, 14' von einem Netz von Segmenten des umhüllten Leitungsdrahts durchquert, das sich in der Ebene jeder Elektrode gleichmäßig erstreckt und ebenfalls in gleichmäßigem Abstand von einer Elektrode 1 zur anderen Elektrode 1 angeordnet ist. Das Plasma wird zwischen den Elektroden 1, 1' unmittelbar im katalytischen Träger 20 erzeugt.
Somit wird eine Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses durch die Kombination von Katalyse und Plasma erhalten, welche relativ kompakt und an einer Gasflusszirkulierungsleitung 21 einfach zu befestigen ist.
Insbesondere können mehrere Vorrichtungen zum Aufbereiten eines Gasflusses, wie sie in 4 veranschaulicht sind, nacheinander und hintereinander in einer zylindrischen Leitung zum Aufbereiten eines Gasflusses angebracht sein.
Selbstverständlich ist die vorliegende Erfindung nicht auf die zuvor beschriebenen Beschreibungsbeispiele beschränkt, und diese Beispiele können vielfältig verändert werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
Eine ausgehend von einem Teil 10 des umhüllten Leitungsdrahts ausgebildete Elektrode könnte ebenfalls auf einem vollen Träger, der keine Öffnung für den Durchlass von Gas aufweist, verwendet werden.
Insbesondere können die Elektrode mit einem umhüllten Leitungsdraht ausgebildet sein, der sich an zwei gegenüberliegenden Wänden eines Keramikrohrs schlängelt, über welches Plasma erzeugt wird, wobei die aufzubereitenden Gase innerhalb des Rohrs zirkulieren.
In diesem Fall sind die Elektroden in Ebenen angeordnet, die nicht quer zum Gasfluss sondern parallel zu diesem Fluss verlaufen.
Wenn der Gasfluss in einer zylindrischen Leitung zirkuliert, ist es auch möglich, eine innere Elektrode mit Hilfe eines umhüllten Leitungsdrahts, welcher sich im Wesentlichen in der Achse der zylindrischen Leitung erstreckt, und eine äußere Elektrode, die ausgehend von einem umhüllten Leitungsdraht ausgebildet ist, der spiralförmig um die zylindrische Leitung gewickelt ist, auszubilden.

Claims

Elektrode zur Erzeugung von Entladungsplasma mit dielektrischer Sperre, umfassend einen Teil (10) eines mit einer Hülle aus dielektrischem Material (12) bedeckten elektrischen Leitungsdrahts (11), der auf einem Träger (13) befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (13) eine Öffnung (14) aufweist, wobei sich der Teil (10) des umhüllten Leitungsdrahts über die Öffnung (14) erstreckt.
Elektrode gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Träger (13) umfaßt, der sich im wesentlichen in einer Ebene erstreckt, wobei der Träger (13) eine Öffnung (14) umfaßt und der Teil (10) des umhüllten Leitungsdrahts sich in der Ebene des Trägers (13) über die Öffnung (14) erstreckt.
Elektrode gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil (10) des umhüllten Leitungsdrahts mehrere Segmente des umhüllten Leitungsdrahts bildet, die sich über die Öffnung (14) erstrecken.
Elektrode gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Segmente des umhüllten Leitungsdrahts, die die Öffnung (14) queren, in regelmäßigem Abstand zueinander sind.
Elektrode gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil (10) des umhüllten Leitungsdrahts zwei im wesentlichen aneinander angrenzende Enden (10a, 10b) aufweist, die auf dem Träger (13) befestigt sind.
Elektrode gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (13) Führungskehlen (15) für den umhüllten Leitungsdraht aufweist.
Elektrode gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sie Spannungsmittel (17) aufweist, die geeignet sind, eine Zugkraft auf zwei Enden (10a, 10b) des Teils (10) des umhüllten Leitungsdrahts auszuüben.
Generator zur Erzeugung eines Entladungsplasmas mit dielektrischer Sperre, dadurch gekennzeichnet, daß er mindestens zwei Elektroden (1, 1') gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Generator gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (1, 1') Öffnungen (14, 14') aufweisen, die jeweils einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Vorrichtung zum Aufbereiten eines Gasflusses, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Generator von Plasma gemäß Anspruch 8 oder 9 umfaßt, wobei ein katalytischer Träger (20), der Mittel zum Durchlassen eines Gasflusses umfaßt, zwischen den Elektroden (1, 1') angeordnet ist.